特許7662307反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク

発明の名称　反射型フォトマスクブランク及び反射型フォトマスク

出願人　株式会社トッパンフォトマスク　（識別番号 522212882）

　　　　特許公開件数ランキング 2138 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2507 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7662307

公報発行日　2025年4月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7662307

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