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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-04-08
(45)【発行日】2025-04-16
(54)【発明の名称】エンドエフェクターを供給するための器具、システム、及び方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20250409BHJP
B25J 15/00 20060101ALI20250409BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
B25J15/00 Z
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2023061726
(22)【出願日】2023-04-05
(62)【分割の表示】P 2017234355の分割
【原出願日】2017-12-06
(65)【公開番号】P2023092532
(43)【公開日】2023-07-03
【審査請求日】2023-04-28
(31)【優先権主張番号】15/370,125
(32)【優先日】2016-12-06
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(73)【特許権者】
【識別番号】514073570
【氏名又は名称】ジャビル インク
(74)【代理人】
【識別番号】110003579
【氏名又は名称】弁理士法人山崎国際特許事務所
(74)【代理人】
【識別番号】100118647
【弁理士】
【氏名又は名称】赤松 利昭
(74)【代理人】
【識別番号】100123892
【弁理士】
【氏名又は名称】内藤 忠雄
(74)【代理人】
【識別番号】100169993
【弁理士】
【氏名又は名称】今井 千裕
(74)【代理人】
【識別番号】100173978
【弁理士】
【氏名又は名称】朴 志恩
(72)【発明者】
【氏名】ボスブーム、ジェローエン
(72)【発明者】
【氏名】ナデリ、ババク
(72)【発明者】
【氏名】ムンロ、リチャード
(72)【発明者】
【氏名】メイジャー、タチアナ・パンコヴァ
【審査官】柴垣 俊男
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－１９９２２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－０２６８５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－１７２０５０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１１－０１１６３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許出願公開第２００８／０２２９５２６（ＵＳ，Ａ１）
【文献】実開平０７－０１５２８５（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開２０１４－０８６４７２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ２５Ｊ １５／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
エンドエフェクターであって、ウエハーサポートと、
少なくとも１つのロボット要素と連結することが可能であり、一方の端部で前記ウエハーサポートを少なくとも部分的に支えることができる支持アームと、
半導体ウエハーと物理的に連結するための、前記ウエハーサポート上の基端及び先端にある複数のサポートパッドであって、少なくとも先端にある前記サポートパッドは、最先端部にウエハー端を止めるために隆起させたうねを有することを特徴とするサポートパッドと、
少なくとも部分的に前記支持アームによりもたらされた平面に沿って双方向に動く移動クランプと、
を具備し、
前記移動クランプは、角（屈曲部）のある接触面を有し、前記移動クランプの外側端部にローラーを具備し、前記移動クランプの角（屈曲部）の中央の点に設けられた回転軸を中心に回動することができ、
前記移動クランプは、前記半導体ウエハーの近接端に向かって、前記角（屈曲部）のある接触面に進退自在に力を加え、前記半導体ウエハーと前記先端にある複数のサポートパッド上の前記うねの少なくとも低部とを物理的に連結させることを特徴とするエンドエフェクター。
【請求項2】
前記ウエハーサポートは、フォークを具備することを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【請求項3】
前記移動クランプは、少なくとも２００ｍｍ及び３００ｍｍを含む様々な大きさのウエハーを収納することが可能であることを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【請求項4】
前記移動クランプを双方向に駆動する双方向駆動部は、少なくとも１つの移動クランプモーターを具備することを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【請求項5】
前記移動クランプモーターと係合する低摩擦真空シリンダをさらに具備することを特徴とする請求項４に記載のエンドエフェクター。
【請求項6】
前記真空シリンダは、前記移動クランプに小さい把持力を供給することを特徴とする請求項５に記載のエンドエフェクター。
【請求項7】
前記双方向駆動部により前記移動クランプを作動させた後、前記移動クランプの後退を止めるための少なくとも１つの後退停止器をさらに具備することを特徴とする請求項４に記載のエンドエフェクター。
【請求項8】
前記少なくとも１つの後退停止器は、負圧作動及び／ 又はばね駆動であることを特徴とする請求項７に記載のエンドエフェクター。
【請求項9】
前記双方向駆動部により駆動される前記移動クランプの走行を止めるための少なくとも１つの走行停止器をさらに具備することを特徴とする請求項４に記載のエンドエフェクター。
【請求項10】
前記移動クランプは、力を加えるための長方形の接触面を具備することを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【請求項11】
前記ウエハーサポートは、前記半導体ウエハーを把持するための少なくとも１つの真空孔をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【請求項12】
前記ウエハーサポートは、光ファイバーウエハー存在検出器をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【請求項13】
前記角（屈曲部）のある接触面は、前記回転軸を中心に回動することを特徴とする請求項１に記載のエンドエフェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、半導体ウエハーのような品物を移送することに関し、詳細にはこのようなウ
エハーを把持するエンドエフェクター、及びこのエンドエフェクターを用いてこのような
ウエハーを取り扱い、そして移送する方法に関する。
エハーを把持するエンドエフェクター、及びこのエンドエフェクターを用いてこのような
ウエハーを取り扱い、そして移送する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ロボットを利用することは、特に、人が取り扱うことが効率的でなく及び／又は好まし
くないアプリケーションにおける製造方法として十分確立されたものである。このような
状態にあるものの１つは半導体技術であり、ロボットが種々の処理ステップにおいてウエ
ハーを扱うために用いられている。そのような処理ステップには、一例として、化学的機
械的平坦化（ＣＭＰ）、エッチング、蒸着、表面安定化処理、及び、密封され及び／又は
汚染が生じることを制限し確実に種々の特別な処理状態に適合させるための「クリーン」
環境を保持しなければならない種々の処理を含めることができる。
くないアプリケーションにおける製造方法として十分確立されたものである。このような
状態にあるものの１つは半導体技術であり、ロボットが種々の処理ステップにおいてウエ
ハーを扱うために用いられている。そのような処理ステップには、一例として、化学的機
械的平坦化（ＣＭＰ）、エッチング、蒸着、表面安定化処理、及び、密封され及び／又は
汚染が生じることを制限し確実に種々の特別な処理状態に適合させるための「クリーン」
環境を保持しなければならない種々の処理を含めることができる。
【0003】
これらのウエハーをロボットにより扱う半導体技術における現行の手法には、集積場所
から半導体ウエハーを、先に一例として説明したような処理ステップに対応する種々の処
理ポートに移す、ロボットに動作可能に取り付けられたエンドエフェクターの使用がしば
しば含まれる。ロボットは、関連する処理室での処理の前及び／又は後で、特定のポート
又は集積場からウエハーを取り出すためにエンドエフェクターを配置するために採用され
る。このようにウエハーは、エンドエフェクターと接続されたロボットによりさらなる処
理を行うために次のポートとの往復を行うことができる。ウエハー処理段階が完了すると
、次にロボットは、処理済みの半導体ウエハーを集積ポートに戻すことができ、エンドエ
フェクターを再び用いて、システムで処理するために次のウエハーを取り出すことができ
る。いくつかの半導体ウエハーは、各処理の動作中にエンドエフェクターを用いるこの方
法で処理されるのが一般的である。
から半導体ウエハーを、先に一例として説明したような処理ステップに対応する種々の処
理ポートに移す、ロボットに動作可能に取り付けられたエンドエフェクターの使用がしば
しば含まれる。ロボットは、関連する処理室での処理の前及び／又は後で、特定のポート
又は集積場からウエハーを取り出すためにエンドエフェクターを配置するために採用され
る。このようにウエハーは、エンドエフェクターと接続されたロボットによりさらなる処
理を行うために次のポートとの往復を行うことができる。ウエハー処理段階が完了すると
、次にロボットは、処理済みの半導体ウエハーを集積ポートに戻すことができ、エンドエ
フェクターを再び用いて、システムで処理するために次のウエハーを取り出すことができ
る。いくつかの半導体ウエハーは、各処理の動作中にエンドエフェクターを用いるこの方
法で処理されるのが一般的である。
【0004】
一般的なエンドエフェクターは、エンドエフェクターに設けられた真空引き孔による裏
面吸引力を用いて、底部でウエハーを保持する。ウエハーに直接他の機械的力を加えるの
は一般的でなく、この理由の１つとして、機械的力を加えることは、ウエハーを損傷させ
たり汚染したりする可能性が高いと考えられていることが挙げられる。
面吸引力を用いて、底部でウエハーを保持する。ウエハーに直接他の機械的力を加えるの
は一般的でなく、この理由の１つとして、機械的力を加えることは、ウエハーを損傷させ
たり汚染したりする可能性が高いと考えられていることが挙げられる。
【0005】
従って、ウエハーを損傷させたり汚染したりすることなく、好ましくは種々の大きさの
ウエハーを複数の処理ステップにより非常に薄いウエハーを容易に取り扱い、そして移送
することのできるエンドエフェクターのニーズが存在する。
ウエハーを複数の処理ステップにより非常に薄いウエハーを容易に取り扱い、そして移送
することのできるエンドエフェクターのニーズが存在する。
【発明の概要】
【0006】
いくつかの実施の形態はエンドエフェクターを供給するための器具、システム、及び方
法であり、そしてこれらを含むものである。前記エンドエフェクターは、様々な大きさの
半導体ウエハーに対応することができ、ウエハーサポートと、少なくとも１つのロボット
要素と連結することが可能であり、一方の端部で前記ウエハーサポートを少なくとも部分
的に支えることができる支持アームと、前記半導体ウエハーの１つと物理的に連結するた
めの、前記ウエハーサポート上の複数のサポートパッドと、少なくとも部分的に前記支持
アームによりもたらされた平面に沿って双方向に動く低摩擦移動クランプと、を含み、前
記低摩擦移動クランプは、前記半導体ウエハーと前記複数のサポートパッドとの物理的な
連結を行うために前記半導体ウエハーの近接端に進退自在に力を加えることを特徴とする
。
法であり、そしてこれらを含むものである。前記エンドエフェクターは、様々な大きさの
半導体ウエハーに対応することができ、ウエハーサポートと、少なくとも１つのロボット
要素と連結することが可能であり、一方の端部で前記ウエハーサポートを少なくとも部分
的に支えることができる支持アームと、前記半導体ウエハーの１つと物理的に連結するた
めの、前記ウエハーサポート上の複数のサポートパッドと、少なくとも部分的に前記支持
アームによりもたらされた平面に沿って双方向に動く低摩擦移動クランプと、を含み、前
記低摩擦移動クランプは、前記半導体ウエハーと前記複数のサポートパッドとの物理的な
連結を行うために前記半導体ウエハーの近接端に進退自在に力を加えることを特徴とする
。
【0007】
ウエハーサポートはフォーク部とすることができるか又はフォーク部を含むことができ
る。ウエハーサポートは、ウエハーの存在検出を含むこともできる。前記ウエハーサポー
トにより保持された種々の大きさのウエハーには、非限定的な例として、２００ｍｍウエ
ハー及び３００ｍｍウエハーを含めることができる。
る。ウエハーサポートは、ウエハーの存在検出を含むこともできる。前記ウエハーサポー
トにより保持された種々の大きさのウエハーには、非限定的な例として、２００ｍｍウエ
ハー及び３００ｍｍウエハーを含めることができる。
【0008】
前記双方向駆動部には、少なくとも移動クランプモーターを含めることができる。低摩
擦真空シリンダは、前記移動クランプモーターと係合することができる。前記真空シリン
ダは、グラファイトピストンを有するシールレスガラスチューブで構成することができる
。
擦真空シリンダは、前記移動クランプモーターと係合することができる。前記真空シリン
ダは、グラファイトピストンを有するシールレスガラスチューブで構成することができる
。
【0009】
エンドエフェクターにはまた、前記双方向駆動部により前記低摩擦移動クランプを作動
させた後、前記低摩擦移動クランプの進退を止めるための少なくとも１つの進退停止器を
含めることができる。前記少なくとも１つの進退停止器は負圧作動とすることができる。
前記少なくとも１つの進退停止器は、例えば、飛び出し型「ボタン」停止器とすることが
できる。
させた後、前記低摩擦移動クランプの進退を止めるための少なくとも１つの進退停止器を
含めることができる。前記少なくとも１つの進退停止器は負圧作動とすることができる。
前記少なくとも１つの進退停止器は、例えば、飛び出し型「ボタン」停止器とすることが
できる。
【0010】
前記低摩擦移動クランプには、前記ウエハーに力を加えるための角のある接触面を含め
ることができる。前記ウエハーと最適に結合させるために実質的に中央回転軸に沿って角
のある接触面は回動することができる。前記低摩擦移動クランプにはさらに、その最外沿
で前記力を実質的に前記ウエハー端部に与えることのできる斜めになった２つのローラー
を含めることができる。
ることができる。前記ウエハーと最適に結合させるために実質的に中央回転軸に沿って角
のある接触面は回動することができる。前記低摩擦移動クランプにはさらに、その最外沿
で前記力を実質的に前記ウエハー端部に与えることのできる斜めになった２つのローラー
を含めることができる。
【0011】
複数のサポートパッドには、少なくとも４個のサポートパッドを含めることができ、前
記４個のサポートパッドのうちの少なくとも２個は前記支持アームの基端にあり、前記４
個のサポートパッドのうちの少なくとも２個は前記支持アームの先端にある。前記少なく
とも２個の先端にあるサポートパッドにはそれぞれ前記半導体ウエハーの中心軸に対して
斜めになった中心軸を有する傾斜部及びローラー部を含めることができる。前記少なくと
も２個の基端にあるサポートパッドもまた傾斜部を含めることができる。前記基端にある
サポートパッド及び／又は先端にあるサポートパッドには付加的に盛り上がったうね部を
含めることができる。
記４個のサポートパッドのうちの少なくとも２個は前記支持アームの基端にあり、前記４
個のサポートパッドのうちの少なくとも２個は前記支持アームの先端にある。前記少なく
とも２個の先端にあるサポートパッドにはそれぞれ前記半導体ウエハーの中心軸に対して
斜めになった中心軸を有する傾斜部及びローラー部を含めることができる。前記少なくと
も２個の基端にあるサポートパッドもまた傾斜部を含めることができる。前記基端にある
サポートパッド及び／又は先端にあるサポートパッドには付加的に盛り上がったうね部を
含めることができる。
【0012】
従って、本開示では、ウエハーを損傷又は汚染させることなく、種々のウエハーの大き
さの非常に薄い半導体ウエハーを複数の処理ステップを行うために容易に取り扱い移送す
ることのできる器具、システム、及びエンドエフェクターを供給する方法を提供する。
さの非常に薄い半導体ウエハーを複数の処理ステップを行うために容易に取り扱い移送す
ることのできる器具、システム、及びエンドエフェクターを供給する方法を提供する。
【図面の簡単な説明】
【0013】
例示的な構成、システム、及び方法を、添付図を参照して以下に説明する。これらは非
限定的例示としてのみ示される。
限定的例示としてのみ示される。
【図1】開示した実施の形態によるウエハー取扱システムを示す。
【図2】開示した実施の形態によるエンドエフェクターを示す。
【図3】開示した実施の形態によるエンドエフェクターを示す。
【図4】開示した実施の形態によるエンドエフェクターを示す。
【図5】開示した実施の形態によるウエハーサポートパッドを示す。
【図6】開示した実施の形態によるウエハーサポートパッドを示す。
【図7】開示した実施の形態によるエンドエフェクターを示す。
【図8】開示した実施の形態による移動クランプを示す。
【図9】開示した実施の形態によるウエハーサポートパッドを示す。
【図10】開示した実施の形態によるエンドエフェクターを示す。
【図11】開示した実施の形態によるエンドエフェクターを示す。
【図12】開示した実施の形態によるウエハーサポートパッドを示す。
【図13】開示した実施の形態による移動クランプモーターを示す。
【図14】開示した実施の形態による移動クランプモーターを示す。
【図15】開示した実施の形態による移動クランプモーターを示す。
【図16】開示した実施の形態による処理システムを示す。
【発明を実施するための形態】
【0014】
ここに提示した図及び説明は、ここに記載した器具、システム、及び方法を明確に理解
するのに適切な特徴を示す一方、一般的な同様の装置、システム、及び方法に見ることの
できる他の特徴は、分かり易くする目的で省略している。当業者であれば、従って、他の
要素及び／又は操作が、ここに説明した装置、システム、及び方法を実行するために好ま
しいこと、及び／又は、必要であることを認識することができる。しかし、そのような要
素及び操作はこの技術分野で知られていること、及び本発明の理解を容易にするわけでも
ない事から、説明を簡潔にするため、そのような要素及び操作はここに記載されないこと
もある。しかしながら、本開示では、当業者に知られている記載された特徴に、そのよう
なすべての要素、変更、修正、を含めるものとみなす。
するのに適切な特徴を示す一方、一般的な同様の装置、システム、及び方法に見ることの
できる他の特徴は、分かり易くする目的で省略している。当業者であれば、従って、他の
要素及び／又は操作が、ここに説明した装置、システム、及び方法を実行するために好ま
しいこと、及び／又は、必要であることを認識することができる。しかし、そのような要
素及び操作はこの技術分野で知られていること、及び本発明の理解を容易にするわけでも
ない事から、説明を簡潔にするため、そのような要素及び操作はここに記載されないこと
もある。しかしながら、本開示では、当業者に知られている記載された特徴に、そのよう
なすべての要素、変更、修正、を含めるものとみなす。
【0015】
実施の形態は、この開示により十分詳述がなされ、開示された実施の形態の範囲をすべ
て当業者に伝達するように提示される。具体的な構成要素、装置、及び方法の例として、
開示した実施の形態を十分理解してもらうために多くの特有の内容が記述される。しかし
ながら、当業者であれば、開示した特定の詳細内容は採用する必要がなく、そして実施の
形態は他の形態で実施することが可能であることは明らかであろう。従って、開示した実
施の形態は、本開示の範囲を限定するものと解釈すべきではない。上述したように、いく
つかの実施形態では、よく知られた処理、よく知られた装置構成、及びよく知られた技術
については詳述していない。
て当業者に伝達するように提示される。具体的な構成要素、装置、及び方法の例として、
開示した実施の形態を十分理解してもらうために多くの特有の内容が記述される。しかし
ながら、当業者であれば、開示した特定の詳細内容は採用する必要がなく、そして実施の
形態は他の形態で実施することが可能であることは明らかであろう。従って、開示した実
施の形態は、本開示の範囲を限定するものと解釈すべきではない。上述したように、いく
つかの実施形態では、よく知られた処理、よく知られた装置構成、及びよく知られた技術
については詳述していない。
【0016】
ここで使われる専門用語は特定の実施の形態を説明することのみを目的とし、限定する
ことを意図するものではない。例えば、単数形であっても、文脈から明らかでない限り、
複数の形状を含むことがある。「具備する」「具備している」「含む」「有する」の語は
、包括的であり、従って、特徴、数値、ステップ、操作、要素、及び／又は、部品、を記
載しているが、１以上の他の特徴、数値、ステップ、操作、要素、及び／又は、それらの
グループの存在又は付加を除外していない。ここに記載したステップ、処理、及び操作は
、好ましい又は必要な実行順序として特に記載されていない限り、記載した又は図示した
特定の順序でそれぞれ実行しなければならないものと解釈するべきものではない。また、
開示した特徴に代えて又は加えて、追加の又は代替的なステップを採用することもできる
。
ことを意図するものではない。例えば、単数形であっても、文脈から明らかでない限り、
複数の形状を含むことがある。「具備する」「具備している」「含む」「有する」の語は
、包括的であり、従って、特徴、数値、ステップ、操作、要素、及び／又は、部品、を記
載しているが、１以上の他の特徴、数値、ステップ、操作、要素、及び／又は、それらの
グループの存在又は付加を除外していない。ここに記載したステップ、処理、及び操作は
、好ましい又は必要な実行順序として特に記載されていない限り、記載した又は図示した
特定の順序でそれぞれ実行しなければならないものと解釈するべきものではない。また、
開示した特徴に代えて又は加えて、追加の又は代替的なステップを採用することもできる
。
【0017】
他に明確に記載ない場合は、要素又は層が他の要素又は層に「取り付けられる」「接続
される」又は「連結される」とき、直接「取り付けられる」「接続される」又は「連結さ
れる」こともあり、又は間に要素又は層が存在することもある。一方、要素又は層が他の
要素又は層に「直接取り付けられる」「直接接続される」又は「直接連結される」とき、
間に要素又は層が存在しないことがある。要素同士の関係を説明するために使われる他の
言葉も同様に解釈すべきである（例えば、「間に」対「直接間に」、「隣接して」対「直
接隣接して」、等）。さらに、ここで用いられているように、用語「及び／又は」には、
１以上の関連する列挙したアイテムのいくつかまたはすべてを含む。
される」又は「連結される」とき、直接「取り付けられる」「接続される」又は「連結さ
れる」こともあり、又は間に要素又は層が存在することもある。一方、要素又は層が他の
要素又は層に「直接取り付けられる」「直接接続される」又は「直接連結される」とき、
間に要素又は層が存在しないことがある。要素同士の関係を説明するために使われる他の
言葉も同様に解釈すべきである（例えば、「間に」対「直接間に」、「隣接して」対「直
接隣接して」、等）。さらに、ここで用いられているように、用語「及び／又は」には、
１以上の関連する列挙したアイテムのいくつかまたはすべてを含む。
【0018】
さらに、ここで種々の要素、部品、領域、層、及び／又は部分を説明するために第１の
、第２の、第３の、等が使われていても、これらの要素、部品、領域、層、及び／又は部
分は、これらの用語に限定されるべきものではない。これらの用語は１つの要素、部品、
領域、層、又は部分を他の要素、部品、領域、層、又は部分から区別するためだけに用い
ることができる。従って、「第１の」「第２の」その他の数値の用語は、ここで用いられ
るとき、文脈から明らかに示されていない限り順序又は順番を意味するものではない。従
って、以下に説明する第１の要素、部品、領域、層、又は部分は、実施の形態による教示
から逸脱することなく、第２の要素、部品、領域、層、又は部分と称することができる。
、第２の、第３の、等が使われていても、これらの要素、部品、領域、層、及び／又は部
分は、これらの用語に限定されるべきものではない。これらの用語は１つの要素、部品、
領域、層、又は部分を他の要素、部品、領域、層、又は部分から区別するためだけに用い
ることができる。従って、「第１の」「第２の」その他の数値の用語は、ここで用いられ
るとき、文脈から明らかに示されていない限り順序又は順番を意味するものではない。従
って、以下に説明する第１の要素、部品、領域、層、又は部分は、実施の形態による教示
から逸脱することなく、第２の要素、部品、領域、層、又は部分と称することができる。
【0019】
図１は、様々な半径、構成、及び物理的特性のシリコンウエハーのような半導体ウエハ
ー又は基板１０２を精密に取り扱うのに適切な自動化されたウエハー取扱システム１００
を示す。この取扱システム１００は、迅速な、順序づけられ連続したウエハー処理にウエ
ハー１０２を提供する能力を有することができる。供給されたウエハー１０２に対しては
、このような様々な場所での処理のための操作又は移送を行うのに適した端部把持エンド
エフェクター１０６を装備したロボットアーム１０４のようなロボットにより、様々な場
所と場所の間での操作又は移送を行うことができる。
ー又は基板１０２を精密に取り扱うのに適切な自動化されたウエハー取扱システム１００
を示す。この取扱システム１００は、迅速な、順序づけられ連続したウエハー処理にウエ
ハー１０２を提供する能力を有することができる。供給されたウエハー１０２に対しては
、このような様々な場所での処理のための操作又は移送を行うのに適した端部把持エンド
エフェクター１０６を装備したロボットアーム１０４のようなロボットにより、様々な場
所と場所の間での操作又は移送を行うことができる。
【0020】
非限定的実施例として、ロボットアーム１０４及びエンドエフェクター１０６は協調し
て、ウエハー１０２を、ウエハー加工、１以上のウエハー露光装置、及び１以上のウエハ
ーカセットへ配置したり、これらから除去したりする。そのために、エンドエフェクター
１０６には、１以上の真空孔１０８を含めることができ、ウエハーの処理時に対象となる
ウエハー１０２を垂直に、水平に、及び逆向きに保持することができることに加えて、こ
こで説明する種々のウエハー把持のための機能を提供又は補うことができる。
て、ウエハー１０２を、ウエハー加工、１以上のウエハー露光装置、及び１以上のウエハ
ーカセットへ配置したり、これらから除去したりする。そのために、エンドエフェクター
１０６には、１以上の真空孔１０８を含めることができ、ウエハーの処理時に対象となる
ウエハー１０２を垂直に、水平に、及び逆向きに保持することができることに加えて、こ
こで説明する種々のウエハー把持のための機能を提供又は補うことができる。
【0021】
このように、図１の例では、ここに開示された例示的エンドエフェクター１０６を動作
させることができるシステム１００が示されている。要するに、以下に説明する様々な形
式のエンドエフェクター１０６の代表として示された端部把持エンドエフェクター１０６
は、露光処理、及び／又はそれに続く種々のウエハー処理を伴う取り出したウエハーの計
時のため、１以上のカセットからウエハー１０２を取り出すことができる。より詳しくは
、一定の実施の形態に供給される種々の形式のエンドエフェクターとして、様々なウエハ
ー処理がなされる異なる直径のウエハーに単一のエンドエフェクター１０６を用いること
ができる。
させることができるシステム１００が示されている。要するに、以下に説明する様々な形
式のエンドエフェクター１０６の代表として示された端部把持エンドエフェクター１０６
は、露光処理、及び／又はそれに続く種々のウエハー処理を伴う取り出したウエハーの計
時のため、１以上のカセットからウエハー１０２を取り出すことができる。より詳しくは
、一定の実施の形態に供給される種々の形式のエンドエフェクターとして、様々なウエハ
ー処理がなされる異なる直径のウエハーに単一のエンドエフェクター１０６を用いること
ができる。
【0022】
半導体ウエハーは直径が変化するだけでなく、一般に、直径を含む他の寸法の許容範囲
の中で、その上で装置を受け取る面は１．５ミクロン以下の平面度のような、実質的平面
であることが要求される標準仕様に従い製造される。さらに、一例として、２００ｍｍシ
リコンウエハーは、例えば、２００±０．２ｍｍの標準直径と６７５±２５ミクロンのよ
うな標準厚さを有する。一般的な処理後のウエハー厚さは約５００ミクロンから約７００
ミクロンの範囲とすることが出来る。加えて、シリコンウエハーはアラインメント及び／
又は結晶方向の表示のために用いられる明確な面又はノッチが設けられることがある。従
って、ウエハーとエンドエフェクター１０６との間で相互に作用している間ウエハーの平
面度を維持することは、ウエハーの処理及び廃棄についての許容レベルを維持するための
鍵となる。
の中で、その上で装置を受け取る面は１．５ミクロン以下の平面度のような、実質的平面
であることが要求される標準仕様に従い製造される。さらに、一例として、２００ｍｍシ
リコンウエハーは、例えば、２００±０．２ｍｍの標準直径と６７５±２５ミクロンのよ
うな標準厚さを有する。一般的な処理後のウエハー厚さは約５００ミクロンから約７００
ミクロンの範囲とすることが出来る。加えて、シリコンウエハーはアラインメント及び／
又は結晶方向の表示のために用いられる明確な面又はノッチが設けられることがある。従
って、ウエハーとエンドエフェクター１０６との間で相互に作用している間ウエハーの平
面度を維持することは、ウエハーの処理及び廃棄についての許容レベルを維持するための
鍵となる。
【0023】
特定の集積回路アプリケーション、特に処理後にさらに極小の厚さが必要なアプリケー
ションでは、薄いウエハーがとりわけ有用となることがある。しかし、ウエハーの処理で
は、許容平面度を越える反りや曲がりが生じることがあり、ウエハーによっては、処理す
る前から要求レベルを超える反りや曲がりを有することがある。さらに、反りや曲がりは
、先に述べたアラインメント用面又はノッチの不適切な配置又はアラインメントの原因と
なることがある。このような場合、ウエハーの処理は、反りや曲がりにより悪影響を受け
る場合があり、これらの悪影響は、エンドエフェクター１０６により生じる反りや曲がり
によりさらに増加することがある。
ションでは、薄いウエハーがとりわけ有用となることがある。しかし、ウエハーの処理で
は、許容平面度を越える反りや曲がりが生じることがあり、ウエハーによっては、処理す
る前から要求レベルを超える反りや曲がりを有することがある。さらに、反りや曲がりは
、先に述べたアラインメント用面又はノッチの不適切な配置又はアラインメントの原因と
なることがある。このような場合、ウエハーの処理は、反りや曲がりにより悪影響を受け
る場合があり、これらの悪影響は、エンドエフェクター１０６により生じる反りや曲がり
によりさらに増加することがある。
【0024】
反り及び曲がりの結果生じる前述の問題は、薄いウエハーではさらに悪化することがあ
る。平面度が許容量を超える原因について、最近のウエハーの処理において顕著な問題と
なり、平面度が許容量を超える原因は、ウエハーの処理のために異なるウエハーの大きさ
を許容するウエハーの固さにおいてさらに顕著かつ複雑となる。従って、エンドエフェク
ターのウエハー平面度に対する相互作用の影響を最小化し、ウエハーの反りを修正するこ
ともできるようなエンドエフェクター１０６を提供することは、開示した実施の形態にお
いて大きな利点となる。
る。平面度が許容量を超える原因について、最近のウエハーの処理において顕著な問題と
なり、平面度が許容量を超える原因は、ウエハーの処理のために異なるウエハーの大きさ
を許容するウエハーの固さにおいてさらに顕著かつ複雑となる。従って、エンドエフェク
ターのウエハー平面度に対する相互作用の影響を最小化し、ウエハーの反りを修正するこ
ともできるようなエンドエフェクター１０６を提供することは、開示した実施の形態にお
いて大きな利点となる。
【0025】
図２は、開示した実施の形態による例示的な端部把持エンドエフェクター１０６を示す
。図２に示したように、エンドエフェクター１０６には、シリコンウエハー１０２を乗せ
るフォーク部２０２、及び、図１に示したロボットアームのような１以上のロボットとイ
ンターフェースを行うことのできる支持アーム２０４が含まれる。フォーク部２０２は、
非限定的例示として、Ｈ９００条件で熱処理した１７．４ｐＨステンレス鋼で構成される
。ここでの説明全体において、フォーク部２０２は、支持アーム２０４が少なくとも部分
的に支持することができるウエハーサポートの例示にすぎないことに注意すべきである。
すなわち、一例としてヘラタイプ又はリングタイプのような他のタイプのウエハーサポー
トを、特定の実施の形態で用いられることがある。
。図２に示したように、エンドエフェクター１０６には、シリコンウエハー１０２を乗せ
るフォーク部２０２、及び、図１に示したロボットアームのような１以上のロボットとイ
ンターフェースを行うことのできる支持アーム２０４が含まれる。フォーク部２０２は、
非限定的例示として、Ｈ９００条件で熱処理した１７．４ｐＨステンレス鋼で構成される
。ここでの説明全体において、フォーク部２０２は、支持アーム２０４が少なくとも部分
的に支持することができるウエハーサポートの例示にすぎないことに注意すべきである。
すなわち、一例としてヘラタイプ又はリングタイプのような他のタイプのウエハーサポー
トを、特定の実施の形態で用いられることがある。
【0026】
支持アーム２０４には、例えば、フォーク部２０２をウエハー１０２と物理的に結び付
けるような、支持アーム２０４内又は支持アーム２０４上の１以上の電気機械的要素を作
動させるための電子回路を含めることができる。支持アーム２０４には、さらに、検知器
、処理機能、コンピュータメモリ、無線接続できるようなネットワーク機能、（ＲＦＩＤ
のような）固有識別、プロセスカウンター、ロボットアーム１０４との電気的相互作用、
高密度再充電可能バッテリーのようなバッテリー、等を含めることができる。
けるような、支持アーム２０４内又は支持アーム２０４上の１以上の電気機械的要素を作
動させるための電子回路を含めることができる。支持アーム２０４には、さらに、検知器
、処理機能、コンピュータメモリ、無線接続できるようなネットワーク機能、（ＲＦＩＤ
のような）固有識別、プロセスカウンター、ロボットアーム１０４との電気的相互作用、
高密度再充電可能バッテリーのようなバッテリー、等を含めることができる。
【0027】
フォーク部２０２とウエハー１０２との間で物理的な相互作用を行わせるための支持ア
ーム２０４と関連付けられた電気機械的要素は、移動クランプ２１０とすることができる
。移動クランプには、ウエハー１０２と突き当たるような部分に、移動クランプ２１０と
ウエハー１０２との間で相互作用による力を最小限にするための１以上のパッドを含める
ことができる。移動クランプ２１０は、直接的に又は間接的に、１以上の負圧アクチュエ
ータ、空気圧アクチュエータ、又はモーターアクチュエータにより、電気機械的に動かす
ことができ、又は、ばねによる動作により、フォーク部２０２と物理的に結び付けるため
にシリコンウエハー１０２を、把持し、動かし、又は整列させるために、支持アーム２０
４からフォーク部２０２に向けて伸ばすために、機械的に動かすことができる。
ーム２０４と関連付けられた電気機械的要素は、移動クランプ２１０とすることができる
。移動クランプには、ウエハー１０２と突き当たるような部分に、移動クランプ２１０と
ウエハー１０２との間で相互作用による力を最小限にするための１以上のパッドを含める
ことができる。移動クランプ２１０は、直接的に又は間接的に、１以上の負圧アクチュエ
ータ、空気圧アクチュエータ、又はモーターアクチュエータにより、電気機械的に動かす
ことができ、又は、ばねによる動作により、フォーク部２０２と物理的に結び付けるため
にシリコンウエハー１０２を、把持し、動かし、又は整列させるために、支持アーム２０
４からフォーク部２０２に向けて伸ばすために、機械的に動かすことができる。
【0028】
さらに図２に示されているのは、シリコンウエハー１０２をフォーク部２０２と物理的
に結び付け、移動クランプ２１０に取り付けるための、４個のパッド２１２ａ～ｄのよう
な、複数のパッドである。図において、サポートパッド２１２ａ～ｄは、パッド２１２ａ
～ｄがシリコンウエハー１０２の中心に向かって下がっていくような傾きの傾斜をつける
こともでき、又は、ウエハー１０２がパッド２１２ａ～ｄと物理的に結び付けられたとき
、ウエハー１０２を保持し停止させるような、隆起とすることができる。サポートパッド
２１２ａ～ｄは、表面に沿って滑り易くする、又は、少し摩擦力があるようにする、又は
、強く摩擦力が働くようにすることができ、このような異なる表面状態の間で変化させる
ことができる。図示の実施の形態において、移動クランプ２１０近傍のサポートパッド２
１２ａ～ｂは、少なくともサポートパッド２１２ｃ～ｄの先端はクランプパッドの役割を
果たす点で、フォーク部２０２の先端にあるパッド２１２ｃ～ｄとは異なる。すなわち、
特定のパッド２１２ｃ～ｄにとって、移動クランプ２１０から最も遠いパッド端に関する
高くなった／隆起した部分は、フォーク部２０２においてウエハー１０２の最も遠い周囲
部分に圧力を加えることができる。説明したとおり、これは、移動クランプ２１０に最も
近いフォーク部２０２の根元にある単純な傾斜のあるサポートパッド２１２ａ～ｂとは違
っていてもよい。
に結び付け、移動クランプ２１０に取り付けるための、４個のパッド２１２ａ～ｄのよう
な、複数のパッドである。図において、サポートパッド２１２ａ～ｄは、パッド２１２ａ
～ｄがシリコンウエハー１０２の中心に向かって下がっていくような傾きの傾斜をつける
こともでき、又は、ウエハー１０２がパッド２１２ａ～ｄと物理的に結び付けられたとき
、ウエハー１０２を保持し停止させるような、隆起とすることができる。サポートパッド
２１２ａ～ｄは、表面に沿って滑り易くする、又は、少し摩擦力があるようにする、又は
、強く摩擦力が働くようにすることができ、このような異なる表面状態の間で変化させる
ことができる。図示の実施の形態において、移動クランプ２１０近傍のサポートパッド２
１２ａ～ｂは、少なくともサポートパッド２１２ｃ～ｄの先端はクランプパッドの役割を
果たす点で、フォーク部２０２の先端にあるパッド２１２ｃ～ｄとは異なる。すなわち、
特定のパッド２１２ｃ～ｄにとって、移動クランプ２１０から最も遠いパッド端に関する
高くなった／隆起した部分は、フォーク部２０２においてウエハー１０２の最も遠い周囲
部分に圧力を加えることができる。説明したとおり、これは、移動クランプ２１０に最も
近いフォーク部２０２の根元にある単純な傾斜のあるサポートパッド２１２ａ～ｂとは違
っていてもよい。
【0029】
図３は、端部把持エンドエフェクター１０６の実施の形態を示す。図において、代替的
タイプの移動クランプ２１０が示され、そこでフォーク部２０２の根元にあるクランプエ
マージェンススロット３０２は、代替的形状の移動クランプ２１０の前進及び後退を許容
するために拡がっている。さらに、図３の例示において、近くのサポートパッド２１２ａ
～ｂには、ウエハー１０２の動きを止めるために、ウエハーの中心に対して先端部にうね
が含まれる。さらに、移動クランプ２１０からみてフォーク部２０２の最も先端部にある
サポートパッド２１２ｃ～ｄには、ウエハーに損傷を与える可能性を最小限にするために
、フォーク部２０２に対してウエハー１０２との物理的な相互作用及びウエハー１０２に
停止作用をうまく行うために、図示のローラーチップ３０６を含めることができる。
タイプの移動クランプ２１０が示され、そこでフォーク部２０２の根元にあるクランプエ
マージェンススロット３０２は、代替的形状の移動クランプ２１０の前進及び後退を許容
するために拡がっている。さらに、図３の例示において、近くのサポートパッド２１２ａ
～ｂには、ウエハー１０２の動きを止めるために、ウエハーの中心に対して先端部にうね
が含まれる。さらに、移動クランプ２１０からみてフォーク部２０２の最も先端部にある
サポートパッド２１２ｃ～ｄには、ウエハーに損傷を与える可能性を最小限にするために
、フォーク部２０２に対してウエハー１０２との物理的な相互作用及びウエハー１０２に
停止作用をうまく行うために、図示のローラーチップ３０６を含めることができる。
【0030】
ローラーチップ３０６は、対応するウエハー１０２をうまく把持するために傾斜をつけ
ても付けなくてもよい。傾斜型ローラーチップ３０６は、特に、加工された又は厚いウエ
ハーの扱いを改善することができ、従って、移動クランプ２１０の近く及び／又は移動ク
ランプ２１０の遠くに設けることができる。ローラーチップ３０６は、例えば、ステンレ
ス鋼で作られ、フォーク部２０２に対して特に薄いウエハーの物理的中心寄せを改善する
ことができる。
ても付けなくてもよい。傾斜型ローラーチップ３０６は、特に、加工された又は厚いウエ
ハーの扱いを改善することができ、従って、移動クランプ２１０の近く及び／又は移動ク
ランプ２１０の遠くに設けることができる。ローラーチップ３０６は、例えば、ステンレ
ス鋼で作られ、フォーク部２０２に対して特に薄いウエハーの物理的中心寄せを改善する
ことができる。
【0031】
図４は、エンドエフェクター１０６の実施の形態を示す。図４の例は、図３の例に類似
するが、図３の支持アーム２０４の上に支持アームカバー３１２が含まれていない。図４
において、ローラーチップサポートパッド２１２ｃ～ｄ及び隆起した近端のサポートパッ
ド２１２ａ～ｂは、フォーク部２０２に含まれる。図４に追加して示されているのはウエ
ハー検出システム４０４であり、非限定的例示として、フォーク部２０２の最遠端に示さ
れている。このようなウエハー検出システム４０４は、非限定的例示として、フォーク部
２０２に物理的に関連付けられたウエハー１０２の存在及び／又は特性を検出する光ファ
イバービームとするか又はこのようなビームを含めることができる。
するが、図３の支持アーム２０４の上に支持アームカバー３１２が含まれていない。図４
において、ローラーチップサポートパッド２１２ｃ～ｄ及び隆起した近端のサポートパッ
ド２１２ａ～ｂは、フォーク部２０２に含まれる。図４に追加して示されているのはウエ
ハー検出システム４０４であり、非限定的例示として、フォーク部２０２の最遠端に示さ
れている。このようなウエハー検出システム４０４は、非限定的例示として、フォーク部
２０２に物理的に関連付けられたウエハー１０２の存在及び／又は特性を検出する光ファ
イバービームとするか又はこのようなビームを含めることができる。
【0032】
図４には、動作時、支持アームハウジング３１２内の出現スロット３０２から出現する
、角のある移動クランプ２１０の形状の移動クランプも示されている。この角のあるクラ
ンプ２１０は、図示したように、アクチュエータ４２０のようなもので電気機械的に駆動
され、角のある移動クランプ２１０の可能な直線移動距離を制限する駆動長さ制限を受け
ることがある。
、角のある移動クランプ２１０の形状の移動クランプも示されている。この角のあるクラ
ンプ２１０は、図示したように、アクチュエータ４２０のようなもので電気機械的に駆動
され、角のある移動クランプ２１０の可能な直線移動距離を制限する駆動長さ制限を受け
ることがある。
【0033】
図５は、さらに、フォーク部２０２の先端にある例示的なローラーパッド２１２ｃ～ｄ
を示したものである。図において、ローラー部３０６を有する例示的な先端サポートパッ
ド２１２ｃ～ｄであるだけでなく、さらに、これらの例示的なサポートパッド２１２ｃ～
ｄは、フォーク部２０２に関連付けられたシリコンウエハー１０２の中心に向かって下が
ってゆくような傾きの傾斜を有することが明らかである。
を示したものである。図において、ローラー部３０６を有する例示的な先端サポートパッ
ド２１２ｃ～ｄであるだけでなく、さらに、これらの例示的なサポートパッド２１２ｃ～
ｄは、フォーク部２０２に関連付けられたシリコンウエハー１０２の中心に向かって下が
ってゆくような傾きの傾斜を有することが明らかである。
【0034】
当然のことながら、角のある又は曲がったサポートパッドには、ウエハーが角にぶつか
りそれにより把持するのに十分な面を持たないということがないよう、ウエハーを受け入
れるための２つの面領域を含む。この角度又は曲率は、非限定的例示において、内側角が
小さく外側角を大きくすることができる。さらに、サポートパッド全般についての傾斜設
計により、フォーク部２０２のボトミングからの底部ウエハー機能を除外することで把持
を改善することができる。
りそれにより把持するのに十分な面を持たないということがないよう、ウエハーを受け入
れるための２つの面領域を含む。この角度又は曲率は、非限定的例示において、内側角が
小さく外側角を大きくすることができる。さらに、サポートパッド全般についての傾斜設
計により、フォーク部２０２のボトミングからの底部ウエハー機能を除外することで把持
を改善することができる。
【0035】
ローラー部３０６を有する先端サポートパッド２１２ｃ～ｄを、図６に示した。図６は
、傾斜及びローラー部６０２、３０６を有する先端サポートパッド２１２ｃの断面を示し
、移動クランプ２１０により先端部周辺６０６にて係合しているとき、シリコンウエハー
１０２の先端部周辺６０６が先端サポートパッド２１２ｃのローラー部３０６に突き当た
っている。係合している角のある移動クランプ２１０は、非限定的例示において、図４に
示した移動クランプ２１０とすることができる。
、傾斜及びローラー部６０２、３０６を有する先端サポートパッド２１２ｃの断面を示し
、移動クランプ２１０により先端部周辺６０６にて係合しているとき、シリコンウエハー
１０２の先端部周辺６０６が先端サポートパッド２１２ｃのローラー部３０６に突き当た
っている。係合している角のある移動クランプ２１０は、非限定的例示において、図４に
示した移動クランプ２１０とすることができる。
【0036】
図４、５、及び６について、エンドエフェクターフォーク部２０２は、可能な範囲で、
物理的に関連付けられたウエハー１０２の底部と接触を避けることが最善の状態であるこ
とに特に注意すべきである。この機能は、ローラー３０６を有する先端のサポートパッド
２１２ｃ～ｄと関連するような、さらに、フォーク部２０２の曲がり又は傾きを付加的に
含むような、サポートパッド２１２ａ～ｄの傾斜特性によりもたらされる。さらなる例と
して、フォーク部２０２の突起６３０は、突起６３０の中央に向けて少し傾くよう曲げる
ことができる。すなわち、支持アームの近傍でフォーク部２０２に１つ以上の曲がり、傾
斜、又は上向きまたは下向きの勾配が含まれ、このような実施の形態において、フォーク
部の突起６３０には、先端サポートパッド２１２ｃ～ｄに向かう勾配、曲がり、又は傾斜
が含まれることも含まれないこともある。
物理的に関連付けられたウエハー１０２の底部と接触を避けることが最善の状態であるこ
とに特に注意すべきである。この機能は、ローラー３０６を有する先端のサポートパッド
２１２ｃ～ｄと関連するような、さらに、フォーク部２０２の曲がり又は傾きを付加的に
含むような、サポートパッド２１２ａ～ｄの傾斜特性によりもたらされる。さらなる例と
して、フォーク部２０２の突起６３０は、突起６３０の中央に向けて少し傾くよう曲げる
ことができる。すなわち、支持アームの近傍でフォーク部２０２に１つ以上の曲がり、傾
斜、又は上向きまたは下向きの勾配が含まれ、このような実施の形態において、フォーク
部の突起６３０には、先端サポートパッド２１２ｃ～ｄに向かう勾配、曲がり、又は傾斜
が含まれることも含まれないこともある。
【0037】
図７は、例示的な角のある移動クランプ２１０を示す。図７の実施の形態において、角
のあるクランプ２１０には、移動クランプ２１０の接触面に関してウエハー１０２の芯出
しを改善するために、クランプの角θがその周りを回動する第１の回転軸７０２が含まれ
る。さらに、非限定的例示として、図７の角のある移動クランプ２１０には、角のある移
動クランプ２１０の外側端部に、傾斜したローラー７０６ａ～ｂを含めることができる。
これらのローラー７０６ａ～ｂは、特定の実施の形態において傾斜させることも傾斜させ
ないこともでき、ウエハー１０２をサポートパッド２１２ａ～ｄの傾斜部、隆起部、及び
／又はローラー部に押し付けること等により、穏やかにウエハー１０２の端部に圧力を加
えるようにすることができる。
のあるクランプ２１０には、移動クランプ２１０の接触面に関してウエハー１０２の芯出
しを改善するために、クランプの角θがその周りを回動する第１の回転軸７０２が含まれ
る。さらに、非限定的例示として、図７の角のある移動クランプ２１０には、角のある移
動クランプ２１０の外側端部に、傾斜したローラー７０６ａ～ｂを含めることができる。
これらのローラー７０６ａ～ｂは、特定の実施の形態において傾斜させることも傾斜させ
ないこともでき、ウエハー１０２をサポートパッド２１２ａ～ｄの傾斜部、隆起部、及び
／又はローラー部に押し付けること等により、穏やかにウエハー１０２の端部に圧力を加
えるようにすることができる。
【0038】
図８は、例示的な角のある移動クランプ２１０を示す。図８の実施の形態において、非限定的例示として、移動クランプ２１０の回転軸７０２は、クランプの角θの実質的に中央の点に設けられる。角のある移動クランプ２１０の回転軸７０２から実質的に最も外側で１以上のローラー７０６ａ～ｂを収容するための第２の回転軸８０２ａ～ｂが設けられる。このようなローラー７０６ａ～ｂは、図７に示した例示的な傾斜したローラーと同様に傾斜させてピボット８０２ａ～ｂに受け入れても受け入れなくてもよい。
【0039】
図９は、根元又は先端のサポートパッド又はパッド２１２ａ～ｄとして用いることので
きるような、サポートパッド９０２を例示的に示すものである。図９の例において、傾斜
９０６の最も高い所にサポートパッド９０２はうね９０４が設けられ、設けられたうね９
０４は、その上面に角部又は曲線部９１０のような区分可能な２つの平面部を有すること
ができる。さらに、そして非限定的例示として、図９のサポートパッド９０２の傾斜部９
０６には、付加的に１以上のうね又は識別面９１２を含めることができる。角部又は曲線
部を含むような、上部のうねは、特定の実施の形態において、フォーク部２０２に関わる
ウエハー１０２の位置決めを改善することができる。隆起した傾斜９０２により、フォー
ク部２０２に関わるウエハー１０２との接触及び芯出しを改善することができる。
きるような、サポートパッド９０２を例示的に示すものである。図９の例において、傾斜
９０６の最も高い所にサポートパッド９０２はうね９０４が設けられ、設けられたうね９
０４は、その上面に角部又は曲線部９１０のような区分可能な２つの平面部を有すること
ができる。さらに、そして非限定的例示として、図９のサポートパッド９０２の傾斜部９
０６には、付加的に１以上のうね又は識別面９１２を含めることができる。角部又は曲線
部を含むような、上部のうねは、特定の実施の形態において、フォーク部２０２に関わる
ウエハー１０２の位置決めを改善することができる。隆起した傾斜９０２により、フォー
ク部２０２に関わるウエハー１０２との接触及び芯出しを改善することができる。
【0040】
図１０は、図２に関連して図示した例示的実施の形態のような、長方形の移動クランプ
２１０が支持アーム２０４に沿うスロット１００２に沿ってフォーク部２０２に向かって
動き、図示のように、２以上の異なるタイプのウエハー１０２ａ、１０２ｂをフォーク部
２０２に物理的に結び付けることができるような、実施の形態を示す。より具体的にそし
て非限定的例示として、図１０の実施の形態において、移動クランプ２１０は、フォーク
部２０２と物理的に結び付けて、２００ｍｍウエハー又は３００ｍｍウエハーを収納する
ことが配置的に可能なように示されている。さらに、図１０においてフォーク部２０２の
最も先端に示したのは、図９に示したような先端サポートパッド９０２ａ～ｂであり、幾
何学的に異なる直径を有するウエハーとの接触を改善するために用いられる。もちろん、
参照された他のタイプのサポートパッド２１２ａ～ｄを、図１０の実施の形態に、及び／
又は、ここに説明した他の実施の形態とともに、用いることができる。
２１０が支持アーム２０４に沿うスロット１００２に沿ってフォーク部２０２に向かって
動き、図示のように、２以上の異なるタイプのウエハー１０２ａ、１０２ｂをフォーク部
２０２に物理的に結び付けることができるような、実施の形態を示す。より具体的にそし
て非限定的例示として、図１０の実施の形態において、移動クランプ２１０は、フォーク
部２０２と物理的に結び付けて、２００ｍｍウエハー又は３００ｍｍウエハーを収納する
ことが配置的に可能なように示されている。さらに、図１０においてフォーク部２０２の
最も先端に示したのは、図９に示したような先端サポートパッド９０２ａ～ｂであり、幾
何学的に異なる直径を有するウエハーとの接触を改善するために用いられる。もちろん、
参照された他のタイプのサポートパッド２１２ａ～ｄを、図１０の実施の形態に、及び／
又は、ここに説明した他の実施の形態とともに、用いることができる。
【0041】
図１１は、長方形の移動クランプ２１０よりむしろ、角のある移動クランプ２１０を採
用した、図１０に類似する実施の形態を示す。図１１の角のあるクランプ２１０は、角の
あるクランプ２１０の最も先端の角部にローラーチップ７０６ａ～ｂがある。さらに、こ
の特定の図において、先端のサポートパッド２１２ｃ～ｄにもローラーチップ３０６が含
まれる。
用した、図１０に類似する実施の形態を示す。図１１の角のあるクランプ２１０は、角の
あるクランプ２１０の最も先端の角部にローラーチップ７０６ａ～ｂがある。さらに、こ
の特定の図において、先端のサポートパッド２１２ｃ～ｄにもローラーチップ３０６が含
まれる。
【0042】
図１２は、サポートパッド２１２ｃの先端のローラーチップの実施の形態を示す。図示
した先端のローラーサポートパッド２１２ｃは、非限定的例示として図１１に示す実施の
形態で説明したような、特定の実施の形態で用いるために取り付けることができる。図１
２に示したように、ローラー１１４０には傾斜があり、フォーク部２０２に結び付いたウ
エハー１０２の中央に向かって傾いている。このようなローラーチップ１１４０は、例え
ば、５０μｍ～１５０μｍの端面厚さを有するウエハーのような、薄いナイフのような端
面を持つウエハーの端面摩擦を特に防止することができる。また、図１２に断面的に描い
たのはローラー傾斜の調整部１１４４、及び、フォーク部２０２と結び付けられたウエハ
ー１０２を位置決めするためのローラーチップ１１４０と結び付けられた位置決め機構１
１４６である。
した先端のローラーサポートパッド２１２ｃは、非限定的例示として図１１に示す実施の
形態で説明したような、特定の実施の形態で用いるために取り付けることができる。図１
２に示したように、ローラー１１４０には傾斜があり、フォーク部２０２に結び付いたウ
エハー１０２の中央に向かって傾いている。このようなローラーチップ１１４０は、例え
ば、５０μｍ～１５０μｍの端面厚さを有するウエハーのような、薄いナイフのような端
面を持つウエハーの端面摩擦を特に防止することができる。また、図１２に断面的に描い
たのはローラー傾斜の調整部１１４４、及び、フォーク部２０２と結び付けられたウエハ
ー１０２を位置決めするためのローラーチップ１１４０と結び付けられた位置決め機構１
１４６である。
【0043】
図１３は、説明したような、支持アーム２０４上にあって、ウエハー１０２と結び付け
るためのフォーク部２０２の先端部に向かって外側にクランプを動かすよう移動クランプ
２１０を動作させる例示的なクランプモーター１２１０を示す。図１３に示すように、長
方形の移動クランプ２１０が示されているが、当然のことながら、ここでの説明に照らし
て、角のある移動クランプ２１０を代わりに図１３の実施の形態に用いることができる。
るためのフォーク部２０２の先端部に向かって外側にクランプを動かすよう移動クランプ
２１０を動作させる例示的なクランプモーター１２１０を示す。図１３に示すように、長
方形の移動クランプ２１０が示されているが、当然のことながら、ここでの説明に照らし
て、角のある移動クランプ２１０を代わりに図１３の実施の形態に用いることができる。
【0044】
非限定的な例示として示されているのは、移動クランプ２１０に結合させるための、真
空シリンダのような、低摩擦アクチュエータ１２１２である。この低摩擦真空シリンダ１
２１２は、ウエハー１０２への損傷を防止又は最小限にするため小さい把持力を可能とす
ることができる。一般に、特定の実施の形態での移動クランプは、低摩擦機構を用いて動
作することができる。一例として、低摩擦駆動は、非限定的例示において、１２１ｍｍス
トロークのような長ストローク駆動とすることができるが、ストローク長はどのような長
さにすることもできる。
空シリンダのような、低摩擦アクチュエータ１２１２である。この低摩擦真空シリンダ１
２１２は、ウエハー１０２への損傷を防止又は最小限にするため小さい把持力を可能とす
ることができる。一般に、特定の実施の形態での移動クランプは、低摩擦機構を用いて動
作することができる。一例として、低摩擦駆動は、非限定的例示において、１２１ｍｍス
トロークのような長ストローク駆動とすることができるが、ストローク長はどのような長
さにすることもできる。
【0045】
さらに特定の、そして非限定的例示において、移動クランプアクチュエータ１２１２は
、シールレス設計のガラス管とグラファイトピストンの真空シリンダ（すなわち、エアポ
ット）とすることができる。このようなアクチュエータ１２１２は、２ｏｚ（５６.７ｇ
）以下のような非常に低い把持荷重も可能にすることができる。もちろん、低摩擦移動ク
ランプアクチュエータ１２１２と連動する（図１４のスライド１２２６のような）低摩擦
ローラースライドも予想されるウエハーへの損傷をさらに限定することができる。とはい
うものの、当然のことながら、電動機のような他の駆動方法１２１２をこの実施の形態に
採用することもできる。
、シールレス設計のガラス管とグラファイトピストンの真空シリンダ（すなわち、エアポ
ット）とすることができる。このようなアクチュエータ１２１２は、２ｏｚ（５６.７ｇ
）以下のような非常に低い把持荷重も可能にすることができる。もちろん、低摩擦移動ク
ランプアクチュエータ１２１２と連動する（図１４のスライド１２２６のような）低摩擦
ローラースライドも予想されるウエハーへの損傷をさらに限定することができる。とはい
うものの、当然のことながら、電動機のような他の駆動方法１２１２をこの実施の形態に
採用することもできる。
【0046】
移動クランプ２１０の把持力及び把持速度は、図１３に示すように調整制御部１２２２
により調整される。この調整制御部１２２２は、さらに、フォーク部２０２と結び付けら
れたウエハー１０２への損傷を最小限にすることができる。これにより、把持速度を制御
するために真空シリンダ１２１２への空気を測る正確な流量制御を行うような、高精度制
御部１２２２を移動クランプのストロークのために取り付けることができる。
により調整される。この調整制御部１２２２は、さらに、フォーク部２０２と結び付けら
れたウエハー１０２への損傷を最小限にすることができる。これにより、把持速度を制御
するために真空シリンダ１２１２への空気を測る正確な流量制御を行うような、高精度制
御部１２２２を移動クランプのストロークのために取り付けることができる。
【0047】
位置検出器１２２０はまた、特定の実施の形態において、移動クランプ２１０の動きに
関して取り付けることができる。移動クランプ２１０の位置は、クランプ２１０の実際の
位置ではなく、フォーク部２０２へ向かって移動クランプ２１０をスライドさせるために
用いる低摩擦ローラースライド１２２６の位置を判断することにより、直接的に又は間接
的に位置検出器１２２０により判断することができる。低摩擦スライド１２２６に沿って
又は他のトラックに沿っての移動クランプ２１０の動きにより事実上低摩擦になり、少な
くとも摩擦を最小限にすることでフォーク部２０２に結び付けられたウエハー１０２への
予想される損傷を最低限にすることができる。
関して取り付けることができる。移動クランプ２１０の位置は、クランプ２１０の実際の
位置ではなく、フォーク部２０２へ向かって移動クランプ２１０をスライドさせるために
用いる低摩擦ローラースライド１２２６の位置を判断することにより、直接的に又は間接
的に位置検出器１２２０により判断することができる。低摩擦スライド１２２６に沿って
又は他のトラックに沿っての移動クランプ２１０の動きにより事実上低摩擦になり、少な
くとも摩擦を最小限にすることでフォーク部２０２に結び付けられたウエハー１０２への
予想される損傷を最低限にすることができる。
【0048】
図１４は、ここに説明する特定の実施の形態に用いる２位置クランプモーター１２１０
のさらなる実施の形態を示す。図１３と同様に、図１４の特定の実施の形態には、低摩擦
ローラースライド１２２６、移動クランプ２１０を駆動するための１以上の低摩擦真空シ
リンダ１２１２、及び、ウエハーの損傷の可能性を最小限にするための把持速度制御部１
２２２が含まれる。
のさらなる実施の形態を示す。図１３と同様に、図１４の特定の実施の形態には、低摩擦
ローラースライド１２２６、移動クランプ２１０を駆動するための１以上の低摩擦真空シ
リンダ１２１２、及び、ウエハーの損傷の可能性を最小限にするための把持速度制御部１
２２２が含まれる。
【0049】
図１４はまた、移動クランプ２１０の位置を検出するための複数の位置検出器１２２０
ａ、ｂ、ｃを示している。非限定的例示として、第１の位置検出器１２２０ａは、移動ク
ランプ２１０が完全に後退していることを示すことができる。第２の位置移動検知器１２
２０ｂは、移動クランプ２１０が３００ｍｍウエハー１０２ａのような、第１の大きなウ
エハーと結び付いていることを示すことができる。第３の位置検出器１２２０ｃは、移動
クランプ２１０が最大限度の移動距離に到達していて、２００ｍｍウエハー１０２ｂのよ
うな、フォーク部と結び付くことができる最小の大きさのウエハーと結び付いていること
を示すことができる。
ａ、ｂ、ｃを示している。非限定的例示として、第１の位置検出器１２２０ａは、移動ク
ランプ２１０が完全に後退していることを示すことができる。第２の位置移動検知器１２
２０ｂは、移動クランプ２１０が３００ｍｍウエハー１０２ａのような、第１の大きなウ
エハーと結び付いていることを示すことができる。第３の位置検出器１２２０ｃは、移動
クランプ２１０が最大限度の移動距離に到達していて、２００ｍｍウエハー１０２ｂのよ
うな、フォーク部と結び付くことができる最小の大きさのウエハーと結び付いていること
を示すことができる。
【0050】
図１４はまた、２００ｍｍウエハー１０２ｂのような、小さなウエハーサイズに対する
後退の可能性を制限するための後退停止器１２４０を示す。後退停止器１２４０は、ここ
での説明に照らして理解できるように、後退停止器というよりむしろ走行停止器として使
われる。後退停止器１２４０は、非限定的例示として、負圧作動及び／又はばね駆動とす
ることができる。さらに、複数の後退停止器又は走行停止器を、各々、走行停止器又は後
退停止器と関連付けられた、移動クランプの異なるストローク距離を有する様々なウエハ
ータイプを支えるために含めることができる。
後退の可能性を制限するための後退停止器１２４０を示す。後退停止器１２４０は、ここ
での説明に照らして理解できるように、後退停止器というよりむしろ走行停止器として使
われる。後退停止器１２４０は、非限定的例示として、負圧作動及び／又はばね駆動とす
ることができる。さらに、複数の後退停止器又は走行停止器を、各々、走行停止器又は後
退停止器と関連付けられた、移動クランプの異なるストローク距離を有する様々なウエハ
ータイプを支えるために含めることができる。
【0051】
図１５は、図１４と同様であるが、後退停止器１２４０が伸びている。図示の通り、２
００ｍｍウエハー１０２のような大きさの小さいウエハーがフォーク部２０２と物理的に
結び付いているときに、後退停止器１２４０を伸ばすことで、支持アームハウジング２１
２へクランプを後退させる機能を制限することでクランプサイクルの距離を縮めるとがで
きる。これにより、大きさの小さいウエハーのサイクル時間を節約することができる。上
述のように、異なる大きさのウエハーのサイクル時間を節約するために、１以上の停止器
１２４０を含めることができることに注目すべきである。
００ｍｍウエハー１０２のような大きさの小さいウエハーがフォーク部２０２と物理的に
結び付いているときに、後退停止器１２４０を伸ばすことで、支持アームハウジング２１
２へクランプを後退させる機能を制限することでクランプサイクルの距離を縮めるとがで
きる。これにより、大きさの小さいウエハーのサイクル時間を節約することができる。上
述のように、異なる大きさのウエハーのサイクル時間を節約するために、１以上の停止器
１２４０を含めることができることに注目すべきである。
【0052】
従って、本開示は、複数の、例えば２つの大きさのウエハーを、エンドエフェクターの
交換を必要とせずに取扱うことができるようにすることを提示している。この能力は、一
つには、移動クランプを動作させることによりもたらされる。移動クランプは、真空パワ
ー、モーター、ばね駆動、等により駆動される。移動クランプと一体となった低摩擦ピス
トン駆動及び／又は低摩擦スライドのような、低摩擦ウエハークランピングの例示的な使
用なので、特定の実施の形態における使用で、正確な速度と低負荷が可能となり、それに
より摩擦を最小限にし、従って、ウエハーの把持を改善するにもかかわらず予測されるウ
エハーの損傷を最小限にする。
交換を必要とせずに取扱うことができるようにすることを提示している。この能力は、一
つには、移動クランプを動作させることによりもたらされる。移動クランプは、真空パワ
ー、モーター、ばね駆動、等により駆動される。移動クランプと一体となった低摩擦ピス
トン駆動及び／又は低摩擦スライドのような、低摩擦ウエハークランピングの例示的な使
用なので、特定の実施の形態における使用で、正確な速度と低負荷が可能となり、それに
より摩擦を最小限にし、従って、ウエハーの把持を改善するにもかかわらず予測されるウ
エハーの損傷を最小限にする。
【0053】
前述の器具、システム、及び方法にはまた、言及した種々のロボット機能の制御装置が
含まれる。このような制御装置には、非限定的例示として、ここで説明したロボット及び
システムと結び付けられたソフトウェアコードで実行する命令をユーザが入力できるよう
にするためのコントローラ、キーボード、マウス、タッチスクリーン、等のような１以上
のユーザインタフェースを用いたマニュアル制御装置を含めることができる。加えて、ま
た当業者によく知られているように、システム制御装置は、手動でのユーザによる操作は
、「始動」及び基準機能をプログラムするためだけになるような、すなわち、ユーザは、
説明した所定の動作及び操作手順を実行するための初期プログラム又は計算機コードのア
ップロードのみ行えばいいような、全自動とすることができる。手動による実施の形態又
は自動による実施の形態のいずれにおいても、或いはこれらの組み合わせにおいて、制御
装置は、例えば、ウエハー、支持アーム、フォーク部、その他の周知の位置に関し、プロ
グラムしておくことができる。
含まれる。このような制御装置には、非限定的例示として、ここで説明したロボット及び
システムと結び付けられたソフトウェアコードで実行する命令をユーザが入力できるよう
にするためのコントローラ、キーボード、マウス、タッチスクリーン、等のような１以上
のユーザインタフェースを用いたマニュアル制御装置を含めることができる。加えて、ま
た当業者によく知られているように、システム制御装置は、手動でのユーザによる操作は
、「始動」及び基準機能をプログラムするためだけになるような、すなわち、ユーザは、
説明した所定の動作及び操作手順を実行するための初期プログラム又は計算機コードのア
ップロードのみ行えばいいような、全自動とすることができる。手動による実施の形態又
は自動による実施の形態のいずれにおいても、或いはこれらの組み合わせにおいて、制御
装置は、例えば、ウエハー、支持アーム、フォーク部、その他の周知の位置に関し、プロ
グラムしておくことができる。
【0054】
図１６は、ここで説明した実施の形態で動作可能に採用することができ、ロボット制御
のプログラムが含まれ、従って説明した処理及びロジックを実行することができるコンピ
ュータ処理システム１４００の例示的実施の形態を示す。すなわち、この例示的コンピュ
ータシステム１４００は、ここで説明したシステム及び方法で使用することのできるシス
テムのほんの一例である。
のプログラムが含まれ、従って説明した処理及びロジックを実行することができるコンピ
ュータ処理システム１４００の例示的実施の形態を示す。すなわち、この例示的コンピュ
ータシステム１４００は、ここで説明したシステム及び方法で使用することのできるシス
テムのほんの一例である。
【0055】
コンピュータシステム１４００は、オペレーティングシステム（ＯＳ）及び１以上のコ
ンピュータアプリケーション１４９０のようなソフトウェアを実行することができる。ソ
フトウェアは、同様に、前記アプリケーション１４９０を用いて、入出力（Ｉ／Ｏ）のよ
うなハードウェアを操作及び／又は監視するのに適していることがある。
ンピュータアプリケーション１４９０のようなソフトウェアを実行することができる。ソ
フトウェアは、同様に、前記アプリケーション１４９０を用いて、入出力（Ｉ／Ｏ）のよ
うなハードウェアを操作及び／又は監視するのに適していることがある。
【0056】
例示的コンピュータシステム１４００の動作は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１
４１５、ＣＤやＤＶＤのような光ディスク（不図示）、ＵＳＢ「サムドライブ」のような
半導体ドライブ（不図示）、その他のような、コンピュータ読み取り可能記憶媒体に記憶
された命令のような、主としてコンピュータ読み取り可能な命令により制御される。この
ような命令は、コンピュータシステム１４００に開示された動作を行わせるために、中央
演算処理装置（ＣＰＵ）１４１０内で実行することができる。多くの既知のコンピュータ
サーバ、ワークステーション、ＰＬＣ、パーソナルコンピュータ、携帯装置、その他にお
いて、ＣＰＵ１４１０は、処理装置と呼ばれる集積回路に組み込まれる。
４１５、ＣＤやＤＶＤのような光ディスク（不図示）、ＵＳＢ「サムドライブ」のような
半導体ドライブ（不図示）、その他のような、コンピュータ読み取り可能記憶媒体に記憶
された命令のような、主としてコンピュータ読み取り可能な命令により制御される。この
ような命令は、コンピュータシステム１４００に開示された動作を行わせるために、中央
演算処理装置（ＣＰＵ）１４１０内で実行することができる。多くの既知のコンピュータ
サーバ、ワークステーション、ＰＬＣ、パーソナルコンピュータ、携帯装置、その他にお
いて、ＣＰＵ１４１０は、処理装置と呼ばれる集積回路に組み込まれる。
【0057】
ここに開示した実施の形態に関して説明した種々のロジック、ロジックブロック、モジ
ュール及びエンジンは、それぞれＣＰＵ１４１０として動作する、汎用ＣＰＵ、ディジタ
ル信号処理装置（ＤＳＰ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、フィールドプログラマ
ブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）その他のプログラマブルロジック装置、ディスクリートゲ
ート又はトランジスタロジック、ディスクリートハードウェア部品、又はこれらの組み合
わせのいずれかに組み込むことができ又はこれらにより実行することができる。汎用処理
装置は、マイクロプロセッサとすることができるが、代替的に、この処理装置は、どのよ
うな従来型処理装置、コントローラ、マイクロコントローラ、又は状態機械であってもよ
い。処理装置は、例えば、ＤＳＰとマイクロプロセッサとの組み合わせ、複数のマイクロ
プロセッサ、ＤＳＰコアと結合した１以上のマイクロプロセッサ、又は他のこのような構
成のような、コンピュータ装置の組み合わせとして実施することもできる。
ュール及びエンジンは、それぞれＣＰＵ１４１０として動作する、汎用ＣＰＵ、ディジタ
ル信号処理装置（ＤＳＰ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、フィールドプログラマ
ブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）その他のプログラマブルロジック装置、ディスクリートゲ
ート又はトランジスタロジック、ディスクリートハードウェア部品、又はこれらの組み合
わせのいずれかに組み込むことができ又はこれらにより実行することができる。汎用処理
装置は、マイクロプロセッサとすることができるが、代替的に、この処理装置は、どのよ
うな従来型処理装置、コントローラ、マイクロコントローラ、又は状態機械であってもよ
い。処理装置は、例えば、ＤＳＰとマイクロプロセッサとの組み合わせ、複数のマイクロ
プロセッサ、ＤＳＰコアと結合した１以上のマイクロプロセッサ、又は他のこのような構
成のような、コンピュータ装置の組み合わせとして実施することもできる。
【0058】
当然のことながら、コンピュータシステム１４００は、１つのＣＰＵ１４１０を具備す
るように示されているが、このような記載は単なる例示であり、コンピュータシステム１
４００は、複数のＣＰＵ１４１０を具備することができる。加えて、コンピュータシステ
ム１４００は、例えば、ローカル又はリモート通信ネットワーク１４７０その他のデータ
通信手段を介して、遠隔ＣＰＵ又は並列ＣＰＵ（不図示）の資源を活用することができる
。
るように示されているが、このような記載は単なる例示であり、コンピュータシステム１
４００は、複数のＣＰＵ１４１０を具備することができる。加えて、コンピュータシステ
ム１４００は、例えば、ローカル又はリモート通信ネットワーク１４７０その他のデータ
通信手段を介して、遠隔ＣＰＵ又は並列ＣＰＵ（不図示）の資源を活用することができる
。
【0059】
動作中、ＣＰＵ１４１０は、ＨＤＤ１４１５のようなコンピュータ読み取り可能記憶媒
体から命令を取り出し、解読し、実行する。このような命令は、オペレーティングシステ
ム（ＯＳ）、実行可能なプログラム／アプリケーション、等のようなソフトウェアに含め
ることができる。コンピュータ命令及びその他のコンピュータ読み取り可能データのよう
な、情報は、システムの主データ伝達経路を介してコンピュータシステム１４００の要素
間で伝達される。主データ伝達経路は、シリアル通信経路を通じて装置間でデータの通信
を行うために、シリアライザとデシリアライザとクロスバースイッチとを用いる構造のよ
うな、他のコンピュータ構造（不図示）を用いることもできるが、システムバス構造１４
０５を用いることも可能である。
体から命令を取り出し、解読し、実行する。このような命令は、オペレーティングシステ
ム（ＯＳ）、実行可能なプログラム／アプリケーション、等のようなソフトウェアに含め
ることができる。コンピュータ命令及びその他のコンピュータ読み取り可能データのよう
な、情報は、システムの主データ伝達経路を介してコンピュータシステム１４００の要素
間で伝達される。主データ伝達経路は、シリアル通信経路を通じて装置間でデータの通信
を行うために、シリアライザとデシリアライザとクロスバースイッチとを用いる構造のよ
うな、他のコンピュータ構造（不図示）を用いることもできるが、システムバス構造１４
０５を用いることも可能である。
【0060】
システムバス１４０５には、データを送信するためのデータライン、アドレスを送信す
るためのアドレスライン、割り込みを送信するため及びシステムバスを動作させるための
制御ラインを含めることができる。いくつかのバスは、拡張カード、制御装置、及びＣＰ
Ｕ１４１０からのアクセスを調整するバスアービトレーションを行う。バスに取り付けら
れバスへのアクセスを裁定する装置はバスマスタと呼ばれる。バスマスタサポートはまた
、処理装置及びサポートチップを有するバスマスタアダプタを追加することで、バスのマ
ルチプロセッサ構造を作ることができる。
るためのアドレスライン、割り込みを送信するため及びシステムバスを動作させるための
制御ラインを含めることができる。いくつかのバスは、拡張カード、制御装置、及びＣＰ
Ｕ１４１０からのアクセスを調整するバスアービトレーションを行う。バスに取り付けら
れバスへのアクセスを裁定する装置はバスマスタと呼ばれる。バスマスタサポートはまた
、処理装置及びサポートチップを有するバスマスタアダプタを追加することで、バスのマ
ルチプロセッサ構造を作ることができる。
【0061】
システムバス１４０５に接続されたメモリ装置には、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ
）４２５及びリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）１４３０を含めることができる。このよう
なメモリには、情報を記憶し取り出すことのできる回路が含まれる。ＲＯＭ１４３０は、
一般に修正することのできない記憶されたデータを有する。ＲＡＭ１４２５に記憶された
データは、一般に、ＣＰＵ１４１０その他の通信ハードウェア装置により読み取り又は変
更することができる。ＲＡＭ１４２５及び／又はＲＯＭ１４３０へのアクセスはメモリ制
御装置１４２０により制御することができる。メモリ制御装置１４２０は、命令を実行し
たとき、仮想アドレスを物理アドレスに変換するアドレス変換機能を提供することができ
る。メモリ制御装置１４２０はまた、システム内の処理を分離し、ユーザの処理からシス
テム処理を分離するメモリ保護機能も提供することができる。このように、ユーザモード
で走らせたプログラムは、通常、自分自身の処理による仮想アドレススペースでマッピン
グしたメモリにのみアクセスでき、他の処理による仮想アドレススペース内のメモリには
、処理間のメモリ共有がセットアップされていない限りアクセスすることができない。
）４２５及びリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）１４３０を含めることができる。このよう
なメモリには、情報を記憶し取り出すことのできる回路が含まれる。ＲＯＭ１４３０は、
一般に修正することのできない記憶されたデータを有する。ＲＡＭ１４２５に記憶された
データは、一般に、ＣＰＵ１４１０その他の通信ハードウェア装置により読み取り又は変
更することができる。ＲＡＭ１４２５及び／又はＲＯＭ１４３０へのアクセスはメモリ制
御装置１４２０により制御することができる。メモリ制御装置１４２０は、命令を実行し
たとき、仮想アドレスを物理アドレスに変換するアドレス変換機能を提供することができ
る。メモリ制御装置１４２０はまた、システム内の処理を分離し、ユーザの処理からシス
テム処理を分離するメモリ保護機能も提供することができる。このように、ユーザモード
で走らせたプログラムは、通常、自分自身の処理による仮想アドレススペースでマッピン
グしたメモリにのみアクセスでき、他の処理による仮想アドレススペース内のメモリには
、処理間のメモリ共有がセットアップされていない限りアクセスすることができない。
【0062】
ここに開示した特徴に関連して記載したステップ及び／又は動作は、メモリ制御装置１
４２０と通信して、性能を達成するのに必要な命令を得るために、直接ハードウェアとし
て、又は処理装置が実行するソフトウェアモジュールとして、又はこれらの組み合わせと
して実施することができる。すなわち、機能を実行しここで説明した指令を行うために記
述されたソフトウェアは、ＲＡＭメモリ、フラッシュメモリ、ＲＯＭメモリ、ＥＰＲＯＭ
メモリ、ＥＥＰＲＯＭメモリ、レジスタ、ハードディスク、リムーバブルディスク、ＣＤ
－ＲＯＭ、又は当業者に知られた他の形式の記憶媒体に記憶させることができる。これら
の例示的な記憶媒体の１以上を処理装置１４１０に接続することができ、処理装置がこの
記憶媒体から情報を読み出しこの記憶媒体に情報を記憶させることができる。代替的に、
記憶媒体を処理装置に組み込むこともできる。さらに、いくつかの局面では、処理装置及
び記憶媒体は、ＡＳＩＣ内に入れることもできる。加えて、いくつかの局面では、ステッ
プ及び／又は動作は、「フラッシュ」ドライブのようなＩ／Ｏポート１４８５を介して組
み込むことができる外部機械読み取り可能媒体及び／又はコンピュータ読み取り可能媒体
上の命令の１つ又は組み合わせ又は命令のセットとして駐在させることができる。
４２０と通信して、性能を達成するのに必要な命令を得るために、直接ハードウェアとし
て、又は処理装置が実行するソフトウェアモジュールとして、又はこれらの組み合わせと
して実施することができる。すなわち、機能を実行しここで説明した指令を行うために記
述されたソフトウェアは、ＲＡＭメモリ、フラッシュメモリ、ＲＯＭメモリ、ＥＰＲＯＭ
メモリ、ＥＥＰＲＯＭメモリ、レジスタ、ハードディスク、リムーバブルディスク、ＣＤ
－ＲＯＭ、又は当業者に知られた他の形式の記憶媒体に記憶させることができる。これら
の例示的な記憶媒体の１以上を処理装置１４１０に接続することができ、処理装置がこの
記憶媒体から情報を読み出しこの記憶媒体に情報を記憶させることができる。代替的に、
記憶媒体を処理装置に組み込むこともできる。さらに、いくつかの局面では、処理装置及
び記憶媒体は、ＡＳＩＣ内に入れることもできる。加えて、いくつかの局面では、ステッ
プ及び／又は動作は、「フラッシュ」ドライブのようなＩ／Ｏポート１４８５を介して組
み込むことができる外部機械読み取り可能媒体及び／又はコンピュータ読み取り可能媒体
上の命令の１つ又は組み合わせ又は命令のセットとして駐在させることができる。
【0063】
加えて、コンピュータシステム４００には、プリンタ１４４０、キーボード１４４５、
及びマウス１４５０のような、周辺ハードウェアその他のハードウェアにＣＰＵ１４１０
からのペリフェラルバスを用いて命令を通信する役割を担うペリフェラル制御装置１４３
５を含めることができる。ペリフェラルバスの一例がペリフェラルコンポーネントインタ
ーコネクト（ＰＣＩ）バスである。
及びマウス１４５０のような、周辺ハードウェアその他のハードウェアにＣＰＵ１４１０
からのペリフェラルバスを用いて命令を通信する役割を担うペリフェラル制御装置１４３
５を含めることができる。ペリフェラルバスの一例がペリフェラルコンポーネントインタ
ーコネクト（ＰＣＩ）バスである。
【0064】
１以上のハードウェア入／出力（Ｉ／Ｏ）装置１４８５がハードウェア制御装置１４９
０と通信することができる。このハードウェアとの通信及び制御は、種々の方法で実行す
ることができ、１以上のコンピュータバス及び／又はブリッジ及び／又はルータを含むこ
とができる。制御されるＩ／Ｏ装置には、任意の形式のポートベースのハードウェアを含
むことができ（そして、付加的にソフトウェア、ファームウェア、その他を含むことがで
き）、そして、コンピュータシステム１４００がここに開示したような目的でデータの送
受信をそこから行うことができるネットワークアダプタ及び／又は大容量記憶装置も含む
ことができる。コンピュータシステム１４００は、従って、Ｉ／Ｏ装置１４８５を介して
、及び／又は、通信ネットワーク１４７０を介して、インターネット又は他のネットワー
ク装置／ＰＬＣと通信することができる。
０と通信することができる。このハードウェアとの通信及び制御は、種々の方法で実行す
ることができ、１以上のコンピュータバス及び／又はブリッジ及び／又はルータを含むこ
とができる。制御されるＩ／Ｏ装置には、任意の形式のポートベースのハードウェアを含
むことができ（そして、付加的にソフトウェア、ファームウェア、その他を含むことがで
き）、そして、コンピュータシステム１４００がここに開示したような目的でデータの送
受信をそこから行うことができるネットワークアダプタ及び／又は大容量記憶装置も含む
ことができる。コンピュータシステム１４００は、従って、Ｉ／Ｏ装置１４８５を介して
、及び／又は、通信ネットワーク１４７０を介して、インターネット又は他のネットワー
ク装置／ＰＬＣと通信することができる。
【0065】
ディスプレイ制御装置１４５５により制御されるディスプレイ１４６０は、コンピュー
タシステム１４００により生じた視覚的出力を表示するために任意的に用いることができ
る。ディスプレイ制御装置１４５５はまた、ディスプレイを制御、さもなくばディスプレ
イと通信することができる。視覚的出力として、例えば、テキスト、グラフィック、アニ
メ化されたグラフィック、及び／又はビデオを含めることができる。ディスプレイ１４６
０は、ＣＲＴによるビデオディスプレイ、ＬＣＤによるディスプレイ、ガスプラズマによ
るディスプレイ、タッチパネル、その他として導入することができる。ディスプレイ制御
装置１４５５には、表示するために送られたビデオ信号を生成するために必要な電子部品
が含まれる。
タシステム１４００により生じた視覚的出力を表示するために任意的に用いることができ
る。ディスプレイ制御装置１４５５はまた、ディスプレイを制御、さもなくばディスプレ
イと通信することができる。視覚的出力として、例えば、テキスト、グラフィック、アニ
メ化されたグラフィック、及び／又はビデオを含めることができる。ディスプレイ１４６
０は、ＣＲＴによるビデオディスプレイ、ＬＣＤによるディスプレイ、ガスプラズマによ
るディスプレイ、タッチパネル、その他として導入することができる。ディスプレイ制御
装置１４５５には、表示するために送られたビデオ信号を生成するために必要な電子部品
が含まれる。
【0066】
さらに、コンピュータシステム１４００は、インターネットを含み又はインターネット
とアクセスすることができ、従ってここで説明した処理データを追跡及びアクセスするこ
とができる外部通信ネットワーク１４７０とコンピュータシステム１４００とを接続する
ために使うことのできる、ネットワークアダプタ１４６５を具備することができる。通信
ネットワーク１４７０は、ソフトウェア及び情報を電子的に通信及び伝達する手段を有し
、又は、ＰＳＴＮ又は携帯ネットワーク１４８０のようなものを介して、コンピュータシ
ステム１４００と間接的に接続することができる手段により、コンピュータシステム１４
００にアクセスすることができる。加えて、通信ネットワーク１４７０は、いくつかのコ
ンピュータを巻き込み、ワークロードを分担し又はタスクの実行を協同して行う、分散処
理を行うことができる。当然のことながら、図示したネットワーク接続は例示的なもので
あり、複数のコンピュータシステム１４００間で通信リンクを確立する他の手段を用いる
こともできる。
とアクセスすることができ、従ってここで説明した処理データを追跡及びアクセスするこ
とができる外部通信ネットワーク１４７０とコンピュータシステム１４００とを接続する
ために使うことのできる、ネットワークアダプタ１４６５を具備することができる。通信
ネットワーク１４７０は、ソフトウェア及び情報を電子的に通信及び伝達する手段を有し
、又は、ＰＳＴＮ又は携帯ネットワーク１４８０のようなものを介して、コンピュータシ
ステム１４００と間接的に接続することができる手段により、コンピュータシステム１４
００にアクセスすることができる。加えて、通信ネットワーク１４７０は、いくつかのコ
ンピュータを巻き込み、ワークロードを分担し又はタスクの実行を協同して行う、分散処
理を行うことができる。当然のことながら、図示したネットワーク接続は例示的なもので
あり、複数のコンピュータシステム１４００間で通信リンクを確立する他の手段を用いる
こともできる。
【0067】
当然のことながら、例示的コンピュータシステム１４００は、説明したシステム及び方
法を動作させるコンピュータ環境を示すだけであり、異なる要素及び構成を持つコンピュ
ータ環境で、ここで説明したシステム及び方法を実行することを制限するものではない。
すなわち、ここで説明した概念は種々の要素及び構成を用いる様々なコンピュータ環境で
実行することができる。
法を動作させるコンピュータ環境を示すだけであり、異なる要素及び構成を持つコンピュ
ータ環境で、ここで説明したシステム及び方法を実行することを制限するものではない。
すなわち、ここで説明した概念は種々の要素及び構成を用いる様々なコンピュータ環境で
実行することができる。
【0068】
さらに、本開示における説明は、当業者が開示された実施の形態を作り又は使用するこ
とができるようにするために提示されたものである。当業者は、本開示内容に対して様々
な変更を容易に行うことができることは明らかであり、ここで明確にした一般的な原理を
適用して、本開示内容の技術的思想又は範囲から逸脱することなく様々な変形を行うこと
ができる。従って、本開示は、ここに説明した実施例及び設計に限定することを意図する
ものではなく、ここに開示された原理及び新規な特徴と呼応する最も広い範囲とすること
を意図するものである。
とができるようにするために提示されたものである。当業者は、本開示内容に対して様々
な変更を容易に行うことができることは明らかであり、ここで明確にした一般的な原理を
適用して、本開示内容の技術的思想又は範囲から逸脱することなく様々な変形を行うこと
ができる。従って、本開示は、ここに説明した実施例及び設計に限定することを意図する
ものではなく、ここに開示された原理及び新規な特徴と呼応する最も広い範囲とすること
を意図するものである。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】