特許7664216基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　サムス　カンパニー　リミテッド　（識別番号 520236767）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7664216

公報発行日　2025年4月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7664216

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