特許 7667796 透過型電子顕微鏡カソードルミネッセンスのための装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-04-15

(45)【発行日】2025-04-23

(54)【発明の名称】透過型電子顕微鏡カソードルミネッセンスのための装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/244 20060101AFI20250416BHJP

   H01J 37/26 20060101ALI20250416BHJP

【ＦＩ】

H01J37/244

H01J37/26

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2022561202

(86)(22)【出願日】2021-04-06

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-05-25

(86)【国際出願番号】 US2021025860

(87)【国際公開番号】W WO2021207115

(87)【国際公開日】2021-10-14

【審査請求日】2024-03-25

(31)【優先権主張番号】63/006,287

(32)【優先日】2020-04-07

(33)【優先権主張国・地域又は機関】US

(73)【特許権者】

【識別番号】511314887

【氏名又は名称】ガタン インコーポレイテッド

【氏名又は名称原語表記】ＧＡＴＡＮ，ＩＮＣ．

(74)【代理人】

【識別番号】110000855

【氏名又は名称】弁理士法人浅村特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ハント、ジョン アンドリュー

(72)【発明者】

【氏名】バーティルソン、マイケル

【審査官】藤本 加代子

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１５－５０３１９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２０５９５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－１６２３５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１３－５３４６９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３３７７８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国公開特許第１０－２０１４－００４４２６１（ＫＲ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１３／０１４１８０３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１０３９９９１８５（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ３７／００－３７／３６

Ｇ０１Ｊ ３／１２

Ｇ０１Ｊ ３／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子顕微鏡中の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）試料によって発生するカソードルミネッセンス（ＣＬ）光を集光し、分析するための装置であって、
入口面を有する分光写真器であって、前記分光写真器は、光の強度の２次元画像を有する光スペクトルを作成するように構成され、前記画像の一方の軸が光の波長に対応し、他方の軸が前記分光写真器の前記入口面に入る前記光の空間座標に対応する分光写真器と、
第１のＴＥＭ試料表面から発せられた第１のＣＬ光を伝送するように構成された第１の受信端、及び前記第１のＣＬ光を前記分光写真器に結合するように構成された第１の送信端を有する第１の光ファイバー・ケーブルと、
透過したＴＥＭ電子ビームが外に出る第２のＴＥＭ試料表面から発せられた第２のＣＬ光を伝送するように構成された第２の受信端、及び前記第２のＣＬ光を前記分光写真器に結合するように構成された第２の送信端を有する第２の光ファイバー・ケーブルと
を備え、前記第１及び第２の送信端は、前記分光写真器が、前記第１の光ファイバー・ケーブルについては第１の光スペクトルを生成し、前記第２の光ファイバー・ケーブルについては別の第２の光スペクトルを生成するように配置される、装置。

【請求項2】

前記分光写真器と前記第１及び第２の光ファイバー・ケーブルとの間の開口数の不一致を低減するために継手光学系が使用される、請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記第１の光スペクトルと前記第２の光スペクトルとの間の差分を測定するために、前記第１の光スペクトルと前記第２の光スペクトルとを数学的に組み合わせる、請求項１に記載の装置。

【請求項4】

ディスプレイをさらに含み、前記測定された前記第１の光スペクトルと前記第２の光スペクトルとの間の差分をリアルタイムで前記ディスプレイに出力する、請求項３に記載の装置。

【請求項5】

前記光スペクトルの間の前記差分がチェレンコフ放射に関係する、請求項３記載の装置。

【請求項6】

前記第１及び第２の光スペクトルが、単一の撮像デバイス上に投影され、単一の画像内に個別の第１及び第２のスペクトルを形成する、請求項１に記載の装置。

【請求項7】

電子顕微鏡中の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）試料によって発生するカソードルミネッセンス（ＣＬ）光を集光し、分析するための装置であって、
電子ビームの入射に直接露出する試料表面上の、前記試料によって発せられた第１のＣＬ光を集光するように配置された第１の集光ミラーと、
前記電子ビームが前記試料から外に出る試料表面上の、前記試料によって発せられた第２のＣＬ光を集光するように配置された第２の集光ミラーと、
入口面を有する分光写真器であって、光の強度の２次元画像を有する光スペクトルを生成するように構成され、前記画像の一方の軸が光の波長に対応し、他方の軸が前記分光写真器の前記入口面に入る前記光の空間座標に対応する分光写真器と、
前記試料から前記第１の集光ミラーによって反射された前記第１のＣＬ光を伝送するように構成された第１の受信端、及び前記第１のＣＬ光を前記分光写真器に結合するように構成された第１の送信端を有する第１の光ファイバー・ケーブルと、
前記試料から前記第２の集光ミラーによって反射された前記第２のＣＬ光を伝送するように構成された第２の受信端、及び前記第２のＣＬ光を前記分光写真器に結合するように構成された第２の送信端を有する第２の光ファイバー・ケーブルと
を備え、前記分光写真器が、前記第１の光ファイバー・ケーブルについては第１の光スペクトルを生成し、前記第２の光ファイバー・ケーブルについては別の第２の光スペクトルを生成するように、前記第１及び第２の送信端が配置される、装置。

【請求項8】

前記試料から発せられた第３のＣＬ光を集光するように配置された第３の集光ミラーと、
前記試料から前記第２の集光ミラーによって反射された前記第３のＣＬ光を伝送するように構成された第３の受信端、及び前記第３のＣＬ光を前記分光写真器に結合するように構成された第３の送信端を有する第３の光ファイバー・ケーブルと
をさらに備え、前記第１の光ファイバー及び第２の光ファイバーの送信端は、前記分光写真器が、前記第１の光ファイバー・ケーブルについては第１の光スペクトルを生成し、前記第２の光ファイバー・ケーブルについては別の光スペクトルを生成し、前記第３の光ファイバー・ケーブルについては別の光スペクトルを生成するように配置される、請求項７に記載の装置。

【請求項9】

前記分光写真器と前記第１及び第２の光ファイバー・ケーブルとの間の開口数の不一致を低減するために継手光学系が使用される、請求項７に記載の装置。

【請求項10】

前記第１の光スペクトルと前記第２の光スペクトルとの間の差分を測定するために、前記第１の光スペクトルと前記第２の光スペクトルとを数学的に組み合わせる、請求項７に記載の装置。

【請求項11】

ディスプレイをさらに含み、前記測定された前記第１の光スペクトルと前記第２の光スペクトルとの間の差分をリアルタイムで前記ディスプレイに出力する、請求項１０に記載の装置。

【請求項12】

前記光スペクトルの間の前記差分がチェレンコフ放射に関係する、請求項１０に記載の装置。

【請求項13】

前記第１及び第２の光スペクトルが、単一の撮像デバイス上に投影され、単一の画像内に個別の第１及び第２のスペクトルを形成する、請求項７に記載の装置。

【発明の詳細な説明】

【背景技術】

【0001】

電子ビームやイオン・ビームなどの高エネルギー荷電粒子が試料に当たると、試料の材質によっては光子が放出されることがある。この現象はカソードルミネッセンス（ＣＬ：ＣａｔｈｏｄｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）として知られる。紫外線（ＵＶ）から可視光線を通って赤外線（ＩＲ）までの波長域におけるこれらの光子の収集及び検出は、調査中の試料に関する豊富な情報を提供することができる。ＣＬは通常、電子顕微鏡内の試料に対して、ＣＬが放出する光子を、例えば、これらのいずれか又はすべてが電子顕微鏡のビーム・カラム外に配置され得る光センサ、イメージ・アレイ、又は分光機器に誘導することによって検査される。電子顕微鏡のビーム・カラム内部は低圧に保たれており、それゆえ電子は、電子ビーム・カラム中のガスによって大きく散乱されることなく、試料まで進むことができる。集光された光は、低圧環境から光学窓を通ってＣＬ光を分析する器具に送られ得る。

【0002】

ＣＬで放出された光子を収集する一般的な方法は、電子ビーム（ｅ－ｂｅａｍ）と同軸上、試料の上方（走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で検査するバルク試料で典型的である）、下方、又は上方と下方の両方（透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で典型的である）に配置された集光ミラーによるものである。集光ミラーには、電子ビームがミラーに遮られることなく通過できるようにホールが設けられているのが一般的である。

【0003】

ＣＬ信号のスペクトル情報を詳細に分析するには、集光ミラーからのＣＬ光を、一般的には光の波長の関数としての光の強度の１次元プロットを作成するために使用される光分光器に結合する必要がある。一部の光分光器は、本明細書では「分光写真器」と呼ぶが、「イメージング分光器（ｉｍａｇｉｎｇ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）」又は「イメージング分光写真器（ｉｍａｇｉｎｇ ｓｐｅｃｔｒｏｇｒａｐｈ）」などの他の用語で呼ばれることもあり、分光写真器の入口面に入る光の２次元画像を生成する追加機能を有し、光の波長が１つの次元に沿ってマッピングされ、光が分光写真器に入った入口面に沿った位置がもう一方の次元に対応する。

【0004】

ＴＥＭでは、電子エネルギー（３０～３００ｋｅＶ）が走査型電子顕微鏡（０．５～３０ｋｅＶ）よりも格段に高くなる。ＴＥＭの試料は、電子ビームが試料をほとんど透過するくらいに十分薄く、ＣＬ光が試料の上部（電子の入射するすなわち上流の表面）と下部（下流の表面）の両方から出現することができる場合に検査される。この光を試料の上方及び下方に配置された集光ミラーから集めるＴＥＭ ＣＬ試料ホルダーが開発された。ＴＥＭの試料環境は試料及び集光ミラーに対する空間要件が厳しいので、ＣＬ光は、集光ミラーから個別の光ファイバーを介してＴＥＭ環境の外部に個別に伝達され得る。光分光器は、光ファイバーからの混合した光を分析するために使用され得る。

【0005】

ＴＥＭで使用される高エネルギー電子は、電子が試料媒質中で光の位相速度よりも速く試料中を進むため、チェレンコフ放射とも呼ばれる制動放射を発生しやすい。このチェレンコフ放射は下流方向に飛散し、したがって試料下方の集光ミラーでは十分に集光されるが、試料上方の集光ミラーではほとんど集光されない。下部ミラーからの信号から上部ミラーからの信号の倍数を差し引くことで、チェレンコフ信号の１次近似を行うことができる。チェレンコフ放射の分析は、試料の屈折率に関する情報を与え、電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ：ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｅｎｅｒｇｙ－ｌｏｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）によって同時に行われる誘電応答の特性評価の改善に利用され得る。

【0006】

いくつかの試料、例えばフォトニック・デバイスや層状材料では、チェレンコフ放射とは関係ない方向効果によって、下流方向と上流方向とで大きく異なる光分布が発生することがある。これらの差は、上部ミラーからの信号の倍数を下部ミラーからの信号から差し引くことで概算することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】励起源に起因する試料におけるカソードルミネッセンス光（ＣＬ）の発光を示す図である。

【図2】電子顕微鏡におけるバルク標本からのカソードルミネッセンス光を集光する装置の構成図である。

【図3】ＴＥＭ試料の上面及び下面からのＣＬの発光と、上流（上部）及び下流（下部）の集光ミラーでの反射と、上部及び下部の光ファイバーへの入射を示す図面である。

【図4】上流及び下流のＣＬ集光ミラーからの個別の光信号を同時に撮像するための本発明の一態様の実施例を示す図面である。

【図5】本発明の一態様の実施例に基づく、イメージング分光写真器の入口スリットの平面における、２つの分離した光ファイバーからの光の分布を示すシミュレーション画像である。

【図6A】本発明の一態様の実施例に基づく、分光写真器のカメラの平面における分離したスペクトルを示すシミュレーション画像を示す図である。

【図6B】例示的な実装による、強度対波長スペクトル及び差分スペクトルを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

当業者であれば、本発明の教示を採用すれば開発することができる、他の詳細な設計及び方法を思い出すであろう。ここで提供される実例は例示であり、添付の特許請求の範囲によって定義される本発明の範囲を限定するものではない。以下の詳細な説明は添付の図面を参照する。異なる図面における同じ参照番号は、同一又は類似の要素を示し得る。

【0009】

図１に示すように、電子ビーム１０、イオン・ビーム、又は光子ビームなどの励起ビーム源が試料にエネルギーを伝達すると、試料３０からＣＬ光が発せられ得る。放出されたＣＬ光光子３４は、試料１０の分析領域の元素特性、化学特性、又は誘電体特性に特徴的な波長と、励起源ビームに対する角度θ（ＸＹ平面）、φ（Ｚ軸を基準とする）とを有し得る。これらの特性は、波長Ｉ（λ）、角度Ｉ（θ，φ）、又は波長－角度Ｉ（λ，θ，φ）の放出光子強度（Ｉ）分布を解析することにより、かなりの情報を得ることができる。これらの分布の光学的偏光を調べることで、さらなる情報を得ることができる。

【0010】

図２は、電子顕微鏡（全体は図示せず）のポール・ピース１２を出て、バルク試料３０に誘導される電子ビーム（ｅ－ｂｅａｍ）１０を示す。電子ビーム１０が試料３０に当たる点３２において、カソードルミネッセンス（ＣＬ）光３４が発生し得る。集光ミラー２０は、ＣＬ光３４を、電子顕微鏡の外部に配置され得る検出器（図示せず）に反射するために設けられる。集光ミラー２０は、通常、電子ビーム１０を通過させるためのホール又は開口部２２を有するが、これは、ミラーがさもなければ電子ビームを遮る材料（例えば、ダイヤモンド研磨されたアルミニウム）でできていることがあるからである。集光ミラー２０によって集光されたＣＬ光３４は、試料３０に正確に合焦されると、ミラー２０の出射光軸（ラベル付けされていない）に沿ってコリメートされた光パターン３５を生成する。一般的なＣＬ器具では、集光ミラー２０で集光された光は、１つ又は複数のＣＬ分析器具へ送られる。

【0011】

本発明の実施例に合致して、図３は、上部集光ミラーホール３４４に入り、電子透明試料３３１を通過するＴＥＭ電子ビーム３１０を示している。電子ビーム３１０は、入射電子ビーム３１０が入射したところから試料３３１の表面を通過して進む上流側ＣＬ光３３２、又は入射電子ビーム３１０が入射したところとは反対側の試料３３１の表面を通過して進む下流側ＣＬ光３３３を生成し得る。試料３３１を通過した後、電子ビーム３１０の多くの部分は下部集光ミラーホール３４５を通過して存続し、ＴＥＭ撮像、ＴＥＭ回折、又は電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）などの技術を用いて透過型電子顕微鏡（図示せず）中でさらに分析され得る。

【0012】

試料の上方（上流）と下方（下流）の両方に設置した集光ミラーからＣＬ光を集めるＴＥＭ ＣＬシステムが開発された。集光ミラー３４２及び３４３は、ＴＥＭ試料ホルダーの一部であっても、試料ホルダーと別体であってもよい。ＴＥＭの試料環境は、試料３３１及び集光ミラー３４２と３４３に対する空間要件が厳しい。集光ミラー３４２及び３４３からのＣＬ光は、個別の光ファイバーを介してＴＥＭ環境の外部に引き出すことができる。実際には、集光ミラー３４２及び３４３は、試料３３１から発せられる光のすべてを集光するわけではない。集光ミラー３４２は、上流のＣＬ光３３２の一部３５２のみを上流光ファイバー３６２に送る。集光ミラー３４３は、下流のＣＬ光３３３の一部３５３のみを下流光ファイバー３６３に送る。

【0013】

本発明の一態様は、ＴＥＭ ＣＬシステムにおいて、上流集光ミラー３４２から集光された光３５２及び下流集光ミラー３４３から集光された光３５３の同時且つ個別のスペクトル測定を提供する。図４は、２つの個別の光ファイバー１６２及び１６３に含まれる光から２つの個別のスペクトル１９２及び１９３を生成する分光写真器を示す、本発明の態様の実施例の概略図である。上流光ファイバー３６２から分光写真器入力光ファイバー１６２への信号は、容易に接続し再接続することができる１つ又は複数の光ファイバー・ケーブル（図示せず）を介して結合させることができる。同様に、下流光ファイバー３６３から分光写真器入力光ファイバー１６３への信号は、容易に接続及び再接続することができる１つ又は複数の光ファイバー・ケーブル（図示せず）を介して結合させることができる。

【0014】

光ファイバー１６２及び１６３は、分光写真器へ直接つなぎ込むには最適とは言い難い開口数及び芯径を有することがあり、それゆえ、光ファイバー１６２、１６３の開口数と分光写真器の開口数との間の不一致を修正するために継手光学系１７０を使用することができる。代替的実施例では、継手光学系は使用されず、代わりに光ファイバー１６２及び１６３が、分光写真器の入口面１７６の近くに直接配置され得る。

【0015】

継手光学系１７０を通り、分光写真器の入口面１７６を通って投影される光信号１５２を伝送する光ファイバー１６２が示されている。入口スリット１７５で遮られない光信号１５２の部分は、回折格子１８０上の領域１８２を照らす。回折格子１８０は、２次元カメラ１９０の領域１９２に集中させられる、領域１８２を照らす光の波長の分散を生じる。

【0016】

同様に、継手光学系１７０を通り、分光写真器の入口面１７６を通って投影される光信号１５３を伝送する光ファイバー１６３が示されている。継手光学系１７０は、１つ又は複数のレンズ又はミラーを含むことができ、光ファイバー１６３と分光写真器との間の開口数の不一致を補償し得る。入口スリット１７５で遮られない光信号１５３の部分は、回折格子１８０上の領域１８３を照らす。回折格子１８０は、２次元カメラ１９０の領域１９３に集中させられる光の波長の分散を生じる。

【0017】

本発明の一態様の実施例では、回折格子１８０は分光写真器の無限空間中にあり、領域１８２及び領域１８３は、カメラ１９０における信号混合を起こすことなく部分的又は完全に重なり得る。

【0018】

図５は、光信号１５２（図４）からの、光信号１５２が入口スリット１７５の平面を通過するときの、本発明の一態様の実施例に基づく光線束１７２のシミュレーション画像である。同様に、図５は、光信号１５３（図４）が入口スリット１７５の平面を通過するときの、光信号１５３からの光線束１７３のシミュレーション画像を示している。例示的な実装では、光線束１７２と光線束１７３は、カメラ１９０における信号混合を防ぐようによく分離されている。

【0019】

図６ａは、本発明の一態様の実施例に基づく、カメラ１９０（図４）からのシミュレーション画像１９１を示す図である。画像領域１９２は、回折格子１８０で分散され、カメラ１９０上に集中させられた後の光信号１５２（図４）のシミュレーション画像を示す。同様に、画像領域１９３は、回折格子１８０で分散され、カメラ１９０上に集中させられた後の光信号１５３（図４）のシミュレーション画像を示す。画像領域１９２と１９３が良好に分離されていることが示されている。シミュレーション画像１９１は、カメラ１９０のイメージセンサなど２次元画素化されたデバイスに投影される画像の典型的なものであり、画素の複数の水平方向の行に編成され得る。スペクトル１９２、１９３の各々は、画素デバイスの複数の水平方向の行を有する。

【0020】

カメラ１９０は、ＸＹ平面に配列された画素を備える、電荷結合素子撮像センサ又はその他の固体の２次元撮像法であり得る。スペクトル１９２，１９３はまた、２つ以上の撮像デバイス、例えばＣＣＤセンサ及び感光板に同時に投影し得る。

【0021】

本発明の一態様の実施例に基づき、図６ｂは、画像領域１９２中の各画像行の画素の強度を同時に合計することによって計算され得る１次元の強度対波長スペクトル２９２を示す。図６ｂは、画像領域１９３中の各画像行の画素の強度を同時に合計することによって計算され得る１次元の強度対波長スペクトル２９３も示す。例示的な実装では、システム・コントローラ（図示せず）は、図６ａ及び図６ｂに示されるディスプレイなどのディスプレイへの出力を制御し得る。例えば、システム・コントローラは、強度対波長スペクトル２９２及び２９３を生成する、後述の差分スペクトル２９４を計算するなど、様々なタスクを実行するための命令を解釈し、実行し得るプロセッサ、マイクロプロセッサ又は処理論理回路を含み得る。システム・コントローラは、ハードウェア、ソフトウェア、又はハードウェアとソフトウェアの組み合わせで実装され得、本明細書に記載された動作を制御するために他のタスクを実行することがある。いくつかの実装では、システム・コントローラは、電子顕微鏡中に実装され得る。他の実装では、システム・コントローラが本明細書に記載の光学系中に実装されるなど、電子顕微鏡に対して外部に実装され得る。

【0022】

本発明の一態様の実施例に基づき、図６ｂを参照すると、スペクトル２９２は上流ミラー３４２（図３）から集光された光から作成され得、スペクトル２９３は下流ミラー３４３から集光された光から作成され得る。上流ＣＬスペクトル２９２と下流ＣＬスペクトル２９３とを個別に同時に記録する利点は、それらの差分スペクトル２９４が、例えばシステム・コントローラ／処理デバイスによって計算され、リアルタイムで表示され得ることである。本発明の一態様の実施例では、差分スペクトル２９４は、下流ＣＬスペクトル２９３から、上流ＣＬスペクトル２９２を乗じた定数を引いたものに等しい。１次近似として、定数は１に設定することができるが、収集効率の違いや、試料や光ファイバーによる伝送効率の違いを考慮して調整し得る。チェレンコフ放射が下流ＣＬスペクトル２９３と上流ＣＬスペクトル２９２との主な差分であると予見される場合には、定数は、赤／ＩＲ領域２９５における下流ＣＬスペクトル２９３の積分を、赤／ＩＲ領域２９５における上流ＣＬスペクトル２９２の積分で除した値に設定され得る。

【0023】

本発明の一態様の別の実施例では、試料の上方に複数のＣＬ集光ミラーが存在し、試料の下方に複数のＣＬ集光ミラーが存在し得る。それに応じて、上流のＣＬ光を分光器に結合する複数の光ファイバー及び／又は下流のＣＬ光を分光器に結合する複数の光ファイバーが存在することになる。これにより、上流のＣＬ光について撮像デバイスに投影されるスペクトルは複数になり、及び／又は下流のＣＬ光について撮像デバイスに投影されるスペクトルは複数になる。

【0024】

以上、本発明を詳細に説明したが、本発明は本発明の思想から逸脱することなく改変され得ることが関連技術分野の当業者には明らかであることは、明確に理解される。本発明に対しての種々の形態、デザイン、又は配置の変更は、本発明の思想及び範囲から逸脱することなく行われ得る。したがって、上述した説明は、限定的なものではなく例示的なものとみなされるべきであり、本発明の真の範囲は、以下の特許請求の範囲において定義されるものである。

【0025】

本出願明細書で使用される、いかなる要素、行為又は指示も、そのように明示的に記述されていない限り、本発明にとって重要又は必須であると解釈されるべきでない。また、本明細書で使用されるとき、冠詞「ａ」は、１つ又は複数の項目を含むことが意図されている。また、「～に基づく（ｂａｓｅｄ ｏｎ）」という表現は、特に断りのない限り、「少なくとも部分的に、～に基づく」ということを意味することが意図されている。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】