特許 7668052 液体噴射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-04-16

(45)【発行日】2025-04-24

(54)【発明の名称】液体噴射装置

(51)【国際特許分類】

   F04B 49/02 20060101AFI20250417BHJP

【ＦＩ】

F04B49/02 311

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2023559302

(86)(22)【出願日】2021-11-11

(86)【国際出願番号】 JP2021041537

(87)【国際公開番号】W WO2023084687

(87)【国際公開日】2023-05-19

【審査請求日】2024-02-20

(73)【特許権者】

【識別番号】000117009

【氏名又は名称】旭サナック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001036

【氏名又は名称】弁理士法人暁合同特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】中森 健太

(72)【発明者】

【氏名】長瀬 正宜

【審査官】岩田 健一

(56)【参考文献】

【文献】特開昭６１－１６４９９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０８－２１５６４６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｂ ４９／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を噴射するノズルと、
前記ノズルに接続されていて前記液体を加圧して前記ノズルに供給するポンプと、
前記ノズルと前記ポンプとの間に設けられて開閉されることで前記液体の流通を制御するバルブと、
前記バルブの開閉を制御するバルブ制御部であって、少なくとも前記バルブを閉止する場合に信号を出力するバルブ制御部と、
前記ポンプの駆動を制御するポンプ制御部であって、前記信号に基づいて前記液体への加圧度合いを緩めるよう前記ポンプの駆動を制御するポンプ制御部と、
前記ポンプを駆動する電動モータと、
前記電動モータを回転駆動するインバータと、を備えており、
前記ポンプは、前記電動モータの回転状態に応じて前記液体を加圧するプランジャを少なくとも有しており、
前記ポンプ制御部は、前記インバータの駆動周波数を調整することで前記電動モータの回転状態を制御し、
前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され始めるタイミングよりも後に前記バルブを閉止し、
前記ノズル及び前記バルブは、複数ずつ備えられており、
前記バルブ制御部は、前記バルブを閉止するタイミングと、前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され始めるタイミングと、の間の時間差を、前記バルブの閉止に伴って前記液体の噴射が停止される前記ノズルの数が多くなるほど、大きくする液体噴射装置。

【請求項2】

前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記インバータの駆動周波数が調整されるのに伴って低下する前記液体の圧力が０になる前のタイミングで前記バルブを閉止する請求項１に記載の液体噴射装置。

【請求項3】

液体を噴射するノズルと、
前記ノズルに接続されていて前記液体を加圧して前記ノズルに供給するポンプと、
前記ノズルと前記ポンプとの間に設けられて開閉されることで前記液体の流通を制御するバルブと、
前記バルブの開閉を制御するバルブ制御部であって、少なくとも前記バルブを閉止する場合に信号を出力するバルブ制御部と、
前記ポンプの駆動を制御するポンプ制御部であって、前記信号に基づいて前記液体への加圧度合いを緩めるよう前記ポンプの駆動を制御するポンプ制御部と、
前記ポンプを駆動する電動モータと、
前記電動モータを回転駆動するインバータと、を備えており、
前記ポンプは、前記電動モータの回転状態に応じて前記液体を加圧するプランジャを少なくとも有しており、
前記ポンプ制御部は、前記インバータの駆動周波数を調整することで前記電動モータの回転状態を制御し、
前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され始めるタイミングよりも後に前記バルブを閉止し、
前記バルブ制御部は、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整され始めてから、前記駆動周波数、前記電動モータの単位時間当たりの回転数、または経過時間が、閾値に達すると前記バルブを閉止しており、
前記バルブ、前記電動モータ及び前記インバータの少なくともいずれか１つの動作に係る動作条件に基づいて前記閾値を演算する演算部を備える液体噴射装置。

【請求項4】

前記バルブ制御部は、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整され始めてから、前記駆動周波数または前記回転数が前記閾値に達すると前記バルブを閉止する請求項３記載の液体噴射装置。

【請求項5】

前記ノズル及び前記バルブは、複数ずつ備えられており、
前記演算部は、前記バルブ制御部により閉止される前記バルブの数に基づいて前記閾値を演算し、前記バルブ制御部により閉止される前記バルブの数が多くなるほど、前記駆動周波数または前記回転数に係る前記閾値を小さくし、前記経過時間に係る前記閾値を大きくする請求項３または請求項４記載の液体噴射装置。

【請求項6】

前記演算部は、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整され終えた後での、前記ポンプから前記ノズルへと供給される前記液体の単位時間当たりの流量である第１流量を演算し、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整されるのに伴って変化する前記流量である第２流量が、前記第１流量と一致するタイミングでの前記駆動周波数、前記回転数または前記経過時間の値を、前記閾値として演算する請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の液体噴射装置。

【請求項7】

前記演算部は、前記第２流量が、前記第１流量と一致するタイミングでの前記経過時間の値を、前記閾値として演算し、演算された前記経過時間の前記閾値と、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整されるのに伴って変化する単位時間当たりの前記回転数である回転数変化率と、に基づいて、前記回転数の前記閾値を演算する請求項６記載の液体噴射装置。

【請求項8】

前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整される始める前での前記回転数の初期値に応じて異なる複数の前記回転数変化率を、前記回転数の前記初期値に紐付ける形で、複数記憶するメモリ部を備えており、
前記演算部は、前記回転数の前記初期値に基づいて、前記メモリ部に記憶された複数の前記回転数変化率の中から特定の前記回転数変化率を抽出し、抽出した前記回転数変化率に基づいて、前記回転数の前記閾値を演算する請求項７記載の液体噴射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書が開示する技術は、液体噴射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ポンプ装置の種々の密閉空間内に生じ得る圧力上昇を補償するためのシステムとして下記特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載のポンプシステムは、チャンバの容量を調整してチャンバ内の圧力上昇を補償するようにポンプ装置のポンプ手段を動作させることによって、ポンプ装置のチャンバ内の圧力上昇を補償することを可能としている。より具体的には、一実施形態において、分配チャンバ内の流体に対する不要な圧力上昇を補償するために、ピストンを戻すように分配モータを逆回転して、分配チャンバ内のあらゆる圧力上昇を補償することを可能としている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１２－１５４３３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記した特許文献１に記載されたポンプシステムは、半導体ウェハにフォトレジスト化学薬品をコーティングするのに用いられる場合に生じる課題（負の圧力スパイクに伴う化学薬品のガス化や気泡形成の促進や正の圧力スパイクに伴うポリマーの架橋の発生）を解決すべくなされたものである。その一方で、ポンプによって加圧した液体をノズルから噴射することで洗浄などを行う液体噴射装置において、ノズルへの液体の供給をバルブの開閉によって制御する場合には、バルブの閉止に伴って液体の圧力が急激に上昇し、液体の供給路などへの負荷が過大になる、という問題があった。上記した特許文献１に記載された技術ではそのような問題を解消するのが困難であった。

【0005】

本願明細書に記載の技術は、上記のような事情に基づいて完成されたものであって、液体の圧力上昇を抑制することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本願明細書に記載の技術に関わる液体噴射装置は、液体を噴射するノズルと、前記ノズルに接続されていて前記液体を加圧して前記ノズルに供給するポンプと、前記ノズルと前記ポンプとの間に設けられて開閉されることで前記液体の流通を制御するバルブと、前記バルブの開閉を制御するバルブ制御部であって、少なくとも前記バルブを閉止する場合に信号を出力するバルブ制御部と、前記ポンプの駆動を制御するポンプ制御部であって、前記信号に基づいて前記液体への加圧度合いを緩めるよう前記ポンプの駆動を制御するポンプ制御部と、を備える。

【0007】

（２）また、上記液体噴射装置は、上記（１）に加え、前記ポンプを駆動する電動モータと、前記電動モータを回転駆動するインバータと、を備えており、前記ポンプは、前記電動モータの回転状態に応じて前記液体を加圧するプランジャを少なくとも有しており、前記ポンプ制御部は、前記インバータの駆動周波数を調整することで前記電動モータの回転状態を制御してもよい。

【0008】

（３）また、上記液体噴射装置は、上記（２）に加え、前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され始めるタイミングよりも後に前記バルブを閉止してもよい。

【0009】

（４）また、上記液体噴射装置は、上記（３）に加え、前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され終えるタイミングよりも前に前記バルブを閉止してもよい。

【0010】

（５）また、上記液体噴射装置は、上記（４）に加え、前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され始めるタイミングから前記バルブを閉止するタイミングまでの時間が、前記バルブを閉止するタイミングから前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され終えるタイミングまでの時間よりも長くなるよう前記バルブを閉止してもよい。

【0011】

（６）また、上記液体噴射装置は、上記（３）から上記（５）のいずれかに加え、前記ノズル及び前記バルブは、複数ずつ備えられており、前記バルブ制御部は、前記バルブを閉止するタイミングと、前記ポンプ制御部により前記インバータの駆動周波数が調整され始めるタイミングと、の間の時間差を、前記バルブの閉止に伴って前記液体の噴射が停止される前記ノズルの数が多くなるほど、大きくしてもよい。

【0012】

（７）また、上記液体噴射装置は、上記（３）から上記（６）のいずれかに加え、前記バルブ制御部は、前記信号に基づいて前記インバータの駆動周波数が調整されるのに伴って低下する前記液体の圧力が０になる前のタイミングで前記バルブを閉止してもよい。

【0013】

（８）また、上記液体噴射装置は、上記（３）から上記（７）のいずれかに加え、前記バルブ制御部は、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整され始めてから、前記駆動周波数、前記電動モータの単位時間当たりの回転数、または経過時間が、閾値に達すると前記バルブを閉止しており、前記バルブ、前記電動モータ及び前記インバータの少なくともいずれか１つの動作に係る動作条件に基づいて前記閾値を演算する演算部を備える。

【0014】

（９）また、上記液体噴射装置は、上記（８）に加え、前記バルブ制御部は、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整され始めてから、前記駆動周波数または前記回転数が前記閾値に達すると前記バルブを閉止する。

【0015】

（１０）また、上記液体噴射装置は、上記（８）または上記（９）に加え、前記ノズル及び前記バルブは、複数ずつ備えられており、前記演算部は、前記バルブ制御部により閉止される前記バルブの数に基づいて前記閾値を演算し、前記バルブ制御部により閉止される前記バルブの数が多くなるほど、前記駆動周波数または前記回転数に係る前記閾値を小さくし、前記経過時間に係る前記閾値を大きくする。

【0016】

（１１）また、上記液体噴射装置は、上記（８）から上記（１０）のいずれかに加え、前記演算部は、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整され終えた後での、前記ポンプから前記ノズルへと供給される前記液体の単位時間当たりの流量である第１流量を演算し、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整されるのに伴って変化する前記流量である第２流量が、前記第１流量と一致するタイミングでの前記駆動周波数、前記回転数または前記経過時間の値を、前記閾値として演算する。

【0017】

（１２）また、上記液体噴射装置は、上記（１１）に加え、前記演算部は、前記第２流量が、前記第１流量と一致するタイミングでの前記経過時間の値を、前記閾値として演算し、演算された前記経過時間の前記閾値と、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整されるのに伴って変化する単位時間当たりの前記回転数である回転数変化率と、に基づいて、前記回転数の前記閾値を演算する。

【0018】

（１３）また、上記液体噴射装置は、上記（１２）に加え、前記ポンプ制御部により前記駆動周波数が調整される始める前での前記回転数の初期値に応じて異なる複数の前記回転数変化率を、前記回転数の前記初期値に紐付ける形で、複数記憶するメモリ部を備えており、前記演算部は、前記回転数の前記初期値に基づいて、前記メモリ部に記憶された複数の前記回転数変化率の中から特定の前記回転数変化率を抽出し、抽出した前記回転数変化率に基づいて、前記回転数の前記閾値を演算する。

【発明の効果】

【0019】

本願明細書に記載の技術によれば、液体の圧力上昇を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】実施形態１に係る洗浄装置における洗浄液の供給経路に関する構成を示す図

【図2】洗浄装置に備わるポンプ及びバルブの電気的構成を示すブロック図

【図3】インバータの駆動周波数及び個別洗浄液供給路における洗浄液の流量に関する経時変化を表すグラフ

【図4】個別洗浄液供給路における洗浄液の圧力に関する経時変化を表すグラフ

【図5】実施形態２に係る洗浄装置に備わるポンプ及びバルブの電気的構成を示すブロック図

【図6】洗浄液の圧力に関する経時変化を表し、バルブを閉止するタイミングを５通りとしたシミュレーション結果を示すグラフ

【図7】図６のシミュレーションにおいて経過時間を１．８ｓｅｃとした場合での、洗浄液の圧力、洗浄液の流量、電動モータの回転数、及びインバータの駆動周波数、に関する経時変化を表すグラフ

【図8】電動モータの回転数に関する経時変化を示すグラフ

【発明を実施するための形態】

【0021】

＜実施形態１＞
実施形態１を図１から図４によって説明する。本実施形態では、液体として洗浄液を噴射して洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置（液体噴射装置）１０を例示する。

【0022】

図１は、洗浄装置１０における洗浄液の供給経路に関する構成を示す図である。本実施形態に係る洗浄装置１０は、図１に示すように、半導体ウェハを研磨する研磨装置ＰＤに組み合わせて用いられるものであり、洗浄対象物が半導体ウェハを研磨する研磨パッドＰＡとされる。本実施形態に係る洗浄装置１０が組み合わせられる研磨装置ＰＤに備わる研磨パッドＰＡは、研磨対象の半導体ウェハを上下から挟み込む形で一対が配されるとともに、それぞれが半導体ウェハ側とは反対側に配される定盤（プラテン）によって高速回転可能な形で支持されている。従って、この研磨装置ＰＤを用いることで、半導体ウェハの表裏両面を同時に研磨することができる。上記のように一対で１組の研磨パッドＰＡとこれらを支持する一対の定盤などが、研磨装置ＰＤにおいて半導体ウェハを研磨する研磨部ＰＯを構成している。この研磨装置ＰＤは、２つの半導体ウェハを一括して研磨処理できるよう、２つの研磨部ＰＯを備える。

【0023】

このような構成の研磨装置ＰＤに組み合わせられる洗浄装置１０は、図１に示すように、研磨パッドＰＡを高圧洗浄するための洗浄液を噴射するノズル１１Ａを複数有するノズルヘッド１１と、洗浄液の供給源から供給される洗浄液を加圧してノズル１１Ａに供給するポンプ１２と、洗浄液の供給源からポンプ１２などを経由してノズルヘッド１１に至るまで配管される洗浄液供給路１３と、洗浄液供給路１３の途中に配されるフィルタ１４と、洗浄液供給路１３の途中に配される圧力センサ１５と、洗浄液供給路１３の途中に配される分岐部１６と、洗浄液供給路１３の途中に配されるバルブ１７と、を少なくとも備える。このうちのノズルヘッド１１は、研磨装置ＰＤに備わる２つの研磨部ＰＯに対して一対ずつ、合計４つが設置されている。詳しくは、ノズルヘッド１１は、各研磨部ＰＯに備わる４つの研磨パッドＰＡに個別に対応するよう４つが備えられており、それぞれが各研磨パッドＰＡに対して定盤側とは反対側に対向するよう配されている。各ノズルヘッド１１は、洗浄液を噴射するノズル１１Ａを複数（例えば６つ）ずつ有している。ノズル１１Ａは、ノズルヘッド１１において複数が一列にほぼ等間隔となるよう並んで配されている。ノズルヘッド１１は、搬送アームによって研磨パッドＰＡに対してその板面に沿って搬送されつつ各ノズル１１Ａから洗浄液を研磨パッドＰＡに向けて噴射するものとされる。なお、洗浄液としては、例えば超純水や純水などを用いることができる。

【0024】

ポンプ１２は、図１に示すように、インバータ・モータ駆動方式であり、後述するインバータ１９により駆動される電動モータ１８の回転状態に応じて洗浄液を加圧するプランジャ１２Ａなどを含む。つまり、本実施形態に係るポンプ１２は、容積式ポンプの一種である電動プランジャポンプである。具体的には、このポンプ１２は、３つのプランジャ１２Ａを有する３連プランジャタイプであり、各プランジャ１２Ａが、電動モータ１８からカップリング及びクランクなどを介して伝達される動力に基づいて往復運動することで、内部に洗浄液が存在する加圧部に容積変化を生じさせて洗浄液を加圧することができる。このようなインバータ・モータ駆動方式のポンプ１２によれば、加圧される洗浄液の流量を、例えば８．５Ｌ／ｍｉｎ～１７Ｌ／ｍｉｎの範囲程度とすることができ、洗浄液の流量が約６Ｌ／ｍｉｎ以下とされるエア駆動方式のポンプに比べると、洗浄液の大流量化を図る上で好適となっている。また、インバータ・モータ駆動方式のポンプ１２によれば、加圧される洗浄液の圧力を、例えば４ＭＰａ～１５ＭＰａの範囲程度とすることができる。

【0025】

洗浄液供給路１３は、加圧された洗浄液の流通に十分に耐え得る高圧ホースなどからなる。洗浄液供給路１３は、図１に示すように、洗浄液の供給源からノズルヘッド１１に至るまでの間に継手などで構成される分岐部１６によって分岐されており、洗浄液の供給源から分岐部１６に至るまで配管される共通洗浄液供給路１３Ａと、分岐部１６から各ノズルヘッド１１に至るまで配管される複数の個別洗浄液供給路１３Ｂと、を含む。共通洗浄液供給路１３Ａは、全てのノズルヘッド１１に供給される洗浄液が共通して流通されるものである。共通洗浄液供給路１３Ａの途中には、上記したポンプ１２が設けられ、それ以外にもフィルタ１４や圧力センサ１５などが設けられている。フィルタ１４は、洗浄液に含まれるコンタミネーションを濾過してノズル１１Ａの目詰まりを防止する役割を果たす。圧力センサ１５は、フィルタ１４の入口と出口の差圧を計測することができ、フィルタ１４における圧力損失を出力することができる。なお、フィルタ１４や圧力センサ１５は、次述する個別洗浄液供給路１３Ｂの途中に設けられていても構わない。個別洗浄液供給路１３Ｂは、ノズルヘッド１１の設置数と同数（４つ）が備えられており、各ノズルヘッド１１に供給される洗浄液が個別に流通されるものである。各個別洗浄液供給路１３Ｂの途中には、バルブ１７がそれぞれ設けられている。バルブ１７は、ノズルヘッド１１及び個別洗浄液供給路１３Ｂの各設置数と同数（４つ）が設けられており、個別洗浄液供給路１３Ｂを開閉して洗浄液の流通を制御することができる。バルブ１７は、例えば電磁弁により構成されており、後述するバルブ制御部２１によって開閉状態が電気的に制御されるようになっている。本実施形態では、バルブ１７として、常時閉止状態に保たれるスプリングリターン形のものを例示する。供給源から供給される洗浄液は、共通洗浄液供給路１３Ａを流通する途中でポンプ１２によって加圧されるとともにフィルタ１４によりフィルタリングされてから分岐部１６を介して各個別洗浄液供給路１３Ｂに分配される。そして、洗浄液は、各バルブ１７に開放状態のものが含まれていればその開放状態のバルブ１７が設けられた個別洗浄液供給路１３Ｂでの流通が許容されてノズルヘッド１１に到達し、そのノズルヘッド１１に備わるノズル１１Ａから噴射されるようになっている。なお、閉止状態とされるバルブ１７が含まれる場合は、閉止状態のバルブ１７が設けられた個別洗浄液供給路１３Ｂでは洗浄液が流通せず、洗浄液が流通しない個別洗浄液供給路１３Ｂに設けられたノズルヘッド１１の各ノズル１１Ａからは洗浄液が噴射することがない。

【0026】

ポンプ１２及びバルブ１７に関する電気的な構成について図２を参照しつつ説明する。図２は、洗浄装置１０に備わるポンプ１２及びバルブ１７の電気的構成を示すブロック図である。洗浄装置１０は、図２に示すように、インバータ・モータ駆動方式とされるポンプ１２を駆動する電動モータ１８と、電動モータ１８を回転駆動するインバータ１９と、インバータ１９の駆動周波数を調整するポンプ制御部２０と、バルブ１７の開閉を制御するバルブ制御部２１と、を少なくとも備える。電動モータ１８は、インバータ１９により供給される交流電流に基づいて回転駆動されるものであり、その回転力が、カップリング及びクランクなどを介してプランジャ１２Ａの往復運動の動力として用いられるようになっている。インバータ１９は、交流電源から供給される交流電流を、所定の周波数の交流電流に変換して電動モータ１８に供給することで、電動モータ１８を所定の回転速度で回転駆動するものである。インバータ１９は、電動モータ１８に供給する交流電流の周波数を任意に変更することができ、それにより電動モータ１８の回転速度を調整することができる。なお、インバータ１９は、電動モータ１８に供給する交流電流の周波数に加えて電圧についても任意に変更することが可能である。ポンプ制御部２０は、インバータ１９に信号を出力することで、インバータ１９の駆動周波数を調整し、それにより電動モータ１８の回転状態（回転速度）を制御することができる。ポンプ制御部２０は、圧力センサ１５や次述するバルブ制御部２１などから出力される信号に基づいてインバータ１９の駆動を制御するための信号を出力するものとされる。

【0027】

バルブ制御部２１は、図２に示すように、研磨装置ＰＤから出力されるスプレイ信号（信号）に基づいて複数のバルブ１７の開閉を制御するものである。詳しくは、洗浄装置１０による高圧洗浄を開始・停止するタイミングは、研磨装置ＰＤの運転状態に適合している必要があり、そのため研磨装置ＰＤは、洗浄装置１０に対して高圧洗浄を開始・停止させるためのスプレイ信号を出力している。バルブ制御部２１は、研磨装置ＰＤからスプレイ信号が出力されると、４つのバルブ１７を適宜に開閉し、それにより４つのノズルヘッド１１の中から特定のノズルヘッド１１のノズル１１Ａから選択的に洗浄液を噴射させて残りのノズルヘッド１１のノズル１１Ａにおいては洗浄液の噴射を停止させたり、全てのノズルヘッド１１のノズル１１Ａから洗浄液を噴射させたり、全てのノズルヘッド１１のノズル１１Ａにおいて洗浄液の噴射を停止させたりすることができる。本実施形態では、バルブ１７が常時閉止されるタイプのものであることから、バルブ制御部２１は、閉止された状態のバルブ１７を開放する際に開信号の出力し、開放された状態のバルブ１７を閉止する際には開信号の出力を停止することで、バルブ１７の開閉を制御する。なお、以下では４つのバルブ１７を区別する場合には、一方の研磨部ＰＯに対応して設置される一対のノズルヘッド１１に配管される個別洗浄液供給路１３Ｂに設けられるものを第１バルブ１７α及び第２バルブ１７βとし、他方の研磨部ＰＯに対応して設置される一対のノズルヘッド１１に配管される個別洗浄液供給路１３Ｂに設けられるものを第３バルブ１７γ及び第４バルブ１７σとする。

【0028】

ここで、仮にポンプがエア駆動方式であれば、内部に圧縮エアが存在するエアシリンダと、内部に洗浄液が存在するマテリアルシリンダと、一端側がエアシリンダに他端側がマテリアルシリンダにそれぞれ接続されていて進退されるピストンロッドと、を有する構成であることから、洗浄液に付与される圧力は、圧縮エアのエア圧に、ピストンロッドにおけるエアシリンダ側のピストン径と、マテリアルシリンダ側のピストン径と、の比率を乗じて算出される静止圧となる。従って、バルブ制御部によって開放していたバルブを閉止した場合でも、洗浄液の圧力が上記した静止圧以上に上昇する事態が回避されるようになっている。これに対し、本実施形態のようなインバータ・モータ駆動方式のポンプ１２においては、電動モータ１８の回転に伴って往復運動するプランジャ１２Ａによって洗浄液が加圧される構成であるため、プランジャ１２Ａの動作中にバルブ制御部２１によって開放していたバルブ１７が閉止されると、洗浄液の圧力が急激に上昇してしまい洗浄液供給路１３の耐圧を超えるおそれがある。

【0029】

その点、本実施形態に係る洗浄装置１０に備わるバルブ制御部２１は、図２に示すように、少なくともバルブ１７を閉止するのに伴って信号を出力するのに対して、ポンプ制御部２０は、バルブ制御部２１から出力される信号に基づいて洗浄液への加圧度合いを緩めるようポンプ１２の駆動を制御するようにしている。詳しくは、バルブ制御部２１は、バルブ１７の開閉に伴って信号を出力することが可能であり、特にバルブ１７を閉止する場合（開放されるバルブ１７の数が減少して閉止されるバルブ１７の数が増加する場合）には、ポンプ制御部２０に対して信号として周波数切替信号（周波数減少信号）を出力するものとされる。そして、ポンプ制御部２０は、バルブ制御部２１から出力される信号に基づいてインバータ１９の駆動周波数を調整することで電動モータ１８の回転状態を制御しており、特にバルブ制御部２１から周波数切替信号が出力された場合には、その周波数切替信号に基づいてインバータ１９の駆動周波数を減少させ、それに伴って電動モータ１８の回転速度が低下されるとともにプランジャ１２Ａを介して洗浄液に付与される圧力が低下されるようになっている。このようにすれば、プランジャ１２Ａの動作中にバルブ１７を閉止した場合であっても、バルブ１７の閉止に伴って生じ得る洗浄液の圧力の急上昇を抑制することができ、洗浄液供給路１３の耐圧を超えるような事態が生じ難くなる。

【0030】

続いて、ポンプ制御部２０及びバルブ制御部２１によるポンプ１２及びバルブ１７に係る制御の詳しいタイミングについて図３及び図４を参照しつつ説明する。具体的には、研磨装置ＰＤに備わる２つの研磨部ＰＯにおいて４つの研磨パッドＰＡを洗浄している状態から、いずれか片方の研磨部ＰＯにおいては２つの研磨パッドＰＡの洗浄を継続して行うものの、もう片方の研磨部ＰＯにおいては２つの研磨パッドＰＡの洗浄を終了する場合を想定して、ポンプ制御部２０及びバルブ制御部２１によってポンプ１２及びバルブ１７を制御する場合を説明する。図３は、インバータ１９の駆動周波数及び個別洗浄液供給路１３Ｂにおける洗浄液の流量（１つのノズル１１Ａ当たりの洗浄液の流量）に関する経時変化を表すグラフである。図３に示される実線のグラフが、個別洗浄液供給路１３Ｂにおける洗浄液の流量に関する経時変化を表すのに対し、図３に示される一点鎖線のグラフが、インバータ１９の駆動周波数に関する経時変化を表す。図４は、個別洗浄液供給路１３Ｂにおける洗浄液の圧力（ノズル１１Ａから噴射される洗浄液の噴射圧力）に関する経時変化を表すグラフである。図３及び図４における横軸は、いずれも研磨装置ＰＤからスプレイ信号が出力されてからの経過時間（単位は「ｓｅｃ」）を示しており、１目盛が１ｓｅｃに相当する。図３における左側の縦軸は、インバータ１９の駆動周波数（単位は「Ｈｚ」）を、図３における右側の縦軸は、洗浄液の流量（単位は「Ｌ／ｍｉｎ」）を、それぞれ示す。図４の縦軸は、洗浄液の圧力（単位は「ＭＰａ」）を示す。

【0031】

まず、図３及び図４の各横軸における時点Ｔ_０（駆動周波数の切り替え開始時点）において、研磨装置ＰＤからスプレイ信号が出力される。このスプレイ信号は、バルブ制御部２１に、開放状態とされる４つのバルブ１７のうち、２つのバルブ１７（例えば、第１バルブ１７α及び第２バルブ１７βと、第３バルブ１７γ及び第４バルブ１７σと、のうちの一方）については開放状態に保つものの、残りの２つのバルブ１７（例えば、第１バルブ１７α及び第２バルブ１７βと、第３バルブ１７γ及び第４バルブ１７σと、のうちの他方）については閉止させるためのものである。すると、バルブ制御部２１は、バルブ１７の閉止を実行する前に、上記したスプレイ信号に基づいてポンプ制御部２０に向けて周波数切替信号（周波数調整信号）を出力する。ポンプ制御部２０は、バルブ制御部２１から出力された周波数切替信号に基づいてインバータ１９の駆動周波数の切り替え（調整）を開始する。具体的には、ポンプ制御部２０は、切り替え前の状態（４つのバルブ１７が開放された状態）では約７２Ｈｚとされるインバータ１９の駆動周波数を、周波数切替信号に基づいて約３６Ｈｚ、つまり切り替え前の約半分となるよう切り替える。切り替え前後におけるインバータ１９の駆動周波数の比率は、切り替え前後における開放状態のバルブ１７の数の比率と一致している。インバータ１９の駆動周波数の切り替えを瞬時に行うことは困難であり、切り替えには所定の時間を要する。具体的には、時点Ｔ_０においてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数の切り替えが開始されると、駆動周波数は、図３に示すように、時間の経過に伴って連続的に漸次減少するよう変化し、所定の時間（例えば、約３ｓｅｃ）が経過した時点Ｔ_２（駆動周波数の切り替え終了時点）に至ると、目的の値（約３６Ｈｚ）となる。このように、インバータ１９の駆動周波数が減少するのに伴い、電動モータ１８の回転速度が低下されるとともにプランジャ１２Ａを介して洗浄液に付与される圧力が低下されることになる。

【0032】

そして、バルブ制御部２１は、図３及び図４に示すように、上記した時点Ｔ_０と時点Ｔ_２との間の時点Ｔ_１（バルブ閉止時点）において、４つのバルブ１７のうちの２つのバルブ１７を閉止している。つまり、バルブ制御部２１は、周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングである時点Ｔ_０よりも後のタイミングで且つ周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され終えるタイミングである時点Ｔ_２よりも前のタイミングでバルブ１７を閉止する。ここで、仮に時点Ｔ_０においてバルブ制御部によりバルブ１７を閉止した場合には、未だインバータ１９の駆動周波数が殆ど減少していないため、同駆動周波数が十分に減少するまでの間の短い時間ではあるものの、バルブ１７の閉止に伴って洗浄液の圧力が急激に上昇するおそれがある。その点、上記したように時点Ｔ_０よりも後にバルブ制御部２１によりバルブ１７が閉止されるので、インバータ１９の駆動周波数の切り替えにある程度の時間がかかっても、バルブ１７が閉止される時点Ｔ_１では、インバータ１９の駆動周波数が十分に減少されている。従って、バルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇（オーバーシュート）が生じ難くなっている。具体的には、洗浄液の圧力は、図４に示すように、バルブ１７が閉止されるのに伴って上昇しても最大でも１５ＭＰａ程度に抑制されており、許容し得る洗浄液の圧力に係る上限値である２０ＭＰａに到達することがない。また、仮に時点Ｔ_２でバルブ制御部によりバルブ１７を閉止した場合には、インバータ１９の駆動周波数が減少されるに伴う洗浄液の圧力低下が過度になってしまって開放状態のバルブ１７に接続されたノズル１１Ａからの洗浄液の噴射圧力が著しく低下するおそれがあり、またバルブ１７を閉止するのに伴って各ノズル１１Ａからの洗浄液の噴射状態を切り替えるのに要する時間がかかり過ぎてしまうきらいがある。それに比べて、上記したように時点Ｔ_２よりも前にバルブ制御部２１によりバルブ１７が閉止されるので、インバータ１９の駆動周波数を減少させるに伴う洗浄液の圧力低下が過度になるのが抑制されて開放状態のバルブ１７に接続されたノズル１１Ａからの洗浄液の噴射圧力を十分に保つことができ、またバルブ１７を閉止するのに伴って各ノズル１１Ａからの洗浄液の噴射状態を切り替えるのに要する時間が短縮化される。特に、バルブ制御部２１によりバルブ１７が閉止されるタイミングは、図４に示すように、インバータ１９の駆動周波数が減少するのに伴って低下する洗浄液の圧力が０になる前（具体的には、６ＭＰａよりも大きい値）とされているので、洗浄液の圧力が０になった場合に行われる洗浄装置１０の緊急停止を回避することができ、その上でバルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇を生じ難くすることができる。

【0033】

また、バルブ制御部２１は、図３及び図４に示すように、周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングである時点Ｔ_０からバルブ１７を閉止するタイミングである時点Ｔ_１までの時間が、バルブ１７を閉止するタイミングである時点Ｔ_１からポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数の切り替えが終了し、洗浄液の圧力が変動し終えるタイミングである時点Ｔ_２までの時間よりも長くなるよう、バルブ１７を閉止している。具体的には、上記した時点Ｔ_０から時点Ｔ_１に至るまでの時間が約２ｓｅｃとされるのに対し、時点Ｔ_１から時点Ｔ_２に至るまでの時間が約１ｓｅｃとされている。従って、時点Ｔ_０から時点Ｔ_１に至るまでの時間（約２ｓｅｃ）が、時点Ｔ_０から時点Ｔ_２に至る（インバータ１９の駆動周波数の切り替えを開始してから終了し、洗浄液の圧力が変動し終える）までの時間（約３ｓｅｃ）に占める割合（約６６．７％）が十分に大きくなっており、それによりバルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇がより生じ難くなる。上記した割合が大きくなるほど、バルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇がより好適に抑制される傾向にある。以上により、バルブ１７の閉止に伴って上昇する洗浄液の圧力に係る最大瞬間圧力（ピーク圧力）が約１５ＭＰａ程度に抑制される。これにより、バルブ１７の閉止に伴って上昇する洗浄液の圧力に係る最大瞬間圧力が、製品に応じて異なる各仕様に依る規定の圧力値以内に調整されるようになっている。一方で、時点Ｔ_１から時点Ｔ_２に至るまでの時間（約１ｓｅｃ）が、時点Ｔ_０から時点Ｔ_２に至るまでの時間（約３ｓｅｃ）に占める割合（約３３．３％）が十分に小さくなっており、それによりバルブ１７の閉止に伴って各ノズル１１Ａからの洗浄液の噴射状態を切り替えるのに要する時間がより短縮化される。以上のように、バルブ１７の閉止に伴って上昇する洗浄液の圧力に係る最大瞬間圧力を、製品に応じて異なる各仕様に依る規定の圧力値以内にするには、時点Ｔ_０から時点Ｔ_１に至るまでの時間や時点Ｔ_１から時点Ｔ_２に至るまでの時間を適切に制御するのが有効である。

【0034】

これまでの説明では、バルブ制御部２１が、切り替え前に開放状態とされる４つのバルブ１７の中から２つのバルブ１７を閉止する場合について例示したが、切り替え前に開放状態とされるバルブ１７の数と、閉止されるバルブ１７の数と、については適宜に変更することが可能である。例えば、切り替え前に開放状態とされるバルブ１７の数が４つとされていて、バルブ制御部２１によって全てのバルブ１７を閉止するようにしてもよい。このように４つのバルブ１７を閉止する場合は、バルブ制御部２１は、バルブ１７を閉止するタイミングと、ポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングと、の間の時間差が、２つのバルブ１７を閉止する場合における時間差（約２ｓｅｃ）よりも大きくなるようにするのが下記の観点から好ましい。すなわち、閉止されるバルブ１７の数が多くなって洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数が多くなると、バルブ１７の閉止に起因する洗浄液の圧力がより急激に上昇し易くなる傾向にある。これに対し、閉止されるバルブ１７の数が多くなるほど、バルブ１７を閉止するタイミングと、ポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングと、の間の時間差を大きくすれば、インバータ１９の駆動周波数の切り替えに十分な時間をかけることができてバルブ１７の閉止に起因する圧力の急激な上昇をより好適に抑制することができるのである。なお、バルブ制御部２１によって閉止されるバルブ１７の数が３つの場合には、上記した時間差を、閉止されるバルブ１７の数が４つの場合よりも小さくし且つ閉止されるバルブ１７の数が２つの場合よりも大きくすればよい。また、バルブ制御部２１によって閉止されるバルブ１７の数が１つの場合には、上記した時間差を、閉止されるバルブ１７の数が２つの場合よりも小さくすればよい。

【0035】

以上説明したように本実施形態の洗浄装置（液体噴射装置）１０は、洗浄液（液体）を噴射するノズル１１Ａと、ノズル１１Ａに接続されていて洗浄液を加圧してノズル１１Ａに供給するポンプ１２と、ノズル１１Ａとポンプ１２との間に設けられて開閉されることで洗浄液の流通を制御するバルブ１７と、バルブ１７の開閉を制御するバルブ制御部２１であって、少なくともバルブ１７を閉止する場合に周波数切替信号（信号）を出力制御するバルブ制御部２１と、ポンプ１２の駆動を制御するポンプ制御部２０であって、周波数切替信号に基づいて洗浄液への加圧度合いを緩めるようポンプ１２の駆動を制御するポンプ制御部２０と、を備える。

【0036】

このようにすれば、ポンプ制御部２０によって駆動が制御されるポンプ１２により加圧された洗浄液がノズル１１Ａから噴射される。ノズル１１Ａとポンプ１２との間に設けられるバルブ１７は、バルブ制御部２１によって開閉が制御され、それに伴って洗浄液の流通が制御される。そして、バルブ制御部２１は、少なくともバルブ１７を閉止するのに伴って周波数切替信号を出力するのに対し、ポンプ制御部２０は、バルブ制御部２１からバルブ１７を閉止するのに伴って出力される周波数切替信号に基づいて洗浄液への加圧度合いを緩めるようポンプ１２を駆動する。これにより、バルブ１７の閉止に伴って生じ得る洗浄液の圧力の急上昇を抑制することができる。

【0037】

また、ポンプ１２を駆動する電動モータ１８と、電動モータ１８を回転駆動するインバータ１９と、を備えており、ポンプ１２は、電動モータ１８の回転状態に応じて洗浄液を加圧するプランジャ１２Ａを少なくとも有しており、ポンプ制御部２０は、インバータ１９の駆動周波数を調整することで電動モータ１８の回転状態を制御する。このようにすれば、ポンプ制御部２０によってインバータ１９の駆動周波数を調整することで、電動モータ１８の回転状態が制御され、電動モータ１８の回転状態に応じてプランジャ１２Ａによる洗浄液の加圧度合いが制御される。このようなインバータ・モータ駆動方式のポンプ１２は、例えばエア駆動方式のポンプ１２を用いる場合に比べると、ノズル１１Ａに供給する洗浄液の大流量化を図る上で好適となる。その反面、インバータ・モータ駆動方式のポンプ１２においては、バルブ１７を閉止したときに洗浄液の圧力が急激に上昇しがちとなるものの、ポンプ制御部２０は、バルブ制御部２１からバルブ１７を閉止するのに伴って出力される周波数切替信号に基づいてインバータ１９の駆動周波数を減少させることで電動モータ１８の回転速度を低下させる。これにより、ポンプ１２のプランジャ１２Ａによる洗浄液への加圧度合いを緩められるので、洗浄液の圧力の急激な上昇を抑制することができる。

【0038】

また、バルブ制御部２１は、周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングよりも後にバルブ１７を閉止する。上記のようなインバータ・モータ駆動方式のポンプ１２においては、ポンプ制御部２０によるインバータ１９の駆動周波数の調整にある程度の時間がかかるため、仮にポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングでバルブ制御部によりバルブ１７を閉止した場合には、短時間ではあるものの洗浄液の圧力が急激に上昇するおそれがある。その点、上記のように周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングよりも後にバルブ制御部２１によりバルブ１７を閉止することで、インバータ１９の駆動周波数の調整にある程度の時間がかかっても、バルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇が生じ難くなる。

【0039】

また、バルブ制御部２１は、周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され終えるタイミングよりも前にバルブ１７を閉止する。このようにすれば、仮にポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され終えるタイミングでバルブ制御部によりバルブ１７を閉止した場合に比べると、インバータ１９の駆動周波数を減少させるに伴う洗浄液の圧力低下が過度になるのが抑制されるとともに、バルブ１７の閉止に伴うノズル１１Ａからの洗浄液の噴射状態の切り替えに要する時間が短縮化される。

【0040】

また、バルブ制御部２１は、周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングからバルブ１７を閉止するタイミングまでの時間が、バルブ１７を閉止するタイミングからポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され終えるタイミングまでの時間よりも長くなるようバルブ１７を閉止する。このようにすれば、周波数切替信号に基づいてポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めてからバルブ１７が閉止されるまでの時間が、インバータ１９の駆動周波数の調整に要する時間に占める割合が十分に大きいので、バルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇がより生じ難くなる。これにより、バルブ１７の閉止に伴って上昇する洗浄液の圧力に係る最大瞬間圧力が、製品に応じて異なる各仕様に依る規定の圧力値以内に調整されるようになっている。また、バルブ１７が閉止されてからポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され終えて洗浄液の圧力が変動し終えるまでの時間が、インバータ１９の駆動周波数の調整に要する時間に占める割合が十分に小さいので、バルブ１７の閉止に伴うノズル１１Ａからの洗浄液の噴射状態の切り替えに要する時間がより短縮化される。

【0041】

また、ノズル１１Ａ及びバルブ１７は、複数ずつ備えられており、バルブ制御部２１は、バルブ１７を閉止するタイミングと、ポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングと、の間の時間差を、バルブ１７の閉止に伴って洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数が多くなるほど、大きくする。バルブ１７の閉止に伴って洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数が多い場合と、バルブ１７の閉止に伴って洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数が少ない場合と、を比べると、前者の方が後者よりもバルブ１７の閉止に起因する洗浄液の圧力がより急激に上昇し易くなる傾向にある。その点、バルブ制御部２１は、バルブ１７を閉止するタイミングと、ポンプ制御部２０によりインバータ１９の駆動周波数が調整され始めるタイミングと、の間の時間差を、バルブ１７の閉止に伴って洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数に応じて変化させていて、洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数が多くなるほど上記した時間差を大きくしているので、インバータ１９の駆動周波数の調整に十分な時間をかけることができてバルブ１７の閉止に起因する圧力の急激な上昇をより好適に抑制することができる。

【0042】

また、バルブ制御部２１は、周波数切替信号に基づいてインバータ１９の駆動周波数が調整されるのに伴って低下する洗浄液の圧力が０になる前のタイミングでバルブ１７を閉止する。洗浄液の圧力が０になると当該洗浄装置１０が緊急停止するおそれがある。その点、上記したようにバルブ制御部２１は、周波数切替信号に基づいてインバータ１９の駆動周波数が調整されるのに伴って低下する洗浄液の圧力が０になる前のタイミングでバルブ１７を閉止するようにしているから、当該洗浄装置１０の緊急停止を回避しつつ、バルブ１７の閉止に伴う洗浄液の圧力の急激な上昇を生じ難くすることができる。

【0043】

＜実施形態２＞
実施形態２を図５から図８によって説明する。この実施形態２では、バルブ制御部１２１によるバルブ１１７に係る制御などを変更した場合を示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

【0044】

本実施形態に係る洗浄装置１１０は、図５に示すように、バルブ制御部１２１により参照されるデータが記憶されたメモリ部２２を備える。メモリ部２２に記憶されたデータに関しては、後に詳しく説明する。バルブ制御部１２１には、インバータ１１９の駆動周波数がフィードバックされるとともに、電動モータ１１８の回転数がフィードバックされるようになっている。電動モータ１１８の回転数は、回転計によって計測してもよいが、バルブ制御部１２１により自動計算してもよい。さらには、バルブ制御部１２１には、ポンプ１１２からノズル１１Ａに至る経路である洗浄液供給路１３（図１を参照）に存在する洗浄液の圧力（水圧）が、圧力センサ１１５によりフィードバックされるようになっている。

【0045】

バルブ制御部１２１は、メモリ部２２のデータ、インバータ１１９の駆動周波数、電動モータ１１８の回転数、及び洗浄液の圧力を適宜に利用してバルブ１１７に係る制御を行う。つまり、バルブ制御部１２１は、開放していたバルブ１１７を閉止する場合、メモリ部２２のデータ、インバータ１１９の駆動周波数、電動モータ１１８の回転数、及び洗浄液の圧力のうちの少なくとも１つに基づいて、バルブ１１７を閉止するタイミングを決定している。具体的には、バルブ制御部１２１は、ポンプ制御部１２０によりインバータ１１９の駆動周波数が調整され始めてから、駆動周波数、電動モータ１１８の単位時間当たりの回転数、または経過時間が、閾値に達するとバルブ１１７を閉止する。バルブ制御部１２１は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整され始めてから、経過時間が閾値に達するとバルブ１１７を閉止してもよいが、駆動周波数または回転数が閾値に達するとバルブ１１７を閉止してもよい。そして、洗浄装置１１０は、バルブ１１７、電動モータ１１８及びインバータ１１９の少なくともいずれか１つの動作に係る動作条件に基づいて、閾値を演算する演算部２３を備える。演算部２３は、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数に基づいて閾値を演算し、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数が多くなるほど、駆動周波数または回転数に係る閾値を小さくし、経過時間に係る閾値を大きくしてもよい。

【0046】

上記した演算部２３に閾値の演算をどのように行わせるか、を検討するため、バルブ１１７を閉止するタイミングに関するシミュレーションを行った。当該シミュレーションについて図６を参照して説明する。図６は、洗浄液の圧力に関する経時変化を表すグラフであり、バルブ１１７を閉止するタイミングを５通りとしたシミュレーション結果を示す。当該シミュレーションでは、駆動周波数の切り替えが開始される時点Ｔ_０から、バルブ１１７を閉止するまでの経過時間をそれぞれ、１．６ｓｅｃ、１．８ｓｅｃ、２ｓｅｃ、２．６ｓｅｃ、３ｓｅｃの５通りとした。図６の横軸は、時間（単位は「ｓｅｃ」）を示し、１目盛が１ｓｅｃに相当する。図６の横軸には、駆動周波数の切り替えが開始される時点Ｔ_０と、駆動周波数の切り替えが終了した時点Ｔ_２と、が示されている。図６の縦軸は、洗浄液の圧力（単位は「ＭＰａ」）を示し、１目盛が０．５ＭＰａに相当する。なお、当該シミュレーションでは、４つのバルブ１１７を開放した状態から、２つのバルブ１１７を閉止し、残りの２つのバルブ１１７を開放状態に保つようにした。また、インバータ１１９の駆動周波数は、時点Ｔ_０では６４Ｈｚとされ、そこから３２．３Ｈｚへと変化させている。また、洗浄液の単位時間当たりの総流量（１つのバルブ１１７あたりの流量に、開放されたバルブ１１７の数を乗算した流量の合計）は、４つのバルブ１１７が開放されている時点Ｔ_０において１８Ｌ／ｍｉｎとされ、２つのバルブ１１７が開放されている時点Ｔ_２において９Ｌ／ｍｉｎとされる。つまり、開放された１つのバルブ１１７を通してノズル１１Ａに供給される洗浄液の単位時間当たりの流量（１つのバルブ１１７当たりの流量）は、４．５Ｌ／ｍｉｎとされる。また、洗浄液の圧力については、基準値である１０ＭＰａに保たれるようにしている。

【0047】

シミュレーションの結果について説明する。図６によれば、駆動周波数の切り替えが開始されてからバルブ１１７を閉止するまでの経過時間を１．６ｓｅｃとした場合は、バルブ１１７を閉止するのに伴って洗浄液の圧力が一時的に基準値である１０ＭＰａを超えて１１ＭＰａに達した。つまり、経過時間が１．６ｓｅｃでは、バルブ１１７の閉止に起因する洗浄液の圧力の急激な上昇（オーバーシュート）が生じることが分かった。一方、経過時間を１．８ｓｅｃ、２ｓｅｃ、２．６ｓｅｃ、３ｓｅｃとした場合は、いずれも洗浄液の圧力が一時的に１０ＭＰａを超えること（オーバーシュート）が避けられた。この中では、経過時間が最も短い１．８ｓｅｃとした場合が下記の観点から好ましい。すなわち、経過時間を１．８ｓｅｃとすれば、インバータ１１９の駆動周波数を減少させるのに伴う洗浄液の圧力低下が最も抑制されるとともに、バルブ１１７を閉止するのに伴って各ノズル１１Ａからの洗浄液の噴射状態を切り替えるのに要する時間が最も短縮化される。なお、経過時間を１．８ｓｅｃよりも短くすると、洗浄液の圧力のオーバーシュートが発生することが懸念される。

【0048】

上記したシミュレーションの結果によれば、駆動周波数の切り替えが開始されてからバルブ１１７を閉止するまでの経過時間を１．８ｓｅｃとするのが、洗浄液の圧力低下を抑制し、洗浄液の噴射状態を切り替えるのに要する時間を短縮化する上では、最も好ましいことが分かった。しかしながら、洗浄装置１１０の使用条件によっては、経過時間が１．８ｓｅｃであっても、洗浄液の圧力のオーバーシュートが発生するおそれがある。上記した「洗浄装置１１０の使用条件」には、例えば、切り替え直前におけるインバータ１１９の駆動周波数や電動モータ１１８の回転数の数値、ポンプ１１２及び電動モータ１１８の能力（例えば、仕様上許容される最大駆動周波数や最大回転数など）、１つのノズルヘッド１１に備わるノズル１１Ａの数などが含まれる。そこで、洗浄装置１１０の使用条件によらず、洗浄液の圧力のオーバーシュートが発生するのを回避できる汎用的な条件について下記のように考察した。すなわち、洗浄液の圧力のオーバーシュートは、バルブ１１７が閉止された時点での、ポンプ１１２からノズル１１Ａに至る経路に存在する洗浄液の流量が、駆動周波数の切り替えが終了した時点Ｔ_２での、ポンプ１１２からノズル１１Ａに至る経路に存在する洗浄液の流量よりも多い場合に発生すると考えられる。

【0049】

続いて、洗浄液の総流量及び圧力に関する検証を行った。当該検証では、洗浄液の総流量及び圧力を、電動モータ１１８の回転数に基づいて計算した。その結果を図７に示す。図７は、上記したシミュレーションにおいて経過時間を１．８ｓｅｃとした場合での、洗浄液の圧力、洗浄液の総流量、電動モータ１１８の回転数、及びインバータ１１９の駆動周波数、に関する経時変化を表すグラフである。図７の横軸は、時間（単位は「ｓｅｃ」）を示し、１目盛が１ｓｅｃに相当する。図７の横軸には、駆動周波数の切り替えが開始される時点Ｔ_０と、バルブ１１７が閉止される時点Ｔ_１と、駆動周波数の切り替えが終了した時点Ｔ_２と、が示されている。図７の縦軸は、洗浄液の圧力（単位は「ＭＰａ」）、単位時間当たりの洗浄液の総流量（単位は「Ｌ／ｍｉｎ」）、電動モータ１１８の回転数（単位は「ｒｐｓ」）、及びインバータ１１９の駆動周波数を示す。図７の縦軸において、１目盛が、１ＭＰａ、１Ｌ／ｍｉｎ、及び１ｒｐｓに相当する。図７には、洗浄液の圧力に関しては、回転計による計測値（実測値）と、電動モータ１１８の回転数に基づいて計算された計算値（予測値）と、がそれぞれ実線にて示されている。洗浄液の圧力の計算値は、バルブ１１７を閉めなかった場合の数値であり、電動モータ１１８の回転数等に基づいて計算されている。

【0050】

具体的には、ある時点（元）の洗浄液の流量と圧力をそれぞれ「Ｌ_０」、「Ｐ_０」とし、ある時点よりも後の時点の洗浄液の流量と圧力をそれぞれ「Ｌ_１」、「Ｐ_１」としたとき、下記の数式（１）が得られる。なお、流量Ｌ_０及び圧力Ｐ_０は、実測または計算により得られた既知の数値であるのに対し、流量Ｌ_１及び圧力Ｐ_１は、計算により得られる予測値である。一方、ある時点よりも後の時点の電動モータ１１８の回転数を「ｒ」とし、ポンプ１１２の能力に応じた固有係数を「Ｃ」としたとき、下記の数式（２）が得られる。ポンプ１１２の固有係数Ｃは、インバータ１１９の駆動周波数を、洗浄液の流量で除した比率である。また、ポンプ１１２の固有係数Ｃは、電動モータ１１８の回転数を、洗浄液の流量で除した上で、１０で除した比率であるとも言える。数式（２）の流量Ｌ_１に数式（１）の右辺を代入して変形することで、下記の数式（３）が得られる。数式（３）を用いることで、ある時点よりも後の時点の圧力Ｐ_１、つまり圧力の予測値を計算することができる。なお、本実施形態に係るポンプ１１２の固有係数Ｃの具体的な数値は、例えば３．５１とされるが、当該数値はポンプ１１２の能力に応じて異なる。また、図７に示される洗浄液の総流量は、電動モータ１１８の回転数に基づいて計算された計算値（予測値）である。図７において、洗浄液の総流量に係る実線で示されるデータは、経過時間が１．８ｓｅｃのタイミングでバルブ１１７を閉止した場合を示し、洗浄液の総流量に係る二点鎖線で示されるデータは、バルブ１１７を閉止しなかった場合を示す。

【0051】

【数1】

【0052】

［数２］ ｒ＝Ｌ_１・１０・Ｃ （２）

【0053】

［数３］ Ｐ_１＝（ｒ／１０・Ｃ・Ｌ_０）^２・１０ （３）

【0054】

図７の結果について説明する。図７によれば、洗浄液の総流量は、インバータ１１９の駆動周波数及び電動モータ１１８の回転数よりも高い変化率でもって下降（変化）することが分かった。つまり、インバータ１１９の駆動周波数の切り替えが終了する時点（駆動周波数が目標の数値に達する時点）Ｔ_２よりも前に、洗浄液の総流量は、切り替え後の目標の数値（９Ｌ／ｍｉｎ）に達することが分かった。一方、洗浄液の圧力の計算値は、計測値よりも高い変化率でもって下降（変化）することが分かった（時点Ｔ_０から時点Ｔ_１までの期間の圧力を参照）。また、洗浄液の圧力の計算値は、インバータ１１９の駆動周波数及び電動モータ１１８の回転数よりも高い変化率でもって下降することも分かった。

【0055】

以上の検証結果に基づき、本実施形態に係る演算部２３は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整され終えた後（時点Ｔ_２以降）での、ポンプ１１２からノズル１１Ａへと供給される洗浄液の単位時間当たりの流量である第１流量を演算し、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する流量である第２流量が、第１流量と一致するタイミングでの駆動周波数、回転数または経過時間の値を、閾値として演算する。演算部２３により演算される第１流量は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する流量の目標値（図７での検証では９Ｌ／ｍｉｎ）であると言える。ここで、洗浄液の流量及び圧力の変化率は、前段落に記載の検証結果の通り、インバータ１１９の駆動周波数及び電動モータ１１８の回転数の変化率よりも高い（図７を参照）。そこで、演算部２３は、目標値である第１流量を演算した上で、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する流量である第２流量が、第１流量と一致するタイミングでの駆動周波数、回転数または経過時間の値を、閾値として演算している。このように演算された閾値に基づいてバルブ制御部１２０がバルブ１１７を閉止すれば、バルブ１１７が閉止されたタイミングでの第２流量が、第１流量よりも多くなる事態が避けられる確実性が高くなる。これにより、バルブ１１７の閉止に伴って生じ得る洗浄液の圧力のオーバーシュートが抑制される確実性が高くなる。

【0056】

その上で、演算部２３は、上記した第２流量が、第１流量と一致するタイミングでの経過時間の値を、閾値として演算し、演算された経過時間の閾値と、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する単位時間（１ｓｅｃ）当たりの電動モータ１１８の回転数である回転数変化率と、に基づいて、回転数の閾値を演算する。ここで、設定された圧力を「Ｐ」とし、切り替え前に開放するバルブの数を「ｎ」とし、切り替え後に開放するバルブ１１７の数を「ｍ」とし、洗浄液の圧力の単位時間（１ｓｅｃ）当たりの変化率（圧力変化率）を「ａ」とし、切り替え前の洗浄液の流量を「Ｌ」とし、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整され始めた時点Ｔ_０からの経過時間の閾値を「ｔ」としたとき、下記の数式（４）が得られる。数式（４）を変形することで数式（５）を得ることができ、数式（５）により経過時間の閾値ｔを求めることができる。なお、圧力変化率ａは、図７に示される圧力の計算値に係るグラフの傾きであり、電動モータ１１８の回転数等に基づいて計算される。具体的には、圧力変化率ａは、ある時点の洗浄液の圧力から、ある時点から単位時間（１ｓｅｃ）後の時点の洗浄液の圧力を、差し引くことで求められる。なお、ある時点から単位時間（１ｓｅｃ）後の時点の洗浄液の圧力は、上記した数式（３）の左辺のＰ_１に相当する。従って、数式（３）の右辺において、ある時点の洗浄液の流量Ｌ_０、ある時点から単位時間（１ｓｅｃ）後の時点の電動モータ１１８の回転数ｒ及びポンプ１１２の固有係数Ｃの各数値を代入することで、ある時点から単位時間（１ｓｅｃ）後の時点の洗浄液の圧力を求めることができる。

【0057】

【数4】

【0058】

［数５］ ｔ＝（１０ｍ^２－Ｐ・ｎ^２）／ａ・ｎ^２ （５）

【0059】

上記した数式（５）に含まれる「ｍ」、「ｎ」、「ａ」、「Ｐ」のそれぞれに該当する数値を代入することで、演算部２３は、経過時間の閾値ｔを演算することができる。図７に示される条件（切り替え前に開放するバルブの数ｎが「４」、切り替え後に開放するバルブの数ｍが「２」、圧力変化率ａが「－３．３ＭＰａ／ｓｅｃ」、設定された圧力Ｐが「１０ＭＰａ」）に基づいて、数式（５）を用いて演算される経過時間の閾値ｔは、２．２ｓｅｃであった。従って、数式（５）を用いて演算される経過時間の閾値ｔは、図６に示されるシミュレーションの結果において、洗浄液の圧力のオーバーシュートが避けられた複数の経過時間の中で経過時間が最も短い１．８ｓｅｃよりもやや長い値となった。経過時間の閾値ｔは、洗浄装置１１０の使用条件によらず、洗浄液の圧力のオーバーシュートが発生するのを回避できる汎用的な条件である、と言える。

【0060】

演算部２３は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整される前での電動モータ１１８の回転数の値、つまり回転数の初期値ｒ１から、経過時間の閾値ｔに、回転数の変化率（回転数変化率）ｂを乗算した値を差し引くことで、回転数の閾値ｒ２を演算することができる。つまり、回転数の閾値ｒ２は、下記の数式（６）に基づいて演算される。図７に示される条件（回転数の初期値ｒ１が「１１ｒｐｓ」、回転数変化率ｂが「－１．９６ｒｐｓ／ｓｅｃ」）に基づいて、数式（６）を用いて演算される回転数の閾値ｒ２は、６．６８８ｒｐｓ（４０１．２８ｒｐｍ）であった。なお、回転数である「１ｒｐｍ」は、駆動周波数である「１０Ｈｚ」に相当することから、下記の数式（６）に基づいて回転数の閾値ｒ２が演算されれば、駆動周波数の閾値を演算することも可能である。

【0061】

［数６］ ｒ２＝ｒ１－ｔ・ｂ （６）

【0062】

続いて、電動モータ１１８の回転数の変化率である回転数変化率ｂに関する検証を行った。その結果を図８に示す。図８は、電動モータ１１８の回転数に関する経時変化を示すグラフである。図８の横軸が時間（単位は「ｓｅｃ」）を示し、１目盛が１ｓｅｃに相当する。図８の横軸には、駆動周波数の切り替えが開始される時点Ｔ_０が示されている。図８の縦軸が回転数（単位は「ｒｐｓ」）を示す。図８には、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整される前での電動モータ１１８の回転数（元の回転数）が４通り示されている。

【0063】

図８によれば、駆動周波数が調整され始めた時点Ｔ_０の前の回転数の値、つまり回転数の初期値ｒ１が高いほど、回転数変化率ｂが大きな値になる傾向が分かる。具体的には、回転数の初期値ｒ１が１０ｒｐｓ（６００ｒｐｍ）付近の場合は、回転数変化率ｂが－１．９６ｒｐｓ／ｓｅｃ（－１１７．６ｒｐｍ／ｓｅｃ）である。回転数の初期値ｒ１が５～６．６７ｒｐｓ（３００～４００ｒｐｍ）付近の場合は、回転数変化率ｂが－１．７７ｒｐｓ／ｓｅｃ（－１０６．２ｒｐｍ／ｓｅｃ）である。回転数の初期値ｒ１が３．３３～５ｒｐｓ（２００～３００ｒｐｍ）付近の場合は、回転数変化率ｂが－１．６６ｒｐｓ／ｓｅｃ（－９９．６ｒｐｍ／ｓｅｃ）である。回転数の初期値ｒ１が３．３３ｒｐｓ（２００ｒｐｍ）以下の場合は、回転数変化率ｂが－１．４１ｒｐｓ／ｓｅｃ（－８４．６ｒｐｍ／ｓｅｃ）である。

【0064】

以上の検討に基づき、本実施形態に係るメモリ部２２には、回転数の初期値ｒ１に応じて異なる複数の回転数変化率ｂが、回転数の初期値ｒ１に紐付けられた形で記憶されている。そして、演算部２３は、回転数の初期値ｒ１に基づいて、メモリ部２２に記憶された複数の回転数変化率ｂの中から特定の回転数変化率ｂを抽出し、抽出した回転数変化率ｂに基づいて、回転数の閾値ｒ２を演算する。具体的には、演算部２３は、回転計により計測された回転数またはバルブ制御部１２１により自動計算された回転数の初期値ｒ１を取得すると、メモリ部２２を参照し、複数の回転数変化率ｂの中から、取得した回転数の初期値ｒ１に紐付けられた回転数変化率ｂを抽出する。演算部２３は、抽出した回転数変化率ｂを、上記した数式（６）に代入することで、回転数の閾値ｒ２を演算することができる。このようにして回転数の閾値ｒ２を演算することで、回転数の閾値ｒ２に係る正確性が高くなる。このような高い正確性の回転数の閾値ｒ２に基づいてバルブ制御部１２１によりバルブ１１７が閉止されるようになっているので、バルブ１１７を閉止するのに伴う圧力の急上昇を好適に抑制することができる。

【0065】

以上説明したように本実施形態の洗浄装置１１０は、バルブ制御部１２１は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整され始めてから、駆動周波数、電動モータ１１８の単位時間当たりの回転数、または経過時間が、閾値に達するとバルブ１１７を閉止しており、バルブ１１７、電動モータ１１８及びインバータ１１９の少なくともいずれか１つの動作に係る動作条件に基づいて閾値を演算する演算部２３を備える。このようにすれば、ポンプ制御部１２０によりインバータ１１９の駆動周波数が調整され始めてから、インバータ１１９の駆動周波数、電動モータ１１８の単位時間当たりの回転数、または経過時間が、上記した動作条件に基づいて演算部２３により演算された閾値に達すると、バルブ制御部１２１はバルブ１１７を閉止する。演算部２３は、バルブ１１７、電動モータ１１８及びインバータ１１９の少なくともいずれか１つの動作に係る動作条件に基づいて閾値を演算している。従って、当該洗浄装置１１０の使い方が様々であっても、バルブ制御部１２１によってバルブ１１７が閉止されるタイミングが常に適正化されてバルブ１１７を閉止するのに伴う圧力の急上昇が好適に抑制される。これにより、高い汎用性が得られる。

【0066】

また、バルブ制御部１２１は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整され始めてから、駆動周波数または回転数が閾値に達するとバルブ１１７を閉止する。このようにすれば、仮にポンプ制御部１２１により駆動周波数が調整され始めてからの経過時間に基づいてバルブ１１７を閉止する場合に比べると、インバータ１１９または電動モータ１１８の動作に基づいてバルブ１１７を閉止しているので、バルブ１１７を閉止するのに伴う圧力の急上昇が抑制される確実性がより高くなる。

【0067】

また、ノズル１１Ａ及びバルブ１１７は、複数ずつ備えられており、演算部２３は、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数に基づいて閾値を演算し、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数が多くなるほど、駆動周波数または回転数に係る閾値を小さくし、経過時間に係る閾値を大きくする。ノズル１１Ａ及びバルブ１１７が複数ずつ備えられる場合には、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数が多くなるほど、バルブ１１７の閉止に起因する洗浄液の圧力が急激に上昇し易くなる傾向にある。これに対し、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数が多くなるほど、駆動周波数または回転数に係る閾値を小さくし、経過時間に係る閾値を大きくなるよう演算部２３による演算が行われれば、演算された閾値に基づいてバルブ制御部１２１によりバルブ１１７が閉止されるまでに、洗浄液の圧力が十分に低下した状態となる。これにより、バルブ制御部１２１により閉止されるバルブ１１７の数が多い場合でも、バルブ１１７の閉止に起因する圧力の急激な上昇をより好適に抑制することができる。

【0068】

また、演算部２３は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整され終えた後での、ポンプ１１２からノズル１１Ａへと供給される洗浄液の単位時間当たりの流量である第１流量を演算し、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する流量である第２流量が、第１流量と一致するタイミングでの駆動周波数、回転数または経過時間の値を、閾値として演算する。上記した第１流量は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する流量の目標値であると言える。ここで、洗浄液の流量及び圧力の変化率は、インバータ１１９の駆動周波数及び電動モータ１１８の回転数の変化率よりも高いことが経験上見出された。そこで、演算部２３は、目標値である第１流量を演算した上で、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する流量である第２流量が、第１流量と一致するタイミングでの駆動周波数、回転数または経過時間の値を、閾値として演算している。このように演算された閾値に基づいてバルブ制御部１２１がバルブ１１７を閉止すれば、バルブ１１７が閉止されたタイミングでの第２流量が第１流量よりも多くなる事態が避けられる確実性が高くなる。これにより、バルブ１１７の閉止に伴って生じ得る洗浄液の圧力の急上昇が抑制される確実性が高くなる。

【0069】

また、演算部２３は、第２流量が、第１流量と一致するタイミングでの経過時間の値を、閾値ｔとして演算し、演算された経過時間の閾値ｔと、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する単位時間当たりの回転数である回転数変化率ｂと、に基づいて、回転数の閾値ｒ２を演算する。上記した経過時間の閾値ｔは、例えば、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整される前に開放されたバルブの数と、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整される前に開放されるバルブ１１７の数と、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整されるのに伴って変化する単位時間当たりの洗浄液の圧力である圧力変化率ａと、に基づいて演算部２３により演算される。演算部２３は、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整される前での電動モータ１１８の回転数から、経過時間の閾値ｔに回転数変化率ｂを乗算した値を差し引くことで、回転数の閾値ｒ２を演算することができる。なお、回転数の閾値ｒ２が分かれば、駆動周波数の閾値を演算することも可能である。

【0070】

また、ポンプ制御部１２０により駆動周波数が調整される始める前での回転数の初期値ｒ１に応じて異なる複数の回転数変化率ｂを、回転数の初期値ｒ１に紐付ける形で、複数記憶するメモリ部２２を備えており、演算部２３は、回転数の前記初期値ｒ１に基づいて、メモリ部２２に記憶された複数の回転数変化率ｂの中から特定の回転数変化率ｂを抽出し、抽出した回転数変化率ｂに基づいて、回転数の閾値ｒ２を演算する。インバータ１１９の駆動周波数が調整されるのに伴って変化する回転数に係る回転数変化率ｂは、インバータ１１９の駆動周波数が調整され始める前での回転数の初期値ｒ１によって異なっており、回転数の初期値ｒ１が大きいほど回転数変化率ｂも大きくなる傾向にある。そこで、回転数の閾値ｒ２を演算するに際し、演算部２３は、メモリ部２２に記憶された複数の回転数変化率ｂの中から回転数の初期値ｒ１に紐付けられた回転数変化率ｂを抽出するようにしている。演算部２３は、抽出された回転数変化率ｂに基づいて回転数の閾値ｒ２を演算するので、回転数の閾値ｒ２に係る正確性が高くなる。このような高い正確性の回転数の閾値ｒ２に基づいてバルブ制御部１２１によりバルブ１１７が閉止されるようになっているので、バルブ１１７を閉止するのに伴う圧力の急上昇を好適に抑制することができる。

【0071】

＜他の実施形態＞
本明細書が開示する技術は、上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も技術的範囲に含まれる。

【0072】

（１）インバータ１９，１１９の駆動周波数を切り替える前において閉止していたバルブ１７，１１７を開放させて閉止状態のバルブ１７，１１７の数が減少する場合（開放状態のバルブ１７，１１７の数が増加する場合）において、バルブ制御部２１，１２１が信号を出力し、その信号に基づいてポンプ制御部２０，１２０が洗浄液への加圧度合いを高めるようポンプ１２，１１２の駆動を制御しても構わない。洗浄液への加圧度合いを高めるには、ポンプ制御部２０，１２０によってインバータ１９，１１９の駆動周波数を増加させるようにすればよい。

【0073】

（２）バルブ制御部２１，１２１は、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングと、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミング（洗浄液に対する加圧度合いを緩め始めるタイミング）と、の間の時間差を、閉止されるバルブ１７，１１７の数が４つの場合と３つの場合とで同じにするとともに、閉止されるバルブ１７，１１７の数が２つの場合と１つの場合とで同じとし且つ４つの場合と３つの場合とに比べると小さくすることも可能である。

【0074】

（３）バルブ制御部２１，１２１は、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングと、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングと、の間の時間差を、閉止されるバルブ１７，１１７の数（バルブ１７，１１７の閉止に伴って洗浄液の噴射が停止されるノズル１１Ａの数）によらず一定とすることも可能である。

【0075】

（４）バルブ制御部２１，１２１は、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングからバルブ１７，１１７を閉止するタイミングまでの時間と、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングからポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが終了されるタイミングまでの時間と、の関係を同じとすることもでき、また前者が後者よりも短くすることも可能である。

【0076】

（５）バルブ制御部２１，１２１は、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングと、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングと、を同じにすることも可能である。また、バルブ制御部２１，１２１は、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングを、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが開始されるタイミングよりも前にすることも可能である。

【0077】

（６）バルブ制御部２１，１２１は、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが終了されるタイミングと、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングと、を同じにすることも可能である。また、バルブ制御部２１，１２１は、バルブ１７，１１７を閉止するタイミングを、ポンプ制御部２０，１２０によりインバータ１９，１１９の駆動周波数の切り替えが終了されるタイミングよりも後にすることも可能である。

【0078】

（７）個別洗浄液供給路１３Ｂの数とバルブ１７，１１７の数とが一致してなくてもよい。例えば、共通洗浄液供給路１３Ａと複数の個別洗浄液供給路１３Ｂとが分岐される部分にバルブ１７，１１７を設置し、複数の個別洗浄液供給路１３Ｂに対する洗浄液の供給の是非を１つのバルブ１７，１１７の開閉によって制御することも可能である。その場合は、バルブ１７，１１７の数が個別洗浄液供給路１３Ｂの数よりも少なくなる。

【0079】

（８）ノズルヘッド１１におけるノズル１１Ａの具体的な配置や設置数は適宜に変更可能である。

【0080】

（９）インバータ・モータ駆動方式のポンプ１２，１１２におけるプランジャ１２Ａの数は、２つ以下または４つ以上でも構わない。

【0081】

（１０）ポンプ１２，１１２は、インバータ・モータ駆動方式以外の駆動方式（例えばエア駆動方式など）であっても構わない。

【0082】

（１１）洗浄装置１０，１１０における洗浄液の圧力や流量に係る具体的な数値は、適宜に変更可能である。

【0083】

（１２）洗浄装置１０，１１０は、研磨部ＰＯを１つまたは３つ以上備える研磨装置ＰＤに組み合わせて用いることも可能である。研磨部ＰＯが１つで研磨パッドＰＡが２つの場合は、洗浄装置１０，１１０におけるノズルヘッド１１の数は２つとなる。研磨部ＰＯが３つ以上で研磨パッドＰＡが６つ以上の場合は、洗浄装置１０，１１０におけるノズルヘッド１１の数は６つ以上となる。

【0084】

（１３）洗浄装置１０，１１０は、１つの研磨部ＰＯが１つの研磨パッドＰＡを備える研磨装置ＰＤに組み合わせて用いることも可能であり、その場合は、１つの研磨部ＰＯに対応して設置されるノズルヘッド１１の数も１つとなる。この場合、研磨装置ＰＤは、研磨部ＰＯにおいて研磨パッドＰＡによって半導体ウェハの片面を研磨することになる。

【0085】

（１４）上記（１２），（１３）以外にも、ノズルヘッド１１の設置数は適宜に変更可能である

【0086】

（１５）洗浄装置１０，１１０による洗浄対象物は、研磨パッドＰＡ以外にも、半導体ウェハなどであっても構わない。

【0087】

（１６）洗浄装置１０，１１０は、研磨装置ＰＤ以外の装置に組み合わせてもよく、また単独で使用することも可能である。

【0088】

（１７）洗浄装置１０，１１０以外の液体噴射装置であっても構わない。その場合は、洗浄液以外の液体をノズル１１Ａから噴射することになる。

【0089】

（１８）バルブ１７，１１７として、常時開放されるタイプのものを用いることも可能である。その場合、バルブ制御部２１，１２１は、開放された状態のバルブ１７，１１７を閉止する際に閉信号の出力し、閉止された状態のバルブ１７，１１７を開放する際には閉信号の出力を停止することで、バルブ１７，１１７の開閉を制御する。

【0090】

（１９）実施形態２での説明以外にも、洗浄装置１１０に備わるバルブ１１７の設置数を４つ以外の数値に変更可能である。同様に、閉止する前に開放していたバルブ１１７の数を４つ以外に変更可能である。同様に、閉止するバルブ１１７の数を２つ以外に変更可能である。

【0091】

（２０）実施形態２での説明以外にも、演算部２３に閾値を演算させるため、バルブ制御部１２１にフィードバックするのは、インバータ１１９の駆動周波数、電動モータ１１８の回転数、及び洗浄液の圧力のうちのいずれか１つまたは２つでもよい。

【0092】

（２１）実施形態２に記載した演算部２３により演算される経過時間の閾値ｔの具体的な数値は、条件（切り替え前に開放するバルブの数ｎ、切り替え後に開放するバルブの数ｍ、圧力変化率ａ、設定された圧力Ｐ）に応じて２．２ｓｅｃ以外にもなり得る。

【0093】

（２２）実施形態２に記載した演算部２３により演算される回転数の閾値ｒ２の具体的な数値は、条件（回転数の初期値ｒ１、回転数変化率ｂ）に応じて６．６８８ｒｐｓ（４０１．２８ｒｐｍ）以外にもなり得る。

【符号の説明】

【0094】

１０，１１０…洗浄装置（液体噴射装置）、１１Ａ…ノズル、１２，１１２…ポンプ、１２Ａ…プランジャ、１７，１１７…バルブ、１８，１１８…電動モータ、１９，１１９…インバータ、２０，１２０…ポンプ制御部、２１，１２１…バルブ制御部、２２…メモリ部、２３…演算部、ｂ…回転数変化率、ｒ１…初期値、ｒ２…回転数の閾値、ｔ…経過時間の閾値

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】