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特許7672330吐出圧力評価方法、吐出圧力評価プログラム、記録媒体および基板処理装置
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-04-24
(45)【発行日】2025-05-07
(54)【発明の名称】吐出圧力評価方法、吐出圧力評価プログラム、記録媒体および基板処理装置
(51)【国際特許分類】
B05C 11/10 20060101AFI20250425BHJP
B05C 5/02 20060101ALI20250425BHJP
【ＦＩ】
B05C11/10
B05C5/02
【請求項の数】
27
(21)【出願番号】P 2021211192
(22)【出願日】2021-12-24
(65)【公開番号】P2022138108
(43)【公開日】2022-09-22
【審査請求日】2024-06-17
(31)【優先権主張番号】P 2021036995
(32)【優先日】2021-03-09
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000207551
【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
(74)【代理人】
【識別番号】100105935
【弁理士】
【氏名又は名称】振角 正一
(74)【代理人】
【識別番号】100136836
【弁理士】
【氏名又は名称】大西 一正
(72)【発明者】
【氏名】木村 崇也
(72)【発明者】
【氏名】安陪 裕滋
(72)【発明者】
【氏名】仲村 武瑠
(72)【発明者】
【氏名】古田 智靖
【審査官】吉田 昌弘
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１１－００５４６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－０４００４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－３２７７８１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－０９３９５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第０５１９９６０７（ＵＳ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ０５Ｃ １１／１０
Ｂ０５Ｃ ５／０２
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
処理液に吐出圧力を与えてノズルから処理液を吐出する吐出装置における前記吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個（Ｎは２以上の整数）の評価段階のうち、１番目の評価段階に係る評価項目によって前記吐出圧力を評価する工程と、前記Ｎ個の評価段階のうち、Ｉ番目（Ｉは１以上でＮ未満の整数）の評価段階に係る評価項目による評価において前記吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による前記吐出圧力の評価を実行する一方、前記Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において前記吐出圧力が不適正と判断された場合には前記Ｉ番目の評価段階より後の順番の評価段階による前記吐出圧力の評価を実行しない工程と
を備えた吐出圧力評価方法。
【請求項2】
前記Ｎ個の評価段階のうち、前記吐出圧力の評価を実行した評価段階の数の違いに応じて、互いに異なる評価値を前記吐出圧力に与える請求項１に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項3】
前記ノズルからの処理液の吐出を開始してから前記吐出圧力の所定圧力までの上昇を経て前記吐出圧力の前記所定圧力からの減少が開始するまでの主要期間を少なくとも含む評価対象期間において、前記吐出圧力を測定した結果に基づき、前記評価対象期間の全体における前記吐出圧力の時間変化が持つ特徴量を全体特徴量として抽出する工程と、前記全体特徴量に基づき前記吐出圧力の時間変化を評価する工程と
を実行することで、前記吐出圧力を評価するという評価項目を、前記１番目の評価段階が有する請求項１または２に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項4】
前記評価対象期間は、前記主要期間であり、前記主要期間の全体における前記吐出圧力の時間変化が持つ特徴量である主要特徴量が前記全体特徴量として抽出される請求項３に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項5】
前記主要特徴量は、前記主要期間の全体における前記吐出圧力の時間変化を近似した主要近似波形と、前記主要期間の全体における前記吐出圧力の時間変化との差を示す請求項４に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項6】
前記主要近似波形は、前記ノズルからの処理液の吐出の開始後に時間経過に伴って増大する前記吐出圧力の時間変化を直線近似した、吐出開始圧力から前記吐出開始圧力より大きい定常圧力まで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり近似直線と、
前記ノズルからの処理液の吐出の開始時点と前記立ち上がり近似直線との間に設けられて前記吐出開始圧力を示す開始時近似直線と、
前記立ち上がり近似直線が前記定常圧力に到達してから前記主要期間の最後までの間に設けられて前記定常圧力を示す定常直線と
を有する請求項５に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項7】
前記評価対象期間は、前記ノズルからの処理液の吐出を開始してから前記ノズルからの処理液の吐出を終了するまでの第１期間であり、前記第１期間の全体における前記吐出圧力の時間変化が持つ特徴量である第１特徴量が前記全体特徴量として抽出される請求項３に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項8】
前記第１特徴量は、前記第１期間の全体における前記吐出圧力の時間変化を近似した第１近似波形と、前記第１期間の全体における前記吐出圧力の時間変化との差を示す請求項７に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項9】
前記第１近似波形は、前記ノズルからの処理液の吐出の開始後に、時間経過に伴って増大する前記吐出圧力の時間変化を直線近似することで、吐出開始圧力から前記吐出開始圧力より大きい定常圧力まで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり近似直線と、
前記ノズルからの処理液の吐出の開始時点と前記立ち上がり近似直線との間に設けられて前記吐出開始圧力を示す開始時近似直線と、
前記ノズルからの処理液の吐出の終了前に、時間経過に伴って減少する前記吐出圧力の時間変化を直線近似することで、前記定常圧力から前記定常圧力より小さい吐出終了圧力まで時間経過に伴って線形に減少する立ち下がり近似直線と、
前記立ち下がり近似直線と前記ノズルからの処理液の吐出の終了時点との間に設けられて前記吐出終了圧力を示す終了時近似直線と、
前記立ち上がり近似直線および前記立ち下がり近似直線のそれぞれの間を接続して、前記定常圧力を示す定常直線と
を有する請求項８に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項10】
前記評価対象期間のうち、前記評価対象期間より短い第２期間における前記吐出圧力の時間変化が持つ特徴量を第２特徴量として抽出する工程と、前記第２特徴量に基づき前記吐出圧力の時間変化を評価する工程と
を実行することで、前記吐出圧力を評価するという評価項目を、前記Ｎ個の評価段階のうちの２番目の評価段階が有する請求項３ないし９のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項11】
前記ノズルからの処理液の吐出の開始から所定の立ち上がり初期期間が、前記第２期間として設定され、前記立ち上がり初期期間を通じて、前記吐出圧力は時間経過に伴って増大し、
前記立ち上がり初期期間における前記吐出圧力の時間変化の回帰曲線と、前記立ち上がり初期期間における前記吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量が、前記第２特徴量として抽出される請求項１０に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項12】
前記ノズルからの処理液の吐出の開始から、前記吐出圧力が前記所定圧力に増大するまでの立ち上がり期間が、前記第２期間として設定される請求項１０または１１に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項13】
前記立ち上がり期間の長さが、前記第２特徴量として抽出される請求項１２に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項14】
前記立ち上がり期間において、前記吐出圧力の時間変化の一回微分が所定の閾値と交差する回数が、前記第２特徴量として抽出される請求項１２または１３に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項15】
前記立ち上がり期間において、前記吐出圧力の時間変化の二回微分の絶対値が所定の閾値と交差する回数が、前記第２特徴量として抽出される請求項１２ないし１４のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項16】
前記立ち上がり期間において、前記吐出圧力の時間変化の二回微分が所定の正の閾値より大きくなる時間と、前記吐出圧力の時間変化の二回微分が、前記正の閾値と同じ絶対値を有する所定の負の閾値より小さくなる時間との比が、前記第２特徴量として抽出される請求項１２ないし１５のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項17】
前記吐出圧力が前記所定圧力に増大するまでの所定の立ち上がり終期期間が、前記第２期間として設定され、前記立ち上がり終期期間における前記吐出圧力の時間変化を近似した立ち上がり終期近似波形と、前記立ち上がり終期期間における前記吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量が、前記第２特徴量として抽出され、
前記立ち上がり終期近似波形は、
前記所定圧力よりも小さい圧力範囲において時間経過に伴って増大する前記吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、前記立ち上がり終期期間より後の定常期間での前記吐出圧力の時間変化の平均値である定常圧力まで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり終期近似直線と、
前記立ち上がり終期近似直線から前記立ち上がり終期期間の終了時点まで延設された、前記定常圧力を示す延設直線と
を有する請求項１０ないし１６のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項18】
前記吐出圧力が最大値に達した時点から、前記吐出圧力の時間変化の二回微分が２回ゼロに交差した時点までの初期振動期間が、前記第２期間として設定され、前記初期振動期間における前記吐出圧力の最小値および前記初期振動期間より後の所定の定常期間における前記吐出圧力の平均値のうち小さい方の圧力と、前記吐出圧力の前記最大値との差が、前記第２特徴量として抽出される請求項１０ないし１７のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項19】
前記吐出圧力が前記所定圧力を超えた時点から所定の遷移期間が、前記第２期間として設定され、前記遷移期間より後の所定の定常期間における前記吐出圧力の平均値に対する、前記遷移期間における前記吐出圧力の差を示す特徴量が、前記第２特徴量として抽出される請求項１０ないし１８のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項20】
前記吐出圧力が前記所定圧力を超えた時点から、前記ノズルからの処理液の吐出の終了に向けて前記吐出圧力の減少が開始する時点までの定圧期間が、前記第２期間として設定され、前記定圧期間における前記吐出圧力の最大値と最小値との差を示す特徴量が、前記第２特徴量として抽出される請求項１０ないし１９のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項21】
Ｎが３以上である請求項１０ないし２０のいずれか一項に記載に吐出圧力評価方法であって、前記評価対象期間のうち、前記評価対象期間より短い第３期間における前記吐出圧力の時間変化が持つ特徴量を第３特徴量として抽出する工程と、
前記第３特徴量に基づき前記吐出圧力の時間変化を評価する工程と
を実行することで、前記吐出圧力を評価するという評価項目を、前記Ｎ個の評価段階のうちの３番目の評価段階が有する吐出圧力評価方法。
【請求項22】
前記ノズルからの処理液の吐出の開始後に、前記吐出圧力が下側基準値から前記下側基準値より大きい上側基準値まで時間経過とともに増加する圧力上昇期間が、前記第３期間として設定され、前記下側基準値と前記上側基準値との間における前記吐出圧力の測定値のうちの一の測定値であって、
前記下側基準値と前記一の測定値との間の区間において前記吐出圧力の時間変化に対する線形回帰により求めた近似直線と前記吐出圧力の時間変化との二乗平均平方誤差と、
前記一の測定値と前記上側基準値との間の区間において前記吐出圧力の時間変化に対する線形回帰により求めた近似直線と前記吐出圧力の時間変化との二乗平均平方誤差と
の和が最小となる前記一の測定値を求め、
前記下側基準値と前記一の測定値との間の直線の傾きと、前記一の測定値と前記上側基準値との間の直線の傾きとの比をが、前記第３特徴量として抽出される請求項２１に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項23】
前記吐出圧力が前記所定圧力に増大するまでの所定の立ち上がり終期期間が、前記第３期間として設定され、前記立ち上がり終期期間における前記吐出圧力の時間変化を近似した立ち上がり終期近似波形と、前記立ち上がり終期期間における前記吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量が、前記第３特徴量として抽出され、
前記立ち上がり終期近似波形は、
前記所定圧力よりも小さい圧力範囲において時間経過に伴って増大する前記吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、時間経過に伴って前記所定圧力まで線形に増大する立ち上がり終期近似直線と、
前記立ち上がり終期近似直線に接続されて、前記所定圧力を示す延設直線と
を有する請求項２１または２２に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項24】
前記吐出圧力が最大値に達した時点から、前記吐出圧力の時間変化の二回微分が２回ゼロに交差した時点までの初期振動期間が、前記第３期間として設定され、前記吐出圧力の前記最大値から、前記初期振動期間より後の所定の定常期間における前記吐出圧力の平均値である定常圧力を減算した値と、前記定常圧力から前記初期振動期間における前記吐出圧力の最小値を減算した値との和が、前記第３特徴量として抽出される請求項２１ないし２３のいずれか一項に記載の吐出圧力評価方法。
【請求項25】
処理液に吐出圧力を与えてノズルから処理液を吐出する吐出装置における前記吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個（Ｎは２以上の整数）の評価段階のうち、１番目の評価段階に係る評価項目によって前記吐出圧力を評価する工程と、前記Ｎ個の評価段階のうち、Ｉ番目（Ｉは１以上でＮ未満の整数）の評価段階に係る評価項目による評価において前記吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による前記吐出圧力の評価を実行する一方、前記Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において前記吐出圧力が不適正と判断された場合には前記Ｉ番目の評価段階より後の順番の評価段階による前記吐出圧力の評価を実行しない工程と
をコンピュータに実行させる吐出圧力評価プログラム。
【請求項26】
請求項２５に記載の吐出圧力評価プログラムを、コンピュータにより読み出し可能に記録する記録媒体。
【請求項27】
ノズルと、処理液に吐出圧力を与えて前記ノズルに処理液を吐出させる圧力付与部と、
前記吐出圧力を測定する測定部と、
処理液に吐出圧力を与えてノズルから処理液を吐出する吐出装置における前記吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個（Ｎは２以上の整数）の評価段階での実行内容を記憶する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記Ｎ個の評価段階のうち、１番目の評価段階に係る評価項目によって前記吐出圧力を評価し、
前記Ｎ個の評価段階のうち、Ｉ番目（Ｉは１以上でＮ未満の整数）の評価段階に係る評価項目による評価において前記吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による前記吐出圧力の評価を実行する一方、前記Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において前記吐出圧力が不適正と判断された場合には前記Ｉ番目の評価段階より後の順番の評価段階による前記吐出圧力の評価を実行しない基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、処理液に吐出圧力を与えることで処理液をノズルから吐出する技術に関する。なお、ノズルから処理液を吐出する対象物としては、例えば半導体基板、フォトマスク用基板、液晶表示用基板、有機ＥＬ表示用基板、プラズマ表示用基板、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【0002】
特許文献１、２に示されるように、ノズルから吐出した処理液を基板に塗布する場合、処理液に与えられる吐出圧力が、基板に塗布される処理液の厚みに大きく影響する。そこで、特許文献１では、吐出圧力の波形を複数の区間に分割して、各区間での波形の傾きに基づき、吐出圧力が許容範囲であるか否かが評価される。また、特許文献２では、立ち上がり領域や定常吐出領域といった各領域について、吐出圧力に関連するパラメータの最適化が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１１－００５４６５号公報
【文献】特開２０２０－０４００４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
つまり、特許文献１、２では、複数の区分あるいは領域のそれぞれにおいて吐出圧力の波形を評価することで、吐出圧力の高精度な評価を可能にしている。一方で、このように多くの評価項目について評価を行うことは、吐出圧力の評価に要する時間が長くなる原因となる。特に、不適正な吐出圧力に対して、長時間をかけて全評価項目を評価することは、必ずしも合理的とは言えなかった。
【0005】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルから処理液を吐出するために処理液に与えられる吐出圧力の評価を、吐出圧力の適否に応じた合理的な時間で行うことを可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明に係る吐出圧力評価方法は、処理液に吐出圧力を与えてノズルから処理液を吐出する吐出装置における吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個（Ｎは２以上の整数）の評価段階のうち、１番目の評価段階に係る評価項目によって吐出圧力を評価する工程と、Ｎ個の評価段階のうち、Ｉ番目（Ｉは１以上でＮ未満の整数）の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による吐出圧力の評価を実行する一方、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が不適正と判断された場合にはＩ番目の評価段階より後の順番の評価段階による吐出圧力の評価を実行しない工程とを備える。
【0007】
本発明に係る吐出圧力評価プログラムは、処理液に吐出圧力を与えてノズルから処理液を吐出する吐出装置における吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個（Ｎは２以上の整数）の評価段階のうち、１番目の評価段階に係る評価項目によって吐出圧力を評価する工程と、Ｎ個の評価段階のうち、Ｉ番目（Ｉは１以上でＮ未満の整数）の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による吐出圧力の評価を実行する一方、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が不適正と判断された場合にはＩ番目の評価段階より後の順番の評価段階による吐出圧力の評価を実行しない工程とをコンピュータに実行させる。
【0008】
本発明に係る記録媒体は、上記の吐出圧力評価プログラムを、コンピュータにより読み出し可能に記録する。
【0009】
本発明に係る基板処理装置は、ノズルと、処理液に吐出圧力を与えてノズルに処理液を吐出させる圧力付与部と、吐出圧力を測定する測定部と、処理液に吐出圧力を与えてノズルから処理液を吐出する吐出装置における吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個（Ｎは２以上の整数）の評価段階での実行内容を記憶する制御部とを備え、制御部は、Ｎ個の評価段階のうち、１番目の評価段階に係る評価項目によって吐出圧力を評価し、Ｎ個の評価段階のうち、Ｉ番目（Ｉは１以上でＮ未満の整数）の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による吐出圧力の評価を実行する一方、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が不適正と判断された場合にはＩ番目の評価段階より後の順番の評価段階による吐出圧力の評価を実行しない。
【0010】
このように構成された本発明（吐出圧力評価方法、吐出圧力評価プログラム、記録媒体および基板処理装置）では、吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個の評価段階が設けられており、１番目からＮ番目までの評価段階を順番に実行することができる。ただし、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が適正と判断された場合に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による吐出圧力の評価が実行される一方、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が不適正と判断された場合にはＩ番目の評価段階より後の順番の評価段階による吐出圧力の評価が実行されない。つまり、１～Ｎ番目までの評価段階によって順番に吐出圧力の評価をした際に、いずれかの評価段階で吐出圧力が不適正と判断されると、以後の評価段階による評価が実行されない。これによって、ノズルから処理液を吐出するために処理液に与えられる吐出圧力の評価を、吐出圧力の適否に応じた合理的な時間で行うことが可能となっている。
【0011】
また、Ｎ個の評価段階のうち、吐出圧力の評価を実行した評価段階の数の違いに応じて、互いに異なる評価値を吐出圧力に与えるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、実行された評価段階の数が多い吐出圧力ほど良好な評価値を与えることができ、吐出圧力の適否に応じた適正な評価値を当該吐出圧力に与えることが可能となる。
【0012】
また、ノズルからの処理液の吐出を開始してから吐出圧力の所定圧力までの上昇を経て吐出圧力の所定圧力からの減少が開始するまでの主要期間を少なくとも含む評価対象期間において、吐出圧力を測定した結果に基づき、評価対象期間の全体における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量を全体特徴量として抽出する工程と、全体特徴量に基づき吐出圧力の時間変化を評価する工程とを実行することで、吐出圧力を評価するという評価項目を、１番目の評価段階が有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の吐出を開始してから吐出圧力の所定圧力までの上昇を経て吐出圧力の所定圧力からの減少が開始するまでの主要期間を少なくとも含む評価対象期間において測定された吐出圧力の測定値に基づき、評価対象期間の全体における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量が全体特徴量として抽出され、全体特徴量に基づき吐出圧力の時間変化が評価される。これによって、基板に塗布される処理液の厚みに影響する期間（換言すれば、評価対象期間）の全体における吐出圧力の適否を吐出圧力の評価に反映させることが可能となっている。
【0013】
また、評価対象期間は、主要期間であり、主要期間の全体における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量である主要特徴量が全体特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、主要期間が基板に塗布される処理液の厚みに与える影響が特に大きい場合（換言すれば、主要期間を経過後の期間の影響が僅かな場合）に、当該主要期間の全体における吐出圧力の適否を吐出圧力の評価に反映させることが可能となっている。
【0014】
また、主要特徴量は、主要期間の全体における吐出圧力の時間変化を近似した主要近似波形と、主要期間の全体における吐出圧力の時間変化との差を示すように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、主要期間全体における吐出圧力の時間変化に対する近似波形に基づき、当該主要期間全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0015】
また、主要近似波形は、ノズルからの処理液の吐出の開始後に時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似した、吐出開始圧力から吐出開始圧力より大きい定常圧力まで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり近似直線と、ノズルからの処理液の吐出の開始時点と立ち上がり近似直線との間に設けられて吐出開始圧力を示す開始時近似直線と、立ち上がり近似直線が定常圧力に到達してから主要期間の最後までの間に設けられて定常圧力を示す定常直線とを有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、主要期間全体における吐出圧力の時間変化を近似して、当該期間全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0016】
また、評価対象期間は、ノズルからの処理液の吐出を開始してからノズルからの処理液の吐出を終了するまでの第１期間であり、第１期間の全体における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量である第１特徴量が全体特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の吐出を開始してからノズルからの処理液の吐出を終了するまでの第１期間を通じて、吐出圧力が基板に塗布される処理液の厚みに影響を与える場合に、当該第１期間の全体における吐出圧力の適否を吐出圧力の評価に反映させることが可能となっている。
【0017】
また、第１特徴量は、第１期間の全体における吐出圧力の時間変化を近似した第１近似波形と、第１期間の全体における吐出圧力の時間変化との差を示すように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の吐出の開始から終了までの期間全体における吐出圧力の時間変化に対する近似波形に基づき、当該期間全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0018】
また、第１近似波形は、ノズルからの処理液の吐出の開始後に、時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで、吐出開始圧力から吐出開始圧力より大きい定常圧力まで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり近似直線と、ノズルからの処理液の吐出の開始時点と立ち上がり近似直線との間に設けられて吐出開始圧力を示す開始時近似直線と、ノズルからの処理液の吐出の終了前に、時間経過に伴って減少する吐出圧力の時間変化を直線近似することで、定常圧力から定常圧力より小さい吐出終了圧力まで時間経過に伴って線形に減少する立ち下がり近似直線と、立ち下がり近似直線とノズルからの処理液の吐出の終了時点との間に設けられて吐出終了圧力を示す終了時近似直線と、立ち上がり近似直線および立ち下がり近似直線のそれぞれの間を接続して、定常圧力を示す定常直線とを有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の吐出の開始から終了までの期間全体における吐出圧力の時間変化を台形波形により近似して、当該期間全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0019】
また、評価対象期間のうち、評価対象期間より短い第２期間における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量を第２特徴量として抽出する工程と、第２特徴量に基づき吐出圧力の時間変化を評価する工程とを実行することで、吐出圧力を評価するという評価項目を、Ｎ個の評価段階のうちの２番目の評価段階が有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の吐出の開始から終了までの期間全体より短い期間における吐出圧力の時間変化に基づき、吐出圧力を高精度に評価することができる。
【0020】
また、ノズルからの処理液の吐出の開始から所定の立ち上がり初期期間が、第２期間として設定され、立ち上がり初期期間を通じて、吐出圧力は時間経過に伴って増大し、立ち上がり初期期間における吐出圧力の時間変化の回帰曲線と、立ち上がり初期期間における吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の開始直後における吐出圧力の時間変化を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0021】
また、ノズルからの処理液の吐出の開始から、吐出圧力が所定圧力に増大するまでの立ち上がり期間が、第２期間として設定されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、立ち上がり期間における吐出圧力の時間変化を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0022】
具体的には、立ち上がり期間の長さが、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、吐出圧力の立ち上がりの速さを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0023】
また、立ち上がり期間において、吐出圧力の時間変化の一回微分が所定の閾値と交差する回数が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、立ち上がり期間における吐出圧力の時間変化の滑らかさを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0024】
また、立ち上がり期間において、吐出圧力の時間変化の二回微分の絶対値が所定の閾値と交差する回数が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、立ち上がり期間における吐出圧力の時間変化の滑らかさを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0025】
また、立ち上がり期間において、吐出圧力の時間変化の二回微分が所定の正の閾値より大きくなる時間と、吐出圧力の時間変化の二回微分が、正の閾値と同じ絶対値を有する所定の負の閾値より小さくなる時間との比が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、立ち上がり期間の初期と終期とでの吐出圧力の時間変化の違いを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0026】
また、吐出圧力が所定圧力に増大するまでの所定の立ち上がり終期期間が、第２期間として設定され、立ち上がり終期期間における吐出圧力の時間変化を近似した立ち上がり終期近似波形と、立ち上がり終期期間における吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量が、第２特徴量として抽出され、立ち上がり終期近似波形は、所定圧力よりも小さい圧力範囲において時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、立ち上がり終期期間より後の定常期間での吐出圧力の時間変化の平均値である定常圧力まで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり終期近似直線と、立ち上がり終期近似直線から立ち上がり終期期間の終了時点まで延設された、定常圧力を示す延設直線とを有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、立ち上がり期間の終期における吐出圧力の失速の程度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0027】
また、吐出圧力が最大値に達した時点から、吐出圧力の時間変化の二回微分が２回ゼロに交差した時点までの初期振動期間が、第２期間として設定され、初期振動期間における吐出圧力の最小値および初期振動期間より後の所定の定常期間における吐出圧力の平均値のうち小さい方の圧力と、吐出圧力の最大値との差が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、吐出圧力のオーバーシュートを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0028】
また、吐出圧力が所定圧力を超えた時点から所定の遷移期間が、第２期間として設定され、遷移期間より後の所定の定常期間における吐出圧力の平均値に対する、遷移期間における吐出圧力の差を示す特徴量が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、吐出圧力が所定圧力に到った後の吐出圧力の安定度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0029】
また、吐出圧力が所定圧力を超えた時点から、ノズルからの処理液の吐出の終了に向けて吐出圧力の減少が開始する時点までの定圧期間が、第２期間として設定され、定圧期間における吐出圧力の最大値と最小値との差を示す特徴量が、第２特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、吐出圧力の定圧期間における吐出圧力の安定性を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0030】
また、Ｎが３以上である吐出圧力評価方法であって、評価対象期間のうち、評価対象期間より短い第３期間における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量を第３特徴量として抽出する工程と、第３特徴量に基づき吐出圧力の時間変化を評価する工程とを実行することで、吐出圧力を評価するという評価項目を、Ｎ個の評価段階のうちの３番目の評価段階が有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、ノズルからの処理液の吐出の開始から終了までの期間全体より短い期間における吐出圧力の時間変化に基づき、吐出圧力を高精度に評価することができる。
【0031】
また、ノズルからの処理液の吐出の開始後に、吐出圧力が下側基準値から下側基準値より大きい上側基準値まで時間経過とともに増加する圧力上昇期間が、第３期間として設定され、下側基準値と上側基準値との間における吐出圧力の測定値のうちの一の測定値であって、下側基準値と一の測定値との間の区間において吐出圧力の時間変化に対する線形回帰により求めた近似直線と吐出圧力の時間変化との二乗平均平方誤差と、一の測定値と上側基準値との間の区間において吐出圧力の時間変化に対する線形回帰により求めた近似直線と吐出圧力の時間変化との二乗平均平方誤差との和が最小となる一の測定値を求め、下側基準値と一の測定値との間の直線の傾きと、一の測定値と上側基準値との間の直線の傾きとの比をが、第３特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、吐出圧力の増大の線形性を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0032】
また、吐出圧力が所定圧力に増大するまでの所定の立ち上がり終期期間が、第３期間として設定され、立ち上がり終期期間における吐出圧力の時間変化を近似した立ち上がり終期近似波形と、立ち上がり終期期間における吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量が、第３特徴量として抽出され、立ち上がり終期近似波形は、所定圧力よりも小さい圧力範囲において時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、時間経過に伴って所定圧力まで線形に増大する立ち上がり終期近似直線と、立ち上がり終期近似直線に接続されて、所定圧力を示す延設直線とを有するように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、立ち上がり期間の終期における吐出圧力の失速の程度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0033】
また、吐出圧力が最大値に達した時点から、吐出圧力の時間変化の二回微分が２回ゼロに交差した時点までの初期振動期間が、第３期間として設定され、吐出圧力の最大値から、初期振動期間より後の所定の定常期間における吐出圧力の平均値である定常圧力を減算した値と、定常圧力から初期振動期間における吐出圧力の最小値を減算した値との和が、第３特徴量として抽出されるように、吐出圧力評価方法を構成してもよい。かかる構成では、吐出圧力のオーバーシュートを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【発明の効果】
【0034】
以上のように、本発明によれば、ノズルから処理液を吐出するために処理液に与えられる吐出圧力の評価を、吐出圧力の適否に応じた合理的な時間で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0035】
【図2】塗布液供給機構の構成を示す図。
【図3】制御ユニットの構成の一例を示すブロック図。
【図4】吐出圧力評価プログラムに基づき実行される吐出圧力評価方法の一例を示すフローチャート。
【図5】吐出圧力の評価に用いる各期間を説明するための図。
【図6】吐出圧力の時間変化に対して圧力評価部が実行する演算の一例を模式的に示す図。
【図7】特徴量Ｆｖ１に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図8】特徴量Ｆｖ２に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図9】特徴量Ｆｖ３に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図10A】特徴量Ｆｖ４に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図10B】特徴量Ｆｖ４に基づく評価によって不適正と判断される吐出圧力の時間変化の例を示す図。
【図11A】特徴量Ｆｖ５に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図11B】特徴量Ｆｖ５に基づく評価によって不適正と判断される吐出圧力の時間変化の例を示す図。
【図12】特徴量Ｆｖ６に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図13】特徴量Ｆｖ７に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図14】特徴量Ｆｖ８に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図15】特徴量Ｆｖ９に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図16】特徴量Ｆｖ１０に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図17】特徴量Ｆｖ１１に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図18】特徴量Ｆｖ１２に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図19】特徴量Ｆｖ１３に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図20】特徴量Ｆｖ１４に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図。
【図21】測定結果評価の詳細を示すフローチャート。
【図23】吐出圧力の評価項目の変形例で用いる各期間を説明するための図。
【図24】特徴量Ｆｖ１_１に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目の変形例を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【0036】
図１は本発明に係る基板処理装置の一実施形態である塗布装置の全体構成を模式的に示す図である。この塗布装置１は、図１の左手側から右手側に向けて水平姿勢で搬送される基板Ｓの上面Ｓｆに塗布液を塗布するスリットコータである。なお、以下の各図において装置各部の配置関係を明確にするために、基板Ｓの搬送方向を「Ｘ方向」とし、図１の左手側から右手側に向かう水平方向を「＋Ｘ方向」と称し、逆方向を「－Ｘ方向」と称する。また、Ｘ方向と直交する水平方向Ｙのうち、装置の正面側を「－Ｙ方向」と称するとともに、装置の背面側を「＋Ｙ方向」と称する。さらに、鉛直方向Ｚにおける上方向および下方向をそれぞれ「＋Ｚ方向」および「－Ｚ方向」と称する。
【0037】
塗布装置１では、基板Ｓの搬送方向Ｄｔ（＋Ｘ方向）に沿って、入力コンベア１００、入力移載部２、浮上ステージ部３、出力移載部４、出力コンベア１１０がこの順に近接して配置されており、以下に詳述するように、これらにより略水平方向に延びる基板Ｓの搬送経路が形成されている。なお、以下の説明において基板Ｓの搬送方向Ｄｔと関連付けて位置関係を示すとき、「基板Ｓの搬送方向Ｄｔにおける上流側」を単に「上流側」と、また「基板Ｓの搬送方向Ｄｔにおける下流側」を単に「下流側」と略することがある。この例では、ある基準位置から見て相対的に（－Ｘ）側が「上流側」、（＋Ｘ）側が「下流側」に相当する。
【0038】
処理対象である基板Ｓは図１の左手側から入力コンベア１００に搬入される。入力コンベア１００は、コロコンベア１０１と、これを回転駆動する回転駆動機構１０２とを備えており、コロコンベア１０１の回転により基板Ｓは水平姿勢で下流側、つまり（＋Ｘ）方向に搬送される。入力移載部２は、コロコンベア２１と、これを回転駆動する機能および昇降させる機能を有する回転・昇降駆動機構２２とを備えている。コロコンベア２１が回転することで、基板Ｓはさらに（＋Ｘ）方向に搬送される。また、コロコンベア２１が昇降することで基板Ｓの鉛直方向Ｚの位置が変更される。このように構成された入力移載部２により、基板Ｓは入力コンベア１００から浮上ステージ部３に移載される。
【0039】
浮上ステージ部３は、基板の搬送方向Ｄｔに沿って３分割された平板状のステージを備える。すなわち、浮上ステージ部３は入口浮上ステージ３１、塗布ステージ３２および出口浮上ステージ３３を備えており、これらの各ステージの上面は互いに同一平面の一部をなしている。さらに、浮上ステージ部３は、リフトピン駆動機構３４、浮上制御機構３５および昇降駆動機構３６を有する。リフトピン駆動機構３４は、入口浮上ステージ３１に設けられたリフトピンを昇降させることができる。浮上制御機構３５は、基板Ｓを浮上させるための圧縮空気を浮上ステージ部３の各ステージに供給することができる。昇降駆動機構３６は、出口浮上ステージ３３を昇降させることができる。
【0040】
入口浮上ステージ３１および出口浮上ステージ３３のそれぞれの上面には浮上制御機構３５から供給される圧縮空気を噴出する噴出孔がマトリクス状に多数設けられており、噴出される気流から付与される浮力により基板Ｓが浮上する。こうして基板Ｓの下面Ｓｂがステージ上面から離間した状態で水平姿勢に支持される。基板Ｓの下面Ｓｂとステージ上面との距離、つまり浮上量は、例えば１０マイクロメートルないし５００マイクロメートルとすることができる。
【0041】
一方、塗布ステージ３２の上面では、圧縮空気を噴出する噴出孔と、基板Ｓの下面Ｓｂとステージ上面との間の空気を吸引する吸引孔とが交互に配置されている。浮上制御機構３５が噴出孔からの圧縮空気の噴出量と吸引孔からの吸引量とを制御することにより、基板Ｓの下面Ｓｂと塗布ステージ３２の上面との距離が精密に制御される。これにより、塗布ステージ３２の上方を通過する基板Ｓの上面Ｓｆの鉛直方向Ｚの位置が規定値に制御される。浮上ステージ部３の具体的構成としては、例えば特許第５３４６６４３号に記載のものを適用可能である。なお、塗布ステージ３２での浮上量については後で詳述するセンサ６１、６２による検出結果に基づいて制御ユニット９により算出され、また気流制御によって高精度に調整可能となっている。
【0042】
入力移載部２を介して浮上ステージ部３に搬入される基板Ｓは、コロコンベア２１の回転により（＋Ｘ）方向への推進力を付与されて、入口浮上ステージ３１上に搬送される。入口浮上ステージ３１、塗布ステージ３２および出口浮上ステージ３３は基板Ｓを浮上状態に支持するが、基板Ｓを水平方向に移動させる機能を有していない。浮上ステージ部３における基板Ｓの搬送は、入口浮上ステージ３１、塗布ステージ３２および出口浮上ステージ３３の下方に配置された基板搬送部５により行われる。
【0043】
基板搬送部５は、基板Ｓの下面周縁部に部分的に当接することで基板Ｓを下方から支持するチャック機構５１と、チャック機構５１上端の吸着部材に設けられた吸着パッド（図示省略）に負圧を与えて基板Ｓを吸着保持させる機能およびチャック機構５１をＸ方向に往復走行させる機能を有する吸着・走行制御機構５２とを備えている。チャック機構５１が基板Ｓを保持した状態では、基板Ｓの下面Ｓｂは浮上ステージ部３の各ステージの上面よりも高い位置に位置している。したがって、基板Ｓは、チャック機構５１により周縁部を吸着保持されつつ、浮上ステージ部３から付与される浮力により全体として水平姿勢を維持する。なお、チャック機構５１により基板Ｓの下面Ｓｂを部分的に保持した段階で基板Ｓの上面の鉛直方向Ｚの位置を検出するために板厚測定用のセンサ６１がコロコンベア２１の近傍に配置されている。このセンサ６１の直下位置に、基板Ｓを保持していない状態のチャック（図示省略）が位置することで、センサ６１は吸着部材の上面、つまり吸着面の鉛直方向Ｚの位置を検出可能となっている。
【0044】
入力移載部２から浮上ステージ部３に搬入された基板Ｓをチャック機構５１が保持し、この状態でチャック機構５１が（＋Ｘ）方向に移動することで、基板Ｓが入口浮上ステージ３１の上方から塗布ステージ３２の上方を経由して出口浮上ステージ３３の上方へ搬送される。搬送された基板Ｓは、出口浮上ステージ３３の（＋Ｘ）側に配置された出力移載部４に受け渡される。
【0045】
出力移載部４は、コロコンベア４１と、これを回転駆動する機能および昇降させる機能を有する回転・昇降駆動機構４２とを備えている。コロコンベア４１が回転することで、基板Ｓに（＋Ｘ）方向への推進力が付与され、基板Ｓは搬送方向Ｄｔに沿ってさらに搬送される。また、コロコンベア４１が昇降することで基板Ｓの鉛直方向Ｚの位置が変更される。出力移載部４により、基板Ｓは出口浮上ステージ３３の上方から出力コンベア１１０に移載される。
【0046】
出力コンベア１１０は、コロコンベア１１１と、これを回転駆動する回転駆動機構１１２とを備えており、コロコンベア１１１の回転により基板Ｓはさらに（＋Ｘ）方向に搬送され、最終的に塗布装置１外へと払い出される。なお、入力コンベア１００および出力コンベア１１０は塗布装置１の構成の一部として設けられてもよいが、塗布装置１とは別体のものであってもよい。また例えば、塗布装置１の上流側に設けられる別ユニットの基板払い出し機構が入力コンベア１００として用いられてもよい。また、塗布装置１の下流側に設けられる別ユニットの基板受け入れ機構が出力コンベア１１０として用いられてもよい。
【0047】
このようにして搬送される基板Ｓの搬送経路上に、基板Ｓの上面Ｓｆに塗布液を塗布するための塗布機構７が配置される。塗布機構７はスリット状の吐出口を有するスリットノズル（以下、単に「ノズル」という）７１を有している。また、図示を省略するが、ノズル７１には位置決め機構が接続されており、位置決め機構によりノズル７１は塗布ステージ３２の上方の塗布位置（図１中で実線で示される位置）や後で説明するメンテナンス位置に位置決めされる。さらに、ノズル７１には、塗布液供給機構８が接続されており、塗布液供給機構８から塗布液が供給され、ノズル下部に下向きに開口する吐出口から塗布液が吐出される。
【0048】
図２は塗布液供給機構の構成を示す図である。塗布液供給機構８は、図２に示すように、塗布液をノズル７１に送給するための送給源として体積変化により塗布液を送給するポンプ８１を用いている。ポンプ８１としては、例えば特開平１０－６１５５８号公報に記載されたベローズタイプのポンプを使用することができる。このポンプ８１は、径方向に弾性膨張収縮自在の可撓性チューブ８１１を有している。この可撓性チューブ８１１の一方端は配管８２により塗布液補充ユニット８３と接続され、他方端は配管８４によりノズル７１と接続されている。
【0049】
可撓性チューブ８１１の外側には、軸方向に弾性変形自在のベローズ８１２が配置されている。このベローズ８１２は小型ベローズ部８１３と大型ベローズ部８１４とを有し、可撓性チューブ８１１とベローズ８１２との間のポンプ室８１５には非圧縮性媒体が封入されている。また、小型ベローズ部８１３と大型ベローズ部８１４との間に作動ディスク部８１６が設けられている。作動ディスク部８１６には駆動部８１７が接続されている。制御ユニット９からの指令に応じて駆動部８１７が作動すると、所定の移動パターン（時間経過に対する作動ディスク部８１６の速度の変化を示すパターン）で作動ディスク部８１６が軸方向に変位し、ベローズ８１２の内側の容積を変化させる。これによって、可撓性チューブ１３が径方向に膨張収縮してポンプ動作を実行し、塗布液補充ユニット８３から適宜補給される塗布液をノズル７１に向けて送給する。このため、作動ディスク部８１６の移動パターンはノズル７１から吐出される塗布液の吐出特性（吐出圧力の時間変化）と密接に関連しており、移動パターンに応じて所定の吐出特性が得られる。
【0050】
塗布液補充ユニット８３は塗布液を貯留する貯留タンク８３１を有している。この貯留タンク８３１は配管８２によりポンプ８１と接続されている。また、配管８２には、開閉弁８３３が介挿されている。この開閉弁８３３は制御ユニット９から補充指令に応じて開成し、貯留タンク８３１内の塗布液をポンプ８１の可撓性チューブ８１１に補充可能とする。逆に、制御ユニット９から補充停止指令に応じて閉成し、貯留タンク８３１からポンプ８１の可撓性チューブ８１１への塗布液の補充を規制する。
【0051】
ポンプ８１の出力側（同図の左手側）に接続された配管８４には、開閉弁８５が介挿されており、制御ユニット９からの開閉指令に応じて開閉する。これによってノズル７１への塗布液の送液と送液停止を切替可能となっている。また、配管８４には、圧力計８６が取り付けられており、ノズル７１に送液される塗布液の圧力（吐出圧力）を検出し、その検出結果（圧力値）を制御ユニット９に出力する。
【0052】
このように塗布液供給機構８から塗布液が供給されるノズル７１には、図２に示すように、基板Ｓの浮上高さを非接触で検知するための浮上高さ検出用のセンサ６２が設置されている。このセンサ６２によって、浮上した基板Ｓと、塗布ステージ３２のステージ面の上面との離間距離を測定することが可能であり、その検出値に応じて制御ユニット９が位置決め機構（図示省略）を制御することでノズル７１が下降する位置を調整する。なお、センサ６２としては、光学式センサや、超音波式センサなどを用いることができる。
【0053】
ノズル７１に対して所定のメンテナンスを行うために、図１に示すように、塗布機構７にはノズル洗浄待機ユニット７２が設けられている。ノズル洗浄待機ユニット７２は、主にローラ７２１、洗浄部７２２、ローラバット７２３などを有している。そして、これらによってノズル洗浄および液だまり形成を行い、ノズル７１の吐出口を次の塗布処理に適した状態に整える。また、ノズル洗浄待機ユニット７２が設けられた位置、つまりメンテナンス位置にノズル７１を位置させ、塗布液に加わる吐出圧力を評価するためにノズル７１から塗布液を吐出する疑似吐出が実行される。
【0054】
さらに、塗布装置１には、装置各部の動作を制御するための制御ユニット９（図３）が具備されている。図３は制御ユニットの構成の一例を示すブロック図である。図３に示すように、制御ユニット９は、演算部９１、記憶部９３およびＵＩ(User Interface)９５を備えるコンピュータである。演算部９１はＣＰＵ(Central Processing Unit)などで構成されるプロセッサであり、吐出圧力評価プログラム９７を実行することで、吐出圧力の測定を実行する測定実行部９１１と、測定された吐出圧力を評価する圧力評価部９１３とを構築する。記憶部９３は、ＨＤＤ(Hard Disk Drive)あるいはＳＤＤ(Solid State Drive)などの記憶装置であり、上記の吐出圧力評価プログラム９７や、吐出圧力評価プログラム９７の実行に伴って測定された吐出圧力測定データ９９を記憶する。この吐出圧力評価プログラム９７は、制御ユニット９とは別に設けられた記録媒体Ｍによって例えば提供される。この記録媒体Ｍは、吐出圧力評価プログラム９７をコンピュータ（制御ユニット９）によって読み出し可能に記録する。かかる記録媒体Ｍとしては、例えばＵＳＢ(Universal Serial Bus)メモリ、メモリカードあるいは外部のサーバコンピュータの記憶装置などが挙げられる。また、ＵＩ９５は、ユーザに情報を表示するディスプレイや、ユーザによる入力操作を受け付ける入力機器を有する。このような構成を備える制御ユニット９としては、例えばデスクトップ型、ラップトップ型あるいはタブレット型の各種のコンピュータを用いることができる。
【0055】
図４は吐出圧力評価プログラムに基づき実行される吐出圧力評価方法の一例を示すフローチャートである。ステップ１０１では、測定実行部９１１が、吐出圧力評価プログラム９７に規定される移動パターンに基づき作動ディスク部８１６を移動させることで、ノズル７１から塗布液を吐出させる（疑似吐出）。これによって、作動ディスク部８１６は、大局的には、速度ゼロから所定の目標速度まで加速すると、目標速度で等速移動してから、当該目標速度から速度ゼロまで減速する。ただし、特許文献２に示されているように、作動ディスク部８１６の速度が最高速度に達してから目標速度に安定するまでの局所的な期間においては、作動ディスク部８１６の速度（パラメータ）が調整されて、移動パターンが設定されている。
【0056】
具体的には、吐出圧力が次の順
・吐出圧力が、初期圧力Ｐｉから当該初期圧力Ｐｉより大きい目標圧力Ｐｔまで増加する
・吐出圧力が、目標圧力Ｐｔで安定する
・吐出圧力が、目標圧力Ｐｔから初期圧力Ｐｉまで減少する
で変化するように、作動ディスク部８１６の移動パターンが吐出圧力評価プログラム９７に規定されている。
・吐出圧力が、初期圧力Ｐｉから当該初期圧力Ｐｉより大きい目標圧力Ｐｔまで増加する
・吐出圧力が、目標圧力Ｐｔで安定する
・吐出圧力が、目標圧力Ｐｔから初期圧力Ｐｉまで減少する
で変化するように、作動ディスク部８１６の移動パターンが吐出圧力評価プログラム９７に規定されている。
【0057】
さらに、ステップＳ１０１では、測定実行部９１１は、作動ディスク部８１６の移動に伴うノズル７１からの塗布液の吐出と並行して、所定のサンプリング周期で圧力計８６による吐出圧力の測定値を周期的に取得する。こうして、ノズル７１から塗布液が吐出される吐出期間Ｔｔ（図５）において、塗布液に与えられた吐出圧力を測定した結果が取得されて、吐出圧力測定データ９９として記憶部９３に記憶される。この吐出圧力測定データ９９は、時刻と、当該時刻で測定された吐出圧力の値とを対応付けて示す。
【0058】
ステップＳ１０２では、圧力評価部９１３が吐出圧力測定データ９９が示す吐出圧力の時間変化を所定の評価項目に従って評価する。この評価項目は、後述するように、吐出圧力測定データ９９が示す吐出圧力の時間変化から所定の特徴量を抽出して、この特徴量に基づき吐出圧力の時間変化を評価する。続いては、吐出圧力測定データ９９が示す吐出圧力の時間変化を評価するための各評価項目について詳述する。
【0059】
図５は吐出圧力の評価に用いる各期間を説明するための図である。図５では、横軸で時刻を表しつつ縦軸で吐出圧力を示すグラフにおいて、吐出圧力の時間変化が模式的に示されている。なお、かかるグラフの表記は、後に示す各図においても同様である。図５の例では、ノズル７１からの塗布液の吐出を開始する前からノズル７１からの塗布液の吐出を終了した後に亘って（すなわち、吐出期間Ｔｔの前後に亘って）、吐出圧力測定データ９９が取得される。なお、ここの例では、ノズル７１からの塗布液の吐出を開始する時刻ｔａにおける吐出圧力と、ノズル７１からの塗布液の吐出を終了した時刻ｔｅにおける吐出圧力とは、初期圧力Ｐｉとなっている。ただし、吐出の開始時および終了時それぞれの圧力が、常に初期圧力Ｐｉに一致するとは限らない。
【0060】
図５に示すように、吐出期間Ｔｔは、４つの期間Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃ、Ｔｄに分割することができる。立ち上がり期間Ｔａ、遷移期間Ｔｂ、定常期間Ｔｃおよび立ち下がり期間Ｔｄの詳細は次の通りである。
【0061】
立ち上がり期間Ｔａは、塗布液供給機構８がノズル７１からの塗布液の吐出を開始する時刻ｔａ（すなわち、塗布液供給機構８が作動ディスク部８１６の移動を開始する時刻ｔａ）から、吐出圧力が目標圧力Ｐｔに到達する時刻ｔｂまでの期間である。つまり、時刻ｔａにおいてノズル７１からの塗布液の吐出が開始されると、吐出圧力は、時刻ｔａから時刻ｔｂまでの間に、初期圧力Ｐｉから目標圧力Ｐｔまで増加する。
【0062】
遷移期間Ｔｂは、時刻ｔｂから、所定の振動減衰期間を経過する時刻ｔｃまでの期間である。この振動減衰期間は、吐出圧力の時間変化が安定するのに要する期間であり、例えばユーザによるＵＩ９５への入力操作によって設定されて、記憶部９３に記憶されている。
【0063】
定常期間Ｔｃは、時刻ｔｃから、塗布液供給機構８が吐出圧力の減少を開始する時刻ｔｄ（すなわち、塗布液供給機構８が作動ディスク部８１６の目標速度からの減速を開始する時刻ｔｄ）までの期間である。つまり、塗布液供給機構８は、時刻ｔｃから時刻ｔｄまでの間、作動ディスク部８１６を等速で移動させ、時刻ｔｄに作動ディスク部８１６の減速を開始する。なお、定常期間Ｔｃにおいて、吐出圧力は基本的に目標圧力Ｐｔで安定する。ただし、定常期間Ｔｃにおいても、吐出圧力の時間変化は微小な振動を含んでおり、吐出圧力は、目標圧力Ｐｔより大きくなったり小さくなったりする。
【0064】
また、遷移期間Ｔｂと定常期間Ｔｃとで定圧期間Ｔｂｃが構成される。つまり、定圧期間Ｔｂｃは、時刻ｔｂから時刻ｔｄの間の期間となる。
【0065】
立ち下がり期間Ｔｄは、時刻ｔｄから、塗布液供給機構８がノズル７１からの塗布液の吐出を終了する時刻ｔｅ（すなわち、塗布液供給機構８が作動ディスク部８１６を停止させる時刻ｔｅ）までの期間である。つまり、吐出圧力は、時刻ｔｄから時刻ｔｅまでの間に初期圧力Ｐｉまで減少し、時刻ｔｅにおいて、ノズル７１からの塗布液の吐出が停止する。
【0066】
図６は吐出圧力の時間変化に対して圧力評価部が実行する演算の一例を模式的に示す図である。図６に示すように、圧力評価部９１３は、吐出圧力の時間変化を時間で微分することで、吐出圧力の時間変化の１回微分Ｄ１を算出する。さらに、圧力評価部９１３は、吐出圧力の時間変化の１回微分Ｄ１を時間で微分することで、吐出圧力の時間変化の２回微分Ｄ２を算出する。また、圧力評価部９１３は、次の各式
ＭＡＥ（α、β）＝（１／ｎ）・（Σ｜α－β｜）
ＲＭＳＥ（α、β）＝（（１／ｎ）・（Σ（α－β）２））１／２
ｎ＝データ数
に基づき、平均絶対誤差ＭＡＥおよび二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥを算出する。
ＭＡＥ（α、β）＝（１／ｎ）・（Σ｜α－β｜）
ＲＭＳＥ（α、β）＝（（１／ｎ）・（Σ（α－β）２））１／２
ｎ＝データ数
に基づき、平均絶対誤差ＭＡＥおよび二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥを算出する。
【0067】
図７は特徴量Ｆｖ１に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図７の評価項目は、定常期間Ｔｃにおける吐出圧力の平均値（すなわち定常圧力Ｐｍ）と初期圧力Ｐｉとの差に相当する振幅を有する台形波形と、吐出圧力測定データ９９との誤差（理想台形絶対誤差）に基づき、吐出圧力測定データ９９が示す吐出圧力の時間変化を評価する。
【0068】
具体的には、立ち上がり期間Ｔａのうち、所定の下側基準圧力と、当該下側基準圧力より大きい所定の上側基準圧力との間における吐出圧力の時間変化に対して線形回帰分析が実行されて、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒが算出される。この立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒは、時刻ｔ１１から時刻ｔ１２の間で、初期圧力Ｐｉから定常圧力Ｐｍまで線形に増加する。
【0069】
同様に、立ち下がり期間Ｔｄのうち、上側基準圧力と下側基準圧力との間における吐出圧力の時間変化に対して線形回帰分析が実行されて、立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆが算出される。この立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆは、時刻ｔ１３から時刻ｔ１４の間で、定常圧力Ｐｍから初期圧力Ｐｉまで線形に減少する。
【0070】
なお、下側基準圧力および上側基準圧力は、初期圧力Ｐｉより大きくて目標圧力Ｐｔより小さい圧力であり、例えばユーザによるＵＩ９５への入力操作によって設定されて、記憶部９３に記憶されている。ここの例では、下側基準圧力は、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の２０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、上側基準圧力は、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の８０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力である。
【0071】
また、時刻ｔａから時刻ｔ１１までの区間に対して、開始時近似直線Ｌｒ_sが設定される。この開始時近似直線Ｌｒ_sは、初期圧力Ｐｉを示す傾きがゼロの直線である。つまり、開始時近似直線Ｌｒ_sは、ノズル７１からの塗布液の吐出開始時点（時刻ｔａ）から、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒの開始時点までを接続する直線である。なお、回帰直線の状態（傾き）によっては、時刻ｔ１１は時刻ｔａより前になることがあり、時刻ｔ１２は時刻ｔｂより後になることもある。その結果、ｔ１１＜ｔａとなる場合には、開始時近似直線Ｌｒ_ｓは省略される。
【0072】
また、時刻ｔ１４から時刻ｔｅまでの区間に対して、終了時近似直線Ｌｒ_ｅが設定される。この終了時近似直線Ｌｒ_ｅは、初期圧力Ｐｉを示す傾きがゼロの直線である。つまり、終了時近似直線Ｌｒ_ｅは、立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆの終了時点から、ノズル７１からの塗布液の吐出終了時点（時刻ｔｅ）までを接続する直線である。なお、ｔｅ＜ｔ１４となる場合には、終了時近似直線Ｌｒ_ｅは省略される。
【0073】
さらに、時刻ｔ１２から時刻ｔ１３の区間に対して、定常直線Ｌｒ_ｍが設定される。この定常直線Ｌｒ_ｍは、定常圧力Ｐｍを示す傾きがゼロの直線である。つまり、定常直線Ｌｒ_ｍは、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒの終了時点（時刻ｔ１２）と立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆの開始時点（時刻ｔ１３）とを接続する、定常圧力Ｐｍを示す直線である。
【0074】
こうして、時系列で配列された開始時近似直線Ｌｒ_s、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒ、定常直線Ｌｒ_ｍ、立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆおよび終了時近似直線Ｌｒ_ｅで構成された近似波形ＷＦ１が算出される。そして、圧力評価部９１３は、時刻ｔａから時刻ｔｅまでの吐出期間Ｔｔの全体において、吐出圧力測定データ９９と近似波形ＷＦ１との間の平均絶対誤差ＭＡＥ（理想台形絶対誤差）を、特徴量Ｆｖ１として算出する。また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ１（例えば、０．０５）に基づき、特徴量Ｆｖ１を０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１＜Ｔｈ１であるなら、Ｆｖ１＝０
Ｆｖ１≧Ｔｈ１であるなら、Ｆｖ１＝（Ｆｖ１＋１－Ｔｈ１）×ｃ１
に基づき、特徴量Ｆｖ１を、規格化された特徴量Ｆｖ１（すなわち、評価値Ｖ１）に変換する。ここで、係数ｃ１は規格化係数であり、特徴量Ｆｖ１が２以下の範囲に収まる値（例えば、１５）に予め設定されている。
Ｆｖ１＜Ｔｈ１であるなら、Ｆｖ１＝０
Ｆｖ１≧Ｔｈ１であるなら、Ｆｖ１＝（Ｆｖ１＋１－Ｔｈ１）×ｃ１
に基づき、特徴量Ｆｖ１を、規格化された特徴量Ｆｖ１（すなわち、評価値Ｖ１）に変換する。ここで、係数ｃ１は規格化係数であり、特徴量Ｆｖ１が２以下の範囲に収まる値（例えば、１５）に予め設定されている。
【0075】
図７の特徴量Ｆｖ１に基づく評価によれば、吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化が理想的な形状（すなわち、台形形状）から大きく乖離する場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0076】
図８は特徴量Ｆｖ２に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図８の評価項目は、吐出圧力の立ち上がりの滑らかさを評価する。具体的には、立ち上がり期間Ｔａのうち、下側基準圧力Ｐ２_ｌと、当該下側基準圧力Ｐ２_ｌより大きい上側基準圧力Ｐ２_ｕとの間における吐出圧力の時間変化に対して曲線回帰分析が実行されて、立ち上がり回帰曲線Ｎｒが算出される。この曲線回帰分析は二次曲線によって実行される。
【0077】
下側基準圧力Ｐ２_ｌは初期圧力Ｐｉに設定される。一方、上側基準圧力Ｐ２_ｕは、下側基準圧力Ｐ２_ｌより大きくて目標圧力Ｐｔより小さい圧力であり、例えばユーザによるＵＩ９５への入力操作によって設定されて、記憶部９３に記憶されている。ここの例では、上側基準圧力Ｐ２_ｕは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の２０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力である。この立ち上がり回帰曲線Ｎｒは、時刻ｔ２１から時刻ｔ２２の間で、下側基準圧力Ｐ２_ｌ（初期圧力Ｐｉ）から上側基準圧力Ｐ２_ｕまで増加する。なお、時刻ｔ２１は時刻ｔａに一致し、時刻ｔ２２は時刻ｔａより後で時刻ｔｂより前の時刻である。
【0078】
こうして、立ち上がり回帰曲線Ｎｒで構成された波形ＷＦ２が算出される。そして、圧力評価部９１３は、時刻ｔ２１ら時刻ｔ２２までの立ち上がり初期期間Ｔａ_ｓにおいて、吐出圧力測定データ９９と波形ＷＦ２との間の二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥを、特徴量Ｆｖ２として算出する。また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ２（例えば、０．０５）に基づき、特徴量Ｆｖ２を０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ２＜Ｔｈ２であるなら、Ｆｖ２＝０
Ｆｖ２≧Ｔｈ２であるなら、Ｆｖ２＝２
に基づき、特徴量Ｆｖ２を、規格化された特徴量Ｆｖ２（すなわち、評価値Ｖ２）に変換する。
Ｆｖ２＜Ｔｈ２であるなら、Ｆｖ２＝０
Ｆｖ２≧Ｔｈ２であるなら、Ｆｖ２＝２
に基づき、特徴量Ｆｖ２を、規格化された特徴量Ｆｖ２（すなわち、評価値Ｖ２）に変換する。
【0079】
図８の特徴量Ｆｖ２に基づく評価によれば、ノズル７１からの塗布液の吐出開始前の状態の影響を受けて、吐出開始直後の吐出圧力に異常が発生した場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。なお、曲線回帰分析に使用可能な曲線は二次曲線に限られず、指数関数などの別の曲線でもよい。
【0080】
図９は特徴量Ｆｖ３に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図９の評価項目は、立ち上がり期間Ｔａが一定期間内に収まっているかを評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、初期圧力Ｐｉから目標圧力Ｐｔへ吐出圧力が増大するのに要する時刻ｔａから時刻ｔｂまでの立ち上がり期間Ｔａの長さ（＝ｔｂ－ｔａ）を特徴量Ｆｖ３として算出する。また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ３（例えば、３５０ｍｓ）に基づき、特徴量Ｆｖ３を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ３＜Ｔｈ３であるなら、Ｆｖ３＝０
Ｆｖ３≧Ｔｈ３であるなら、Ｆｖ２＝１
に基づき、特徴量Ｆｖ３を、規格化された特徴量Ｆｖ３（すなわち、評価値Ｖ３）に変換する。
Ｆｖ３＜Ｔｈ３であるなら、Ｆｖ３＝０
Ｆｖ３≧Ｔｈ３であるなら、Ｆｖ２＝１
に基づき、特徴量Ｆｖ３を、規格化された特徴量Ｆｖ３（すなわち、評価値Ｖ３）に変換する。
【0081】
図９の特徴量Ｆｖ３に基づく評価によれば、目標圧力Ｐｔまでの立ち上がりに時間を要する吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0082】
図１０Ａは特徴量Ｆｖ４に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図であり、図１０Ｂは特徴量Ｆｖ４に基づく評価によって不適正と判断される吐出圧力の時間変化の例を示す図である。図１０Ａの評価項目は、吐出圧力の立ち上がりにおける異常の有無を評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、時刻ｔａから時刻ｔｂまでの立ち上がり期間Ｔａについて、吐出圧力の時間変化の１回微分Ｄ１を算出して、１回微分波形ＷＦ４を求める。
【0083】
そして、圧力評価部９１３は、立ち上がり期間Ｔａにおいて、１回微分波形ＷＦ４が、所定の閾値Ｔｈ４と交差する回数を、特徴量Ｆｖ４として求める。図１０Ａの例では、１回微分波形ＷＦ４と閾値Ｔｈ４（例えば、０．００２）とは、時刻ｔ４１および時刻ｔ４２のそれぞれで交差しており、交差回数（特徴量Ｆｖ４）は２回となる。また、圧力評価部９１３は、特徴量Ｆｖ４を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ４≦２であるなら、Ｆｖ４＝０
Ｆｖ４＞２であるなら、Ｆｖ４＝１
に基づき、特徴量Ｆｖ４を、規格化された特徴量Ｆｖ４（すなわち、評価値Ｖ４）に変換する。
Ｆｖ４≦２であるなら、Ｆｖ４＝０
Ｆｖ４＞２であるなら、Ｆｖ４＝１
に基づき、特徴量Ｆｖ４を、規格化された特徴量Ｆｖ４（すなわち、評価値Ｖ４）に変換する。
【0084】
図１０Ａの特徴量Ｆｖ４に基づく評価によれば、立ち上がり期間Ｔａにおける吐出圧力の時間変化に段が生じた場合に（例えば、図１０Ｂに示すように）、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0085】
図１１Ａは特徴量Ｆｖ５に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図であり、図１１Ｂは特徴量Ｆｖ５に基づく評価によって不適正と判断される吐出圧力の時間変化の例を示す図である。図１１Ａの評価項目は、吐出圧力の立ち上がりにおける異常の有無を評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、時刻ｔａから時刻ｔｂまでの立ち上がり期間Ｔａについて、吐出圧力の時間変化の２回微分Ｄ２を算出して、２回微分波形ＷＦ５を求める。
【0086】
そして、圧力評価部９１３は、立ち上がり期間Ｔａにおいて、２回微分波形ＷＦ５の絶対値が、所定の閾値Ｔｈ５と交差する回数を、特徴量Ｆｖ５として求める。図１１Ａの例では、２回微分波形ＷＦ５の絶対値と閾値Ｔｈ５（例えば、０．０００２）とは、時刻ｔ５１、ｔ５２、ｔ５３およびｔ５４のそれぞれで交差しており、交差回数（特徴量Ｆｖ５）は４回となる。また、圧力評価部９１３は、特徴量Ｆｖ５を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ５＝４であるなら、Ｆｖ５＝０
Ｆｖ５≠４であるなら、Ｆｖ５＝１
に基づき、特徴量Ｆｖ５を、規格化された特徴量Ｆｖ５（すなわち、評価値Ｖ５）に変換する。
Ｆｖ５＝４であるなら、Ｆｖ５＝０
Ｆｖ５≠４であるなら、Ｆｖ５＝１
に基づき、特徴量Ｆｖ５を、規格化された特徴量Ｆｖ５（すなわち、評価値Ｖ５）に変換する。
【0087】
図１１Ａの特徴量Ｆｖ５に基づく評価によれば、立ち上がり期間Ｔａにおける吐出圧力の時間変化に段が生じた場合に（例えば、図１１Ｂに示すように）、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0088】
図１２は特徴量Ｆｖ６に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１２の評価項目は、吐出圧力の立ち上がりが後半において失速していないかを評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、時刻ｔａから時刻ｔｂまでの立ち上がり期間Ｔａについて、吐出圧力の時間変化の２回微分Ｄ２を算出して、２回微分波形ＷＦ６を求める。
【0089】
そして、圧力評価部９１３は、立ち上がり期間Ｔａにおいて、２回微分波形ＷＦ６が、所定の正の閾値（Ｔｈ５）より大きくなる時間Ｔ_１ｓｔと、２回微分波形ＷＦ６が所定の負の閾値（－Ｔｈ５）より小さくなる時間Ｔ_２ｎｄとをそれぞれ求める。ここで、正の閾値と負の閾値とは、同一の絶対値（Ｔｈ５）を有して、互いに異なる符号を有する。かかる正および負の閾値の絶対値（Ｔｈ５）は、上記の特徴量Ｆｖ５による評価で用いた閾値Ｔｈ５のそれと等しい。そして、圧力評価部９１３は、これらの時間の比（＝Ｔ_１ｓｔ／Ｔ_２ｎｄ）を、特徴量Ｆｖ６として求める。さらに、圧力評価部９１３は、次式
Ｆｖ６＝｜１－Ｆｖ６｜
に基づき、特徴量Ｆｖ６を変換する。
Ｆｖ６＝｜１－Ｆｖ６｜
に基づき、特徴量Ｆｖ６を変換する。
【0090】
また、圧力評価部９１３は、こうして変換された特徴量Ｆｖ６を、所定の閾値Ｔｈ６（例えば、０．２）を用いて、０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ６＜Ｔｈ６であるなら、Ｆｖ６＝０
Ｆｖ６≧Ｔｈ６であるなら、Ｆｖ６＝ｆ（Ｆｖ６）
ｆ（γ）＝４×γ－０．８
に基づき、特徴量Ｆｖ６を、規格化された特徴量Ｆｖ６（すなわち、評価値Ｖ６）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
Ｆｖ６＜Ｔｈ６であるなら、Ｆｖ６＝０
Ｆｖ６≧Ｔｈ６であるなら、Ｆｖ６＝ｆ（Ｆｖ６）
ｆ（γ）＝４×γ－０．８
に基づき、特徴量Ｆｖ６を、規格化された特徴量Ｆｖ６（すなわち、評価値Ｖ６）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
【0091】
塗布液の塗布対象となる基板Ｓの搬送速度は、加速期間の後半においても失速することなく目標速度に到達する。したがって、塗布液に与えられる吐出圧力も立ち上がり期間Ｔａにおいて失速することなく、目標圧力Ｐｔに到達することが好適となる。これに対して、図１２の特徴量Ｆｖ６に基づく評価によれば、立ち上がり期間Ｔａにおいて吐出圧力が失速した場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0092】
図１３は特徴量Ｆｖ７に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１３の評価項目は、立ち上がりの終了時における吐出圧力の時間変化の鋭さを評価する。具体的には、立ち上がり期間Ｔａのうち、下側基準圧力Ｐ７_ｌと、当該下側基準圧力Ｐ７_ｌより大きい上側基準圧力Ｐ７_ｕとの間における吐出圧力の時間変化に対して直線回帰分析が実行されて、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが算出される。ここで、下側基準圧力Ｐ７_ｌは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の８０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、上側基準圧力Ｐ７_ｕは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の９０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、吐出圧力は、時刻ｔ７１から時刻ｔ７２までの間に、下側基準圧力Ｐ７_ｌから上側基準圧力Ｐ７_ｕへ増大する。
【0093】
この立ち上がり終期回帰直線Ｌｒは、時間経過に伴って増大して、時刻ｔ７３において定常圧力Ｐｍ（定常期間Ｔｃにおける吐出圧力の平均値）に到達する。こうして、時刻ｔ７１から時刻ｔ７３の区間に対して、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが設定される。さらに、圧力評価部９１３は、時刻ｔ７３から時刻ｔｂまでの間において定常圧力Ｐｍを示す傾きがゼロの延設直線Ｌｍを設定する。上述の通り、時刻ｔｂは、吐出圧力が目標圧力Ｐｔに到達する時刻であり、立ち上がり期間Ｔａの終了時刻に相当する。つまり、この延設直線Ｌｍは、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（の終了時点）から立ち上がり期間Ｔａの終了時点まで延設するように設けられる。なお、ｔｂ＜ｔ７３の場合には、延設直線Ｌｍは省略される。
【0094】
こうして、時系列で配列された立ち上がり終期回帰直線Ｌｒおよび延設直線Ｌｍで構成された近似波形ＷＦ７が算出される。そして、圧力評価部９１３は、吐出圧力が目標圧力Ｐｔの９０％となる時刻ｔ７２から１００％となる時刻ｔｂまでの立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおいて、吐出圧力測定データ９９と近似波形ＷＦ７との間の差を示す値を、特徴量Ｆｖ７として算出する。具体的には、重み基準時間幅Ｔｗ＝ｔ７３－ｔ７２が設定される。そして、重み付き二乗平方根誤差和が、次式
Ｆｖ７＝（Σ（Ｐ_measure－ＷＦ７）２×Ｗ）１／２
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
時刻ｔｂ≦ｔ７３＋２×Ｔｗの範囲でＷ＝１
時刻ｔｂ＞ｔ７３＋２×Ｔｗの範囲でＷ＝ｗ
ｗは１より大きい重み係数であり、例えば１０である
に基づき算出される。
Ｆｖ７＝（Σ（Ｐ_measure－ＷＦ７）２×Ｗ）１／２
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
時刻ｔｂ≦ｔ７３＋２×Ｔｗの範囲でＷ＝１
時刻ｔｂ＞ｔ７３＋２×Ｔｗの範囲でＷ＝ｗ
ｗは１より大きい重み係数であり、例えば１０である
に基づき算出される。
【0095】
また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ７（例えば、０．６）に基づき、特徴量Ｆｖ７を０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ７＜Ｔｈ７であるなら、Ｆｖ７＝０
Ｆｖ７≧Ｔｈ７であるなら、Ｆｖ７＝Ｆｖ７／ｃ７
ｃ７は任意の正の定数であり、例えば１．１である
に基づき、特徴量Ｆｖ７を、規格化された特徴量Ｆｖ７（すなわち、評価値Ｖ７）に変換する。
Ｆｖ７＜Ｔｈ７であるなら、Ｆｖ７＝０
Ｆｖ７≧Ｔｈ７であるなら、Ｆｖ７＝Ｆｖ７／ｃ７
ｃ７は任意の正の定数であり、例えば１．１である
に基づき、特徴量Ｆｖ７を、規格化された特徴量Ｆｖ７（すなわち、評価値Ｖ７）に変換する。
【0096】
図１３の特徴量Ｆｖ７に基づく評価によれば、立ち上がりの勢いが弱く丸みを帯びた波形を吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0097】
図１４は特徴量Ｆｖ８に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１４の評価項目は、吐出圧力の立ち上がりに発生するオーバーシュートの程度を評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、吐出圧力が最大値Ｐｍａｘに達した時刻ｔ８１において、吐出圧力の２回微分Ｄ２の符号（正／負）を求める。そして、圧力評価部９１３は、吐出圧力の２回微分Ｄ２の符号が、時刻ｔ８１での符号から２回切り替わる時刻ｔ８２を算出する。そして、時刻ｔ８１から時刻ｔ８２までの初期振動期間Ｔｂ_ｓにおける吐出圧力の時間変化が評価される。
【0098】
具体的には、この初期振動期間Ｔｂ_ｓにおける吐出圧力の時間変化の最小値Ｐ８ｍｉｎが求められて、定常圧力Ｐｍおよび圧力Ｐ８ｍｉｎのうち、小さい方の圧力が、対象圧力Ｐｇに選択される。そして、最大圧力Ｐｍａｘと対象圧力Ｐｇとの差、すなわち次式
Ｆｖ８＝Ｐｍａｘ－Ｐｇ
に基づき、特徴量Ｆｖ８が算出される。
Ｆｖ８＝Ｐｍａｘ－Ｐｇ
に基づき、特徴量Ｆｖ８が算出される。
【0099】
さらに、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ８（例えば、０．０３５）を用いて、特徴量Ｆｖ８を０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ８＜Ｔｈ８であるなら、Ｆｖ８＝０
Ｆｖ８≧Ｔｈ８であるなら、Ｆｖ８＝Ｆｖ８／ｃ８
ｃ８は任意の正の定数であり、例えば０．１２である
に基づき、特徴量Ｆｖ８を、規格化された特徴量Ｆｖ８（すなわち、評価値Ｖ８）に変換する。
Ｆｖ８＜Ｔｈ８であるなら、Ｆｖ８＝０
Ｆｖ８≧Ｔｈ８であるなら、Ｆｖ８＝Ｆｖ８／ｃ８
ｃ８は任意の正の定数であり、例えば０．１２である
に基づき、特徴量Ｆｖ８を、規格化された特徴量Ｆｖ８（すなわち、評価値Ｖ８）に変換する。
【0100】
図１４の特徴量Ｆｖ８に基づく評価によれば、立ち上がりの勢いが強く、大きなオーバーシュートを吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0101】
図１５は特徴量Ｆｖ９に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１５の評価項目は、遷移期間Ｔｂにおける吐出圧力の時間変化の安定度を評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、遷移期間Ｔｂにおける吐出圧力と、定常期間Ｔｃにおける吐出圧力の平均値である定常圧力Ｐｍとについて、次式
Ｆｖ９＝ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｐｍ）
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
に基づき、二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｐｍ）を特徴量Ｆｖ９として算出する。
Ｆｖ９＝ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｐｍ）
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
に基づき、二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｐｍ）を特徴量Ｆｖ９として算出する。
【0102】
さらに、圧力評価部９１３は、特徴量Ｆｖ９を０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ９＝Ｆｖ９／ｃ９
ｃ９は任意の正の定数であり、例えば０．０４である
に基づき、特徴量Ｆｖ９を、規格化された特徴量Ｆｖ９（すなわち、評価値Ｖ９）に変換する。
Ｆｖ９＝Ｆｖ９／ｃ９
ｃ９は任意の正の定数であり、例えば０．０４である
に基づき、特徴量Ｆｖ９を、規格化された特徴量Ｆｖ９（すなわち、評価値Ｖ９）に変換する。
【0103】
図１５の特徴量Ｆｖ９に基づく評価によれば、遷移期間Ｔｂにおけるリンギングを吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0104】
図１６は特徴量Ｆｖ１０に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１６の評価項目は、定圧期間Ｔｂｃにおける吐出圧力の時間変化の安定度を評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、定圧期間Ｔｂｃにおいて、吐出圧力の最大値Ｐｍａｘと最小値Ｐ１０ｍｉｎとを求める。そして、圧力評価部９１３は、定圧期間Ｔｂｃにおける最大圧力Ｐｍａｘと最小圧力Ｐ１０ｍｉｎとの差、すなわち次式
Ｆｖ１０＝Ｐｍａｘ－Ｐ１０ｍｉｎ
に基づき、特徴量Ｆｖ１０を算出する。
Ｆｖ１０＝Ｐｍａｘ－Ｐ１０ｍｉｎ
に基づき、特徴量Ｆｖ１０を算出する。
【0105】
さらに、圧力評価部９１３は、閾値Ｔｈ１０（例えば、０．１２）を用いて、特徴量Ｆｖ１０を０以上で２以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１０＜Ｔｈ１０であるなら、Ｆｖ１０＝０
Ｆｖ１０≧Ｔｈ１０であるなら、Ｆｖ１０＝Ｆｖ１０／Ｔｈ１０
に基づき、特徴量Ｆｖ１０を、規格化された特徴量Ｆｖ１０（すなわち、評価値Ｖ１０）に変換する。
Ｆｖ１０＜Ｔｈ１０であるなら、Ｆｖ１０＝０
Ｆｖ１０≧Ｔｈ１０であるなら、Ｆｖ１０＝Ｆｖ１０／Ｔｈ１０
に基づき、特徴量Ｆｖ１０を、規格化された特徴量Ｆｖ１０（すなわち、評価値Ｖ１０）に変換する。
【0106】
図１６の特徴量Ｆｖ１０に基づく評価によれば、塗布液の膜厚に影響の大きな定常期間Ｔｃにおいて大きなばらつきを吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0107】
図１７は特徴量Ｆｖ１１に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１７の評価項目は、立ち上がり期間Ｔａにおける吐出圧力の時間変化の真直度を評価する。具体的には、立ち上がり期間Ｔａにおいて、吐出圧力が下側基準圧力Ｐ１１_ｌになる時刻ｔ１１１から、吐出圧力が当該下側基準圧力Ｐ１１_ｌより大きい上側基準圧力Ｐ１１_ｕになる時刻ｔ１１３までの圧力上昇期間Ｔａｒが求められる。ここで、下側基準圧力Ｐ１１_ｌは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の２０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、上側基準圧力Ｐ１１_ｕは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の８０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、吐出圧力は、時刻ｔ１１１から時刻ｔ１１３までの間に、下側基準圧力Ｐ１１_ｌから上側基準圧力Ｐ１１_ｕへ増大する。
【0108】
さらに、圧力評価部９１３は、下側基準圧力Ｐ１１_ｌと上側基準圧力Ｐ１１_ｕとの間における吐出圧力測定データ９９のうちから、所定条件を満たす特定データＤｍを求める。かかる所定条件について、次に詳述する。
【0109】
吐出圧力測定データ９９のうちから、下側基準圧力Ｐ１１_ｌと上側基準圧力Ｐ１１_ｕとの間の一の測定データを、候補データＤｃとして選択する。そして、下側基準圧力Ｐ１１_ｌを示す測定データＤｌと候補データＤｃとの間の吐出圧力の時間変化に対して線形回帰分析を行って求めた回帰直線を近似直線Ｌｒ_１とする。また、上側基準圧力Ｐ１１_ｕを示す測定データＤｕと候補データＤｃとの間の吐出圧力の時間変化に対して線形回帰分析を行って求めた回帰直線を近似直線Ｌｒ_２とする。さらに、測定データＤｌと候補データＤｃとの間の区間において、吐出圧力の時間変化と近似直線Ｌｒ_１との二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｌｒ１）が求められる。同様に、候補データＤｃと測定データＤｕとの間の区間において、吐出圧力の時間変化と近似直線Ｌｒ_２との二乗平均平方根誤差ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｌｒ２）が求められる。ここで、Ｐ_measureは、吐出圧力測定データ９９を示す。
【0110】
さらに、これらの和が次式
Ｅｒ＝ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｌｒ１）＋ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｌｒ２）
に基づき求められる。そして、吐出圧力測定データ９９のうち、和Ｅｒが最小となる候補データＤｃが、特定データＤｍとして特定される。
Ｅｒ＝ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｌｒ１）＋ＲＭＳＥ（Ｐ_measure，Ｌｒ２）
に基づき求められる。そして、吐出圧力測定データ９９のうち、和Ｅｒが最小となる候補データＤｃが、特定データＤｍとして特定される。
【0111】
そして、特定データＤｍについて求められる上記の近似直線Ｌｒ_１および近似直線Ｌｒ_２それぞれの傾きをＫ１およびＫ２として、特徴量Ｆｖ１１が、次式
Ｋ１＞Ｋ２であるなら、Ｆｖ１１＝１－Ｋ１／Ｋ２
Ｋ１≦Ｋ２であるなら、Ｆｖ１１＝１－Ｋ２／Ｋ１
に基づき算出される。
Ｋ１＞Ｋ２であるなら、Ｆｖ１１＝１－Ｋ１／Ｋ２
Ｋ１≦Ｋ２であるなら、Ｆｖ１１＝１－Ｋ２／Ｋ１
に基づき算出される。
【0112】
また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ１１（例えば、０．２５）に基づき、特徴量Ｆｖ１１を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１１＜Ｔｈ１１であるなら、Ｆｖ１１＝０
Ｆｖ１１≧Ｔｈ１１であるなら、Ｆｖ１１＝ｆ（Ｆｖ１１）
ｆ（γ）＝４×γ－１
に基づき、特徴量Ｆｖ１１を、規格化された特徴量Ｆｖ１１（すなわち、評価値Ｖ１１）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
Ｆｖ１１＜Ｔｈ１１であるなら、Ｆｖ１１＝０
Ｆｖ１１≧Ｔｈ１１であるなら、Ｆｖ１１＝ｆ（Ｆｖ１１）
ｆ（γ）＝４×γ－１
に基づき、特徴量Ｆｖ１１を、規格化された特徴量Ｆｖ１１（すなわち、評価値Ｖ１１）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
【0113】
図１７の特徴量Ｆｖ１１に基づく評価によれば、立ち上がり期間Ｔａにおいて真直性の悪い時間変化を吐出圧力が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0114】
図１８は特徴量Ｆｖ１２に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１８の評価項目は、立ち上がりの終了時における吐出圧力の時間変化の鋭さを評価する。具体的には、立ち上がり期間Ｔａのうち、下側基準圧力Ｐ１２_ｌと、当該下側基準圧力Ｐ１２_ｌより大きい上側基準圧力Ｐ１２_ｕとの間における吐出圧力の時間変化に対して直線回帰分析が実行されて、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが算出される。ここで、下側基準圧力Ｐ１２_ｌは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の７０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、上側基準圧力Ｐ１２_ｕは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の９０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、吐出圧力は、時刻ｔ１２１から時刻ｔ１２２までの間に、下側基準圧力Ｐ１２_ｌから上側基準圧力Ｐ１２_ｕへ増大する。
【0115】
この立ち上がり終期回帰直線Ｌｒは、時間経過に伴って増大して、時刻ｔ１２３において目標圧力Ｐｔに到達する。こうして、時刻ｔ１２１から時刻ｔ１２３の区間に対して、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが設定される。さらに、圧力評価部９１３は、時刻ｔ１２３から時刻ｔｂまでの間において目標圧力Ｐｔを示す傾きがゼロの延設直線Ｌｍを設定する。上述の通り、時刻ｔｂは、吐出圧力が目標圧力Ｐｔに到達する時刻であり、立ち上がり期間Ｔａの終了時刻に相当する。つまり、この延設直線Ｌｍは、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（の終了時点）から立ち上がり期間Ｔａの終了時点まで延設するように設けられる。なお、ｔｂ＜ｔ１２３の場合には、延設直線Ｌｍは省略される。
【0116】
こうして、時系列で配列された立ち上がり終期回帰直線Ｌｒおよび延設直線Ｌｍで構成された近似波形ＷＦ１２が算出される。そして、圧力評価部９１３は、吐出圧力が目標圧力Ｐｔの９０％となる時刻ｔ１２２から１００％となる時刻ｔｂまでの立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおいて、吐出圧力測定データ９９と近似波形ＷＦ１２との間の差を示す値を、特徴量Ｆｖ１２として算出する。具体的には、二乗平方根誤差和を次式
Ｆｖ１２＝（Σ（Ｐ_measure－ＷＦ１２）２）１／２
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
に基づき算出する。
Ｆｖ１２＝（Σ（Ｐ_measure－ＷＦ１２）２）１／２
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
に基づき算出する。
【0117】
また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ１２（例えば、０．８）に基づき、特徴量Ｆｖ１２を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１２＜Ｔｈ１２であるなら、Ｆｖ１２＝０
Ｆｖ１２≧Ｔｈ１２であるなら、Ｆｖ１２＝ｆ（Ｆｖ１２）
ｆ（γ）＝５×γ－４
に基づき、特徴量Ｆｖ１２を、規格化された特徴量Ｆｖ１２（すなわち、評価値Ｖ１２）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
Ｆｖ１２＜Ｔｈ１２であるなら、Ｆｖ１２＝０
Ｆｖ１２≧Ｔｈ１２であるなら、Ｆｖ１２＝ｆ（Ｆｖ１２）
ｆ（γ）＝５×γ－４
に基づき、特徴量Ｆｖ１２を、規格化された特徴量Ｆｖ１２（すなわち、評価値Ｖ１２）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
【0118】
図１８の特徴量Ｆｖ１２に基づく評価によれば、立ち上がりの勢いが弱く、大局的に見て丸みを帯びた波形を吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0119】
図１９は特徴量Ｆｖ１３に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図１９の評価項目は、立ち上がりの終了時における吐出圧力の時間変化の鋭さを評価する。具体的には、立ち上がり期間Ｔａのうち、下側基準圧力Ｐ１３_ｌと、当該下側基準圧力Ｐ１３_ｌより大きい上側基準圧力Ｐ１３_ｕとの間における吐出圧力の時間変化に対して直線回帰分析が実行されて、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが算出される。ここで、下側基準圧力Ｐ１３_ｌは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の９０％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、上側基準圧力Ｐ１３_ｕは、初期圧力Ｐｉと目標圧力Ｐｔとの差の絶対値の９５％の圧力を初期圧力Ｐｉに加算した圧力であり、吐出圧力は、時刻ｔ１３１から時刻ｔ１３２までの間に、下側基準圧力Ｐ１３_ｌから上側基準圧力Ｐ１３_ｕへ増大する。
【0120】
この立ち上がり終期回帰直線Ｌｒは、時間経過に伴って増大して、時刻ｔ１３３において目標圧力Ｐｔに到達する。こうして、時刻ｔ１３１から時刻ｔ１３３の区間に対して、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが設定される。さらに、圧力評価部９１３は、時刻ｔ１３３から時刻ｔｂまでの間において目標圧力Ｐｔを示す傾きがゼロの延設直線Ｌｍを設定する。上述の通り、時刻ｔｂは、吐出圧力が目標圧力Ｐｔに到達する時刻であり、立ち上がり期間Ｔａの終了時刻に相当する。つまり、この延設直線Ｌｍは、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（の終了時点）から立ち上がり期間Ｔａの終了時点まで延設するように設けられる。なお、ｔｂ＜ｔ１３３の場合には、延設直線Ｌｍは省略される。
【0121】
こうして、時系列で配列された立ち上がり終期回帰直線Ｌｒおよび延設直線Ｌｍで構成された近似波形ＷＦ１３が算出される。そして、圧力評価部９１３は、吐出圧力が目標圧力Ｐｔの９５％となる時刻ｔ１３２から１００％となる時刻ｔｂまでの立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおいて、吐出圧力測定データ９９と近似波形ＷＦ１３との間の差を示す値を、特徴量Ｆｖ１３として算出する。具体的には、二乗平方根誤差和を次式
Ｆｖ１３＝（Σ（Ｐ_measure－ＷＦ１３）２）１／２
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
に基づき算出する。
Ｆｖ１３＝（Σ（Ｐ_measure－ＷＦ１３）２）１／２
Ｐ_measure＝吐出圧力測定データ９９
に基づき算出する。
【0122】
また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ１３（例えば、０．１）に基づき、特徴量Ｆｖ１３を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１３＜Ｔｈ１３であるなら、Ｆｖ１３＝０
Ｆｖ１３≧Ｔｈ１３であるなら、Ｆｖ１３＝ｆ（Ｆｖ１３）
ｆ（γ）＝（１０×γ－１）／３
に基づき、特徴量Ｆｖ１３を、規格化された特徴量Ｆｖ１３（すなわち、評価値Ｖ１３）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
Ｆｖ１３＜Ｔｈ１３であるなら、Ｆｖ１３＝０
Ｆｖ１３≧Ｔｈ１３であるなら、Ｆｖ１３＝ｆ（Ｆｖ１３）
ｆ（γ）＝（１０×γ－１）／３
に基づき、特徴量Ｆｖ１３を、規格化された特徴量Ｆｖ１３（すなわち、評価値Ｖ１３）に変換する。なお、γを変数とする関数ｆ（γ）は、ここの例に限られず、任意に変更できる。
【0123】
図１９の特徴量Ｆｖ１３に基づく評価によれば、立ち上がりの勢いが弱く、局所的に見て丸みを帯びた波形を吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0124】
図２０は特徴量Ｆｖ１４に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目を説明するための図である。図２０の評価項目は、吐出圧力の立ち上がりに発生するオーバーシュートの程度を評価する。具体的には、圧力評価部９１３は、吐出圧力が最大値Ｐｍａｘに達した時刻ｔ１４１において、吐出圧力の２回微分Ｄ２の符号（正／負）を求める。そして、圧力評価部９１３は、吐出圧力の２回微分Ｄ２の符号が、時刻ｔ１４１での符号から２回切り替わる時刻ｔ１４２を算出する。そして、時刻ｔ１４１から時刻ｔ１４２までの初期振動期間Ｔｂ_ｓにおける吐出圧力の時間変化が評価される。
【0125】
具体的には、この初期振動期間Ｔｂ_ｓにおける吐出圧力の時間変化の最小値Ｐ１４ｍｉｎが求められる。そして、最大圧力Ｐｍａｘと定常圧力Ｐｍとの差を次式
ＯＶＥＲ＝Ｐｍａｘ－Ｐｍ
に基づき算出し、定常圧力Ｐｍと最小圧力Ｐ１４ｍｉｎとの差を次式
ＵＮＤＥＲ＝Ｐｍ－Ｐ１４ｍｉｎ
に基づき算出する。そして、ＯＶＥＲとＵＮＤＥＲとの和、すなわち次式
Ｆｖ１４＝ＯＶＥＲ＋ＵＮＤＥＲ
に基づき、特徴量Ｆｖ１４が算出される。
ＯＶＥＲ＝Ｐｍａｘ－Ｐｍ
に基づき算出し、定常圧力Ｐｍと最小圧力Ｐ１４ｍｉｎとの差を次式
ＵＮＤＥＲ＝Ｐｍ－Ｐ１４ｍｉｎ
に基づき算出する。そして、ＯＶＥＲとＵＮＤＥＲとの和、すなわち次式
Ｆｖ１４＝ＯＶＥＲ＋ＵＮＤＥＲ
に基づき、特徴量Ｆｖ１４が算出される。
【0126】
さらに、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ１４（例えば、０．０１）を用いて、特徴量Ｆｖ１４を０以上で１以下の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１４＜Ｔｈ１４であるなら、Ｆｖ１４＝０
Ｆｖ１４≧Ｔｈ１４であるなら、Ｆｖ１４＝ｆ（Ｆｖ１４）
ｆ（γ）＝（１００×γ－１）／９
に基づき、特徴量Ｆｖ１４を、規格化された特徴量Ｆｖ１４（すなわち、評価値Ｖ１４）に変換する。
Ｆｖ１４＜Ｔｈ１４であるなら、Ｆｖ１４＝０
Ｆｖ１４≧Ｔｈ１４であるなら、Ｆｖ１４＝ｆ（Ｆｖ１４）
ｆ（γ）＝（１００×γ－１）／９
に基づき、特徴量Ｆｖ１４を、規格化された特徴量Ｆｖ１４（すなわち、評価値Ｖ１４）に変換する。
【0127】
図２０の特徴量Ｆｖ１４に基づく評価によれば、オーバーシュートした点とリングバッ（急激な立ち上がりの後に反動で圧力が下がる現象）した点のそれぞれについて、目標圧力Ｐｔからの誤差を算出している。そのため、大きなオーバーシュートやリングバックを吐出圧力の時間変化が示す場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0128】
以上が、吐出圧力の時間変化を評価するために使用できる各評価項目と、各評価項目で抽出される特徴量Ｆｖ１～Ｆｖ１４や評価値Ｖ１～Ｖ１４の説明である。なお、ステップＳ１０２の測定結果評価では、上記の全評価項目による評価が常に実行されるわけではなく、吐出圧力の時間変化の適正度に応じて、実行される評価項目の個数が変化する。続いては、この点について説明する。
【0129】
図２１は測定結果評価の詳細を示すフローチャートであり、図２２は図２１のフローチャートに従って実行される動作の一例を模式的に示す図である。図２１の測定結果評価は、圧力評価部９１３によって実行される。また、この測定結果評価では、Ｎ個の評価段階（Ｎは２以上の整数であり、ここの例ではＮ＝３）が準備されており、これらＮ個の評価段階が順番に実行される。
【0130】
図２２に示すように、１番目（Ｉ＝１）の評価段階に対しては、図７により示した特徴量Ｆｖ１に基づく評価項目が割り当てられている。２番目（Ｉ＝２）の評価段階に対しては、図８～図１６により示した特徴量Ｆｖ２～Ｆｖ１０に基づく評価項目が割り当てられている。３番目（Ｉ＝３）の評価段階に対しては、図１７～図２０により示した特徴量Ｆｖ１１～Ｆｖ１４に基づく評価項目が割り当てられている。そして、各評価段階Ｉでは、割り当てられた評価項目に基づき吐出圧力の時間変化が評価される。なお、Ｉは、評価段階を識別するための番号であり、１以上であってＮ以下の整数となる。
【0131】
このように、Ｎ個の評価段階に対しては、互いに異なる評価項目が割り当てられている。さらに、Ｎ個の評価段階に対しては、互いに異なる範囲（値域）の最終評価値Ｖｆが割り当てられている。したがって、次に説明するように、Ｉ番目までの評価段階による評価が実行された吐出圧力に対しては、Ｉ番目の評価段階に割り当てられた値域内の最終評価値Ｖｆが与えられる。
【0132】
図２１に示すように、ステップＳ２０１では、Ｉがゼロにリセットされ、ステップＳ２０２では、Ｉが１だけインクリメントされる。ステップＳ２０３では、Ｉ番目の評価段階の評価項目に基づき吐出圧力が評価される。ここでは、Ｉ＝１であるため、特徴量Ｆｖ１が算出されて、評価値Ｖ１が求められる。そして、この評価値Ｖ１が１番目の評価段階の評価結果となる。
【0133】
ステップＳ２０４では、Ｉ＝Ｎであるかが判断される。ここでは、Ｉ＜Ｎであるため、ステップＳ２０５に進む。ステップＳ２０５では、ステップＳ２０３での評価結果に基づき、吐出圧力の時間変化が良好であるか否かが判断される。評価結果（評価値Ｖ１）が所定の振り分け閾値Ａｔ１以上である場合には、ステップＳ２０５で不良（ＮＯ）と判断されて、２～３番目の評価段階（すなわち、Ｉ番目より後の評価段階）による評価を省略して、ステップＳ２０６に進む。
【0134】
ステップＳ２０６では、実行済みの評価段階の数（Ｉ）と、Ｉ番目の評価段階での評価結果とに応じた最終評価値Ｖｆが決定される。ここの例では、１番目の評価段階のみが実行済みであるため、図２２の例に従って、１番目の評価段階に対する値域の最小評価値（＝２０）に、１番目の評価段階の評価結果（評価値Ｖ１）を加算した値が最終評価値Ｖｆとして決定される。これによって、１番目の評価段階に対して設けられた値域（２０～４０）内の最終評価値Ｖｆが吐出圧力の時間変化に与えられる。
【0135】
あるいは、ステップＳ２０４での評価結果（評価値Ｖ１）が振り分け閾値Ａｔ１未満である場合には、ステップＳ２０５で良好（ＹＥＳ）と判断され、ステップＳ２０２に戻って、Ｉが１だけインクリメントされる。
【0136】
そして、ステップＳ２０３では、Ｉ番目の評価段階の評価項目に基づき吐出圧力が評価される。ここでは、Ｉ＝２であるため、特徴量Ｆｖ２～Ｆｖ１０が算出されて、評価値Ｖ２～Ｖ１０が求められる。そして、評価値Ｖ２～Ｖ１０の合計が２番目の評価段階の評価結果となる。つまり、Ｉ番目の評価段階に属する評価項目による評価値の合計が、Ｉ番目の評価段階での評価結果となる。
【0137】
ステップＳ２０４では、Ｉ＝Ｎであるかが判断される。ここでは、Ｉ＜Ｎであるため、ステップＳ２０５に進む。ステップＳ２０５では、ステップＳ２０３での評価結果に基づき、吐出圧力の時間変化が良好であるか否かが判断される。評価結果（評価値Ｖ２～Ｖ１０の合計）が所定の振り分け閾値Ａｔ２以上である場合には、ステップＳ２０５で不良（ＮＯ）と判断されて、３番目の評価段階による評価を省略して、ステップＳ２０６に進む。
【0138】
ステップＳ２０６では、実行済みの評価段階の数（Ｉ）と、Ｉ番目の評価段階での評価結果とに応じた最終評価値Ｖｆが決定される。ここの例では、１～２番目の評価段階が実行済みであるため、図２２の例に従って、２番目の評価段階に対する値域の最小評価値（＝４）に、２番目の評価段階の評価結果（評価値Ｖ２～Ｖ１０の合計）を加算した値が最終評価値Ｖｆとして決定される。これによって、２番目の評価段階に対して設けられた値域（４～２０）内の最終評価値Ｖｆが吐出圧力の時間変化に与えられる。
【0139】
あるいは、ステップＳ２０５での評価結果（評価値Ｖ２～Ｖ１０の合計）が振り分け閾値Ａｔ２未満である場合には、ステップＳ２０５で良好（ＹＥＳ）と判断され、ステップＳ２０２に戻って、Ｉが１だけインクリメントされる。
【0140】
そして、ステップＳ２０３では、Ｉ番目の評価段階の評価項目に基づき吐出圧力が評価される。ここでは、Ｉ＝３であるため、特徴量Ｆｖ１１～Ｆｖ１４が算出されて、評価値Ｖ１１～Ｖ１４が求められる。そして、上記と同様に、評価値Ｖ１１～Ｖ１４の合計が３番目の評価段階の評価結果となる。
【0141】
ステップＳ２０４では、Ｉ＝Ｎであるかが判断される。ここでは、Ｉ＝Ｎであるため、ステップＳ２０６に進む。ステップＳ２０６では、実行済みの評価段階の数（Ｉ）と、Ｉ番目の評価段階での評価結果とに応じた最終評価値Ｖｆが決定される。ここの例では、１～３番目の評価段階が実行済みであるため、図２２の例に従って、３番目の評価段階の最小評価値（＝０）に、３番目の評価段階の評価結果（評価値Ｖ１１～Ｖ１４の合計）を加算した値が最終評価値Ｖｆとして決定される。これによって、３番目の評価段階に対して設けられた値域（０～４）内の最終評価値Ｖｆが吐出圧力の時間変化に与えられる。
【0142】
以上に説明した実施形態では、吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個の評価段階が設けられており、１番目からＮ番目までの評価段階を順番に実行することができる。ただし、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が適正と判断された場合（ステップＳ２０５で「ＹＥＳ」）に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による吐出圧力の評価が実行される一方、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が不適正と判断された場合（ステップＳ２０５で「ＮＯ」）にはＩ番目の評価段階より後の順番の評価段階による吐出圧力の評価が実行されない（すなわち、省略される）。つまり、１～Ｎ番目までの評価段階によって順番に吐出圧力の評価をした際に、いずれかの評価段階で吐出圧力が不適正と判断されると、以後の評価段階による評価が実行されない。これによって、ノズル７１から塗布液を吐出するために塗布液に与えられる吐出圧力の評価を、吐出圧力の適否に応じた合理的な時間で行うことが可能となっている。
【0143】
また、Ｎ個の評価段階のうち、吐出圧力の評価を実行した評価段階の数（Ｉ）の違いに応じて、互いに異なる最終評価値Ｖｆ（評価値）を吐出圧力に与える。かかる構成では、実行された評価段階の数が多い吐出圧力ほど良好な最終評価値Ｖｆを与えることができ、吐出圧力の適否に応じた適正な最終評価値Ｖｆを当該吐出圧力に与えることが可能となる。
【0144】
また、１番目の評価段階では、ノズル７１からの塗布液（処理液）の吐出を開始してからノズル７１からの塗布液の吐出を終了するまでの吐出期間Ｔｔ（第１期間、評価対象期間）において、吐出圧力が測定される（ステップＳ１０１）。そして、吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化が持つ理想台形絶対誤差が特徴量Ｆｖ１（第１特徴量、全体特徴量）として抽出され、この特徴量Ｆｖ１に基づき吐出圧力の時間変化が評価される（ステップＳ１０２）。これによって、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から終了までの吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の適否を、吐出圧力の評価に反映させることが可能となっている。
【0145】
また、図７に示すように、特徴量Ｆｖ１は、吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化を近似した近似波形ＷＦ１（第１近似波形）と、吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化との差を示す。かかる構成では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から終了までの吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化に対する近似波形ＷＦ１に基づき、当該吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0146】
特に、近似波形ＷＦ１は、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始後に、時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで、初期圧力Ｐｉ（吐出開始圧力）から初期圧力Ｐｉより大きい定常圧力Ｐｍまで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒ（立ち上がり近似直線）と、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始時点（時刻ｔａ）と立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒとの間に設けられて初期圧力Ｐｉを示す開始時近似直線Ｌｒ_sと、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の終了前に、時間経過に伴って減少する吐出圧力の時間変化を直線近似することで、定常圧力Ｐｍから定常圧力Ｐｍより小さい初期圧力Ｐｉ（吐出終了圧力）まで時間経過に伴って線形に減少する立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆ（立ち下がり近似直線）と、
・立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆとノズル７１からの塗布液の吐出の終了時点（時刻ｔｅ）との間に設けられて初期圧力Ｐｉ（吐出終了圧力）を示す終了時近似直線Ｌｒ_ｅと、
・立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒおよび立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆのそれぞれの間を接続して、定常圧力Ｐｍを示す定常直線Ｌｒ_ｍと
を有する。かかる構成では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から終了までの吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化を台形波形により近似して、当該吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力を適切に評価できる。
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始後に、時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで、初期圧力Ｐｉ（吐出開始圧力）から初期圧力Ｐｉより大きい定常圧力Ｐｍまで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒ（立ち上がり近似直線）と、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始時点（時刻ｔａ）と立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒとの間に設けられて初期圧力Ｐｉを示す開始時近似直線Ｌｒ_sと、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の終了前に、時間経過に伴って減少する吐出圧力の時間変化を直線近似することで、定常圧力Ｐｍから定常圧力Ｐｍより小さい初期圧力Ｐｉ（吐出終了圧力）まで時間経過に伴って線形に減少する立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆ（立ち下がり近似直線）と、
・立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆとノズル７１からの塗布液の吐出の終了時点（時刻ｔｅ）との間に設けられて初期圧力Ｐｉ（吐出終了圧力）を示す終了時近似直線Ｌｒ_ｅと、
・立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒおよび立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆのそれぞれの間を接続して、定常圧力Ｐｍを示す定常直線Ｌｒ_ｍと
を有する。かかる構成では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から終了までの吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力の時間変化を台形波形により近似して、当該吐出期間Ｔｔの全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0147】
また、２番目の評価段階では、吐出期間Ｔｔのうち、吐出期間Ｔｔより短い期間（第２期間）における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量Ｆｖ２～Ｆｖ１０（第２特徴量）が抽出されて、特徴量Ｆｖ２～Ｆｖ１０に基づき吐出圧力の時間変化が評価される（ステップＳ１０２）。かかる構成では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から終了までの吐出期間Ｔｔより短い期間における吐出圧力の時間変化に基づき、吐出圧力を高精度に評価することができる。
【0148】
また、図８に示す評価項目では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から所定の立ち上がり初期期間Ｔａ_ｓ（第２期間）における吐出圧力が評価される。この立ち上がり初期期間Ｔａ_ｓを通じて、吐出圧力は時間経過に伴って増大し、立ち上がり初期期間Ｔａ_ｓにおける吐出圧力の時間変化の立ち上がり回帰曲線Ｎｒと、立ち上がり初期期間Ｔａ_ｓにおける吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量Ｆｖ２（第２特徴量）が抽出される。かかる構成では、ノズル７１からの塗布液の開始直後における吐出圧力の時間変化を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0149】
また、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から、吐出圧力が目標圧力Ｐｔ（所定圧力）に増大するまでの立ち上がり期間Ｔａ（第２期間）における吐出圧力が評価される。かかる構成では、立ち上がり期間Ｔａにおける吐出圧力の時間変化を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0150】
具体的には、図９に示す評価項目では、立ち上がり期間Ｔａの長さが特徴量Ｆｖ２（第２特徴量）として抽出される。かかる構成では、吐出圧力の立ち上がりの速さを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0151】
また、図１０Ａおよび図１０Ｂに示す評価項目では、立ち上がり期間Ｔａにおいて、吐出圧力の時間変化の一回微分Ｄ１が所定の閾値Ｔｈ４と交差する回数が、特徴量Ｆｖ４（第２特徴量）として抽出される。かかる構成では、立ち上がり期間における吐出圧力の時間変化の滑らかさを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0152】
また、図１１に示す評価項目では、立ち上がり期間Ｔａにおいて、吐出圧力の時間変化の二回微分Ｄ２の絶対値が所定の閾値Ｔｈ５と交差する回数が、特徴量Ｆｖ５（第２特徴量）として抽出される。かかる構成では、立ち上がり期間Ｔａにおける吐出圧力の時間変化の滑らかさを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0153】
また、図１２に示す評価項目では、立ち上がり期間Ｔａにおいて、吐出圧力の時間変化の二回微分Ｄ２が所定の正の閾値（Ｔｈ５）より大きくなる時間Ｔ_１ｓｔと、吐出圧力の時間変化の二回微分Ｄ２が、正の閾値と同じ絶対値を有する負の閾値（－Ｔｈ５）より小さくなる時間Ｔ_２ｎｄとの比が、特徴量Ｆｖ６（第２特徴量）として抽出される。かかる構成では、立ち上がり期間Ｔａの初期と終期とでの吐出圧力の時間変化の違いを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0154】
また、図１３に示す評価項目では、吐出圧力が目標圧力Ｐｔ（所定圧力）に増大するまでの立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅ（第２期間）における吐出圧力が評価される。つまり、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおける吐出圧力の時間変化を近似した近似波形ＷＦ７（立ち上がり終期近似波形）と、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおける吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量Ｆｖ７（第２特徴量）が抽出される。この近似波形ＷＦ７は、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（立ち上がり終期近似直線）と延設直線Ｌｍとで構成される。立ち上がり終期回帰直線Ｌｒは、目標圧力Ｐｔよりも小さい圧力範囲（Ｐ７_ｌ～Ｐ７_ｕ）において時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、時間経過に伴って定常圧力Ｐｍまで線形に増大する。延設直線Ｌｍは、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（の終了時点）から立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅの終了時点まで延設されて定常圧力Ｐｍを示す。かかる構成では、立ち上がり期間Ｔａの終期における吐出圧力の失速の程度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0155】
また、図１４に示す評価項目では、吐出圧力が最大値Ｐｍａｘに達した時点（時刻ｔ８１）から、吐出圧力の時間変化の二回微分Ｄ２が２回ゼロに交差した時点（時刻ｔ８２）までの初期振動期間Ｔｂ_ｓ（第２期間）における吐出圧力が評価される。具体的には、初期振動期間Ｔｂ_ｓにおける吐出圧力の最小値Ｐ８ｍｉｎが求められ、この最小値Ｐ８ｍｉｎと定常圧力Ｐｍとのうちの小さい方の圧力と、吐出圧力の最大値Ｐｍａｘとの差が、特徴量Ｆｖ８（第２特徴量）として抽出される。かかる構成では、吐出圧力のオーバーシュートを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0156】
また、図１５に示す評価項目では、吐出圧力が目標圧力Ｐｔ（所定圧力）を超えた時点（時刻ｔｂ）から所定の遷移期間Ｔｂ（第２期間）における吐出圧力が評価される。具体的には、定常圧力Ｐｍに対する、立ち上がり期間Ｔａにおける吐出圧力の差を示す特徴量Ｆｖ９（第２特徴量）が抽出される。かかる構成では、吐出圧力が目標圧力Ｐｔに到った後の吐出圧力の安定度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0157】
また、図１６に示す評価項目では、吐出圧力が目標圧力Ｐｔ（所定圧力）を超えた時点（時刻ｔｂ）から、ノズル７１からの塗布液の吐出の終了に向けて吐出圧力の減少が開始する時点（時刻ｔｄ）までの定圧期間Ｔｂｃにおける吐出圧力が評価される。具体的には、定圧期間Ｔｂｃにおける吐出圧力の最大値Ｐｍａｘと最小値Ｐ１０ｍｉｎとの差を示す特徴量Ｆｖ１０が抽出される。かかる構成では、吐出圧力の定圧期間Ｔｂｃにおける吐出圧力の安定性を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0158】
また、３番目の評価段階では、吐出期間Ｔｔのうち、吐出期間Ｔｔより短い期間（第３期間）における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量Ｆｖ１１～Ｆｖ１４（第３特徴量）が抽出されて、特徴量Ｆｖ１１～Ｆｖ１４に基づき吐出圧力の時間変化が評価される（ステップＳ１０２）。かかる構成では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始から終了までの吐出期間Ｔｔより短い期間における吐出圧力の時間変化に基づき、吐出圧力を高精度に評価することができる。
【0159】
また、図１７に示す評価項目では、ノズル７１からの塗布液の吐出の開始後に、吐出圧力が下側基準圧力Ｐ１１_ｌ（下側基準値）から上側基準圧力Ｐ１１_ｕ（上側基準値）まで時間経過とともに増加する圧力上昇期間Ｔａｒ（第３期間）における吐出圧力が評価される。具体的には、下側基準圧力Ｐ１１_ｌと上側基準圧力Ｐ１１_ｕとの間における吐出圧力測定データ９９のうちの一の測定データであって、下側基準圧力Ｐ１１_ｌと一の測定データとの間の区間（ｔ１１１～ｔ１１２）において吐出圧力の時間変化に対する線形回帰により求めた近似直線Ｌｒ_１と吐出圧力の時間変化との二乗平均平方誤差と、一の測定データと上側基準圧力Ｐ１１_ｕとの間の区間（ｔ１１２～ｔ１１３）において吐出圧力の時間変化に対する線形回帰により求めた近似直線Ｌｒ_２と吐出圧力の時間変化との二乗平均平方誤差との和が最小となる一の測定値が求められる。そして、下側基準圧力Ｐ１１_ｌと一の測定データとの間の直線の傾きＫ１と、一の測定データと上側基準圧力Ｐ１１_ｕとの間の直線の傾きＫ２との比をが、特徴量Ｆｖ１１（第３特徴量）として抽出される。かかる構成では、吐出圧力の増大の線形性を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0160】
また、図１８に示す評価項目では、吐出圧力が目標圧力Ｐｔ（所定圧力）に増大するまでの立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅ（第３期間）における吐出圧力が評価される。つまり、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおける吐出圧力の時間変化を近似した近似波形ＷＦ１２（立ち上がり終期近似波形）と、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおける吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量Ｆｖ１２（第３特徴量）が抽出される。ここで、立ち上がり終期近似波形ＷＦ１２は、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒと延設直線Ｌｍとで構成される。立ち上がり終期回帰直線Ｌｒは、目標圧力Ｐｔよりも小さい圧力範囲（Ｐ１２_ｌ～Ｐ１２_ｕ）において時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、時間経過に伴って目標圧力Ｐｔまで線形に増大する。延設直線Ｌｍは、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（の終了時点）から立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅの終了時点まで延設されて、目標圧力Ｐｔを示す。かかる構成では、立ち上がり期間Ｔａの終期における吐出圧力の失速の程度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0161】
また、図１９に示す評価項目では、吐出圧力が目標圧力Ｐｔ（所定圧力）に増大するまでの立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅ（第３期間）における吐出圧力が評価される。つまり、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおける吐出圧力の時間変化を近似した近似波形ＷＦ１３（立ち上がり終期近似波形）と、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅにおける吐出圧力の時間変化との差を示す特徴量Ｆｖ１３（第３特徴量）が抽出される。ここで、立ち上がり終期近似波形ＷＦ１３は、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒと延設直線Ｌｍとで構成される。立ち上がり終期回帰直線Ｌｒは、目標圧力Ｐｔよりも小さい圧力範囲（Ｐ１３_ｌ～Ｐ１３_ｕ）において時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似することで求めた近似曲線に重なり、時間経過に伴って目標圧力Ｐｔまで線形に増大する。延設直線Ｌｍは、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒ（の終了時点）から立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅの終了時点まで延設されて、目標圧力Ｐｔを示す。かかる構成では、立ち上がり期間Ｔａの終期における吐出圧力の失速の程度を加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0162】
また、図２０に示す評価項目では、吐出圧力が最大値Ｐｍａｘに達した時点（時刻ｔ１４１）から、吐出圧力の時間変化の二回微分Ｄ２が２回ゼロに交差した時点（時刻ｔ１４２）までの初期振動期間Ｔｂ_ｓ（第３期間）における吐出圧力が評価される。具体的には、吐出圧力の最大値Ｐｍａｘから定常圧力Ｐｍを減算した値と、定常圧力Ｐｍから初期振動期間Ｔｂ_ｓにおける吐出圧力の最小値Ｐ１４ｍｉｎを減算した値との和が、特徴量Ｆｖ１４（第３特徴量）として抽出される。かかる構成では、吐出圧力のオーバーシュートを加味して、吐出圧力を評価することができる。
【0163】
以上のように上記実施形態では、塗布装置１が本発明の「基板処理装置」の一例に相当し、ノズル７１が本発明の「ノズル」の一例に相当し、塗布液供給機構８が本発明の「圧力付与部」の一例に相当し、ノズル７１および塗布液供給機構８が協働して本発明の「吐出装置」の一例を構成し、圧力計８６が本発明の「測定部」の一例に相当し、制御ユニット９が本発明の「コンピュータ」および「制御部」の一例に相当し、吐出圧力評価プログラム９７が本発明の吐出圧力評価プログラムの一例に相当し、記録媒体Ｍが本発明の「記録媒体」の一例に相当し、塗布液が本発明の「処理液」の一例に相当し、圧力計８６により測定される圧力が本発明の「吐出圧力」の一例に相当する。
【0164】
また、吐出期間Ｔｔが本発明の「第１期間」の一例に相当し、特徴量Ｆｖ１が本発明の「第１特徴量」の一例に相当し、近似波形ＷＦ１が本発明の「第１近似波形」の一例に相当し、初期圧力Ｐｉが本発明の「吐出開始圧力」および「吐出終了圧力」の一例に相当し、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒが本発明の「立ち上がり近似直線」の一例に相当し、開始時近似直線Ｌｒ_sが本発明の「開始時近似直線」の一例に相当し、立ち下がり回帰直線Ｌｒ_Ｆが本発明の「立ち下がり近似直線」の一例に相当し、終了時近似直線Ｌｒ_ｅが本発明の「終了時近似直線」の一例に相当し、定常直線Ｌｒ_ｍが本発明の「定常直線」の一例に相当する。
【0165】
さらに、立ち上がり初期期間Ｔａ_ｓ、立ち上がり期間Ｔａ、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅ、初期振動期間Ｔｂ_ｓ、遷移期間Ｔｂおよび定圧期間Ｔｂｃが本発明の「第２期間」の一例に相当し、特徴量Ｆｖ２～Ｆｖ１０が本発明の「第２特徴量」の一例に相当し、初期期間Ｔａ_ｓが本発明の「立ち上がり初期期間」の一例に相当し、回帰曲線Ｎｒが本発明の「回帰曲線」の一例に相当し、立ち上がり期間Ｔａが本発明の「立ち上がり期間」の一例に相当し、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅが本発明の「立ち上がり終期期間」の一例に相当し、近似波形ＷＦ７が本発明の「立ち上がり終期近似波形」の一例に相当し、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが本発明の「立ち上がり終期近似直線」の一例に相当し、延設直線Ｌｍが本発明の「延設直線」の一例に相当し、初期振動期間Ｔｂ_ｓが本発明の「初期振動期間」の一例に相当し、定常期間Ｔｃが本発明の「定常期間」の一例に相当し、遷移期間Ｔｂが本発明の「遷移期間」の一例に相当し、定圧期間Ｔｂｃが本発明の「定圧期間」の一例に相当する。
【0166】
また、圧力上昇期間Ｔａｒ、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅおよび初期振動期間Ｔｂ_ｓが本発明の「第３期間」の一例に相当し、特徴量Ｆｖ１１～Ｆｖ１４が本発明の「第３特徴量」の一例に相当し、下側基準圧力Ｐ１１_ｌが本発明の「下側基準値」の一例に相当し、上側基準圧力Ｐ１１_ｕが本発明の「上側基準値」の一例に相当し、圧力上昇期間Ｔａｒが本発明の「圧力上昇期間」の一例に相当し、立ち上がり終期期間Ｔａ_ｅが本発明の「立ち上がり終期期間」の一例に相当し、近似波形ＷＦ１２、ＷＦ１３が本発明の「立ち上がり終期近似波形」の一例に相当し、立ち上がり終期回帰直線Ｌｒが本発明の「立ち上がり終期近似直線」の一例に相当し、延設直線Ｌｍが本発明の「延設直線」の一例に相当し、初期振動期間Ｔｂ_ｓが本発明の「初期振動期間」の一例に相当する。
【0167】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば上記実施形態では、配管８２に取り付けられた圧力計８６により検出された圧力値に基づいて吐出特性を計測しているが、圧力計８６の取付位置はこれに限定されず、ノズル７１に送給される塗布液の圧力を検出することができる位置であれば、その取付位置は任意である。
【0168】
また、上記実施形態では、ベローズタイプのポンプ８１を用いているが、ポンプの種類はこれに限定されるものではなく、例えばピストンを用いたシリンジタイプのポンプ（例えば特開２００８－１０１５１０号公報）を用いてもよい。
【0169】
また、上記実施形態では、基板Ｓを浮上させた状態で基板Ｓの表面Ｓｆに塗布液を供給する塗布装置１に対して本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、ノズルに処理液を送給することで当該ノズルから基板の上面に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理技術全般に本発明を適用可能である。
【0170】
また、２番目の評価段階において、上記の特徴量Ｆｖ２～Ｆｖ１０の全てに基づいて吐出圧力を評価することは必須ではなく、これらの一部のみに基づいて吐出圧力を評価するように構成してもよい。３番目の評価段階についても同様に、上記の特徴量Ｆｖ１１～Ｆｖ１４の一部のみに基づいて吐出圧力を評価してもよい。
【0171】
また、図７の近似波形ＷＦ１を算出するにあたって、定常直線Ｌｒ_ｍに代えて、目標圧力Ｐｔを示す傾きがゼロの直線を用いてもよい。
【0172】
また、３個の評価段階の全てを準備する必要は必ずしもない。したがって、上記の１～３番目の評価段階のうち、１および２番目の評価段階のみを実行するように構成してもよいし、２および３番目の評価段階のみを実行するように構成してもよいし、１および３番目の評価段階のみを実行するように構成してもよい。あるいは、上記の３個の評価段階とは異なる評価項目で吐出圧力を評価する評価段階を設けてもよい。
【0173】
また、最終評価値Ｖｆを求めるにあたって、対応する評価段階での各評価値（例えば、Ｖ２～Ｖ１０、Ｖ１１～Ｖ１４）の合計を取る際に、評価値によって異なる重み係数を乗じて、重みづけを行ってもよい。
【0174】
さらに、図７に示す特徴量Ｆｖ１に代えて、次の変形例で説明する特徴量Ｆｖ１_１を算出して、この特徴量Ｆｖ１_１に基づき吐出圧力の時間変化を評価してもよい。図２３は吐出圧力の評価項目の変形例で用いる各期間を説明するための図であり、図２４は特徴量Ｆｖ１_１に基づき吐出圧力の時間変化を評価する評価項目の変形例を説明するための図である。ここでは、図２３と上記の図５との差異点を主に説明することとし、これらの共通点は相当符号を付して適宜説明を省略する。同様に、図２４と上記の図７との差異点を主に説明することとし、これらの共通点は相当符号を付して適宜説明を省略する。
【0175】
図２３に示すように、評価項目の変形例では、注目期間Ｔｒｏｉが使用される。この注目期間Ｔｒｏｉは、時刻ｔａから時刻ｔｄまでの期間である。すなわち、注目期間Ｔｒｏｉは、立ち上がり期間Ｔａ、遷移期間Ｔｂおよび定常期間Ｔｃで構成され、換言すれば、立ち上がり期間Ｔａおよび定圧期間Ｔｂｃで構成される。このように、注目期間Ｔｒｏｉは、本発明における「ノズルからの処理液の吐出を開始してから吐出圧力の所定圧力までの上昇を経て吐出圧力の所定圧力からの減少が開始するまでの主要期間」の一例に相当し、目標圧力Ｐｔが本発明の「所定圧力」の一例に相当する。
【0176】
図２４に示すように、この変形例では、上述の特徴量Ｆｖ１の場合と同様にして、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒが算出されるとともに、開始時近似直線Ｌｒ_ｓが設定される。さらに、時刻ｔ１２から時刻ｔｄの期間において、定常圧力Ｐｍ（すなわち、定常期間Ｔｃにおける吐出圧力の測定値の平均）を示す傾きゼロの直線である定常直線Ｌｒ_ｍ_１が設定される。
【0177】
こうして、時系列で配列された開始時近似直線Ｌｒ_s、立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒおよび定常直線Ｌｒ_ｍ_１で構成された近似波形ＷＦ１_１が算出される。そして、圧力評価部９１３は、時刻ｔａから時刻ｔｄまでの注目期間Ｔｒｏｉの全体において、吐出圧力測定データ９９と近似波形ＷＦ１_１との間の平均絶対誤差ＭＡＥを、特徴量Ｆｖ１_１として算出する。また、圧力評価部９１３は、所定の閾値Ｔｈ１_１（例えば、０．０５）に基づき、特徴量Ｆｖ１_１を所定の範囲に正規化する。具体的には、次式
Ｆｖ１_１＜Ｔｈ１_１であるなら、Ｆｖ１_１＝０
Ｆｖ１_１≧Ｔｈ１_１であるなら、Ｆｖ１_１＝（Ｆｖ１_１＋１－Ｔｈ１_１）×ｃ１_１
に基づき、特徴量Ｆｖ１_１を、規格化された特徴量Ｆｖ１_１（すなわち、評価値Ｖ１_１）に変換する。ここで、Ｆｖ１_１の上限は２×ｃ１_１とし、係数ｃ１_１は規格化係数であって任意の正の定数である。なお、特徴量Ｆｖ１_１の正規化の具体的手法は、ここの例に限られず、適宜変更してもよい。
Ｆｖ１_１＜Ｔｈ１_１であるなら、Ｆｖ１_１＝０
Ｆｖ１_１≧Ｔｈ１_１であるなら、Ｆｖ１_１＝（Ｆｖ１_１＋１－Ｔｈ１_１）×ｃ１_１
に基づき、特徴量Ｆｖ１_１を、規格化された特徴量Ｆｖ１_１（すなわち、評価値Ｖ１_１）に変換する。ここで、Ｆｖ１_１の上限は２×ｃ１_１とし、係数ｃ１_１は規格化係数であって任意の正の定数である。なお、特徴量Ｆｖ１_１の正規化の具体的手法は、ここの例に限られず、適宜変更してもよい。
【0178】
図２４の特徴量Ｆｖ１_１に基づく評価によれば、注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の時間変化が理想的な形状から大きく乖離する場合に、この吐出圧力に対して大きなスコア（すなわち、悪い評価）を与えることができる。
【0179】
かかる変形例では、図４に示す吐出圧力評価の測定結果評価（ステップＳ１０２）において、圧力評価部９１３は、特徴量Ｆｖ１ではなくて特徴量Ｆｖ１_１を吐出圧力から抽出した結果に基づき評価値Ｖ１_１を算出する。特に、１番目（Ｉ＝１）の評価段階に対しては、図７に示した特徴量Ｆｖ１に基づく評価ではなく、図２４に示した特徴量Ｆｖ１_１に基づく評価が割り当てられる。その上で、図２１に示す測定結果評価が実行される。すなわち、図２２の表において、評価段階Ｉが１の場合の評価項目の特徴量は、特徴量Ｆｖ１ではなくて図２４に示す特徴量Ｆｖ１_１となる。
【0180】
この変形例においても、吐出圧力を互いに異なる評価項目によってそれぞれ評価する１番目からＮ番目までのＮ個の評価段階が設けられており、１番目からＮ番目までの評価段階を順番に実行することができる。ただし、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が適正と判断された場合（ステップＳ２０５で「ＹＥＳ」）に、（Ｉ＋１）番目の評価段階に係る評価項目による吐出圧力の評価が実行される一方、Ｉ番目の評価段階に係る評価項目による評価において吐出圧力が不適正と判断された場合（ステップＳ２０５で「ＮＯ」）にはＩ番目の評価段階より後の順番の評価段階による吐出圧力の評価が実行されない（すなわち、省略される）。つまり、１～Ｎ番目までの評価段階によって順番に吐出圧力の評価をした際に、いずれかの評価段階で吐出圧力が不適正と判断されると、以後の評価段階による評価が実行されない。これによって、ノズル７１から塗布液を吐出するために塗布液に与えられる吐出圧力の評価を、吐出圧力の適否に応じた合理的な時間で行うことが可能となっている。
【0181】
また、ノズル７１からの処理液の吐出を開始してから吐出圧力の目標圧力Ｐｔ（所定圧力）までの上昇を経て吐出圧力の目標圧力Ｐｔからの減少が開始するまでの注目期間Ｔｒｏｉ（主要期間、評価対象期間）において、吐出圧力が測定される。そして、１番目（Ｉ＝１）の評価段階では、注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の時間変化が持つ特徴量Ｆｖ１_１（全体特徴量）が抽出され、特徴量Ｆｖ１_１に基づき吐出圧力の時間変化が評価される。これによって、基板Ｓに塗布される処理液の厚みに影響する注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の適否を吐出圧力の評価に反映させることが可能となっている。
【0182】
さらに言えば、かかる変形例では、注目期間Ｔｒｏｉが基板Ｓに塗布される処理液の厚みに与える影響が特に大きい場合（換言すれば、注目期間Ｔｒｏｉを経過後の期間の影響が僅かな場合）に、当該注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の適否を吐出圧力の評価に反映させることが可能となっている。
【0183】
また、特徴量Ｆｖ１_１（主要特徴量）は、注目期間Ｔｒｏｉ（主要期間）の全体における吐出圧力の時間変化を近似した近似波形ＷＦ１_１（主要近似波形）と、注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の時間変化との差を示す。かかる構成では、注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の時間変化に対する近似波形ＷＦ１_１に基づき、当該注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0184】
特に、近似波形ＷＦ１_1は、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始後に、時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似した、初期圧力Ｐｉ（吐出開始圧力）から初期圧力Ｐｉより大きい定常圧力Ｐｍまで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒ（立ち上がり近似直線）と、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始時点（時刻ｔａ）と立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒとの間に設けられて初期圧力Ｐｉを示す開始時近似直線Ｌｒ_sと、
・立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒが定常圧力Ｐｍに到達してから注目期間Ｔｒｏｉの最後までの間（時刻ｔ１２から時刻ｔｄの間）に設けられて定常圧力Ｐｍを示す定常直線Ｌｒ_ｍ_１と
を有する。かかる構成では、注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の時間変化を近似して、当該注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力を適切に評価できる。
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始後に、時間経過に伴って増大する吐出圧力の時間変化を直線近似した、初期圧力Ｐｉ（吐出開始圧力）から初期圧力Ｐｉより大きい定常圧力Ｐｍまで時間経過に伴って線形に増大する立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒ（立ち上がり近似直線）と、
・ノズル７１からの塗布液の吐出の開始時点（時刻ｔａ）と立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒとの間に設けられて初期圧力Ｐｉを示す開始時近似直線Ｌｒ_sと、
・立ち上がり回帰直線Ｌｒ_Ｒが定常圧力Ｐｍに到達してから注目期間Ｔｒｏｉの最後までの間（時刻ｔ１２から時刻ｔｄの間）に設けられて定常圧力Ｐｍを示す定常直線Ｌｒ_ｍ_１と
を有する。かかる構成では、注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力の時間変化を近似して、当該注目期間Ｔｒｏｉの全体における吐出圧力を適切に評価できる。
【0185】
ちなみに、図２４に示す特徴量Ｆｖ１_１を用いて吐出圧力を評価する場合には、ステップＳ１０１において、注目期間Ｔｒｏｉを経過後の期間（すなわち、立ち下がり期間Ｔｄ）の吐出圧力を計測する必要はない。
【0186】
また、上述の２つの特徴量Ｆｖ１および特徴量Ｆｖ１_１のうち、いずれの特徴量を用いて吐出圧力を評価するかを、ＵＩ９５で選択できるように構成してもよい。この場合、ステップＳ１０２では、特徴量Ｆｖ１および特徴量Ｆｖ１_１のうち、ユーザによるＵＩ９５への入力操作によって選択された一方の特徴量で吐出圧力を評価する。また、図２１の測定結果評価では、１番目（Ｉ＝１）の評価段階に対しては、特徴量Ｆｖ１および特徴量Ｆｖ１_１のうちから選択された一方の特徴量で吐出圧力を評価する。
【産業上の利用可能性】
【0187】
この発明は、処理液をノズルに送給することでノズルから処理液を目標特性で基板に吐出して供給する基板処理技術全般に適用可能である。
【符号の説明】
【0188】
１…塗布装置（基板処理装置）
７１…ノズル（吐出装置）
８…塗布液供給機構（圧力付与部、吐出装置）
８６…圧力計（測定部）
９…制御ユニット（コンピュータ、制御部）
９７…吐出圧力評価プログラム
Ｍ…記録媒体
Ｔｔ…吐出期間（第１期間）
Ｆｖ１…特徴量（第１特徴量）
ＷＦ１…近似波形（第１近似波形）
Ｐｉ…初期圧力（吐出開始圧力、吐出終了圧力）
Ｌｒ_Ｒ…立ち上がり回帰直線（立ち上がり近似直線）
Ｌｒ_ｓ…開始時近似直線
Ｌｒ_Ｆ…立ち下がり回帰直線
Ｌｒ_ｅ…終了時近似直線
Ｌｒ_ｍ…定常直線
Ｔａ_ｓ…立ち上がり初期期間（第２期間）
Ｔａ…立ち上がり期間（第２期間）
Ｔａ_ｅ…立ち上がり終期期間（第２期間）
Ｔｂ_ｓ…初期振動期間（第２期間）
Ｔｂ…遷移期間（第２期間）
Ｔｂｃ…定圧期間（第２期間）
Ｆｖ２～Ｆｖ１０…特徴量（第２特徴量）
Ｎｒ…回帰曲線
ＷＦ７…近似波形（立ち上がり終期近似波形）
Ｌｒ…立ち上がり終期回帰直線（立ち上がり終期近似直線）
Ｌｍ…延設直線
Ｔｃ…定常期間
Ｔａｒ…圧力上昇期間（第３期間）
Ｔａ_ｅ…立ち上がり終期期間（第３期間）
Ｔｂ_ｓ…初期振動期間（第３期間）
Ｆｖ１１～Ｆｖ１４…特徴量（第３特徴量）
Ｐ１１_ｌ…下側基準圧力（下側基準値）
Ｐ１１_ｕ…上側基準圧力（上側基準値）
Ｔａｒ…圧力上昇期間
Ｔａ_ｅ…立ち上がり終期期間
ＷＦ１２、ＷＦ１３…近似波形（立ち上がり終期近似波形）
Ｌｒ…立ち上がり終期回帰直線（立ち上がり終期近似直線）
Ｌｍ…延設直線
Ｔｂ_ｓ…初期振動期間
７１…ノズル（吐出装置）
８…塗布液供給機構（圧力付与部、吐出装置）
８６…圧力計（測定部）
９…制御ユニット（コンピュータ、制御部）
９７…吐出圧力評価プログラム
Ｍ…記録媒体
Ｔｔ…吐出期間（第１期間）
Ｆｖ１…特徴量（第１特徴量）
ＷＦ１…近似波形（第１近似波形）
Ｐｉ…初期圧力（吐出開始圧力、吐出終了圧力）
Ｌｒ_Ｒ…立ち上がり回帰直線（立ち上がり近似直線）
Ｌｒ_ｓ…開始時近似直線
Ｌｒ_Ｆ…立ち下がり回帰直線
Ｌｒ_ｅ…終了時近似直線
Ｌｒ_ｍ…定常直線
Ｔａ_ｓ…立ち上がり初期期間（第２期間）
Ｔａ…立ち上がり期間（第２期間）
Ｔａ_ｅ…立ち上がり終期期間（第２期間）
Ｔｂ_ｓ…初期振動期間（第２期間）
Ｔｂ…遷移期間（第２期間）
Ｔｂｃ…定圧期間（第２期間）
Ｆｖ２～Ｆｖ１０…特徴量（第２特徴量）
Ｎｒ…回帰曲線
ＷＦ７…近似波形（立ち上がり終期近似波形）
Ｌｒ…立ち上がり終期回帰直線（立ち上がり終期近似直線）
Ｌｍ…延設直線
Ｔｃ…定常期間
Ｔａｒ…圧力上昇期間（第３期間）
Ｔａ_ｅ…立ち上がり終期期間（第３期間）
Ｔｂ_ｓ…初期振動期間（第３期間）
Ｆｖ１１～Ｆｖ１４…特徴量（第３特徴量）
Ｐ１１_ｌ…下側基準圧力（下側基準値）
Ｐ１１_ｕ…上側基準圧力（上側基準値）
Ｔａｒ…圧力上昇期間
Ｔａ_ｅ…立ち上がり終期期間
ＷＦ１２、ＷＦ１３…近似波形（立ち上がり終期近似波形）
Ｌｒ…立ち上がり終期回帰直線（立ち上がり終期近似直線）
Ｌｍ…延設直線
Ｔｂ_ｓ…初期振動期間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10A】
【図10B】
【図11A】
【図11B】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】