特許7673053半導体ウェハホルダー用熱拡散板

発明の名称　半導体ウェハホルダー用熱拡散板

出願人　ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー　（識別番号 501162454）

　　　　特許公開件数ランキング 5080 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1073 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7673053

公報発行日　2025年5月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7673053

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