特許7675898半導体製造における電荷検出装置及び電荷検出方法

発明の名称　半導体製造における電荷検出装置及び電荷検出方法

出願人　合肥晶合集成電路有限公司　（識別番号 519009105）

　　　　特許公開件数ランキング 4781 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7675898

公報発行日　2025年5月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7675898

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