特許 7677928 樹脂成形装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-05-07

(45)【発行日】2025-05-15

(54)【発明の名称】樹脂成形装置

(51)【国際特許分類】

   B29C 33/22 20060101AFI20250508BHJP

   B29C 45/64 20060101ALI20250508BHJP

【ＦＩ】

B29C33/22

B29C45/64

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2022072289

(22)【出願日】2022-04-26

(65)【公開番号】P2023161754

(43)【公開日】2023-11-08

【審査請求日】2024-04-26

(73)【特許権者】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100162031

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 豊彦

(74)【代理人】

【識別番号】100175721

【弁理士】

【氏名又は名称】高木 秀文

(72)【発明者】

【氏名】安井 隼人

(72)【発明者】

【氏名】中尾 聡

【審査官】藤原 弘

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－２１６５５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０７７１４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭５０－００８１６２（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２９Ｃ ３３／００－３３／７６

Ｂ２９Ｃ ３９／２６－３９／３６

Ｂ２９Ｃ ４５／００－４５／８４

Ｂ２９Ｃ ４９／４８－４９／５６

Ｂ２９Ｃ ４９／７０

Ｂ２９Ｃ ５１／３０－５１／４０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定プラテンと、
１又は２以上の中間プレートと、
可動プラテンと、
前記可動プラテン及び前記中間プレートを昇降させる型締め機構と、
前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか一方に連結された軸と、前記軸の両端に取り付けられると共に前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか他方に連結され、前記中間プレートの昇降に伴い互いに同期して回転する回転部材と、を含み、前記固定プラテンに対する前記中間プレートの相対的な姿勢を維持する姿勢維持機構と、
を備え、
前記回転部材は、回転運動と昇降運動とを変換可能なカム部材である、
樹脂成形装置。

【請求項2】

前記型締め機構は、
一端部が前記可動プラテンに連結され、他端部が移動不能に支持されたアームと、
前記中間プレートと、前記アームの前記一端部と前記他端部との間と、を連結する昇降連結部材と、
を具備する、
請求項１に記載の樹脂成形装置。

【請求項3】

前記型締め機構は、前記昇降連結部材と、前記中間プレートと、の間に設けられる弾性部材を具備する、
請求項２に記載の樹脂成形装置。

【請求項4】

前記軸は、前記固定プラテンに取り付けられることで、前記固定プラテンと連結され、
前記回転部材は、回転連結部材を介して前記中間プレートと連結される、
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置。

【請求項5】

固定プラテンと、
１又は２以上の中間プレートと、
可動プラテンと、
前記可動プラテン及び前記中間プレートを昇降させる型締め機構と、
前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか一方に連結された軸と、前記軸の両端に取り付けられると共に前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか他方に連結され、前記中間プレートの昇降に伴い互いに同期して回転する回転部材と、を含み、前記固定プラテンに対する前記中間プレートの相対的な姿勢を維持する姿勢維持機構と、
を備え、
前記軸は、前記中間プレートを貫通するように配置されることで、前記中間プレートと連結され、
前記回転部材は、前記固定プラテンを保持するように対向配置された一対の側面フレームにそれぞれ設けられることで、前記固定プラテンと連結される、
樹脂成形装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂成形装置の技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、固定プラテンと可動プラテンの間に、可動プラテンと連動して昇降可能な中間プレートが配置された樹脂成形装置が開示されている。この樹脂成形装置では、固定プラテンと中間プレートの間、及び、中間プレートと可動プラテンの間にそれぞれ配置された金型を用いて樹脂成形を行うことができる。

【0003】

またこの樹脂成形装置では、中間プレートの両端を弾性部材を介して支持することで、上段の金型で樹脂成形される成形対象品と、下段の金型で樹脂成形される成形対象品の厚みのばらつきを吸収することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許６５６０７２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載された技術では、弾性部材を介して中間プレートの両端が支持されているため、金型に供給された樹脂材料に偏りがある場合、弾性部材の伸縮量に差が生じて中間プレートが傾くおそれがある。中間プレートが傾くと、樹脂成形品の厚みが不均一となるおそれがある。また、このような中間プレートの傾きは、弾性部材の有無にかかわらず、その他の要因によっても発生し得るものである。

【0006】

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、中間プレートの傾きを抑制することが可能な樹脂成形装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る樹脂成形装置は、固定プラテンと、１又は２以上の中間プレートと、可動プラテンと、前記可動プラテン及び前記中間プレートを昇降させる型締め機構と、前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか一方に連結された軸と、前記軸の両端に取り付けられると共に前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか他方に連結され、前記中間プレートの昇降に伴い互いに同期して回転する回転部材と、を含み、前記固定プラテンに対する前記中間プレートの相対的な姿勢を維持する姿勢維持機構と、を備え、前記回転部材は、回転運動と昇降運動とを変換可能なカム部材である。
また、本発明に係る樹脂成形装置は、固定プラテンと、１又は２以上の中間プレートと、可動プラテンと、前記可動プラテン及び前記中間プレートを昇降させる型締め機構と、前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか一方に連結された軸と、前記軸の両端に取り付けられると共に前記固定プラテン又は前記中間プレートのいずれか他方に連結され、前記中間プレートの昇降に伴い互いに同期して回転する回転部材と、を含み、前記固定プラテンに対する前記中間プレートの相対的な姿勢を維持する姿勢維持機構と、を備え、前記軸は、前記中間プレートを貫通するように配置されることで、前記中間プレートと連結され、前記回転部材は、前記固定プラテンを保持するように対向配置された一対の側面フレームにそれぞれ設けられることで、前記固定プラテンと連結される。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、中間プレートの傾きを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】第１実施形態に係る樹脂成形装置を示した斜視図。

【図2】第１実施形態に係る樹脂成形装置を示した正面図。

【図3】第１実施形態に係る樹脂成形装置を示した側面図。

【図4】連動機構の動作の様子を示した側面図。

【図5】型締め機構を示した拡大斜視図。

【図6】姿勢維持機構を示した斜視図。

【図7】（ａ）姿勢維持機構を示した側面拡大図。（ｂ）カム部材が回転する様子を示した側面拡大図。

【図8】（ａ）樹脂成形品の製造方法を示したフローチャート。（ｂ）基板及び樹脂材料が供給された樹脂成形装置を示した模式図。

【図9】（ａ）型締めが行われた樹脂成形装置を示した模式図。（ｂ）樹脂成形された基板が搬出される様子を示した樹脂成形装置の模式図。

【図10】中間プレートが傾斜した例を示した模式図。

【図11】（ａ）中間プレートに偏った荷重が加わる様子を示した模式図。（ｂ）中間プレートの姿勢が保たれる様子を示した模式図。

【図12】第２実施形態に係る樹脂成形装置を示した正面図。

【図13】第３実施形態に係る樹脂成形装置を示した斜視図。

【図14】第３実施形態に係る樹脂成形装置を示した正面図。

【図15】第３実施形態に係る樹脂成形装置を示した拡大斜視図。

【図16】姿勢維持機構の分解斜視図。

【図17】（ａ）姿勢維持機構を示した側面拡大図。（ｂ）カム部材が回転する様子を示した側面拡大図。

【図18】（ａ）中間プレートに偏った荷重が加わる様子を示した模式図。（ｂ）中間プレートの姿勢が保たれる様子を示した模式図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下では、図中に示した矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｌ、矢印Ｒ、矢印Ｆ及び矢印Ｂで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及び後方向と定義して説明を行う。

【0011】

＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態に係る樹脂成形装置１の構成について説明する。樹脂成形装置１は、成形対象品となる基板に装着された半導体チップなどの電子素子を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、一例として、圧縮成形法を利用して樹脂成形を行う樹脂成形装置１を示している。

【0012】

＜樹脂成形装置１＞
樹脂成形装置１は、上下に並ぶように配置された固定プラテン１１０、中間プレート１３０及び可動プラテン１２０を具備している。固定プラテン１１０と中間プレート１３０との間、及び、中間プレート１３０と可動プラテン１２０との間には、それぞれ樹脂成形に用いられる成形型（金型）を配置することができる。樹脂成形装置１は、固定プラテン１１０に対して中間プレート１３０及び可動プラテン１２０を昇降させることで、上下２段に配置された成形型を用いて樹脂成形を行うことができる。以下、樹脂成形装置１の具体的な構成について説明する。

【0013】

図１および図２に示す樹脂成形装置１は、主として本体部１００、型締め機構２００及び姿勢維持機構３００を具備する。

【0014】

＜本体部１００＞
本体部１００は、樹脂成形装置１の主たる部分を構成するものである。本体部１００は、主として固定プラテン１１０、可動プラテン１２０、中間プレート１３０、プレスフレーム１４０及びベース部１５０を具備する。

【0015】

固定プラテン１１０、可動プラテン１２０及び中間プレート１３０は、樹脂成形に用いられる成形型を支持するものである。固定プラテン１１０、可動プラテン１２０及び中間プレート１３０は、略直方体状に形成される。固定プラテン１１０は、成形型を支持可能な支持ブロック１１１を含んでいる。可動プラテン１２０は、固定プラテン１１０の下方に配置される。中間プレート１３０は、固定プラテン１１０と可動プラテン１２０との間に配置される。固定プラテン１１０、中間プレート１３０及び可動プラテン１２０は、上下に等間隔に配置される。

【0016】

プレスフレーム１４０は、ベース部１５０に対して固定プラテン１１０を連結して保持するものである。プレスフレーム１４０は、固定プラテン１１０の左右両端部から下方に延びるように形成される。これによってプレスフレーム１４０は、互いに対向するように左右一対形成される。プレスフレーム１４０の下端は、ベース部１５０の上面に固定される。プレスフレーム１４０の左右内側面には、上下に延びる長手状の直動ガイド１４１が設けられる。なお、プレスフレーム１４０は、本発明に係る側面フレームの実施の一形態である。

【0017】

中間プレート１３０の左右両端部には、それぞれ側面プレート１３１が設けられる。側面プレート１３１は、左右のプレスフレーム１４０と対向するように配置される。左右一対の側面プレート１３１の上端部及び下端部は、補強プレート１３３によって互いに接続される。側面プレート１３１の左右外側面の上下両端部には、それぞれ直動ブロック１３２が設けられる。直動ブロック１３２は、プレスフレーム１４０に設けられた直動ガイド１４１の長手方向に沿って移動可能となるように、直動ガイド１４１に嵌め合わされる。なお、直動ブロック１３２をプレスフレーム１４０に設け、直動ガイド１４１を側面プレート１３１に設けることも可能である。

【0018】

固定プラテン１１０（支持ブロック１１１）の底面、可動プラテン１２０の上面、並びに中間プレート１３０の上面及び底面には、樹脂成形に用いられる成形型を取り付けることができる。

【0019】

＜型締め機構２００＞
型締め機構２００は、可動プラテン１２０及び中間プレート１３０を昇降させて型締め及び型開きを行うものである。型締め機構２００は、主としてボールねじ２１０、連動機構２２０（図３参照）及び吸収機構２４０を具備する。

【0020】

＜ボールねじ２１０＞
ボールねじ２１０は、可動プラテン１２０を昇降させるものである。ボールねじ２１０は、可動プラテン１２０とベース部１５０との間に左右一対配置される。ボールねじ２１０の下端はベース部１５０に連結される。ボールねじ２１０の上端は可動プラテン１２０に連結される。ボールねじ２１０は、図示せぬ駆動源からの動力によって可動プラテン１２０を上下に昇降させることができる。

【0021】

＜連動機構２２０＞
図３に示す連動機構２２０は、可動プラテン１２０と連動して中間プレート１３０を昇降させるものである。なお、説明の便宜上、連動機構２２０は図３及び図４にのみ示しており、その他の図においては連動機構２２０の図示を適宜省略している。連動機構２２０は、主として可動プラテン連結部２２２、第１ブロック２２４、第２ブロック２２６、第３ブロック２２８、昇降連結部材２３０及びアーム２３２を具備する。

【0022】

図１から図３に示す可動プラテン連結部２２２は、可動プラテン１２０に連結される部材である。可動プラテン連結部２２２は、可動プラテン１２０の左右両端部にそれぞれ設けられる。可動プラテン連結部２２２は、プレスフレーム１４０を囲むような枠状に形成される。

【0023】

図３に示す第１ブロック２２４は、移動不能となるように固定された部材である。第１ブロック２２４は、例えばプレスフレーム１４０等に固定される。これによって、第１ブロック２２４は、プレスフレーム１４０に対して相対的に移動することはない。

【0024】

第２ブロック２２６は、中間プレート１３０と連結される部材である。第２ブロック２２６は、後述する昇降連結部材２３０等を介して中間プレート１３０に連結される。第２ブロック２２６の側面には、前後に延びる長孔２２６ａが形成される。

【0025】

第３ブロック２２８は、可動プラテン１２０と連結される部材である。第３ブロック２２８は、固定部材２２８ｂを介して可動プラテン連結部２２２に固定される。これによって第３ブロック２２８は、可動プラテン１２０と一体的に昇降可能となる。第３ブロック２２８の側面には、前後に延びる長孔２２８ａが形成される。

【0026】

昇降連結部材２３０は、第２ブロック２２６と中間プレート１３０とを連結する部材である。昇降連結部材２３０は、上下に延びる長手状に形成される。昇降連結部材２３０の下端部は、第２ブロック２２６に固定される。昇降連結部材２３０の上端部は、後述する吸収機構２４０の連結プレート２４６に固定される。昇降連結部材２３０は、吸収機構２４０を介して中間プレート１３０と連結される。

【0027】

アーム２３２は、第３ブロック２２８と連動して第２ブロック２２６を昇降させるものである。アーム２３２は、略矩形板状に形成される。アーム２３２の一端部は、第１軸受部材２３２ａを介して第１ブロック２２４に回転可能に連結される。これによってアーム２３２の一端部は、第１ブロック２２４に対して、第１軸受部材２３２ａを中心に回転可能、かつ、移動不能に支持される。

【0028】

アーム２３２の他端部は、第３軸受部材２３２ｃを介して第３ブロック２２８に回動可能に連結される。第３軸受部材２３２ｃは、第３ブロック２２８に形成された長孔２２８ａ内を、長孔２２８ａの長手方向（前後方向）に沿って移動可能となるように設けられる。

【0029】

アーム２３２の前後中途部は、第２軸受部材２３２ｂを介して第２ブロック２２６に回動可能に連結される。第２軸受部材２３２ｂは、第２ブロック２２６に形成された長孔２２６ａ内を、長孔２２６ａの長手方向（前後方向）に沿って移動可能となるように設けられる。第２軸受部材２３２ｂは、アーム２３２の長手方向において、第１軸受部材２３２ａと第３軸受部材２３２ｃの中間に位置するように配置されている。

【0030】

図４に示すように、可動プラテン１２０の上昇に伴って第３ブロック２２８が上昇すると、アーム２３２は第１軸受部材２３２ａを中心として回動する。アーム２３２が回動すると、第２軸受部材２３２ｂを介して第２ブロック２２６も上昇する。第２ブロック２２６が上昇すると、昇降連結部材２３０を介して中間プレート１３０が上昇する。このように、連動機構２２０によって、可動プラテン１２０と連動して中間プレート１３０を昇降させることができる。

【0031】

この際、第２軸受部材２３２ｂは、第１軸受部材２３２ａと第３軸受部材２３２ｃの中間に位置するように配置されているため、第２ブロック２２６の上昇量（移動距離）は、第３ブロック２２８の移動距離の半分となる。可動プラテン１２０が下降する場合も同様に、第２ブロック２２６の下降量は、第３ブロック２２８の下降量の半分となる。

【0032】

＜吸収機構２４０＞
図３及び図５に示す吸収機構２４０は、樹脂成形を行う際に、成形対象品の厚みのばらつきを吸収するものである。吸収機構２４０は、主として中間プレート連結部２４２、スプリング支持部２４４、連結プレート２４６及びスプリング２４８を具備する。なお、吸収機構２４０は中間プレート１３０の左右にそれぞれ設けられるが、以下では右側の吸収機構２４０に着目して説明を行う。

【0033】

図２及び図５に示す中間プレート連結部２４２は、中間プレート１３０に連結される部材である。中間プレート連結部２４２は、中間プレート１３０から右方に突出するように設けられる。中間プレート連結部２４２は、中間プレート１３０の前後両端部にそれぞれ設けられる。

【0034】

図２、図３及び図５に示すスプリング支持部２４４は、後述するスプリング２４８を支持する部材である。スプリング支持部２４４は、中間プレート連結部２４２の右端部に設けられる。スプリング支持部２４４の上下両端部には、右方に突出するようにスプリング受け部２４４ａがそれぞれ設けられる。

【0035】

連結プレート２４６は、連動機構２２０の昇降連結部材２３０と連結される部材である。連結プレート２４６は、長手方向を前後に向けた矩形状に形成される。連結プレート２４６は、スプリング支持部２４４に設けられた上下のスプリング受け部２４４ａの間に配置される。

【0036】

スプリング２４８は、上下に伸縮可能な部材である。スプリング２４８は、圧縮コイルスプリングにより形成される。スプリング２４８は、スプリング受け部２４４ａと連結プレート２４６との間に配置される。なお、スプリング２４８は、本発明に係る弾性部材の実施の一形態である。

【0037】

このような構成によって、連結プレート２４６（昇降連結部材２３０（図３参照））と中間プレート１３０は、スプリング２４８を介して連動される。スプリング２４８が適宜伸縮することによって、中間プレート１３０の上側で樹脂成形される成形対象品と、下側で樹脂成形される成形対象品の厚みにばらつきがあった場合でも、この厚みのばらつきを吸収することができる。

【0038】

＜姿勢維持機構３００＞
図５から図７に示す姿勢維持機構３００は、固定プラテン１１０に対する中間プレート１３０の相対的な姿勢を維持するためのものである。姿勢維持機構３００は、主として軸部材３１０、カム部材３２０及びガイド部材３３０を具備する。

【0039】

図５及び図６に示す軸部材３１０は、中間プレート１３０と連結されるものである。軸部材３１０は、中間プレート１３０を左右に貫通するように配置される。軸部材３１０は、中間プレート１３０の前後中央に配置される。軸部材３１０は、軸受部材３１１を介して中間プレート１３０に取り付けられる。これによって軸部材３１０は、中間プレート１３０に対して相対的に回転可能に設けられる。軸部材３１０の両端部は、側面プレート１３１に形成された上下に延びる長孔（不図示）及びプレスフレーム１４０に形成された上下に延びる長孔１４２を介して、プレスフレーム１４０の左右外側に突出するように配置される。なお、軸部材３１０は、本発明に係る軸の実施の一形態である。

【0040】

図５から図７に示すカム部材３２０は、軸部材３１０の両端に取り付けられ、軸部材３１０と一体的に回転可能なものである。カム部材３２０は、軸部材３１０の両端にそれぞれ固定される。カム部材３２０は、側面視において、軸部材３１０を中心とする円形の一部を外周方向に突出させたような略楕円形状に形成される。カム部材３２０の突出した部分には、軸受部材３２１が回転可能に設けられる。軸受部材３２１は、軸部材３１０の軸線とは異なる軸線上に設けられる。

【0041】

左右のカム部材３２０は、向きを合わせて軸部材３１０に固定される。具体的には、左右のカム部材３２０は、左右の軸受部材３２１の軸線が一致するように軸部材３１０に固定される。左右のカム部材３２０は、軸部材３１０を介して互いに同期して一体的に回転することができる。なお、カム部材３２０は、本発明に係る回転部材の実施の一形態である。

【0042】

ガイド部材３３０は、カム部材３２０に設けられた軸受部材３２１を案内するものである。ガイド部材３３０は、プレスフレーム１４０の左右外側面に固定される。ガイド部材３３０は、カム部材３２０を前後及び左右外側方から囲む枠状に形成される。ガイド部材３３０の側面には、前後方向に延びる長孔３３１が形成される。長孔３３１の内側には、カム部材３２０の軸受部材３２１が前後に移動可能となるように配置される。このように、カム部材３２０はガイド部材３３０を介して本体部１００に連結され、ひいては固定プラテン１１０に連結される。

【0043】

＜樹脂成形方法＞
以下では模式図を用いて、樹脂成形装置１を用いた樹脂成形方法について説明する。

【0044】

図８（ａ）に示すように、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、主として搬入工程Ｓ１０、型締め工程Ｓ２０、成形工程Ｓ３０、型開き工程Ｓ４０及び搬出工程Ｓ５０を含む。以下、順に説明する。

【0045】

搬入工程Ｓ１０は、樹脂成形装置１に設けられた成形型（金型）に、成形対象品となる基板１０、及び、樹脂材料３０を搬入する工程である。

【0046】

具体的には、図８（ｂ）に示すように、固定プラテン１１０と中間プレート１３０との間、及び、中間プレート１３０と可動プラテン１２０との間には、それぞれ樹脂成形に用いられる成形型が予め配置される。具体的には、固定プラテン１１０の底面には上型２０Ｕが配置され、中間プレート１３０の上面には上型２０Ｕと対になる下型２０Ｄが配置される。また同様に、中間プレート１３０の底面には上型２０Ｕが配置され、可動プラテン１２０の上面には下型２０Ｄが配置される。各成形型は、適宜の取り付け部材を用いて固定プラテン１１０等に固定することができる。

【0047】

搬入工程Ｓ１０において、基板１０及び樹脂材料３０は、所定の搬送装置によって成形型に搬入される。基板１０は、樹脂封止される電子素子を下に向けた状態で上型２０Ｕに吸着されて保持される。樹脂材料３０は、下型２０Ｄのキャビティ内に収容される。なお、樹脂材料３０としては、顆粒状、粉末状、粒状、ペースト状、液状など、各種状態の樹脂を用いることができる。また、必要に応じて、予め成形型に離型フィルムを配置することも可能である。

【0048】

基板１０及び樹脂材料３０の搬入が完了した後、搬入工程Ｓ１０から型締め工程Ｓ２０に移行する。

【0049】

型締め工程Ｓ２０は、成形型を閉める（型締めする）工程である。

【0050】

具体的には、型締め工程Ｓ２０において、まず下型２０Ｄに設けられた加熱機構（不図示）によってキャビティ内に収容された樹脂材料３０が溶融される。次に、ボールねじ２１０（図１等参照）が駆動されることによって可動プラテン１２０が上昇する。可動プラテン１２０が上昇すると、連動機構２２０を介して中間プレート１３０も上昇する。図９（ａ）に示すように、可動プラテン１２０及び中間プレート１３０が所定の位置まで上昇すると、上型２０Ｕに対して下型２０Ｄが接触し、型締めが完了する。

【0051】

型締めが行われる際には、上下の基板１０の厚みにばらつきがあったとしても、前述のようにスプリング２４８が適宜伸縮することによって、厚みの差が吸収される。これによって、上下の成形型のそれぞれで適切に型締めを行うことができる。

【0052】

型締めが完了した後、型締め工程Ｓ２０から成形工程Ｓ３０に移行する。

【0053】

成形工程Ｓ３０は、基板１０に対して樹脂成形を行う工程である。

【0054】

具体的には、成形工程Ｓ３０において、キャビティ内の樹脂材料３０が加圧した状態で所定時間保持される。樹脂材料３０を加圧したまま所定時間の経過を待つことによって、樹脂材料３０が硬化する。この際、樹脂材料３０に加えられる圧力の大きさや保持時間は、任意に調整することができる。

【0055】

樹脂材料３０が硬化した後、成形工程Ｓ３０から型開き工程Ｓ４０に移行する。

【0056】

型開き工程Ｓ４０は、成形型を開く（型開きする）工程である。

【0057】

具体的には、型開き工程Ｓ４０において、ボールねじ２１０（図１等参照）が駆動されることによって可動プラテン１２０が下降する。可動プラテン１２０が下降すると、連動機構２２０を介して中間プレート１３０も下降する。これによって、下型２０Ｄが上型２０Ｕから離れるように下降する。

【0058】

型開きが完了した後、型開き工程Ｓ４０から搬出工程Ｓ５０に移行する。

【0059】

搬出工程Ｓ５０は、樹脂封止された基板１０を成形型から搬出する工程である。

【0060】

具体的には、搬出工程Ｓ５０において、図９（ｂ）に示すように、上型２０Ｕから樹脂封止された基板１０が取り外され、所定の搬送装置によって成形型から搬出される。このようにして、樹脂成形装置１を用いて樹脂成形品を製造することができる。

【0061】

＜姿勢維持機構３００の動作＞
以下では、姿勢維持機構３００の動作について説明する。

【0062】

前述のように、樹脂成形装置１では、スプリング２４８が適宜伸縮することによって、上下の基板１０の厚みのばらつきを吸収することができる。しかしながら、例えば図１０に示すように、成形型に供給された樹脂材料３０に偏りがある場合には、中間プレート１３０に偏った荷重が加わることで中間プレート１３０のふらつきが発生し、樹脂成形装置１の左右のスプリング２４８の伸縮量に差が生じる可能性がある。この状態では中間プレート１３０が傾斜し、正常に樹脂成形を行うことができないおそれがある。このような中間プレート１３０の傾斜は、スプリング２４８の有無に限らず、各部材の寸法誤差や組み付け誤差など種々の要因に起因して生じる可能性がある。

【0063】

そこで本実施形態に係る樹脂成形装置１では、姿勢維持機構３００を用いることで、中間プレート１３０の傾きを抑制している。一例として、図１１（ａ）に示すように、中間プレート１３０の右部に偏った荷重が下向きに加わった場合を想定する。この場合、中間プレート１３０の右部が下降しようとする。図７（ｂ）に示すように、中間プレート１３０の下降に伴って軸部材３１０が下降する場合、カム部材３２０の軸受部材３２１が長孔３３１に沿って移動することで、カム部材３２０が回転する。このように、軸部材３１０の昇降運動は、カム部材３２０によって回転運動に変換される。

【0064】

ここで、図１１（ｂ）に示すように、左右一対のカム部材３２０は軸部材３１０を介して互いに同期して回転するため、軸部材３１０の両端は同じ量だけ下降することになる。すなわち、軸部材３１０は元のままの姿勢（図例では水平）を保ったまま下降することになる。これによって、軸部材３１０に連結された中間プレート１３０も、傾くことなく水平の姿勢を保ったまま下降する。

【0065】

このように姿勢維持機構３００を用いることで、本体部１００に対する中間プレート１３０の姿勢を維持することができる。これによって中間プレート１３０の傾きを抑制し、樹脂成形品の品質向上を図ることができる。

【0066】

なお、本実施形態では姿勢維持機構３００を中間プレート１３０に設けた例を示しているが、例えば姿勢維持機構３００を可動プラテン１２０に設けることも可能である。これによって、可動プラテン１２０の姿勢を維持することが可能となる。

【0067】

＜第２実施形態＞
以下では、図１２を用いて、本発明の第２実施形態に係る樹脂成形装置２の構成について説明する。

【0068】

第２実施形態に係る樹脂成形装置２が、第１実施形態に係る樹脂成形装置１（図２等参照）と異なる点は、中間プレート１３０を複数具備している点である。

【0069】

具体的には、樹脂成形装置２は、固定プラテン１１０（支持ブロック１１１）と可動プラテン１２０との間に、複数（２つ以上）の中間プレート１３０を具備している。各中間プレート１３０には、それぞれ吸収機構２４０及び姿勢維持機構３００が設けられる。また各中間プレート１３０は第１実施形態と同様に、図示せぬ連動機構２２０によって可動プラテン１２０と連動して昇降させることができる。このような樹脂成形装置２によって、成形型を３段以上積層して配置することができ、樹脂成形品の製造効率を向上させることができる。

【0070】

＜第３実施形態＞
以下では、図１３から図１８を用いて、本発明の第３実施形態に係る樹脂成形装置３の構成について説明する。

【0071】

第３実施形態に係る樹脂成形装置３が、第１実施形態に係る樹脂成形装置１（図１等参照）と異なる点は、姿勢維持機構３００に代えて姿勢維持機構４００を具備している点である。よって以下では、主に姿勢維持機構４００について具体的に説明する。

【0072】

＜姿勢維持機構４００＞
図１３から図１６に示す姿勢維持機構４００は、固定プラテン１１０に対する中間プレート１３０の相対的な姿勢を維持するためのものである。姿勢維持機構４００は、主として支持部４１０、軸部材４２０、カム部材４３０及び連結部材４４０を具備する。なお、姿勢維持機構４００は、固定プラテン１１０（支持ブロック１１１）と中間プレート１３０の間、及び、中間プレート１３０と可動プラテン１２０の間にそれぞれ設けられるが、以下では上側の姿勢維持機構４００（固定プラテン１１０と中間プレート１３０の間に設けられる姿勢維持機構４００）に着目して説明を行う。

【0073】

支持部４１０は、軸部材４２０を回転可能に支持するものである。支持部４１０は、固定プラテン１１０に設けられた支持ブロック１１１の前側面に左右一対設けられる。

【0074】

図１５及び図１６に示す軸部材４２０は、固定プラテン１１０と連結されるものである。軸部材４２０は、左右一対の支持部４１０を左右に貫通するように配置される。軸部材４２０は、支持部４１０に対して相対的に回転可能に設けられる。なお、軸部材４２０は、本発明に係る軸の実施の一形態である。

【0075】

図１５から図１７に示すカム部材４３０は、軸部材４２０の両端に取り付けられ、軸部材４２０と一体的に回転可能なものである。カム部材４３０は、支持部４１０の左右外側において、軸部材４２０の両端にそれぞれ固定される。カム部材４３０は、側面視において、軸部材４２０を中心とする円形の一部を外周方向に突出させたような略楕円形状に形成される。カム部材４３０の突出した部分には、軸受部材４３１が回転可能に設けられる。軸受部材４３１は、軸部材４２０の軸線とは異なる軸線上に設けられる。

【0076】

左右のカム部材４３０は、向きを合わせて軸部材４２０に固定される。具体的には、左右の軸受部材４３１の軸線が一致するように軸部材４２０に固定される。左右のカム部材４３０は、軸部材４２０を介して互いに同期して一体的に回転することができる。なお、カム部材４３０は、本発明に係る回転部材の実施の一形態である。

【0077】

連結部材４４０は、カム部材４３０と中間プレート１３０を連結するものである。連結部材４４０は、上下に延びる長手状に形成される。連結部材４４０の下端部は、中間プレート１３０の前側面に固定される。連結部材４４０の上部の左右内側面には、前後に延びる長溝４４１が形成される。長溝４４１の内側には、カム部材４３０の軸受部材４３１が前後に移動可能となるように配置される。このように、カム部材４３０は連結部材４４０を介して中間プレート１３０に連結される。なお、連結部材４４０は、本発明に係る回転連結部材の実施の一形態である。

【0078】

なお、図示は省略しているが、姿勢維持機構４００は樹脂成形装置３の背面側にも設けられる。すなわち、姿勢維持機構４００は、樹脂成形装置３の前面側及び背面側のそれぞれにおいて、固定プラテン１１０と中間プレート１３０の間に設けられる。但し、姿勢維持機構４００は樹脂成形装置３の前面側及び背面側のいずれか一方のみに設けることも可能である。

【0079】

また前述のように、姿勢維持機構４００は、中間プレート１３０と可動プラテン１２０の間にも設けられる（図１５参照）。この下側の姿勢維持機構４００の構成は、固定プラテン１１０と中間プレート１３０の間に設けられる姿勢維持機構４００と同様であるため、詳細な説明は省略する。下側の姿勢維持機構４００の軸部材４２０は、中間プレート１３０及び上側の姿勢維持機構４００を介して固定プラテン１１０に連結される。

【0080】

＜姿勢維持機構４００の動作＞
以下では、姿勢維持機構４００の動作について説明する。

【0081】

樹脂成形装置３では、姿勢維持機構４００を用いることで、中間プレート１３０の傾斜を抑制している。一例として、図１８（ａ）に示すように、中間プレート１３０の右部に偏った荷重が下向きに加わった場合を想定する。この場合、中間プレート１３０の右部が下降しようとする。図１７（ｂ）に示すように、中間プレート１３０の下降に伴って連結部材４４０が下降する場合、カム部材４３０の軸受部材４３１が下方に引っ張られるため、カム部材４３０が回転する。このように、連結部材４４０の昇降運動は、カム部材４３０によって回転運動に変換される。

【0082】

ここで、図１８（ｂ）に示すように、左右一対のカム部材４３０は軸部材４２０を介して互いに同期して回転するため、左右の連結部材４４０も同期されて同じ量だけ下降することになる。すなわち、中間プレート１３０は元のままの姿勢（図例では水平）を保ったまま下降し、固定プラテン１１０との平行度が維持されることになる。このように中間プレート１３０は、傾くことなく水平の姿勢を保ったまま下降する。

【0083】

このように姿勢維持機構４００を用いることで、本体部１００に対する中間プレート１３０の姿勢を維持することができる。これによって中間プレート１３０の傾きを抑制し、樹脂成形品の品質向上を図ることができる。

【0084】

また本実施形態では、本体部１００に対する姿勢が保たれた中間プレート１３０と、可動プラテン１２０とを連結するように、もう１つの（下側の）姿勢維持機構４００が設けられている。これによって、中間プレート１３０に対する可動プラテン１２０の姿勢も維持することができる。本体部１００に対する中間プレート１３０の姿勢は上側の姿勢維持機構４００によって維持されているため、間接的に、本体部１００に対する可動プラテン１２０の姿勢が維持されることになる。

【0085】

なお、本実施形態では可動プラテン１２０の姿勢を維持するために下側の姿勢維持機構４００を設けた例を示しているが、可動プラテン１２０に対する姿勢維持機構４００の設置を省くことも可能である。

【0086】

また第２実施形態（図１２参照）と同様に、第３実施形態に係る樹脂成形装置３についても、中間プレート１３０を複数具備する構成とすることが可能である。この場合、上下に並ぶように配置された固定プラテン１１０、複数の中間プレート１３０及び可動プラテン１２０のうち、上下に隣接する部材同士を連結するように姿勢維持機構４００を設けることで、本体部１００に対する各中間プレート１３０及び可動プラテン１２０の姿勢を維持することができる。

【0087】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。

【0088】

例えば、上記各実施形態で例示した各部材の構成（形状や個数等）は特に限定するものではなく、任意に変更することができる。

【0089】

また、上記各実施形態では、プレスフレーム１４０を用いた樹脂成形装置１等（図１等参照）を例示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、固定プラテン１１０の四隅を支持する棒状のタイバーを用いて樹脂成形装置１等を構成することも可能である。この場合、中間プレート１３０は、タイバーに対して上下にスライドするブッシュ等を用いて、昇降可能となるように構成することが可能である。

【0090】

また、上記各実施形態では、アーム２３２を用いて中間プレート１３０を昇降させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、ボールねじ等を用いた直動方式の機構や、トグルリンク等のリンク機構を用いて中間プレート１３０を昇降させることも可能である。

【0091】

また、上記各実施形態では、例えば図１１に示すように中間プレート１３０（軸部材３１０）の一側に偏った荷重が加わった場合、中間プレート１３０の一側が移動し、その移動に伴って中間プレート１３０の他側も移動することで平行度が保たれる例を説明した。他の一例として、中間プレート１３０の一側に偏った荷重が加わったとしても中間プレート１３０の他側が移動できない場合には、軸部材３１０によって連結されていることによって、中間プレート１３０の一側も移動せず、平行度が保たれる場合もある。図１８に示す例についても同様のことが言える。

【0092】

＜付記＞
本開示の第１側面に従う樹脂成形装置１・２・３は、
固定プラテン１１０と、
１又は２以上の中間プレート１３０と、
可動プラテン１２０と、
前記可動プラテン１２０及び前記中間プレート１３０を昇降させる型締め機構２００と、
前記固定プラテン１１０又は前記中間プレート１３０のいずれか一方に連結された軸（軸部材３１０・４２０）と、
前記軸の両端に取り付けられると共に前記固定プラテン１１０又は前記中間プレート１３０のいずれか他方に連結され、前記中間プレート１３０の昇降に伴い互いに同期して回転する回転部材（カム部材３２０・４３０）と、
を含み、前記固定プラテン１１０に対する前記中間プレート１３０の相対的な姿勢を維持する姿勢維持機構３００・４００と、
を備える。
本開示の第１側面に従う樹脂成形装置１・２・３によれば、中間プレート１３０の傾きを抑制することができる。これによって、樹脂成形品の品質向上を図ることができる。

【0093】

第１側面に従う第２側面の樹脂成形装置１・２・３において、前記回転部材は、回転運動と昇降運動とを変換可能なカム部材３２０・４３０である。
本開示の第２側面に従う樹脂成形装置１・２・３によれば、姿勢維持機構３００・４００を簡素な構成とすることができる。

【0094】

第１又は第２側面に従う第３側面の樹脂成形装置１・２・３において、前記型締め機構２００は、
一端部が前記可動プラテン１２０に連結され、他端部が移動不能に支持されたアーム２３２と、
前記中間プレート１３０と、前記アーム２３２の前記一端部と前記他端部との間と、を連結する昇降連結部材２３０と、
を具備する。
第３側面の樹脂成形装置１・２・３によれば、中間プレート１３０を可動プラテン１２０と連動して昇降させることができる。

【0095】

第３側面に従う第４側面の樹脂成形装置１・２・３において、前記型締め機構２００は、前記昇降連結部材２３０と、前記中間プレート１３０と、の間に設けられる弾性部材（スプリング２４８）を具備する。
第４側面の樹脂成形装置１・２・３によれば、成形対象品の厚みのばらつきを吸収し、樹脂成形品の品質向上を図ることができる。

【0096】

第１から第４側面のいずれか１つに従う第５側面の樹脂成形装置１・２において、前記軸（軸部材３１０）は、前記中間プレート１３０を貫通するように配置されることで、前記中間プレート１３０と連結され、
前記回転部材（カム部材３２０）は、前記固定プラテン１１０を保持するように対向配置された一対の側面フレーム（プレスフレーム１４０）にそれぞれ設けられることで、前記固定プラテン１１０と連結される。
第５側面の樹脂成形装置１・２によれば、軸部材３１０の両端に設けられたカム部材３２０によって軸部材３１０の姿勢が保たれることによって、中間プレート１３０の傾きを抑制することができる。

【0097】

第１から第４側面のいずれか１つに従う第６側面の樹脂成形装置３において、
前記軸（軸部材４２０）は、前記固定プラテン１１０に取り付けられることで、前記固定プラテン１１０と連結され、
前記回転部材（カム部材４３０）は、回転連結部材（連結部材４４０）を介して前記中間プレート１３０と連結される。
第５側面の樹脂成形装置３によれば、軸部材４２０の両端に設けられたカム部材４３０によって連結部材４４０が同期されて昇降するため、固定プラテン１１０と中間プレート１３０との平行度を保つことができ、その結果、中間プレート１３０の傾きを抑制することができる。

【符号の説明】

【0098】

１ 樹脂成形装置
２ 樹脂成形装置
３ 樹脂成形装置
１１０ 固定プラテン
１２０ 可動プラテン
１３０ 中間プレート
１４０ プレスフレーム
２００ 型締め機構
２３０ 昇降連結部材
２３２ アーム
３００ 姿勢維持機構
３１０ 軸部材
３２０ カム部材
４００ 姿勢維持機構
４２０ 軸部材
４３０ カム部材
４４０ 連結部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】