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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-05-07
(45)【発行日】2025-05-15
(54)【発明の名称】加工装置、及び加工品の製造方法
(51)【国際特許分類】
B24B 41/06 20120101AFI20250508BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20250508BHJP
B24B 49/10 20060101ALI20250508BHJP
B24B 49/08 20060101ALI20250508BHJP
B23Q 7/04 20060101ALI20250508BHJP
B23Q 7/00 20060101ALI20250508BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20250508BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20250508BHJP
H01L 21/673 20060101ALI20250508BHJP
H01L 21/683 20060101ALI20250508BHJP
C03B 33/03 20060101ALI20250508BHJP
H05K 3/00 20060101ALI20250508BHJP
【ＦＩ】
B24B41/06 A
B24B41/06 L
B24B27/06 J
B24B27/06 M
B24B49/10
B24B49/08
B23Q7/04 A
B23Q7/00 E
H01L21/78 Q
H01L21/78 N
H01L21/68 A
H01L21/68 U
H01L21/68 P
C03B33/03
H05K3/00 L
【請求項の数】
23
(21)【出願番号】P 2023506721
(86)(22)【出願日】2021-09-29
(86)【国際出願番号】 JP2021035885
(87)【国際公開番号】W WO2022195931
(87)【国際公開日】2022-09-22
【審査請求日】2023-12-20
(31)【優先権主張番号】P 2021044356
(32)【優先日】2021-03-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2021130829
(32)【優先日】2021-08-10
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2021133294
(32)【優先日】2021-08-18
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100121441
【弁理士】
【氏名又は名称】西村 竜平
(74)【代理人】
【識別番号】100154704
【弁理士】
【氏名又は名称】齊藤 真大
(74)【代理人】
【識別番号】100206151
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 惇志
(74)【代理人】
【識別番号】100218187
【弁理士】
【氏名又は名称】前田 治子
(74)【代理人】
【識別番号】100227673
【弁理士】
【氏名又は名称】福田 光起
(74)【代理人】
【識別番号】100231038
【弁理士】
【氏名又は名称】正村 智彦
(72)【発明者】
【氏名】深井 元樹
(72)【発明者】
【氏名】片岡 昌一
(72)【発明者】
【氏名】堀 聡子
(72)【発明者】
【氏名】坂上 雄哉
(72)【発明者】
【氏名】山本 裕子
(72)【発明者】
【氏名】吉岡 翔
(72)【発明者】
【氏名】今井 一郎
【審査官】須中 栄治
(56)【参考文献】
【文献】韓国登録特許第１０－２１３８００３（ＫＲ，Ｂ１）
【文献】特開２０１９－２０２３５３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１４－１３８０１１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０３３７２９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００３－２６６２６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－０５１６４５（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１０／１３７０７２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２０１５－１８８０２４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０６－１３５５４６（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国登録特許第１０－２１４６７８４（ＫＲ，Ｂ１）
【文献】韓国登録特許第１０－２１６７５００（ＫＲ，Ｂ１）
【文献】特開２０１９－０１６７００（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－０５４２５６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１０－１１８３７６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２００８－５１１１６４（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２４Ｂ３／００－３／６０
Ｂ２４Ｂ２１／００－５１／００
Ｂ２３Ｑ７／００－７／１８
Ｃ０３Ｂ２３／００－３５／２６
Ｃ０３Ｂ４０／００－４０／０４
Ｈ０１Ｌ２１／３０１；２１／７８
Ｈ０１Ｌ２１／６７７
Ｈ０１Ｌ２１／６７３
Ｈ０１Ｌ２１／６８３
Ｈ０５Ｋ３／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
加工対象物を加工する加工機構と、前記加工対象物を保持するための保持用プレートを収容するプレート収容部と、
前記保持用プレートが着脱可能に取り付けられ、前記保持用プレートを用いて前記加工対象物を保持する保持ベース部と、
前記保持用プレートを前記プレート収容部及び前記保持ベース部の間で搬送するプレート搬送機構と、
前記保持ベース部に対する前記保持用プレートの取り付け状態を検査する検査機構とを備え、
前記プレート収容部は、前記保持用プレートが載置される複数段のスライド棚部を有しており、
前記プレート搬送機構は、前記保持ベース部から取り外された前記保持用プレートを前記プレート収容部に搬送して外側にスライドされた前記スライド棚部に載置し、前記プレート収容部において外側にスライドされた前記スライド棚部から前記保持用プレートを取り出して前記保持ベース部に搬送するものであり、
前記スライド棚部は、前記プレート搬送機構によって外側にスライドされる、加工装置。
【請求項2】
前記検査機構は、前記保持用プレートが搭載される搭載面に開口する検査用流路と、
前記検査用流路に設けられ、前記開口からの流体の漏れを検知する検知センサとを有する、請求項１に記載の加工装置。
【請求項3】
前記検査用流路は、圧縮空気が供給されるものであり、前記検知センサは、前記検査用流路を流れる圧縮空気の圧力又は流量を検出することによって、前記開口からの圧縮空気の漏れを検知する、請求項２に記載の加工装置。
【請求項4】
前記保持ベース部は、前記保持用プレートに形成された固定用挿入孔に挿入される固定用シリンダ部を有しており、前記固定用シリンダ部は、前記固定用挿入孔に挿入されるシリンダ本体と、当該シリンダ本体の外側周面から突出した位置及び没入した位置で移動可能に設けられた可動子と、当該可動子を前記シリンダ本体に対して突出した位置となるように力を付与する弾性体とを有し、
前記固定用シリンダ部が前記固定用挿入孔に挿入された状態で、前記可動子が突出した状態となることにより、前記保持ベース部に対して前記保持用プレートが固定される、請求項１に記載の加工装置。
【請求項5】
前記検査機構により前記保持ベース部の搭載面に前記保持用プレートが密着していないと判断された場合に、前記固定用シリンダ部が前記保持用プレートの固定を解除して、前記保持用プレートを取り付け直す、請求項４に記載の加工装置。
【請求項6】
前記プレート搬送機構は、前記保持用プレートに形成された搬送用保持孔に挿入される搬送用シリンダ部を有しており、前記搬送用シリンダ部は、前記搬送用保持孔に挿入されるシリンダ本体と、当該シリンダ本体の外側周面から突出した位置及び没入した位置で移動可能に設けられた可動子と、当該可動子を前記シリンダ本体に対して突出した位置となるように力を付与する弾性体とを有し、
前記搬送用シリンダ部が搬送用挿入孔に挿入された状態で、前記可動子が突出した状態となることにより、前記プレート搬送機構に前記保持用プレートが保持される、請求項１に記載の加工装置。
【請求項7】
前記プレート搬送機構は、前記保持用プレートを上昇させて搬送する、請求項１に記載の加工装置。
【請求項8】
前記プレート搬送機構は、前記加工対象物を加工するための加工用テーブルの保持用プレート、
前記加工機構により加工された加工後の前記加工対象物を乾燥するための乾燥用テーブルの保持用プレート、
前記加工後の前記加工対象物を検査するための検査用テーブルの保持用プレート、
前記加工後の前記加工対象物が仕分け前に載置される移載テーブルの保持用プレート、又は、
前記加工後の前記加工対象物を搬送するために保持する搬送用保持機構の保持用プレートの少なくとも１つを搬送する、請求項１に記載の加工装置。
【請求項9】
前記プレート搬送機構は、前記加工後の前記加工対象物を搬送することができる、請求項１に記載の加工装置。
【請求項10】
前記プレート搬送機構は、前記加工後の前記加工対象物が仕分けされるトレイを搬送することができる、請求項１に記載の加工装置。
【請求項11】
前記プレート搬送機構は、前記プレート収容部と仮置き部との間で前記保持用プレートを搬送する第１搬送機構と、
前記仮置き部と前記保持ベース部との間で前記保持用プレートを搬送する第２搬送機構とを有する、請求項１に記載の加工装置。
【請求項12】
前記第１搬送機構は、前記加工後の前記加工対象物が仕分けされるトレイを搬送することができる、請求項１１に記載の加工装置。
【請求項13】
前記第２搬送機構は、前記加工後の前記加工対象物を搬送することができる、請求項１１に記載の加工装置。
【請求項14】
前記加工機構により個片化された前記加工対象物が貼り付けられる粘着面を有する貼付部材が載置される載置テーブルをさらに備え、前記プレート搬送機構は、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送することができる、請求項１に記載の加工装置。
【請求項15】
前記プレート搬送機構は、前記プレート収容部と仮置き部との間で前記保持用プレートを搬送する第１搬送機構と、
前記仮置き部と前記保持ベース部との間で前記保持用プレートを搬送する第２搬送機構とを有する、請求項１４に記載の加工装置。
【請求項16】
前記第１搬送機構は、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送することができる、請求項１５に記載の加工装置。
【請求項17】
前記第２搬送機構は、前記個片化された前記加工対象物を搬送することができる、請求項１５に記載の加工装置。
【請求項18】
前記加工対象物を加工用テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、前記個片化された前記加工対象物を前記加工用テーブルから搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、
前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送するための前記貼付部材を保持する第３保持機構と、
前記第１保持機構、前記第２保持機構及び前記第３保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構とをさらに備え、
前記第１搬送機構は、前記第３保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成され、
前記第２搬送機構は、前記第２保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成されている、請求項１５に記載の加工装置。
【請求項19】
前記貼付部材を収容する貼付部材収容部をさらに備え、前記プレート収容部及び前記貼付部材収容部は互いに上下に配置されている、請求項１５に記載の加工装置。
【請求項20】
前記加工機構により個片化された前記加工対象物が落下して収容される収容ボックスをさらに備え、前記プレート搬送機構は、前記個片化された前記加工対象物を前記収容ボックスに搬送することができる、請求項１に記載の加工装置。
【請求項21】
前記加工機構により個片化された前記加工対象物を一端開口部から収容する筒状容器が設置される容器設置部と、前記個片化された前記加工対象物を前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する搬送収容機構とをさらに備える、請求項１に記載の加工装置。
【請求項22】
前記加工対象物を加工用テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、前記個片化された前記加工対象物を前記加工用テーブルから搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、
前記第１保持機構及び前記第２保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構とをさらに備え、
前記プレート搬送機構は、前記第２保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成されている、請求項１５に記載の加工装置。
【請求項23】
請求項１乃至２２の何れか一項に記載の加工装置を用いて加工品を製造する加工品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、加工装置、及び加工品の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来、特許文献１に示すように、被切断物を切断して個片化された複数の製品を製造する切断装置において、切断用テーブルに対して吸着治具を着脱可能に構成したものが考えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１６－０４００６０号公報
【0004】
しかしながら、上記の切断装置では、単に切断用テーブルに対して吸着治具を着脱可能にしただけであり、実際に吸着治具を交換する際には作業者が作業を行う必要がある。そのため、作業者の人件費がかかるだけでなく、取り付け状態にばらつきが出てしまうという問題がある。また、交換作業に時間がかかってしまい、切断装置の生産性が低下してしまう。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、加工対象物を保持するための保持用プレートを自動的に交換することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
すなわち本発明に係る加工装置は、加工対象物を加工する加工機構と、前記加工対象物を保持するための保持用プレートを収容するプレート収容部と、前記保持用プレートが着脱可能に取り付けられ、前記保持用プレートを用いて前記加工対象物を保持する保持ベース部と、前記プレートを前記プレート収容部及び前記保持ベース部の間で搬送するプレート搬送機構とを備え、前記プレート搬送機構は、前記保持ベース部から取り外された前記保持用プレートを前記プレート収容部に搬送し、前記プレート収容部にある前記保持用プレートを前記保持ベース部に搬送することを特徴とする。
【発明の効果】
【0007】
このように構成した本発明によれば、加工対象物を保持するための保持用プレートを自動的に交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の第１実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。
【図2】同実施形態の切断用テーブル及びその周辺構造を模式的に示す斜視図である。
【図3】同実施形態の切断用テーブル及びその周辺構造の構成を模式的に示すＺ方向から見た図（平面図）である。
【図4】同実施形態の切断用テーブル及びその周辺構造の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図5】同実施形態の第１保持機構及び搬送用移動機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図6】同実施形態の第１保持機構及び搬送用移動機構の構成を模式的に示すＸ方向から見た図（側面図）である。
【図7】同実施形態のラックアンドピニオン機構の構成を模式的に示す断面図である。
【図8】同実施形態の第２保持機構及び搬送用移動機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図9】同実施形態の切断装置の動作を示す模式図である。
【図10】同実施形態の保持用プレート及び保持ベース部の構成を示す模式図である。
【図11】同実施形態の第１搬送機構（トレイ搬送機構）及びプレート収容部を示す斜視図である。
【図12】同実施形態の固定機構の構成を模式的に示す断面図である。
【図13】同実施形態の第２保持機構の保持ベース部を示す斜視図である。
【図14】同実施形態の保持用プレートの交換動作を示す図である。
【図15】同実施形態の保持用プレートの交換動作を示す図である。
【図16】第１実施形態におけるプレート搬送機構の変形例の構成を模式的に示す（ａ）Ｚ方向から見た部分図（部分平面図）、（ｂ）Ｘ方向から見た部分図（部分側面図）、及び（ｃ）Ｙ方向から見た部分図（部分正面図）である。
【図17】本発明の第２実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。
【図18】同実施形態の移載テーブル及び載置テーブルの各位置を模式的に示すＺ方向から見た図（平面図）である。
【図19】同実施形態の移載テーブル、載置テーブル及び貼付用搬送機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図20】同実施形態の貼付部材の構成を模式的に示す（ａ）平面図、（ｂ）断面図、及び（ｃ）部分拡大断面図である。
【図21】同実施形態の載置テーブル、貼付部材収容部及び貼付部材搬送機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図22】同実施形態の第１搬送機構（プレート搬送機構）及びプレート収容部を示す斜視図である。
【図23】同実施形態の（ａ）貼付部材収容部に対して貼付部材を出し入れする場合における貼付部材収容部及びプレート収容部の位置関係を示す図、及び（ｂ）プレート収容部に対して保持用プレートを出し入れする場合における貼付部材収容部及びプレート収容部の位置関係を示す図である。
【図24】同実施形態の保持用プレートの交換動作を示す図である。
【図25】同実施形態の保持用プレートの交換動作を示す図である。
【図26】変形実施形態の（ａ）載置テーブル、貼付部材収容部及び貼付部材搬送機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）、（ｂ）上のガイドレールの間隔が拡がった状態を示す模式図、及び（ｃ）上のガイドレールの間隔が縮まった状態を示す模式図である。
【図27】本発明の第３実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。
【図28】同実施形態の乾燥用テーブル及び収容ボックスの周辺構造を模式的に示すＺ方向から見た図（平面図）である。
【図29】同実施形態の乾燥用テーブル及び収容ボックスの周辺構造を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図30】同実施形態の切断装置の動作を示す模式図である。
【図31】同実施形態のプレート搬送機構及びプレート収容部を示す斜視図である。
【図32】同実施形態の保持用プレートの交換動作を示す図である。
【図33】本発明の第４実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。
【図34】同実施形態の筒状容器の構成を模式的に示す（ａ）斜視図、及び（ｂ）断面図である。
【図35】同実施形態の移載テーブル及び搬送収容機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。
【図36】同実施形態の保持用プレートの交換動作を示す図である。
【符号の説明】
【0009】
１００・・・切断装置（加工装置）
Ｗ・・・封止済基板（加工対象物）
Ｐ・・・製品（加工品）
２Ａ、２Ｂ・・・切断用テーブル（加工用テーブル）
４・・・切断機構（加工機構）
５・・・移載テーブル
６・・・第２保持機構（搬送用保持機構、第２搬送機構）
７・・・搬送用移動機構（第２搬送機構）
１４１・・・保持テーブル（検査用テーブル）
２４・・・プレート収容部
Ｍ２・・・保持ベース部
Ｍ１・・・保持用プレート
２５・・・プレート搬送機構
２１・・・トレイ
２２・・・トレイ搬送機構（第１搬送機構）
２６１・・・固定用挿入孔
２６２・・・固定用シリンダ部
２６２ａ・・・シリンダ本体
２６２ｂ・・・可動子
２６２ｃ・・・弾性体
２７・・・仮置き部
２８１・・・搬送用保持孔
２８２・・・搬送用シリンダ部
２９・・・検査機構
２９ａ・・・検査用流路
１０１・・・貼付部材
１０２・・・載置テーブル
１０６・・・貼付部材収容部
１０７・・・貼付部材搬送機構
１０７１・・・第３保持機構（第１搬送機構）
１１１・・・収容ボックス
１１２・・・乾燥用テーブル
１１６・・・筒状容器
１１６ｘ・・・一端開口部
１１７・・・容器設置部
１１８・・・搬送収容機構
１１９・・・中間テーブル
１２０・・・第１製品搬送機構
１２１・・・第２製品搬送機構
Ｗ・・・封止済基板（加工対象物）
Ｐ・・・製品（加工品）
２Ａ、２Ｂ・・・切断用テーブル（加工用テーブル）
４・・・切断機構（加工機構）
５・・・移載テーブル
６・・・第２保持機構（搬送用保持機構、第２搬送機構）
７・・・搬送用移動機構（第２搬送機構）
１４１・・・保持テーブル（検査用テーブル）
２４・・・プレート収容部
Ｍ２・・・保持ベース部
Ｍ１・・・保持用プレート
２５・・・プレート搬送機構
２１・・・トレイ
２２・・・トレイ搬送機構（第１搬送機構）
２６１・・・固定用挿入孔
２６２・・・固定用シリンダ部
２６２ａ・・・シリンダ本体
２６２ｂ・・・可動子
２６２ｃ・・・弾性体
２７・・・仮置き部
２８１・・・搬送用保持孔
２８２・・・搬送用シリンダ部
２９・・・検査機構
２９ａ・・・検査用流路
１０１・・・貼付部材
１０２・・・載置テーブル
１０６・・・貼付部材収容部
１０７・・・貼付部材搬送機構
１０７１・・・第３保持機構（第１搬送機構）
１１１・・・収容ボックス
１１２・・・乾燥用テーブル
１１６・・・筒状容器
１１６ｘ・・・一端開口部
１１７・・・容器設置部
１１８・・・搬送収容機構
１１９・・・中間テーブル
１２０・・・第１製品搬送機構
１２１・・・第２製品搬送機構
【発明を実施するための形態】
【0010】
次に、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。
【0011】
本発明の加工装置は、前述のとおり、加工対象物を加工する加工機構と、前記加工対象物を保持するための保持用プレートを収容するプレート収容部と、前記保持用プレートが着脱可能に取り付けられ、前記保持用プレートを用いて前記加工対象物を保持する保持ベース部と、前記プレートを前記プレート収容部及び前記保持ベース部の間で搬送するプレート搬送機構とを備え、前記プレート搬送機構は、前記保持ベース部から取り外された前記保持用プレートを前記プレート収容部に搬送し、前記プレート収容部にある前記保持用プレートを前記保持ベース部に搬送することを特徴とする。
この加工装置であれば、保持ベース部から取り外された保持用プレートをプレート収容部に搬送し、プレート収容部にある保持用プレートを保持ベース部に搬送するプレート搬送機構を有するので、保持ベース部に対して保持用プレートを自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートを交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートを自動的に交換するので、保持ベース部に対する保持用プレートの取り付け状態のばらつきを低減することができる。さらに、保持用プレートを自動的に交換するので、保持用プレートの交換時間を短縮することができ、加工装置の生産性を向上することができる。
この加工装置であれば、保持ベース部から取り外された保持用プレートをプレート収容部に搬送し、プレート収容部にある保持用プレートを保持ベース部に搬送するプレート搬送機構を有するので、保持ベース部に対して保持用プレートを自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートを交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートを自動的に交換するので、保持ベース部に対する保持用プレートの取り付け状態のばらつきを低減することができる。さらに、保持用プレートを自動的に交換するので、保持用プレートの交換時間を短縮することができ、加工装置の生産性を向上することができる。
【0012】
前記プレート搬送機構は、前記保持用プレートを上昇させて搬送することが望ましい。
この構成であれば、保持用プレートを搬送する際に、保持用プレートと他の部材との干渉を回避して、保持用プレートを容易に搬送することができる。
この構成であれば、保持用プレートを搬送する際に、保持用プレートと他の部材との干渉を回避して、保持用プレートを容易に搬送することができる。
【0013】
前記プレート搬送機構は、前記加工対象物を加工するための加工用テーブルの保持用プレート、前記加工機構により加工された加工後の前記加工対象物を乾燥するための乾燥用テーブルの保持用プレート、加工後の前記加工対象物を検査するための検査用テーブルの保持用プレート、加工後の前記加工対象物が仕分け前に載置される移載テーブルの保持用プレート、又は、加工後の前記加工対象物を搬送するために保持する搬送用保持機構の保持用プレートの少なくとも１つを搬送することが望ましい。
この構成であれば、加工用テーブル、検査用テーブル、移載テーブル及び搬送用保持機構それぞれの保持用プレートを自動的に交換することができる。
この構成であれば、加工用テーブル、検査用テーブル、移載テーブル及び搬送用保持機構それぞれの保持用プレートを自動的に交換することができる。
【0014】
本発明の加工装置は、前記加工対象物を搬送する加工対象物搬送機構をさらに備えている。
この構成において保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減するためには、前記プレート搬送機構は、前記加工対象物搬送機構を用いて構成されていることが望ましい。つまり、プレート搬送機構が、加工対象物を搬送する機能を有する構成となる。
この構成において保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減するためには、前記プレート搬送機構は、前記加工対象物搬送機構を用いて構成されていることが望ましい。つまり、プレート搬送機構が、加工対象物を搬送する機能を有する構成となる。
【0015】
本発明の加工装置は、加工後の前記加工対象物を、トレイに収容（「トレイ収容」とも呼ばれる。）できる構成とすることができる。この加工装置は、加工後の前記加工対象物が仕分けされるトレイを搬送するトレイ搬送機構をさらに備えている。
この構成において、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減するためには、前記プレート搬送機構は、前記トレイ搬送機構を用いて構成されていることが望ましい。つまり、プレート搬送機構が、加工後の加工対象物が仕分けされるトレイを搬送する機能を有する構成となる。
この構成において、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減するためには、前記プレート搬送機構は、前記トレイ搬送機構を用いて構成されていることが望ましい。つまり、プレート搬送機構が、加工後の加工対象物が仕分けされるトレイを搬送する機能を有する構成となる。
【0016】
前記プレート搬送機構は、前記プレート収容部と仮置き部との間で前記保持用プレートを搬送する第１搬送機構と、前記仮置き部と前記保持ベース部との間で前記保持用プレートを搬送する第２搬送機構とを有することが望ましい。
この構成であれば、仮置き部を介して第１搬送機構及び第２搬送機構により保持用プレートを搬送するので、プレート搬送機構を１つの搬送機構で構成する場合に比べて、保持用プレートの搬送先の自由度を増すことができる。
この構成であれば、仮置き部を介して第１搬送機構及び第２搬送機構により保持用プレートを搬送するので、プレート搬送機構を１つの搬送機構で構成する場合に比べて、保持用プレートの搬送先の自由度を増すことができる。
【0017】
前記プレート搬送機構を第１搬送機構及び第２搬送機構により構成する場合には、前記第１搬送機構が、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送し、前記第２搬送機構が、前記個片化された前記加工対象物を搬送することが望ましい。
この構成であれば、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減することができる。
この構成であれば、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減することができる。
【0018】
本発明の加工装置は、個片化された加工対象物を、粘着面を有する貼付部材に貼り付けて収容（「リング収容」とも呼ばれる。）できる構成とすることができる。この加工装置は、前記加工機構により個片化された前記加工対象物が貼り付けられる粘着面を有する貼付部材が載置される載置テーブルをさらに備えている。
この構成において、前記プレート搬送機構は、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送することができることが望ましい。
この加工装置であれば、プレート搬送機構が、貼付部材を載置テーブルに搬送することができるので、プレート搬送機構とは別に貼付部材用の搬送機構を設ける必要がなく、個片化された加工対象物を粘着面に貼り付けて収容する加工装置の装置構成を簡素化することができる。さらに、装置コストも削減することができる。その他、個片化された加工対象物に対して、スパッタリング工程又は実装工程などの後工程を行う場合に、個片化された加工対象物が貼り付けられた貼付部材を移動させればよく、その取り扱いを容易にすることができる。
この構成において、前記プレート搬送機構は、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送することができることが望ましい。
この加工装置であれば、プレート搬送機構が、貼付部材を載置テーブルに搬送することができるので、プレート搬送機構とは別に貼付部材用の搬送機構を設ける必要がなく、個片化された加工対象物を粘着面に貼り付けて収容する加工装置の装置構成を簡素化することができる。さらに、装置コストも削減することができる。その他、個片化された加工対象物に対して、スパッタリング工程又は実装工程などの後工程を行う場合に、個片化された加工対象物が貼り付けられた貼付部材を移動させればよく、その取り扱いを容易にすることができる。
【0019】
前記プレート搬送機構は、前記プレート収容部と仮置き部との間で前記保持用プレートを搬送する第１搬送機構と、前記仮置き部と前記保持ベース部との間で前記保持用プレートを搬送する第２搬送機構とを有することが望ましい。
この構成であれば、仮置き部を介して第１搬送機構及び第２搬送機構により保持用プレートを搬送するので、プレート搬送機構を１つの搬送機構で構成する場合に比べて、保持用プレートの搬送先の自由度を増すことができる。
この構成であれば、仮置き部を介して第１搬送機構及び第２搬送機構により保持用プレートを搬送するので、プレート搬送機構を１つの搬送機構で構成する場合に比べて、保持用プレートの搬送先の自由度を増すことができる。
【0020】
前記プレート搬送機構を第１搬送機構及び第２搬送機構により構成する場合には、前記第１搬送機構が、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送し、前記第２搬送機構が、前記個片化された前記加工対象物を搬送することが望ましい。
この構成であれば、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減することができる。
この構成であれば、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減することができる。
【0021】
装置構成の簡素化するための具体的な実施の態様としては、本発明の加工装置は、前記加工対象物を前記加工用テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、前記個片化された前記加工対象物を前記加工用テーブルから搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、前記貼付部材を前記載置テーブルに搬送するための前記貼付部材を保持する第３保持機構と、前記第１保持機構、前記第２保持機構及び前記第３保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構とをさらに備えることが望ましい。
この構成において、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減するためには、前記第１搬送機構は、前記第３保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成され、前記第２搬送機構は、前記第２保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成されていることが望ましい。
この構成において、保持用プレートの自動的な交換を可能にしながらも装置構成を簡素化しつつ装置コストを削減するためには、前記第１搬送機構は、前記第３保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成され、前記第２搬送機構は、前記第２保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成されていることが望ましい。
【0022】
本発明の加工装置は、前記貼付部材を収容する貼付部材収容部をさらに備えている。
この構成において、加工装置のフットプリントを小型化するためには、前記プレート収容部及び前記貼付部材収容部は互いに上下に配置されていることが望ましい。
この構成において、加工装置のフットプリントを小型化するためには、前記プレート収容部及び前記貼付部材収容部は互いに上下に配置されていることが望ましい。
【0023】
本発明の加工装置は、個片化された加工対象物をばらばらの状態で収容（「バルク収容」とも呼ばれる。）できる構成とすることができる。この加工装置は、前記加工機構により個片化された前記加工対象物が落下して収容される収容ボックスをさらに備えている。
この構成において、前記プレート搬送機構は、前記個片化された前記加工対象物を前記収容ボックスに搬送することができることが望ましい。
この加工装置であれば、プレート搬送機構が、個片化された加工対象物を収容ボックスに搬送することができるので、プレート搬送機構とは別の搬送機構を設ける必要がなく、個片化された加工対象物を落下させて収容する加工装置の装置構成を簡素化することができる。さらに、装置コストも削減することができる。その他、個片化された加工対象物を収容ボックスに落下させて収容するので、従来のトレイ収容する構成に比べて、収容スペースを小型化することができる。これによっても、加工装置のフットプリントを低減することができる。
この構成において、前記プレート搬送機構は、前記個片化された前記加工対象物を前記収容ボックスに搬送することができることが望ましい。
この加工装置であれば、プレート搬送機構が、個片化された加工対象物を収容ボックスに搬送することができるので、プレート搬送機構とは別の搬送機構を設ける必要がなく、個片化された加工対象物を落下させて収容する加工装置の装置構成を簡素化することができる。さらに、装置コストも削減することができる。その他、個片化された加工対象物を収容ボックスに落下させて収容するので、従来のトレイ収容する構成に比べて、収容スペースを小型化することができる。これによっても、加工装置のフットプリントを低減することができる。
【0024】
また、本発明の加工装置は、個片化された加工対象物を筒状容器に収容（「チューブ収容」とも呼ばれる。）できる構成とすることができる。なお、筒状容器は、チューブ、マガジンスティック、スティックマガジン、スティックなどと呼ばれることがある。この加工装置は、前記個片化された前記加工対象物を一端開口部から収容する筒状容器が設置される容器設置部と、前記個片化された前記加工対象物を前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する搬送収容機構とをさらに備えている。
【0025】
上記のバルク収容又はチューブ収容する加工装置の装置構成の簡素化するための具体的な実施の態様としては、本発明の加工装置は、前記加工対象物を前記加工用テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、前記個片化された前記加工対象物を前記加工用テーブルから搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、前記第１保持機構及び前記第２保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構とをさらに備え、前記プレート搬送機構は、前記第２保持機構及び前記搬送用移動機構を用いて構成されていることが望ましい。
【0026】
保持用プレートの固定が正確に行われているかを自動的に検査するためには、本発明の加工装置は、前記保持ベース部に対する前記保持用プレートの取り付け状態を検査する検査機構をさらに備えることが望ましい。
【0027】
検査機構の具体的な実施の態様としては、前記検査機構は、前記保持用プレートが搭載される搭載面に開口する検査用流路と、前記検査用流路に設けられ、前記開口からの流体の漏れを検知する検知センサとを有することが望ましい。ここで検知センサは、流体の圧力又は流量を測定することによって前記開口からの流体の漏れを検知する。
【0028】
保持ベース部に対する保持用プレートの固定構造を簡単にするためには、前記保持ベース部は、前記保持用プレートに形成された固定用挿入孔に挿入される固定用シリンダ部を有しており、前記固定用シリンダ部は、前記固定用挿入孔に挿入されるシリンダ本体と、当該シリンダ本体の外側周面から突出した位置及び没入した位置で移動可能に設けられた可動子と、当該可動子を前記シリンダ本体に対して突出した位置となるように力を付与する弾性体とを有し、前記固定用シリンダ部が前記固定用挿入孔に挿入された状態で、前記可動子が突出した位置となることにより、前記保持ベース部に対して前記保持用プレートが固定されることが望ましい。
【0029】
また、プレート搬送機構に対する保持用プレートの着脱構造を簡単にするためには、前記プレート搬送機構は、前記保持用プレートに形成された搬送用保持孔に挿入される搬送用シリンダ部を有しており、前記搬送用シリンダ部は、前記搬送用保持孔に挿入されるシリンダ本体と、当該シリンダ本体の外側周面から突出した位置及び没入した位置で移動可能に設けられた可動子と、当該可動子を前記シリンダ本体に対して突出した位置となるように力を付与する弾性体とを有し、前記搬送用シリンダ部が搬送用挿入孔に挿入された状態で、前記可動子が突出した位置となることにより、前記プレート搬送機構に前記保持用プレートが保持されることが望ましい。
【0030】
また、上記の加工装置を用いて加工品を製造する加工品の製造方法も本発明の一態様である。
【0031】
＜本発明の各実施形態＞
以下に、本発明に係る加工装置の各実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
以下に、本発明に係る加工装置の各実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【0032】
＜第１実施形態＞
＜加工装置の全体構成＞
本実施形態の加工装置１００は、加工対象物である封止済基板Ｗを切断することによって、複数の加工品である製品Ｐに個片化する切断装置である。
＜加工装置の全体構成＞
本実施形態の加工装置１００は、加工対象物である封止済基板Ｗを切断することによって、複数の加工品である製品Ｐに個片化する切断装置である。
【0033】
ここで、封止済基板Ｗとは、半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子が接続された基板に対して、少なくとも電子素子を樹脂封止するように樹脂成形したものである。封止済基板Ｗを構成する基板としては、リードフレーム、プリント配線板を用いることができ、これら以外にも、半導体製基板（シリコンウェーハ等の半導体ウェーハを含む）、金属製基板、セラミック製基板、ガラス製基板、樹脂製基板等を用いることができる。また、封止済基板Ｗを構成する基板には、配線が施されていても施されていなくてもよい。
【0034】
また、本実施形態の封止済基板Ｗ及び製品Ｐは、一方の面が後に実装される実装面となる。本実施形態の説明では、後に実装される一方の面を「実装面」と記載し、その反対側の面を「マーク面」と記載する。
【0035】
具体的に切断装置１００は、図１に示すように、封止済基板Ｗを保持する２つの切断用テーブル（加工用テーブル）２Ａ、２Ｂと、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持する第１保持機構３と、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する切断機構（加工機構）４と、複数の製品Ｐが移される移載テーブル５と、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから移載テーブル５に搬送するために複数の製品Ｐを保持する第２保持機構６と、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する搬送用移動機構７と、切断機構４を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗに対して移動させる切断用移動機構（加工用移動機構）８とを備えている。なお、第１保持機構３及び搬送用移動機構７により封止済基板Ｗを搬送する搬送機構（ローダ）が構成され、第２保持機構６及び搬送用移動機構７により複数の製品Ｐを搬送する搬送機構（アンローダ）が構成される。
【0036】
以下の説明において、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの上面に沿った平面（水平面）内で互いに直交する方向をそれぞれ第１方向であるＸ方向及び第２方向であるＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する鉛直方向をＺ方向とする。具体的には、図１の左右方向をＸ方向とし、上下方向をＹ方向とする。後述するが、Ｘ方向は、支持体８１２の移動方向であり、また、門型の支持体８１２における一対の脚部を架け渡される梁部（ビーム部）の長手方向（梁部の延びる方向）に直交する方向である（図２及び図３参照）。
【0037】
＜切断用テーブル２Ａ、２Ｂ＞
２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に固定して設けられている。なお、切断用テーブル２Ａは、切断用テーブル２Ａの下に設けられた回転機構９Ａによってθ方向に回転可能である。また、切断用テーブル２Ｂは、切断用テーブル２Ｂの下に設けられた回転機構９Ｂによってθ方向に回転可能である。
２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に固定して設けられている。なお、切断用テーブル２Ａは、切断用テーブル２Ａの下に設けられた回転機構９Ａによってθ方向に回転可能である。また、切断用テーブル２Ｂは、切断用テーブル２Ｂの下に設けられた回転機構９Ｂによってθ方向に回転可能である。
【0038】
これら２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、水平面上においてＸ方向に沿って設けられている。具体的には、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、それらの上面が同一の水平面上に位置する（Ｚ方向において同じ高さ位置する）ように配置されるとともに（図４参照）、それらの上面の中心（具体的には回転機構９Ａ、９Ｂによる回転中心）がＸ方向に延びる同一直線上に位置するように配置されている（図２及び図３参照）。
【0039】
また、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、封止済基板Ｗを吸着保持するものであり、図１に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂに対応して、吸着保持するための２つの真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂが配置されている。各真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂは、例えば水封式真空ポンプである。
【0040】
ここで、切断用テーブル２Ａ、２ＢがＸＹＺ方向に固定されているため、真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂから切断用テーブル２Ａ、２Ｂに接続される配管（不図示）を短くすることができ、配管の圧力損失を低減して、吸着力の低下を防止することができる。その結果、例えば１ｍｍ角以下の極小パッケージであっても確実に切断用テーブル２Ａ、２Ｂに吸着することができる。また、配管の圧力損失による吸着力の低下を防止できるので、真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂの容量を小さくすることができ、小型化やコストダウンにもつながる。
【0041】
＜第１保持機構３＞
第１保持機構３は、図１に示すように、封止済基板Ｗを基板供給機構１１から切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持するものである。この第１保持機構３は、図５及び図６に示すように、封止済基板Ｗを吸着保持するための複数の吸着部３１１が設けられた吸着ヘッド３１と、当該吸着ヘッド３１の吸着部３１１に接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。そして、吸着ヘッド３１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、封止済基板Ｗを基板供給機構１１から切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送する。
第１保持機構３は、図１に示すように、封止済基板Ｗを基板供給機構１１から切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持するものである。この第１保持機構３は、図５及び図６に示すように、封止済基板Ｗを吸着保持するための複数の吸着部３１１が設けられた吸着ヘッド３１と、当該吸着ヘッド３１の吸着部３１１に接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。そして、吸着ヘッド３１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、封止済基板Ｗを基板供給機構１１から切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送する。
【0042】
基板供給機構１１は、図１に示すように、複数の封止済基板Ｗが外部から収容される基板収容部１１ａと、当該基板収容部１１ａに収容された封止済基板Ｗを第１保持機構３により吸着保持される保持位置ＲＰに移動させる基板供給部１１ｂとを有している。この保持位置ＲＰは、２つの切断用テーブル２Ａ、２ＢとＸ方向において同列となるように設定されている。なお、基板供給機構１１は、第１保持機構３により吸着される封止済基板Ｗを平らにするため、加熱しながら封止済基板Ｗをプレスする加熱部１１ｃを有していても良い。
【0043】
＜切断機構４＞
切断機構４は、図１、図２及び図３に示すように、ブレード４１Ａ、４１Ｂ及び２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂからなる２つの回転工具４０を有するものである。２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂは、それらの回転軸がＹ方向に沿うように設けられており、それらに取り付けられるブレード４１Ａ、４１Ｂが互いに対向するように配置される（図３参照）。スピンドル部４２Ａのブレード４１Ａ及びスピンドル部４２Ｂのブレード４１Ｂは、Ｘ方向とＺ方向とを含む面内において回転することによって各切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する。なお、本実施形態の切断装置１００には、図４に示すように、ブレード４１Ａ、４１Ｂによって発生する摩擦熱を抑えるために切削水（加工液）を噴射する噴射ノズル１２ａを有する液体供給機構１２が設けられている。この噴射ノズル１２ａは、例えば、後述するＺ方向移動部８３に支持されている。
切断機構４は、図１、図２及び図３に示すように、ブレード４１Ａ、４１Ｂ及び２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂからなる２つの回転工具４０を有するものである。２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂは、それらの回転軸がＹ方向に沿うように設けられており、それらに取り付けられるブレード４１Ａ、４１Ｂが互いに対向するように配置される（図３参照）。スピンドル部４２Ａのブレード４１Ａ及びスピンドル部４２Ｂのブレード４１Ｂは、Ｘ方向とＺ方向とを含む面内において回転することによって各切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する。なお、本実施形態の切断装置１００には、図４に示すように、ブレード４１Ａ、４１Ｂによって発生する摩擦熱を抑えるために切削水（加工液）を噴射する噴射ノズル１２ａを有する液体供給機構１２が設けられている。この噴射ノズル１２ａは、例えば、後述するＺ方向移動部８３に支持されている。
【0044】
＜移載テーブル５＞
本実施形態の移載テーブル５は、図１に示すように、後述する検査部１３により検査された複数の製品Ｐが移されるテーブルである。この移載テーブル５は、いわゆるインデックステーブルといわれるものであり、複数の製品Ｐを各種トレイ２１に仕分けする前に、複数の製品Ｐが一時的に載置される。また、移載テーブル５は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される。さらに、移載テーブル５は、Ｙ方向に沿って前後に移動可能であり、仕分け機構２０まで移動することができる。移載テーブル５に載置された複数の製品Ｐは、検査部１３による検査結果（良品、不良品など）に応じて、仕分け機構２０によって各種トレイ２１に仕分けされる。
本実施形態の移載テーブル５は、図１に示すように、後述する検査部１３により検査された複数の製品Ｐが移されるテーブルである。この移載テーブル５は、いわゆるインデックステーブルといわれるものであり、複数の製品Ｐを各種トレイ２１に仕分けする前に、複数の製品Ｐが一時的に載置される。また、移載テーブル５は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される。さらに、移載テーブル５は、Ｙ方向に沿って前後に移動可能であり、仕分け機構２０まで移動することができる。移載テーブル５に載置された複数の製品Ｐは、検査部１３による検査結果（良品、不良品など）に応じて、仕分け機構２０によって各種トレイ２１に仕分けされる。
【0045】
なお、各種トレイ２１は、トランスファ軸７１に沿って移動するトレイ搬送機構２２により所望の位置に搬送され、仕分け機構２０によって仕分けられる製品Ｐが載置される。仕分けされた後に各種トレイ２１は、トレイ搬送機構２２によりトレイ収容部２３に収容される。本実施形態では、トレイ収容部２３に、例えば製品Ｐを収容する前のトレイ２１、良品の製品Ｐを収容したトレイ２１、リワークが必要な不良品の製品Ｐを収容したトレイ２１といった３種類のトレイを収容するように構成されている。
【0046】
＜検査部１３＞
ここで、検査部１３は、図１に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂと移載テーブル５との間に設けられ、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐを検査するものである。本実施形態の検査部１３は、製品Ｐのマーク面を検査する第１検査部１３１と、製品Ｐの実装面を検査する第２検査部１３２とを有している。第１検査部１３１は、マーク面を検査するための光学系を有する撮像カメラであり、第２検査部１３２は、実装面を検査するための光学系を有する撮像カメラである。なお、第１検査部１３１及び第２検査部１３２を共通としても良い。
ここで、検査部１３は、図１に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂと移載テーブル５との間に設けられ、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐを検査するものである。本実施形態の検査部１３は、製品Ｐのマーク面を検査する第１検査部１３１と、製品Ｐの実装面を検査する第２検査部１３２とを有している。第１検査部１３１は、マーク面を検査するための光学系を有する撮像カメラであり、第２検査部１３２は、実装面を検査するための光学系を有する撮像カメラである。なお、第１検査部１３１及び第２検査部１３２を共通としても良い。
【0047】
また、検査部１３により複数の製品Ｐの両面を検査可能にするために、複数の製品Ｐを反転させる反転機構１４が設けられている（図１参照）。この反転機構１４は、複数の製品Ｐを保持する保持テーブル１４１と、当該保持テーブル１４１を表裏逆となるように反転させるモータなどの反転部１４２とを有している。
【0048】
第２保持機構６が切断用テーブル２Ａ、２Ｂから複数の製品Ｐを保持した際には、製品Ｐのマーク面が下側を向いている。この状態で、切断用テーブル２Ａ、２Ｂから反転機構１４に複数の製品Ｐを搬送する途中で、第１検査部１３１により製品Ｐのマーク面が検査される。その後、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐが反転機構１４により反転されて、その後、反転機構１４が移載テーブル５の位置まで移動する。この移動の間に、第２検査部１３２により下側を向いている製品Ｐの実装面が検査される。その後、製品Ｐが移載テーブル５に受け渡される。
【0049】
＜第２保持機構６＞
第２保持機構６は、図１に示すように、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから反転機構１４に搬送するために複数の製品Ｐを保持するものである。この第２保持機構６は、図８に示すように、複数の製品Ｐを吸着保持するための複数の吸着部６１１が設けられた吸着ヘッド６１と、当該吸着ヘッド６１の吸着部６１１に接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。そして、吸着ヘッド６１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから保持テーブル１４１に搬送する。
第２保持機構６は、図１に示すように、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから反転機構１４に搬送するために複数の製品Ｐを保持するものである。この第２保持機構６は、図８に示すように、複数の製品Ｐを吸着保持するための複数の吸着部６１１が設けられた吸着ヘッド６１と、当該吸着ヘッド６１の吸着部６１１に接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。そして、吸着ヘッド６１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから保持テーブル１４１に搬送する。
【0050】
＜搬送用移動機構７＞
搬送用移動機構７は、図１に示すように、第１保持機構３を少なくとも基板供給機構１１と切断用テーブル２Ａ、２Ｂとの間で移動させるとともに、第２保持機構６を少なくとも切断用テーブル２Ａ、２Ｂと保持テーブル１４１との間で移動させるものである。
搬送用移動機構７は、図１に示すように、第１保持機構３を少なくとも基板供給機構１１と切断用テーブル２Ａ、２Ｂとの間で移動させるとともに、第２保持機構６を少なくとも切断用テーブル２Ａ、２Ｂと保持テーブル１４１との間で移動させるものである。
【0051】
そして、搬送用移動機構７は、図１に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び移載テーブル５の配列方向（Ｘ方向）に沿って一直線に延び、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する。
【0052】
このトランスファ軸７１は、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１ｂの上方に移動できるとともに、第２保持機構６が移載テーブル５の上方に移動できる範囲で設けられている（図１参照）。また、このトランスファ軸７１に対して、第１保持機構３、第２保持機構６、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び移載テーブル５は、平面視において同じ側（手前側）に設けられている。その他、検査部１３、反転機構１４、各種トレイ２１、トレイ搬送機構２２、トレイ収容部２３、後述する第１クリーニング機構１８及び第２クリーニング機構１９、回収容器１７２も、トランスファ軸７１に対して同じ側（手前側）に設けられている。
【0053】
さらに搬送用移動機構７は、図５、図６及び図８に示すように、トランスファ軸７１に沿ってＸ方向に第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるメイン移動機構７２と、トランスファ軸７１に対して第１保持機構３及び第２保持機構６をＺ方向に昇降移動させる昇降移動機構７３と、トランスファ軸７１に対して第１保持機構３及び第２保持機構６をＹ方向に水平移動させる水平移動機構７４とを有している。
【0054】
メイン移動機構７２は、図５～図８に示すように、トランスファ軸７１に設けられ、第１保持機構３及び第２保持機構６をガイドする共通のガイドレール７２１と、当該ガイドレール７２１に沿って第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるラックアンドピニオン機構７２２とを有している。
【0055】
ガイドレール７２１は、トランスファ軸７１に沿ってＸ方向に一直線に延びており、トランスファ軸７１と同様に、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１ｂの上方に移動できるとともに、第２保持機構６が移載テーブル５の上方に移動できる範囲で設けられている。このガイドレール７２１には、昇降移動機構７３及び水平移動機構７４を介して第１保持機構３及び第２保持機構６が設けられるスライド部材７２３がスライド可能に設けられている。ここで、ガイドレール７２１は第１保持機構３及び第２保持機構６に共通するが、昇降移動機構７３、水平移動機構７４及びスライド部材７２３は、第１保持機構３及び第２保持機構６のそれぞれに対して個別に設けられている。
【0056】
ラックアンドピニオン機構７２２は、第１保持機構３及び第２保持機構６に共通のカムラック７２２ａと、第１保持機構３及び第２保持機構６それぞれに設けられ、アクチュエータ（不図示）により回転するピニオンギア７２２ｂとを有している。カムラック７２２ａは、共通のトランスファ軸７１に設けられており、複数のカムラック要素を連結することにより、種々の長さに変更することができるものである。また、ピニオンギア７２２ｂは、スライド部材７２３に設けられ、いわゆるローラピニオンと呼ばれるものであり、図７に示すように、モータの回転軸とともに回転する一対のローラ本体７２２ｂ１と、当該一対のローラ本体７２２ｂ１の間において周方向に等間隔に設けられ、ローラ本体７２２ｂ１に対して転動可能に設けられた複数のローラピン７２２ｂ２とを有するものである。本実施形態のラックアンドピニオン機構７２２は、上記のローラピニオンを用いているので、カムラック７２２ａに対して２つ以上のローラピン７２２ｂ２が接触することになり、正逆方向にバックラッシが発生せず、第１保持機構３及び第２保持機構６をＸ方向に移動させる際に位置決め精度が良くなる。
【0057】
昇降移動機構７３は、図５及び図８に示すように、第１保持機構３及び第２保持機構６それぞれに対応して設けられている。第１保持機構３の昇降移動機構７３は、図５及び図６に示すように、トランスファ軸７１（具体的にはメイン移動機構７２）と第１保持機構３との間に介在して設けられており、Ｚ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール７３ａと、当該Ｚ方向ガイドレール７３ａに沿って第１保持機構３を移動させるアクチュエータ部７３ｂとを有している。なお、アクチュエータ部７３ｂは、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。なお、第２保持機構６の昇降移動機構７３の構成は、図８に示すように、第１保持機構３の昇降移動機構７３と同様である。
【0058】
水平移動機構７４は、図５、図６及び図８に示すように、第１保持機構３及び第２保持機構６それぞれに対応して設けられている。第１保持機構３の水平移動機構７４は、図５及び図６に示すように、トランスファ軸７１（具体的には昇降移動機構７３）と第１保持機構３との間に介在して設けられており、Ｙ方向に沿って設けられたＹ方向ガイドレール７４ａと、第１保持機構３に対してＹ方向ガイドレール７４ａの一方側に力を付与する弾性体７４ｂと、第１保持機構３をＹ方向ガイドレール７４ａの他方側に移動させるカム機構７４ｃとを有する。ここで、カム機構７４ｃは、偏心カムを用いたものであり、当該偏心カムをモータ等のアクチュエータで回転させることにより、第１保持機構３のＹ方向への移動量を調整することができる。
【0059】
なお、第２保持機構６の水平移動機構７４の構成は、図８に示すように、第１保持機構３の昇降移動機構７３と同様である。また、第２保持機構６には水平移動機構７４を設けない構成としても良いし、第１保持機構３及び第２保持機構６の両方に水平移動機構７４を設けない構成としても良い。さらに、水平移動機構７４は、昇降移動機構７３と同様に、カム機構７４ｃを用いることなく、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。
【0060】
＜切断用移動機構（加工用移動機構）＞
切断用移動機構８は、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂそれぞれを、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の各方向に直線移動させるものである。
切断用移動機構８は、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂそれぞれを、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の各方向に直線移動させるものである。
【0061】
具体的に切断用移動機構８は、図２～図４に示すように、スピンドル部４２Ａ、４２ＢをＸ方向に直線移動させるＸ方向移動部８１と、スピンドル部４２Ａ、４２ＢをＹ方向に直線移動させるＹ方向移動部８２と、スピンドル部４２Ａ、４２ＢをＺ方向に直線移動させるＺ方向移動部８３とを備えている。
【0062】
Ｘ方向移動部８１は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂで共通のものであり、特に図２及び図３に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂを挟んでＸ方向に沿って設けられた一対のＸ方向ガイドレール８１１と、当該一対のＸ方向ガイドレール８１１に沿って移動するとともに、Ｙ方向移動部８２及びＺ方向移動部８３を介してスピンドル部４２Ａ、４２Ｂを支持する支持体８１２とを有している。一対のＸ方向ガイドレール８１１は、Ｘ方向に沿って設けられた２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂの側方に設けられている。また、支持体８１２は、例えば門型のものであり、Ｙ方向に延びる形状を有している。具体的に支持体８１２は、一対のＸ方向ガイドレール８１１から上方に延びる一対の脚部と、当該一対の脚部に架け渡される梁部（ビーム部）とを有し、当該梁部がＹ方向に延びている。
【0063】
そして、支持体８１２は、例えば、Ｘ方向に延びるボールねじ機構８１３により、一対のＸ方向ガイドレール８１１上をＸ方向に沿って直線的に往復移動する。このボールねじ機構８１３はサーボモータ等の駆動源（不図示）により駆動される。その他、支持体８１２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0064】
Ｙ方向移動部８２は、特に図３に示すように、支持体８１２においてＹ方向に沿って設けられたＹ方向ガイドレール８２１と、当該Ｙ方向ガイドレール８２１に沿って移動するＹ方向スライダ８２２とを有している。Ｙ方向スライダ８２２は、例えばリニアモータ８２３により駆動されるものであり、Ｙ方向ガイドレール８２１上を直線的に往復移動する。本実施形態では、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂに対応して２つのＹ方向スライダ８２２が設けられている。これにより、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂは互いに独立してＹ方向に移動可能とされている。その他、Ｙ方向スライダ８２２は、ボールねじ機構を用いた他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0065】
Ｚ方向移動部８３は、図２～図４に示すように、各Ｙ方向スライダ８２２においてＺ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール８３１と、当該Ｚ方向ガイドレール８３１に沿って移動するとともにスピンドル部４２Ａ、４２Ｂを支持するＺ方向スライダ８３２とを有している。つまり、Ｚ方向移動部８３は、各スピンドル部４２Ａ、４２Ｂに対応して設けられている。Ｚ方向スライダ８３２は、例えば、偏心カム機構（不図示）により駆動されるものであり、Ｚ方向ガイドレール８３１上を直線的に往復移動する。その他、Ｚ方向スライダ８３２は、ボールねじ機構等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0066】
この切断用移動機構８とトランスファ軸７１との位置関係は、図１及び図４に示すように、トランスファ軸７１が、切断用移動機構８の上方において切断用移動機構８を横切るように配置されている。具体的にトランスファ軸７１は、支持体８１２の上方において当該支持体８１２を横切るように配置され、トランスファ軸７１及び支持体８１２は互いに交差する位置関係となる。
【0067】
＜加工屑収容部１７＞
また、本実施形態の切断装置１００は、図１に示すように、封止済基板Ｗの切断により生じた端材などの加工屑Ｓを収容する加工屑収容部１７をさらに備えている。
また、本実施形態の切断装置１００は、図１に示すように、封止済基板Ｗの切断により生じた端材などの加工屑Ｓを収容する加工屑収容部１７をさらに備えている。
【0068】
この加工屑収容部１７は、図２～図４に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの下方に設けられており、平面視において切断用テーブル２Ａ、２Ｂを取り囲む上部開口１７１Ｘを有する案内シュータ１７１と、当該案内シュータ１７１によりガイドされた加工屑Ｓを回収する回収容器１７２とを有している。加工屑収容部１７を切断用テーブル２Ａ、２Ｂの下方に設けることによって、加工屑Ｓの回収率を向上することができる。
【0069】
案内シュータ１７１は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂから飛散又は落下した加工屑Ｓを回収容器１７２に導くものである。本実施形態は、案内シュータ１７１の上部開口１７１Ｘが切断用テーブル２Ａ、２Ｂを取り囲むように構成されているので（図３参照）、加工屑Ｓを取りこぼしにくくなり、加工屑Ｓの回収率を一層向上することができる。また、案内シュータ１７１は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの下に設けられた回転機構９Ａ、９Ｂを取り囲むように設けられており（図４参照）、加工屑Ｓ及び切削水から回転機構９Ａ、９Ｂを保護するように構成されている。
【0070】
本実施形態では、加工屑収容部１７は２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂに共通のものとされているが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂそれぞれに対応して設けられても良い。
【0071】
回収容器１７２は、案内シュータ１７１を自重により通過した加工屑Ｓを回収するものであり、本実施形態では、図４等に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂそれぞれに対応して設けられている。そして、２つの回収容器１７２は、トランスファ軸の手前側に配置されており、それぞれ独立して切断装置１００の手前側から取り外すことができるように構成されている。この構成により、加工屑Ｓの廃棄等のメンテナンス性を向上することができる。なお、回収容器１７２は、封止済基板Ｗのサイズや、加工屑Ｓのサイズ及び量、作業性などを考慮して、全ての切断用テーブルの下全体に１つ設けて良いし、３つ以上に分割して設けても良い。
【0072】
また、加工屑収容部１７は、図４等に示すように、切削水と加工屑とを分離する分離部１７３を有している。この分離部１７３の構成としては、例えば、回収容器１７２の底面に切削水を通過させる多孔板等のフィルタを設けることが考えられる。この分離部１７３により、回収容器１７２に切削水を溜めることなく、加工屑Ｓを回収することができる。
【0073】
＜第１クリーニング機構１８＞
また、本実施形態の切断装置１００は、図１及び図５に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された複数の製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングする第１クリーニング機構１８をさらに備えている。この第１クリーニング機構１８は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された複数の製品Ｐの上面に洗浄液及び／又は圧縮空気を噴射する噴射ノズル１８ａ（図５参照）によって、製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングするものである。
また、本実施形態の切断装置１００は、図１及び図５に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された複数の製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングする第１クリーニング機構１８をさらに備えている。この第１クリーニング機構１８は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された複数の製品Ｐの上面に洗浄液及び／又は圧縮空気を噴射する噴射ノズル１８ａ（図５参照）によって、製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングするものである。
【0074】
この第１クリーニング機構１８は、図５に示すように、第１保持機構３とともにトランスファ軸７１に沿って移動可能に構成されている。ここでは、第１クリーニング機構１８は、トランスファ軸７１に設けられるガイドレール７２１をスライドするスライド部材７２３に設けられている。ここで、第１クリーニング機構１８及びスライド部材７２３の間には、第１クリーニング機構１８をＺ方向に昇降移動するための昇降移動機構１８１が設けられている。この昇降移動機構１８１は、例えばラックアンドピニオン機構を用いたもの、ボールねじ機構を用いたもの、又はエアシリンダを用いたもの等が考えられる。
【0075】
＜第２クリーニング機構１９＞
さらに、本発明の切断装置１００は、図１に示すように、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする第２クリーニング機構１９をさらに備えている。この第２クリーニング機構１９は、切断用テーブル２Ｂと検査部１３との間に設けられており、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐの下面に洗浄液及び／又は圧縮空気を噴射することによって、製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする。つまり、第２保持機構６がトランスファ軸７１に沿って移動される途中において、第２クリーニング機構１９は製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする。
さらに、本発明の切断装置１００は、図１に示すように、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする第２クリーニング機構１９をさらに備えている。この第２クリーニング機構１９は、切断用テーブル２Ｂと検査部１３との間に設けられており、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐの下面に洗浄液及び／又は圧縮空気を噴射することによって、製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする。つまり、第２保持機構６がトランスファ軸７１に沿って移動される途中において、第２クリーニング機構１９は製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする。
【0076】
＜切断装置１００の動作の一例＞
次に、切断装置１００の動作の一例を説明する。図９には、切断装置１０の動作における第１保持機構３の移動経路、及び、第２保持機構６の移動経路を示している。なお、本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、後述する保持用プレートＭ１の交換など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図１参照）により行われる。
次に、切断装置１００の動作の一例を説明する。図９には、切断装置１０の動作における第１保持機構３の移動経路、及び、第２保持機構６の移動経路を示している。なお、本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、後述する保持用プレートＭ１の交換など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図１参照）により行われる。
【0077】
基板供給機構１１の基板供給部１１ｂは、第１保持機構３により保持される保持位置ＲＰに向けて、基板収容部１１ａに収容された封止済基板Ｗを移動させる。
【0078】
次に、搬送用移動機構７は第１保持機構３を保持位置ＲＰに移動させ、第１保持機構３は封止済基板Ｗを吸着保持する。その後、搬送用移動機構７は、封止済基板Ｗを保持した第１保持機構３を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに移動させて、第１保持機構３は吸着保持を解除して、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに載置する。このとき、メイン移動機構７２により封止済基板ＷのＸ方向の位置を調整し、水平移動機構７４により封止済基板ＷのＹ方向の位置を調整する。そして、切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、封止済基板Ｗを吸着保持する。
【0079】
ここで、封止済基板Ｗを保持した第１保持機構３を切断用テーブル２Ｂに移動させる場合には、昇降移動機構７３が第１保持機構３を切断用移動機構８（支持体８１２）に物理的に干渉しない位置まで上昇させる。なお、封止済基板Ｗを保持した第１保持機構３を切断用テーブル２Ｂに移動させる際に、支持体８１２を切断用テーブル２Ｂから移載テーブル５側に退避させる場合には、上記のように第１保持機構３を昇降させる必要はない。
【0080】
この状態で、切断用移動機構８が２つのスピンドル部４２Ａ、４２ＢをＸ方向及びＹ方向に順次移動させるとともに、切断用テーブル２Ａ、２Ｂが回転することによって、封止済基板Ｗを格子状に切断して個片化する。
【0081】
切断後に、搬送用移動機構７は第１クリーニング機構１８を移動させて、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持されている複数の製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングする。このクリーニングの後、搬送用移動機構７は、第１保持機構３及び第１クリーニング機構１８を所定の位置に退避させる。
【0082】
次に、搬送用移動機構７は第２保持機構６を切断後の切断用テーブル２Ａ、２Ｂに移動させ、第２保持機構６は複数の製品Ｐを吸着保持する。その後、搬送用移動機構７は、複数の製品Ｐを保持した第２保持機構６を第２クリーニング機構１９に移動させる。これにより、第２クリーニング機構１９が、第２保持機構６に保持されている複数の製品Ｐの下面側（マーク面）をクリーニングする。
【0083】
クリーニングの後、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐは、検査部１３１で下面側（マーク面）の検査が行われ、その後、反転機構１４に受け渡され、反転機構１４によりマーク面が吸着保持された後、反転される。反転後、反転機構１４が移動し、検査部１３２で製品Ｐの実装面が検査される。このように両面検査がされた後、製品Ｐは反転機構１４から移載テーブル５に受け渡される。移載テーブル５に載置された複数の製品Ｐは、検査部１３による検査結果（良品、不良品など）に応じて、仕分け機構２０によって各種トレイ２１に仕分けされる。
【0084】
＜保持用プレートＭ１の自動交換機能＞
さらに本実施形態の切断装置１００は、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。
さらに本実施形態の切断装置１００は、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。
【0085】
本実施形態では、図１０に示すように、封止済基板Ｗを切断するための切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、製品Ｐを検査するための検査用テーブル（保持テーブル１４１）、製品Ｐが仕分け前に載置される移載テーブル５、及び、製品Ｐを搬送するために保持する搬送用保持機構（第２保持機構６）が、交換可能な保持用プレートＭ１と、保持用プレートＭ１が着脱可能に取り付けられ、保持用プレートＭ１を用いて封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持する保持ベース部Ｍ２とを有している。なお、図１０では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を代表して示しているが、保持テーブル１４１、移載テーブル５及び第２保持機構６も、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有する構成は同じである。
【0086】
具体的に切断装置１００は、図１及び図１１に示すように、保持用プレートＭ１を収容するプレート収容部２４と、保持用プレートＭ１をプレート収容部２４及び保持ベース部Ｍ２の間で搬送するプレート搬送機構２５とを備えている。
【0087】
保持用プレートＭ１は、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを吸着するための図示しない吸着部（吸着孔）が形成されており、保持ベース部Ｍ２に取り付けられることによって、当該保持ベース部Ｍ２に設けられた吸着流路Ｍ２１を介して封止済基板Ｗ又は製品Ｐを吸着する（図１０参照）。また、保持用プレートＭ１は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに用いられるもの、保持テーブル１４１に用いられるもの、移載テーブル５に用いられるもの、及び、第２保持機構６に用いられるもので、形状又は吸着部の構成などが異なっている。なお、保持用プレートＭ１は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに用いられるもの、保持テーブル１４１に用いられるもの、移載テーブル５に用いられるもの、及び、第２保持機構６に用いられるもので、形状又は吸着部の構成などが共通化して同じにしてもよい。さらに、各種保持用プレートＭ１は、封止済基板Ｗ又は製品Ｐごとに形状又は吸着部の構成などが異なり、封止済基板Ｗ又は製品Ｐに合わせて選択される。
【0088】
また、切断装置１００は、図１０に示すように、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を着脱可能に構成するための固定機構２６が設けられている。具体的に固定機構２６は、保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１と、保持ベース部Ｍ２に設けられ、保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に挿入される固定用シリンダ部２６２を有している。
【0089】
固定用シリンダ部２６２は、いわゆるチャックシリンダと呼ばれるものであり、図１２に示すように、固定用挿入孔２６１に挿入されるシリンダ本体２６２ａと、シリンダ本体２６２ａの外側周面から突出した位置及び没入した位置で移動可能に設けられた球状の可動子２６２ｂと、当該可動子２６２ｂをシリンダ本体２６２ａに対して突出した位置となるように力を付与する弾性体２６２ｃとを有し、圧縮空気を供給することによって、可動子２６２ｂが突出した位置（図１２（ａ））と没入した位置（図１２（ｂ））とで切り替えられるように構成されている。
【0090】
さらに、固定用シリンダ部２６２は、ピストン部２６２ｄを有する。このピストン部２６２ｄは、シリンダ本体２６２ａの内部において、可動子２６２ｂ及び弾性体２６２ｃの間に介在され、圧縮空気によりシリンダ本体２６２ａの内部を移動することによって、可動子２６２ｂを突出した位置及び没入した位置の間で切り替える。このピストン部２６２ｄは、圧縮空気の供給が開始されると、弾性体２６２ｃから受ける力に対抗してシリンダ本体２６２ａの内部を移動し、可動子２６２ｂを没入した位置に移動させ（図１２（ｂ））、圧縮空気の供給が停止されると、弾性体２６２ｃから受ける力によってシリンダ本体２６２ａの内部を移動し、可動子２６２ｂを突出した位置に移動させる（図１２（ａ））。
【0091】
また、保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１は、図１２に示すように、固定用シリンダ部２６２が挿入された状態において、可動子２６２ｂが突出した位置となったときに、当該可動子２６２ｂが引っ掛かり、固定用シリンダ部２６２が抜けないようにする凸部２６１ａを有している。この凸部２６１ａは、突出した位置にある可動子２６２ｂが引っ掛かり、没入した位置にある可動子２６２ｂは引っ掛からない。このため、固定用シリンダ部２６２が固定用挿入孔２６１に挿入された状態で、可動子２６２ｂが突出した位置とすることにより、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される（図１２（ａ）参照）。一方、固定用シリンダ部２６２が固定用挿入孔２６１に挿入された状態で、可動子２６２ｂが没入した位置とすることにより、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の固定が解除される（図１２（ｂ）参照）。
【0092】
プレート収容部２４は、交換前後（使用前後）の保持用プレートＭ１を収容するものであり、図１１に示すように、各保持用プレートＭ１が載置されるスライド棚部２４１を有している。本実施形態では、上側複数段のスライド棚部２４１を交換前の新しい保持用プレートＭ１を収容するものとし、下側複数段のスライド棚部２４１を交換後の古い保持用プレートＭ１を収容するものとしている。このプレート収容部２４は、例えばプレート搬送機構２５により対象となるスライド棚部２４１が前方にスライドされることにより、当該スライド棚部２４１に使用後の古い保持用プレートＭ１が載置される、又は、使用前の新しい保持用プレートＭ１が取り出される。なお、スライド棚部２４１の前辺部には引っ掛け部２４１ａが設けられており、当該引っ掛け部２４１ａを用いて引き出される。
【0093】
プレート搬送機構２５は、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するものである。また、プレート搬送機構２５は、保持用プレートＭ１を上昇させて搬送することができる。より具体的には、プレート搬送機構２５は、保持用プレートＭ１を上方から保持して上昇させた上昇位置にて、保持用プレートＭ１を水平方向に搬送することができる。ここで、「上昇位置」とは、交換する対象の保持ベース部Ｍ２に取り付けられた保持用プレートＭ１の位置又は搬送中に取り得る最も低い保持用プレートＭ１の位置より、保持用プレートＭ１を上昇させた高さの位置を意味する。
【0094】
具体的にプレート搬送機構２５は、図１に示すように、プレート収容部２４と仮置き部２７との間で保持用プレートＭ１を搬送する第１搬送機構２５ａと、仮置き部２７と保持ベース部Ｍ２との間で保持用プレートＭ１を搬送する第２搬送機構２５ｂとを有している。本実施形態の仮置き部２７は、反転機構１４の保持テーブル１４１である。なお、移載テーブル５を仮置き部２７としても良いし、保持テーブル１４１及び移載テーブル５とは別に仮置き部２７を設けても良い。
【0095】
第１搬送機構２５ａは、トレイ搬送機構２２を用いて構成されており、加工後の加工対象物Ｗ（製品Ｐ）が仕分けされるトレイ２１を搬送することができる。第２搬送機構２５ｂは、第２保持機構６及び搬送用移動機構７（加工対象物搬送機構）を用いて構成されており、加工対象物Ｗを搬送することができる。つまり、プレート搬送機構２５（第１搬送機構２５ａ及び第２搬送機構２５ｂ）は、上述した共通のトランスファ軸７１によってＸ方向に移動する構成とされている。また、プレート搬送機構２５は、トランスファ軸７１に対して、平面視において同じ側（手前側）に設けられていることになる。
【0096】
ここで第１搬送機構２５ａとなるトレイ搬送機構２２では、図１１に示すように、トレイ２１を保持するためのトレイ保持機構２２１に、トレイ２１を保持するための例えば保持爪などのトレイ用保持部２２１ａの他に、保持用プレートＭ１を保持するための例えば保持爪などのプレート用保持部２２１ｂを有している。ここでは、互いに対向する一対の対向辺にトレイ用保持部２２１ａが設けられており、それとは異なる一対の対向辺にプレート用保持部２２１ｂが設けられている。なお、プレート用保持部２２１ｂは、上述したキャッチシリンダを用いた構成としても良い。トレイ搬送機構２２は、プレート用保持部２２１ｂを昇降可能に構成され、保持用プレートＭ１を保持したプレート用保持部２２１ｂを上昇させて上昇位置とした状態で、保持用プレートＭ１を搬送することができる。
【0097】
その他、トレイ搬送機構２２は、第１保持機構３及び第２保持機構６の搬送用移動機構７と同様の構成である。つまり、トレイ搬送機構２２は、図１１に示すように、トランスファ軸７１に沿ってＸ方向にトレイ保持機構を移動させる上述したメイン移動機構７２と、トランスファ軸７１に対してトレイ保持機構２２１をＺ方向に昇降移動させる昇降移動機構７５と、トランスファ軸７１に対してトレイ保持機構２２１をＹ方向に水平移動させる水平移動機構７６とを有している。なお、昇降移動機構７５及び水平移動機構７６は、例えばラックアンドピニオン機構を用いたもの、ボールねじ機構を用いたもの、リニアモータを用いたもの又はエアシリンダを用いたもの等の直動機構により往復移動するように構成されている。
【0098】
また、第２搬送機構２５ｂとなる第２保持機構６は、図１３に示すように、保持用プレートＭ１に形成された搬送用保持孔２８１（図１０参照）に挿入される搬送用シリンダ部２８２を有している。本実施形態では、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２の固定用シリンダ部２６２を用いて搬送用シリンダ部２８２を構成している。搬送用保持孔２８１は、上述した固定機構２６の固定用挿入孔２６１と同様の構成である。なお、搬送用保持孔２８１と固定用挿入孔２６１とは、上下逆の構成である。なお、第２保持機構６は、搬送用シリンダ部２８２の代わりに、保持用プレートＭ１の縁部に引っ掛けて保持する保持爪を用いても良い。第２保持機構６は、保持用プレートＭ１を保持する部分を昇降可能に構成され、保持用プレートＭ１を保持した部分を上昇させて上昇位置とした状態で、保持用プレートＭ１を搬送することができる。
【0099】
【0100】
この検査機構２９は、保持用プレートＭ１が搭載される搭載面Ｍ２２に開口する検査用流路２９ａと、検査用流路２９ａに設けられ、開口からの流体の漏れを検知する検知センサ（不図示）とを有している。検査用流路２９ａは、保持ベース部Ｍ２の搭載面Ｍ２２に形成された開口を有しており、圧縮空気が供給されるものである。また、検知センサは、検査用流路２９ａを流れる圧縮空気の圧力又は流量を検出することによって、開口からの圧縮空気の漏れを検知するものである。この検査機構２９により、保持ベース部Ｍ２の搭載面Ｍ２２に保持用プレートＭ１が密着して固定されているか否かがわかる。検査機構２９により保持ベース部Ｍ２の搭載面Ｍ２２に保持用プレートＭ１が密着していない場合には、固定機構２６により固定を解除して、再度保持用プレートＭ１を取り付け直すことができる。
【0101】
【0102】
なお、以下の交換動作において、プレート収容部２４から保持用プレートＭ１を取り出す際の保持用プレートＭ１の判別は、保持用プレートＭ１に設けられたＲＦＩＤなどの識別子を、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）に設けられた識別子リーダ（不図示）により読み取ることにより行う。
【0103】
（１）移載テーブル５及び保持テーブル１４１の保持用プレートの交換動作（図１４参照）
【0104】
保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外し、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送する。なお、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0105】
次に、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）が、プレート収容部２４から保持テーブル１４１の新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で保持テーブル１４１の保持ベース部Ｍ２に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、保持用プレートＭ１が下降して固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、保持テーブル１４１の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0106】
また、移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外し、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送する。なお、移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0107】
次に、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）が、プレート収容部２４から移載テーブル５の新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、保持用プレートＭ１が下降して固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0108】
なお、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１の交換と移載テーブル５の保持用プレートＭ１の交換の順番は上記に限られず、逆であっても良いし、保持テーブル１４１及び移載テーブル５それぞれの保持用プレートＭ１を取り外した後に、保持テーブル１４１及び移載テーブル５それぞれに新しい保持用プレートＭ１を取り付けるようにしても良い。
【0109】
（２）切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び第２保持機構６の保持用プレートの交換動作（図１５参照）
【0110】
切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外し、第２搬送機構２５ｂ（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態で仮置き部２７である保持テーブル１４１に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。ここで、保持テーブル１４１を仮置き部２７とする場合には、保持テーブル１４１を予め取り外しておくことが望ましい。
【0111】
また、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）が、保持テーブル１４１に載置された切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて収容する。
【0112】
次に、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）が、プレート収容部２４から切断用テーブル２Ａ、２Ｂの新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で、仮置き部２７である保持テーブル１４１に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。
【0113】
そして、第２搬送機構２５ｂ（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、保持テーブル１４１に載置された新しい保持用プレートＭ１を切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0114】
第２保持機構６の保持用プレートＭ１を交換する場合には、搬送用移動機構７により第２保持機構６を仮置き部２７である保持テーブル１４１に移動させるとともに、保持用プレートＭ１を下降させて取り外し、仮置き部２７である保持テーブル１４１に保持用プレートＭ１を載置する。なお、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0115】
そして、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）が、保持テーブル１４１に載置された第２保持機構６の保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて収容する。ここで、保持テーブル１４１を仮置き部２７とする場合には、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を予め取り外しておくことが望ましい
【0116】
次に、第１搬送機構２５ａ（トレイ搬送機構２２）が、プレート収容部２４から第２保持機構６の新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で仮置き部２７である保持テーブル１４１に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。
【0117】
そして、搬送用移動機構７により第２保持機構６を保持テーブル１４１に移動させ、保持ベース部Ｍ２を下降させて、保持テーブル１４１に載置された新しい保持用プレートＭ１が取り付けられる。ここでは、搬送用移動機構７により第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に設けられた固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に差し込まれる。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0118】
なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を交換する際に、第２搬送機構２５ｂとなる第２保持機構６の保持用プレートＭ１を予め取り外しておくことが望ましい。
【0119】
また、移載テーブル５、保持テーブル１４１、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び第２保持機構６の保持用プレートＭ１の交換を一連の動作としても行ってもよい。例えば、移載テーブル５、保持テーブル１４１、第２保持機構６及び切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１をこの順に取り外し、その後、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、第２保持機構６、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持用プレートＭ１をこの順で取り付けることが考えられる。
【0120】
＜本実施形態の効果＞
本実施形態の切断装置１００によれば、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。
本実施形態の切断装置１００によれば、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。
【0121】
また、プレート搬送機構２５が、プレート収容部２４と仮置き部２７との間で保持用プレートＭ１を搬送する第１搬送機構２５ａと、仮置き部２７と保持ベース部Ｍ２との間で保持用プレートＭ１を搬送する第２搬送機構２５ｂとを有するので、プレート搬送機構２５を１つの搬送機構で構成する場合に比べて、保持用プレートＭ１の搬送先の自由度を増すことができる。ここで、第１搬送機構２５ａをトレイ搬送機構２２を用いて構成しているので、装置構成を簡素化するとともに装置コストを削減することができる。また、第２搬送機構２５ｂを第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成しているので、装置構成を簡素化するとともに装置コストを削減することができる。
【0122】
その他、本実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び移載テーブル５の配列方向に沿って延びる共通のトランスファ軸７１により第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させる構成とし、切断用移動機構８により切断機構４を水平面においてトランスファ軸７１に沿ったＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向それぞれに移動させるので、切断用テーブル２Ａ、２ＢをＸ方向及びＹ方向に移動させることなく、封止済基板Ｗを加工することができる。このため、切断用テーブル２Ａ、２Ｂをボールねじ機構により移動させることなく、ボールねじ機構を保護するための蛇腹部材及び当該蛇腹部材を保護するためのカバー部材を不要にすることができる。その結果、切断装置１００の装置構成を簡素化することができる。また、切断用テーブル２Ａ、２ＢをＸ方向及びＹ方向に移動しない構成にすることができ、切断装置１００のフットプリントを低減することができる。
【0123】
＜第１実施形態の変形例＞
例えば、前記第１実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を自動的に交換する構成であったが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）の少なくとも１つを自動的に交換する構成としても良い。
例えば、前記第１実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を自動的に交換する構成であったが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）の少なくとも１つを自動的に交換する構成としても良い。
【0124】
前記第１実施形態のプレート搬送機構２５は、第１搬送機構２５ａ及び第２搬送機構２５ｂを有する構成であったが、単一の搬送機構を有する構成としても良い。また、プレート搬送機構２５は、トレイ搬送機構２２を用いない構成としても良いし、第２保持機構６及び搬送用移動機構７（加工対象物搬送機構）を用いない構成としても良い。
【0125】
プレート搬送機構２５にトレイ搬送機構を用いない構成の一例として、例えば図１６に示すものが考えられる。この切断装置１００は、トレイ搬送機構２２を有さないものであり、各種トレイ２１がトレイ移動機構ＴＭによってプレート収容部２４の下方を移動することにより、仕分け機構２０により製品Ｐが仕分けられる仕分け位置に移動するように構成されている。なお、トレイ移動機構ＴＭは、Ｙ方向に沿って延びる搬送レールＴＭ１と、当該搬送レールＴＭ１上でトレイ２１を移動させる移動機構（不図示）と、各種トレイ２１をＸ方向に移動する移動機構ＴＭ２と、各種トレイ２１毎に設けられ、各種トレイ２１をＺ方向に移動する移動機構ＴＭ３とを有している。この切断装置１００において、プレート搬送機構２５は、第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成することができる。
【0126】
また、前記第１実施形態のプレート収容部２４は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を収容するものであったが、保持用プレートＭ１の種類に応じて専用のプレート収容部２４を複数設ける構成としても良い。
【0127】
また、前記第１実施形態の移載テーブル５は、各種トレイ２１に仕分ける前に一時的に載置されるインデックステーブルであったが、移載テーブル５を反転機構１４の保持テーブル１４１としても良い。
【0128】
その上、前記第１実施形態の構成において、切断用テーブル２Ａ、２Ｂにおいて封止済基板を切断することなく、溝を形成する構成としても良い。この場合、例えば、切断用テーブル２Ａ、２Ｂで溝加工が施された封止済基板Ｗは、第１保持機構３及び搬送用移動機構７によって、基板供給部１１ｂに戻す構成としても良い。また、この基板供給部１１ｂに戻された封止済基板Ｗを基板収容部１１ａに収容する構成としても良い。
【0129】
＜本発明の第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態のトレイ収容とは異なり、複数の製品Ｐを粘着面１０１ｘを有する貼付部材１０１に貼り付けて収容（「リング収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態のトレイ収容とは異なり、複数の製品Ｐを粘着面１０１ｘを有する貼付部材１０１に貼り付けて収容（「リング収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。
【0130】
具体的に切断装置１００は、図１７に示すように、封止済基板Ｗを保持する２つの切断用テーブル（加工用テーブル）２Ａ、２Ｂと、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持する第１保持機構３と、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する切断機構（加工機構）４と、複数の製品Ｐが移される移載テーブル５と、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから移載テーブル５に搬送するために複数の製品Ｐを保持する第２保持機構６と、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する搬送用移動機構７と、切断機構４を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗに対して移動させる切断用移動機構（加工用移動機構）８とを備えている。
【0131】
以下、第１実施形態とは異なる構成について主に説明する。
【0132】
第２実施形態の移載テーブル５は、複数の製品Ｐを後述する貼付部材１０１に貼り付ける前に、複数の製品Ｐが一時的に載置されるものである。また、移載テーブル５は、図１７及び図１８に示すように、Ｙ方向に沿って移動可能に設けられており、第２保持機構６により複数の製品Ｐが載置される移載位置Ｘ１と、貼付用搬送機構１０３により複数の製品Ｐが搬送される取り出し位置Ｘ２との間で移動する。なお、移載位置Ｘ１は、トランスファ軸７１よりも手前側に設定されており、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される位置であり、取り出し位置Ｘ２は、トランスファ軸７１よりも奥側に設定されている。
【0133】
また、搬送用移動機構７のトランスファ軸７１は、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１ｂの上方に移動できるとともに、第２保持機構６が移載テーブル５の上方に移動できる範囲に加えて、後述する貼付部材搬送機構１０７が貼付部材搬送位置Ｘ３とガイドレール１０８の間を移動できる範囲に延びている。また、このトランスファ軸７１に対して、後述する載置テーブル１０２、貼付部材収容部１０６及び貼付部材搬送機構１０７も、トランスファ軸７１に対して同じ側（手前側）に設けられている。
【0134】
＜リング収容の具体的な構成＞
そして、第２実施形態の切断装置１００は、図１７～図１９に示すように、複数の製品Ｐが貼り付けられる粘着面１０１ｘを有する貼付部材１０１が載置される載置テーブル１０２と、複数の製品Ｐを移載テーブル５から載置テーブル１０２に載置された貼付部材１０１に搬送する貼付用搬送機構１０３とを備えている。
そして、第２実施形態の切断装置１００は、図１７～図１９に示すように、複数の製品Ｐが貼り付けられる粘着面１０１ｘを有する貼付部材１０１が載置される載置テーブル１０２と、複数の製品Ｐを移載テーブル５から載置テーブル１０２に載置された貼付部材１０１に搬送する貼付用搬送機構１０３とを備えている。
【0135】
載置テーブル１０２は、本実施形態ではＸ方向に沿って２つ設けられており（図１７参照）、各載置テーブル１０２には、貼付部材１０１が載置される。具体的には、２つの載置テーブル１０２は、それらの上面が同一の水平面上に位置する（Ｚ方向において同じ高さ位置する）ように配置されている。
【0136】
また、２つの載置テーブル１０２は、図１７及び図１８に示すように、Ｙ方向に沿って移動可能に設けられており、貼付部材搬送機構１０７により貼付部材１０１が搬送される貼付部材搬送位置Ｘ３と、貼付用搬送機構１０３により複数の製品Ｐが搬送される貼り付け位置Ｘ４との間で移動する。２つの載置テーブル１０２は、互いに独立して貼付部材搬送位置Ｘ３と貼り付け位置Ｘ４との間で移動する。なお、貼付部材搬送位置Ｘ３は、トランスファ軸７１よりも手前側に設定されており、貼り付け位置Ｘ４は、トランスファ軸７１よりも奥側に設定されている。また、貼り付け位置Ｘ４にある載置テーブル１０２と、取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５とは、Ｘ方向に沿って配置される（図１７参照）。
【0137】
ここで、貼付部材１０１は、図２０に示すように、例えば円環状又は矩形状をなす枠状部材１０１ａと、当該枠状部材１０１ａの内側に配置された粘着面１０１ｘを有する樹脂シート１０１ｂとを備えている。枠状部材１０１ａは、例えばステンレス等の金属製のものである。また、樹脂シート１０１ｂは、例えば、樹脂製のシート状基材１０１ｂ１と、当該シート状基材１０１ｂ１の上面に塗布された接着剤からなる接着層（粘着層）１０１ｂ２とを備えている。なお、接着層（粘着層）１０１ｂ２の上面が粘着面１０１ｘとなる。
【0138】
貼付用搬送機構１０３は、取り出し位置Ｘ２に移動した移載テーブル５から、貼り付け位置Ｘ４に移動した載置テーブル１０２に載置された貼付部材１０１に複数の製品Ｐを搬送するものである。
【0139】
具体的に貼付用搬送機構１０３は、図１７及び図１８に示すように、移載テーブル５に保持された複数の製品Ｐを例えば１列毎に吸着する製品吸着機構１０３１と、当該製品吸着機構１０３１をＸ方向に沿って移動させる吸着用移動機構１０３２とを備えている。本実施形態では、貼付用搬送機構１０３が２つ設けられており、それぞれの貼付用搬送機構１０３が互いに独立して駆動するように構成されている。
【0140】
製品吸着機構１０３１は、図１９に示すように、複数の製品Ｐを個別に吸着保持するための複数の吸着部１０３１ａが設けられた吸着ヘッド１０３１Ａと、当該吸着ヘッド１０３１Ａの吸着部１０３１ａに接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。この製品吸着機構１０３１は、それぞれの吸着部１０３１ａが１つの製品Ｐを吸着する構成としてある。また、複数の吸着部１０３１ａは、互いに独立して昇降移動可能に構成されており、各吸着部１０３１ａが下降することにより、個別に製品Ｐを吸着することができる。
【0141】
吸着用移動機構１０３２は、図１９に示すように、製品吸着機構１０３１をＸ方向に移動させるＸ方向移動部１０３２ａと、製品吸着機構１０３１をＺ方向に移動させるＺ方向移動部１０３２ｂとを備えている。なお、吸着用移動機構１０３２は、製品吸着機構１０３１をＹ方向に移動させるＹ方向移動部を有していても良い。
【0142】
Ｘ方向移動部１０３２ａは、トランスファ軸７１の奥側においてＸ方向に沿って設けられたＸ方向ガイドレール１０３２ａ１と、当該Ｘ方向ガイドレール１０３２ａ１に沿って移動するとともに、Ｚ方向移動部１０３２ｂを介して製品吸着機構１０３１を支持する支持体１０３２ａ２とを有している。そして、支持体１０３２ａ２は、例えば、Ｘ方向に延びるボールねじ機構（不図示）により、Ｘ方向ガイドレール１０３２ａ１上をＸ方向に沿って直線的に往復移動する。このボールねじ機構はサーボモータ等の駆動源（不図示）により駆動される。その他、支持体１０３２ａ２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0143】
Ｚ方向移動部１０３２ｂは、図１９に示すように、支持体１０３２ａ２においてＺ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール１０３２ｂ１と、当該Ｚ方向ガイドレール１０３２ｂ１に沿って移動するとともに製品吸着機構１０３１を支持するＺ方向スライダ１０３２ｂ２とを有している。そして、Ｚ方向スライダ１０３２ｂ２は、例えば、Ｚ方向に延びるボールねじ機構（不図示）により、Ｚ方向ガイドレール１０３２ｂ１上をＺ方向に沿って直線的に往復移動する。その他、Ｚ方向スライダ１０３２ｂ２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0144】
また、貼付用搬送機構１０３に吸着保持された製品Ｐは、第１撮像部２０１（図１７参照）により貼付用搬送機構１０３における製品Ｐの位置が確認される。この第１撮像部２０１は、貼付用搬送機構１０３の製品吸着機構１０３１に吸着保持された製品Ｐを下方から撮像する撮像カメラであり、製品Ｐの下面（マーク面）を撮像する。また、第１撮像部２０１は、前後方向（Ｙ方向）に移動可能に設けられている。これにより、２つの貼付用搬送機構１０３それぞれに吸着保持された製品Ｐの位置を確認できるように構成している。
【0145】
さらに、各貼付用搬送機構１０３には、図１７に示すように、貼付部材１０１において製品Ｐが貼付される位置を確認する第２撮像部２０２が設けられている。この第２撮像部２０２は、貼り付け位置Ｘ４にある載置テーブル１０２上の貼付部材１０１を上方から撮像する撮像カメラであり、貼付部材１０１の上面（粘着面１０１ｘ）を撮像する。そして、第１撮像部２０１により得られた撮像データと、第２撮像部２０２により得られた撮像データとに基づいて、貼付部材１０１に対して製品Ｐの位置合わせが行われて、貼付用搬送機構１０３が製品Ｐを貼付部材１０１の粘着面１０１ｘに貼り付ける。なお、製品Ｐの位置合わせは、貼付用搬送機構１０３の吸着用移動機構１０３２や貼付用搬送機構１０３に設けられた回転機構（不図示）、又は、載置テーブル１０２の移動機構（不図示）又は載置テーブル１０２に設けられた回転機構（不図示）により行うことができる。
【0146】
また、本実施形態の切断装置１００は、図２１に示すように、貼付部材１０１を収容する貼付部材収容部１０６と、貼付部材１０１を載置テーブル１０２と貼付部材収容部１０６との間で搬送する貼付部材搬送機構１０７とを備えている。
【0147】
貼付部材収容部１０６は、製品Ｐが貼り付けられていない空の貼付部材１０１を収容するとともに、製品Ｐが貼り付けられた貼付済の貼付部材１０１を収容するものである。この貼付部材収容部１０６は、貼付部材搬送位置Ｘ３にある載置テーブル１０２とＸ方向に沿って一列に配置されている（図１７参照）。
【0148】
また、貼付部材収容部１０６の開口部には、図１７及び図２１に示すように、貼付部材１０１を貼付部材収容部１０６に出し入れするための一対のガイドレール１０８が設けられている。この一対のガイドレール１０８は、貼付部材１０１が載置されるものであり、貼付部材収容部１０６の開口部の前方においてＸ方向に沿って設けられている。
【0149】
貼付部材搬送機構１０７は、貼付部材搬送位置Ｘ３にある載置テーブル１０２と貼付部材収容部１０６との間で貼付部材１０１を搬送するものである。具体的に貼付部材搬送機構１０７は、図２１に示すように、貼付部材１０１の枠状部材１０１ａを吸着して保持する第３保持機構１０７１と、当該第３保持機構１０７１を少なくともＸ方向及びＺ方向に移動させる移動機構１０７２とを備えている。
【0150】
第３保持機構１０７１は、貼付部材１０１を吸着保持するための複数の吸着部１０７１ａが設けられた吸着ヘッド１０７１Ａと、当該吸着ヘッド１０７１Ａの吸着部１０７１ａに接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。また、移動機構１０７２は、上記の搬送用移動機構７のメイン移動機構７２を用いて構成されており、第３保持機構１０７１は、共通のトランスファ軸７１に沿って移動する。さらに、移動機構１０７２は、搬送用移動機構７の昇降移動機構７３と同様の昇降移動機構１０７２ａを有している。なお、移動機構１０７２は、第３保持機構１０７１をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構を有していても良い。
【0151】
＜切断装置１００の動作の一例＞
次に、第２実施形態の切断装置１００の動作の一例を、図９、図１７～図１９及び図２１を参照して説明する。本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐのクリーニング、及び、製品Ｐのリング収容など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図１７参照）により行われる。
次に、第２実施形態の切断装置１００の動作の一例を、図９、図１７～図１９及び図２１を参照して説明する。本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐのクリーニング、及び、製品Ｐのリング収容など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図１７参照）により行われる。
【0152】
本実施形態の切断装置１００の動作において、封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐのクリーニング、及び、製品Ｐの検査までの動作は、前記第１実施形態と同様である（図９参照）。
【0153】
【0154】
一方で、貼付部材搬送位置Ｘ３にある載置テーブル１０２には、貼付部材搬送機構１０７によって貼付部材収容部１０６から空の貼付部材１０１が搬送される。そして、空の貼付部材１０１が搬送された載置テーブル１０２は、貼り付け位置Ｘ４に移動する（図１８及び図１９参照）。
【0155】
この状態で、図１９に示すように、貼付用搬送機構１０３は、取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５から製品Ｐを吸着保持する。そして、第１撮像部２０１の上方に移動する。これにより、第１撮像部２０１により貼付用搬送機構１０３における製品Ｐの位置が確認される。また、貼付用搬送機構１０３を移動させて第２撮像部２０２により、貼り付け位置Ｘ４にある載置テーブル１０２上の貼付部材１０１における製品Ｐが貼り付けられる位置を確認する。そして、貼付用搬送機構１０３は、保持している製品Ｐを貼付部材１０１に貼り付ける。この動作は、貼付部材１０１に貼り付けることができる許容数の製品Ｐが貼り付けられるまで、或いは、移載テーブル５にある複数の製品Ｐの全部が貼り付けられるまで、複数回繰り返される。
【0156】
その後、載置テーブル１０２は、図１８及び図２１に示すように、貼付部材搬送位置Ｘ３に移動する。そして、貼付部材搬送機構１０７が、載置テーブル１０２に載置された貼付済の貼付部材１０１を貼付部材収容部１０６に搬送する。具体的には、貼付部材搬送機構１０７が、貼付部材収容部１０６に設けられた一対のガイドレール１０８に貼付済の貼付部材１０１を載置し、一対のガイドレール１０８に載置された貼付済の貼付部材１０１を押すことにより、貼付済の貼付部材１０１を貼付部材収容部１０６に収容する。
【0157】
次に、空の貼付部材１０１を貼付部材収容部１０６から取り出す場合には、貼付部材搬送機構１０７は、貼付部材収容部１０６内の貼付部材１０１を引き出して、一対のガイドレール１０８に載置し、一対のガイドレール１０８に載置された空の貼付部材１０１を吸着保持して貼付部材搬送位置Ｘ３にある載置テーブル１０２に搬送する。
【0158】
＜保持用プレートＭ１の自動交換機能＞
さらに第２実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態と同様に、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１、移載テーブル５及び第２保持機構６が、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有している。なお、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２の具体的構成は、第１実施形態と同様である。
さらに第２実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態と同様に、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１、移載テーブル５及び第２保持機構６が、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有している。なお、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２の具体的構成は、第１実施形態と同様である。
【0159】
具体的に切断装置１００は、図１７及び図２２に示すように、保持用プレートＭ１を収容するプレート収容部２４と、保持用プレートＭ１をプレート収容部２４及び保持ベース部Ｍ２の間で搬送するプレート搬送機構２５とを備えている。なお、第２実施形態の切断装置１００には、前記第１実施形態と同様に、固定機構２６及び検査機構２９が設けられている。
【0160】
本実施形態のプレート収容部２４は、第１実施形態と同様の構成であるが、図２３に示すように、プレート収容部２４及び貼付部材収容部１０６は互いに上下に配置されている。本実施形態のプレート収容部２４は、貼付部材収容部１０６の上方に設けられている。そして、プレート収容部２４及び貼付部材収容部１０６は上下方向（Ｚ方向）に昇降移動可能に構成されている。ここでは、プレート収容部２４を昇降移動させる昇降移動部１０９と、貼付部材収容部１０６を昇降移動させる昇降移動部１１０とが設けられており、プレート収容部２４及び貼付部材収容部１０６は互いに独立して昇降移動可能に構成されている。なお、昇降移動部１０９、１１０は、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。また、プレート収容部２４と貼付部材収容部１０６とは共通の昇降移動機構によって一体的に昇降移動可能に構成してもよい。
【0161】
貼付部材収容部１０６に対して貼付部材１０１を出し入れする場合には、図２３（ａ）に示すように、プレート収容部２４が昇降移動部１０９により上方に退避し、貼付部材収容部１０６が昇降移動部１１０により所望の高さ位置Ｈ１に配置され、貼付部材搬送機構１０７により貼付部材収容部１０６に対して貼付部材１０１が出し入れされる。
【0162】
一方、プレート収容部２４に対して保持用プレートＭ１を出し入れする場合には、図２３（ｂ）に示すように、貼付部材収容部１０６が昇降移動部１１０により下方に退避し、プレート収容部２４が昇降移動部１０９により所望の高さ位置Ｈ２に配置され、プレート搬送機構２５によりプレート収容部２４に対して保持用プレートＭ１が出し入れされる。ここで、貼付部材搬送機構１０７がガイドレール１０８に干渉しないように、貼付部材収容部１０６の高さ位置Ｈ１よりもプレート収容部２４の高さ位置Ｈ２が高い位置としてある。
【0163】
本実施形態のプレート搬送機構２５は、図１７に示すように、プレート収容部２４と仮置き部２７との間で保持用プレートＭ１を搬送する第１搬送機構２５ａと、仮置き部２７と保持ベース部Ｍ２との間で保持用プレートＭ１を搬送する第２搬送機構２５ｂとを有している。本実施形態の仮置き部２７は、反転機構１４の保持テーブル１４１である。なお、移載テーブル５を仮置き部２７としても良いし、保持テーブル１４１及び移載テーブル５とは別に仮置き部２７を設けても良い。
【0164】
第２実施形態の第１搬送機構２５ａは、前記第１実施形態とは異なり、貼付部材搬送機構１０７（第３保持機構１０７１及び移動機構１０７２）を用いて構成されている。つまり、第２実施形態の第１搬送機構２５ａは、加工後の加工対象物Ｗ（製品Ｐ）が貼り付けられる貼付部材１０１を搬送することができる。第２搬送機構２５ｂは、第１実施形態と同様に、第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成されており、加工対象物Ｗを搬送することができる。つまり、プレート搬送機構２５（第１搬送機構２５ａ及び第２搬送機構２５ｂ）は、上述した共通のトランスファ軸７１によってＸ方向に移動する構成とされている。また、プレート搬送機構２５は、トランスファ軸７１に対して、平面視において同じ側（手前側）に設けられていることになる。
【0165】
ここで第１搬送機構２５ａとなる貼付部材搬送機構１０７では、図２１に示すように、貼付部材１０１を吸着保持するための複数の吸着部１０７１ａの他に、上述したキャッチシリンダを用いた搬送用シリンダ部１０７１ｂを有している。貼付部材搬送機構１０７は、保持用プレートＭ１を保持する部分を昇降可能に構成され、保持用プレートＭ１を保持した部分を上昇させて上昇位置とした状態で、保持用プレートＭ１を搬送することができる。
【0166】
【0167】
なお、以下の交換動作において、プレート収容部２４から保持用プレートＭ１を取り出す際の保持用プレートＭ１の判別は、保持用プレートＭ１に設けられたＲＦＩＤなどの識別子を、第１搬送機構２５ａ（プレート搬送機構２５）に設けられた識別子リーダ（不図示）により読み取ることにより行う。また、この交換動作では、図２３（ｂ）に示すように、貼付部材収容部１０６が昇降移動部１１０により下方に退避し、プレート収容部２４が昇降移動部１０９により所望の高さ位置Ｈ２に配置され、プレート搬送機構２５によりプレート収容部２４に対して保持用プレートＭ１が出し入れされる。
【0168】
（１）移載テーブル５及び保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１の交換動作（図２４参照）
【0169】
保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外し、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送する。なお、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0170】
次に、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）が、プレート収容部２４から保持テーブル１４１の新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で保持テーブル１４１の保持ベース部Ｍ２に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、保持用プレートＭ１が下降して固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、保持テーブル１４１の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0171】
また、移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外し、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送する。なお、移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0172】
次に、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）が、プレート収容部２４から移載テーブル５の新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、保持用プレートＭ１が下降して固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0173】
なお、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１の交換と移載テーブル５の保持用プレートＭ１の交換の順番は上記に限られず、逆であっても良いし、保持テーブル１４１及び移載テーブル５それぞれの保持用プレートＭ１を取り外した後に、保持テーブル１４１及び移載テーブル５それぞれに新しい保持用プレートＭ１を取り付けるようにしても良い。
【0174】
（２）切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び第２保持機構６の保持用プレートＭ１の交換動作（図２５参照）
【0175】
切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外し、第２搬送機構２５ｂ（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態で仮置き部２７である保持テーブル１４１に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。ここで、保持テーブル１４１を仮置き部２７とする場合には、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を予め取り外しておくことが望ましい。
【0176】
また、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）が、保持テーブル１４１に載置された切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて収容する。
【0177】
次に、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）が、プレート収容部２４から切断用テーブル２Ａ、２Ｂの新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で、仮置き部２７である保持テーブル１４１に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。
【0178】
そして、第２搬送機構２５ｂ（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、保持テーブル１４１に載置された新しい保持用プレートＭ１を切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0179】
第２保持機構６の保持用プレートＭ１を交換する場合には、搬送用移動機構７により第２保持機構６を仮置き部２７である保持テーブル１４１に移動させるとともに、保持用プレートＭ１を下降させて取り外し、仮置き部２７である保持テーブル１４１に保持用プレートＭ１を載置する。なお、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0180】
そして、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）が、保持テーブル１４１に載置された第２保持機構６の保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて収容する。
【0181】
次に、第１搬送機構２５ａ（貼付部材搬送機構１０７）が、プレート収容部２４から第２保持機構６の新しい保持用プレートＭ１を取り出し上昇位置とした状態で仮置き部２７である保持テーブル１４１に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。
【0182】
そして、搬送用移動機構７により第２保持機構６を保持テーブル１４１に移動させ、保持ベース部Ｍ２を下降させて、保持テーブル１４１に載置された新しい保持用プレートＭ１が取り付けられる。ここでは、搬送用移動機構７により第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に設けられた固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に差し込まれる。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0183】
なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を交換する際は、第２搬送機構２５ｂとなる第２保持機構６の保持用プレートＭ１と、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を予め取り外しおく。また、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を交換する際は、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１をあらかじめ取り外しておく。
【0184】
また、移載テーブル５、保持テーブル１４１、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び第２保持機構６の保持用プレートＭ１の交換を一連の動作としても行ってもよい。例えば、移載テーブル５、保持テーブル１４１、第２保持機構６及び切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１をこの順に取り外し、その後、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、第２保持機構６、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持用プレートＭ１をこの順で取り付けることが考えられる。
【0185】
＜第２実施形態の効果＞
第２実施形態の切断装置１００によれば、第１実施形態と同様に、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。その他、第２実施形態において、前記第１実施形態と同様の構成により生じる効果は同じである。
第２実施形態の切断装置１００によれば、第１実施形態と同様に、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。その他、第２実施形態において、前記第１実施形態と同様の構成により生じる効果は同じである。
【0186】
特に、第２実施形態では、プレート搬送機構２５が、貼付部材１０１を載置テーブル１０２に搬送することができるので、プレート搬送機構２５とは別に貼付部材用の搬送機構を設ける必要がなく、リング収容する切断装置１００の装置構成を簡素化することができる。さらに、装置コストも削減することができる。その他、複数の製品Ｐに対して、スパッタリング工程又は実装工程などの後工程を行う場合に、複数の製品Ｐが貼り付けられた貼付部材１０１を移動させればよく、その取り扱いを容易にすることができる。
【0187】
さらに、プレート搬送機構２５が、プレート収容部２４と仮置き部２７との間で保持用プレートＭ１を搬送する第１搬送機構２５ａと、仮置き部２７と保持ベース部Ｍ２との間で保持用プレートＭ１を搬送する第２搬送機構２５ｂとを有するので、プレート搬送機構２５を１つの搬送機構で構成する場合に比べて、保持用プレートＭ１の搬送先の自由度を増すことができる。ここで、第１搬送機構２５ａを貼付部材搬送機構１０７（第３保持機構１０７１及び移動機構１０７２）を用いて構成しているので、装置構成を簡素化するとともに装置コストを削減することができる。また、第２搬送機構２５ｂを第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成しているので、装置構成を簡素化するとともに装置コストを削減することができる。
【0188】
＜第２実施形態の変形例＞
例えば、前記第２実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を自動的に交換する構成であったが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）の少なくとも１つを自動的に交換する構成としても良い。
例えば、前記第２実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を自動的に交換する構成であったが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、搬送用保持機構（第２保持機構６）の少なくとも１つを自動的に交換する構成としても良い。
【0189】
前記第２実施形態のプレート搬送機構２５は、第１搬送機構２５ａ及び第２搬送機構２５ｂを有する構成であったが、単一の搬送機構を有する構成としても良い。また、プレート搬送機構２５は、貼付部材搬送機構１０７を用いない構成としても良いし、第２保持機構６及び搬送用移動機構７（加工対象物搬送機構）を用いない構成としても良い。
【0190】
プレート搬送機構２５に貼付部材搬送機構１０７を用いない構成とする場合、プレート収容部２４を第２保持機構６がアクセス可能な位置（例えば移載テーブル５（インデックステーブル）と貼付部材１０１の載置テーブル１０２との間）に配置することによって、プレート搬送機構２５を貼付部材搬送機構１０７を用いること無く、第２保持機構６及び搬送用移動機構７により構成することができる。
【0191】
また、前記第２実施形態のプレート収容部２４は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、検査用テーブル（保持テーブル１４１）、移載テーブル５、及び、第２保持機構６それぞれの保持用プレートＭ１を収容するものであったが、保持用プレートＭ１の種類に応じて専用のプレート収容部２４を複数設ける構成としても良い。
【0192】
例えば、前記第２実施形態では載置テーブル１０２を複数（具体的には２つ）設けた構成について説明したが、図２６（ａ）に示すように、載置テーブル１０２が１つであっても良い。この場合、貼付部材収容部１０６の開口部において上下に２つのガイドレール１０８Ａ、１０８Ｂを設けても良い。この構成において、上のガイドレール１０８Ａは、互いの間隔が図示しない拡縮機構によって拡縮できるように構成されている。
【0193】
この上下２段構成のガイドレール１０８Ａ、１０８Ｂを有する場合の動作は以下のようになる。
【0194】
まず上のガイドレール１０８Ａの間隔が拡縮機構によって拡がる（図２６（ｂ）参照）。そして、貼付部材搬送機構１０７は、上のガイドレール１０８Ａの間を下降して、貼付部材収容部１０６から下のガイドレール１０８Ｂに空の貼付部材１０１を引き出して仮置きする。その後、貼付部材搬送機構１０７は、貼付部材搬送位置Ｘ３にある載置テーブル１０２に移動して、貼付済の貼付部材１０１を受け取る。
【0195】
次に、上のガイドレール１０８Ａの間隔が拡縮機構によって縮まる（図２６（ｃ）参照）。そして、貼付部材搬送機構１０７は、上のガイドレール１０８Ａに貼付済の貼付部材１０１を載置するとともに、その貼付部材１０１を貼付部材収容部１０６に押し入れる。
【0196】
その後、上のガイドレール１０８Ａの間隔が拡縮機構によって拡がる。そして、貼付部材搬送機構１０７は、上のガイドレール１０８Ａの間を下降して、下のガイドレール１０８Ｂに載置されている空の貼付部材１０１を受け取り、載置テーブル１０２に搬送する。
【0197】
また、前記第２実施形態では２つの貼付用搬送機構１０３を有する構成であったが、１つの貼付用搬送機構１０３を有する構成としても良い。
【0198】
さらに、第１撮像部２０１は、２つの貼付用搬送機構１０３に共通のものとしていたが、２つの貼付用搬送機構１０３それぞれに対応して第１撮像部２０１を設けても良い。
【0199】
また、前記第２実施形態の移載テーブル５は、貼付部材１０１に貼り付ける前に一時的に載置されるインデックステーブルであったが、移載テーブル５を反転機構１４の保持テーブル１４１としても良い。
【0200】
＜本発明の第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
第３実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態のトレイ収容及び第２実施形態のリング収容とは異なり、複数の製品Ｐをばらばらの状態で収容（「バルク収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
第３実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態のトレイ収容及び第２実施形態のリング収容とは異なり、複数の製品Ｐをばらばらの状態で収容（「バルク収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。
【0201】
具体的に切断装置１００は、図２７に示すように、封止済基板Ｗを保持する２つの切断用テーブル（加工用テーブル）２Ａ、２Ｂと、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持する第１保持機構３と、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する切断機構（加工機構）４と、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから収容ボックス１１１に搬送するために複数の製品Ｐを保持する第２保持機構６と、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する搬送用移動機構７と、切断機構４を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗに対して移動させる切断用移動機構（加工用移動機構）８とを備えている。
【0202】
以下、第１、第２実施形態とは異なる構成について主に説明する。
【0203】
第３実施形態の第２保持機構６は、図２７に示すように、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから乾燥用テーブル１１２又は収容ボックス１１１に搬送するために複数の製品Ｐを保持するものである。この第２保持機構６は、図８に示すように、第１、第２実施形態と同様の構成である。そして、吸着ヘッド６１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから乾燥用テーブル１１２に搬送し、乾燥用テーブル１１２から収容ボックス１１１に搬送する。
【0204】
第３実施形態の搬送用移動機構７は、図２７に示すように、第１保持機構３を少なくとも基板供給機構１１と切断用テーブル２Ａ、２Ｂとの間で移動させるとともに、第２保持機構６を少なくとも切断用テーブル２Ａ、２Ｂと収容ボックス１１１との間で移動させるものである。
【0205】
また、トランスファ軸７１は、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１ｂの上方に移動できるとともに、第２保持機構６が収容ボックス１１１の上方に移動できる範囲で設けられている（図２７参照）。また、このトランスファ軸７１に対して、後述する収容ボックス１１１及び乾燥用テーブル１１２も、平面視において同じ側（手前側）に設けられている。
【0206】
さらに、メイン移動機構７２のガイドレール７２１は、トランスファ軸７１に沿ってＸ方向に一直線に延びており、トランスファ軸７１と同様に、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１ｂの上方に移動できるとともに、第２保持機構６が収容ボックス１１１の上方に移動できる範囲で設けられている。
【0207】
＜切断装置１００の乾燥機能＞
第３実施形態の切断装置１００は、第２クリーニング機構１９によりクリーニングされた複数の製品Ｐをさらに乾燥する機能を有している。具体的に切断装置１００は、図２７～図２９に示すように、複数の製品Ｐを乾燥するための乾燥用テーブル１１２と、乾燥用テーブル１１２に載置された複数の製品Ｐを乾燥する乾燥機構１１３と、当該乾燥機構１１３を乾燥用テーブル１１２に沿って移動させる乾燥用移動機構１１４とを備えている。
第３実施形態の切断装置１００は、第２クリーニング機構１９によりクリーニングされた複数の製品Ｐをさらに乾燥する機能を有している。具体的に切断装置１００は、図２７～図２９に示すように、複数の製品Ｐを乾燥するための乾燥用テーブル１１２と、乾燥用テーブル１１２に載置された複数の製品Ｐを乾燥する乾燥機構１１３と、当該乾燥機構１１３を乾燥用テーブル１１２に沿って移動させる乾燥用移動機構１１４とを備えている。
【0208】
乾燥用テーブル１１２は、第２保持機構６及び搬送用移動機構７により複数の製品Ｐが搬送されて載置されるものである。この乾燥用テーブル１１２は、複数の製品Ｐを吸着して保持する。また、乾燥用テーブル１１２は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される。本実施形態の乾燥用テーブル１１２は、平面視において矩形状をなすものであるが、その他の形状であってもよい。
【0209】
乾燥機構１１３は、乾燥用テーブル１１２の上方から気体である圧縮空気を噴射して、乾燥用テーブル１１２に吸着保持された複数の製品Ｐを乾燥するものである。この乾燥機構１１３は、乾燥用テーブル１１２に保持された複数の製品Ｐに圧縮空気を噴射する噴射ノズル１１３ａを有している。本実施形態の噴射ノズル１１３ａは、乾燥用テーブル１１２に向けて設けられた、直線状に延びるスリット状をなす開口を有するものであるが（図２８参照）、Ｘ方向に沿って間欠的に設けられた複数の開口を有するものであっても良い。
【0210】
本実施形態の乾燥機構１１３は、乾燥用移動機構１１４による移動方向に向けて圧縮空気を噴射するように構成されている（図２８参照）。つまり、噴射ノズル１１３ａによる圧縮空気の噴射方向が乾燥用移動機構１１４による移動方向（ここでは、Ｙ方向において手前側から奥側）を向くように構成されている。
【0211】
また、乾燥機構１１３の噴射ノズル１１３ａは、図２８に示すように、乾燥用テーブル１１２上に保持された複数の製品ＰのＸ方向に沿った配列方向に対して例えば３０度未満で傾斜して配置されている。ここで、乾燥用テーブル１１２には、複数の製品ＰがＸ方向及びＹ方向においてマトリックス状に配置されており、乾燥機構１１３の噴射ノズル１１３ａは、各製品ＰのＸ方向に沿った一辺に対して傾斜して圧縮空気を噴射することになる。これにより、隣接する製品Ｐの間に溜まっている水分を製品Ｐから吹き飛ばしやすくしている。これにより、複数の製品Ｐの乾燥が促進される。また、乾燥機構１１３の噴射ノズル１１３ａのスリット状の開口を、乾燥用テーブル１１２に向けて若干傾斜するように設け、圧縮空気が乾燥機構１１３の移動方向に向けて吹き飛ばされるようにしてもよい。
【0212】
乾燥用移動機構１１４は、乾燥機構１１３を乾燥用テーブル１１２の上方においてＹ方向に移動させるものである。本実施形態の乾燥用移動機構１１４は、乾燥用テーブル１１２に対して乾燥機構１１３をＹ方向に往復移動させるものである。具体的に乾燥用移動機構１１４は、図２８及び図２９に示すように、Ｙ方向に延びるＹ方向ガイドレール１１４１と、当該Ｙ方向ガイドレール１１４１に沿って移動するとともに乾燥機構１１３を保持するスライド部材１１４２と、当該スライド部材１１４２をＹ方向ガイドレール１１４１に沿って移動させる駆動部（不図示）とを備えている。なお、駆動部としては、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。
【0213】
＜乾燥動作の一例＞
次に乾燥機構１１３及び乾燥用移動機構１１４による乾燥動作について説明する。
次に乾燥機構１１３及び乾燥用移動機構１１４による乾燥動作について説明する。
【0214】
乾燥用テーブル１１２に複数の製品Ｐを載置する前において、乾燥用移動機構１１４は、複数の製品Ｐの載置を邪魔しないように、乾燥機構１１３を乾燥用テーブル１１２のＹ方向一方側（例えば手前側）に退避させている。そして、乾燥用テーブル１１２に複数の製品Ｐが載置されて保持されると、乾燥機構１１３は圧縮空気の噴射を開始するとともに、乾燥用移動機構１１４は乾燥機構１１３をＹ方向他方側（例えば奥側）に移動させる。これにより、乾燥用テーブル１１２に保持された複数の製品Ｐの乾燥が行われる。なお、乾燥用移動機構１１４が、乾燥機構１１３をＹ方向他方側（奥側）からＹ方向一方側（手前側）に移動させる際には、乾燥機構１１３は気体の噴射を停止する。なお、乾燥機構１１３は往路だけでなく復路においても圧縮空気を噴射する構成としても良い。
【0215】
＜バルク収容の具体的な構成（収容ボックス１１１及び掻き落とし部材１１５）＞
収容ボックス１１１は、図２７～図２９に示すように、複数の製品Ｐをばらばらの状態で収容する（いわゆるバルク収容する）ものである。また、収容ボックス１１１は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される。この収容ボックス１１１は、第２保持機構６から複数の製品Ｐを掻き落とす掻き落とし部材１１５をさらに備えている。
収容ボックス１１１は、図２７～図２９に示すように、複数の製品Ｐをばらばらの状態で収容する（いわゆるバルク収容する）ものである。また、収容ボックス１１１は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される。この収容ボックス１１１は、第２保持機構６から複数の製品Ｐを掻き落とす掻き落とし部材１１５をさらに備えている。
【0216】
収容ボックス１１１は、平面視において矩形状の上部開口１１１Ｘを有するものである（図２８参照）。そして、掻き落とし部材１１５は、収容ボックス１１１の上部開口１１１Ｘの一辺に固定されている。この掻き落とし部材１１５に対して第２保持機構６をＸ方向に移動させることにより、製品Ｐが掻き落とされて落下して収容ボックス１１１に収容される。
【0217】
また、本実施形態の収容ボックス１１１は、Ｘ方向において乾燥用テーブル１１２と後述する保持用プレートＭ１を収容するプレート収容部２４との間に設けられており、掻き落とし部材１１５は、収容ボックス１１１の上部開口１１１Ｘにおいて乾燥用テーブル１１２側の一辺に設けられている。これにより、製品Ｐを掻き落とす際に、第２保持機構６がプレート収容部２４に干渉しない構成としている。
【0218】
掻き落とし部材１１５は、上部開口１１１Ｘにおける乾燥用テーブル１１２側の一辺から上方に延び設けられている（図２９参照）。また、掻き落とし部材１１５としては、吸着解除された第２保持機構６から離れない製品Ｐを掻き落とすものであれば良く、例えば、ＰＥＥＫ材などの樹脂製のものであり、その形態は、ブラシ形状であっても良いし、平板形状であってもよい。
【0219】
本実施形態では、収容ボックス１１１は、トランスファ軸７１の手前側に配置されており、収容ボックス１１１の手前側の外面に取っ手１１１１（図２８参照）が設けられており、切断装置１００の手前側から取り外すことができるように構成されている。この構成により、製品Ｐの取出し、回収等のメンテナンス性を向上することができる。なお、収容ボックス１１１の取り出す方向は手前側に限られず、例えば、切断装置１００の横側から取り出す構成としても良いし、奥側から取り出す構成としても良い。
【0220】
＜切断装置１００の動作の一例＞
次に、第３実施形態の切断装置１００の動作の一例を、図３０を参照して説明する。図３０には、切断装置１００の動作における第１保持機構３の移動経路、及び、第２保持機構６の移動経路を示している。なお、本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐのクリーニング、製品Ｐの乾燥、及び、製品Ｐの掻き落とし動作など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図２７参照）により行われる。
次に、第３実施形態の切断装置１００の動作の一例を、図３０を参照して説明する。図３０には、切断装置１００の動作における第１保持機構３の移動経路、及び、第２保持機構６の移動経路を示している。なお、本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐのクリーニング、製品Ｐの乾燥、及び、製品Ｐの掻き落とし動作など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図２７参照）により行われる。
【0221】
本実施形態の切断装置１００の動作において、封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、及び、製品Ｐのクリーニングまでの動作は、前記第１実施形態と同様である。
【0222】
そして、製品Ｐのクリーニングの後、搬送用移動機構７は第２保持機構６を乾燥用テーブル１１２に移動させて、第２保持機構６は吸着保持を解除して、複数の製品Ｐを乾燥用テーブル１１２に載置する。そして、乾燥用テーブル１１２は、封止済基板Ｗを吸着保持する。このとき、搬送用移動機構７は、第２保持機構６を乾燥機構１１３の移動を邪魔しない位置に退避させる。
【0223】
この状態で、乾燥用移動機構１１４が乾燥機構１１３をＹ方向に往復移動させるとともに、乾燥機構１１３が圧縮空気を噴射することによって、複数の製品Ｐの乾燥が行われる。なお、乾燥用移動機構１１４による乾燥機構１１３の往復回数は、適宜設定可能であり、１回であっても良いし、複数回であっても良い。
【0224】
乾燥の後、搬送用移動機構７は第２保持機構６を乾燥用テーブル１１２に移動させて、第２保持機構６は、乾燥用テーブル１１２から複数の製品Ｐを吸着保持する。その後、搬送用移動機構７は、複数の製品Ｐを保持した第２保持機構６を収容ボックス１１１に移動させる。
【0225】
そして、第２保持機構６は、収容ボックス１１１の上部開口１１１Ｘの上方において、複数の製品Ｐの吸着保持を解除する。その後、搬送用移動機構７は、第２保持機構６から落下せずに第２保持機構６に残存している製品Ｐが掻き落とし部材１１５に当たるように、第２保持機構６を掻き落とし部材１１５に対して乾燥用テーブル１１２側に移動させる。本実施形態では、製品Ｐを確実に掻き落とすために、掻き落し部材１１５が第２保持機構６の吸着面である下面に接触するように第２保持機構６を掻き落とし部材１１５に対して移動させる。これにより、複数の製品Ｐが収容ボックス１１１に落下して収容される。
【0226】
＜保持用プレートＭ１の自動交換機能＞
さらに第３実施形態の切断装置１００は、前記第１、第２実施形態と同様に、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。なお、本実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び第２保持機構６が、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有している。なお、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２の具体的構成は、第１実施形態と同様である。
さらに第３実施形態の切断装置１００は、前記第１、第２実施形態と同様に、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。なお、本実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び第２保持機構６が、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有している。なお、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２の具体的構成は、第１実施形態と同様である。
【0227】
具体的に切断装置１００は、図２７及び図３１に示すように、保持用プレートＭ１を収容するプレート収容部２４と、保持用プレートＭ１をプレート収容部２４及び保持ベース部Ｍ２の間で搬送するプレート搬送機構２５とを備えている。なお、第２実施形態の切断装置１００には、前記第１実施形態と同様に、固定機構２６及び検査機構２９が設けられている。
【0228】
第３実施形態のプレート搬送機構２５は、第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成されており、複数の製品Ｐを搬送することができる。言い換えれば、第２保持機構６及び搬送用移動機構７が、保持用プレートＭ１を搬送する機能を有している。このプレート搬送機構２５は、上述した共通のトランスファ軸７１によってＸ方向に移動する構成とされている。また、プレート搬送機構２５は、トランスファ軸７１に対して、平面視において同じ側（手前側）に設けられていることになる。ここで、プレート搬送機構２５を構成する第２保持機構６は、第１実施形態と同様に、保持用プレートＭ１に形成された搬送用保持孔２８１（図１０参照）に挿入される搬送用シリンダ部２８２を有している（図１３参照）。
【0229】
＜保持用プレートＭ１の交換動作＞
次に本実施形態のプレート搬送機構２５による保持用プレートＭ１の交換動作について、図３２を参照して説明する。
次に本実施形態のプレート搬送機構２５による保持用プレートＭ１の交換動作について、図３２を参照して説明する。
【0230】
なお、以下の交換動作において、プレート収容部２４から保持用プレートＭ１を取り出す際の保持用プレートＭ１の判別は、保持用プレートＭ１に設けられたＲＦＩＤなどの識別子を、プレート搬送機構２５（第２保持機構６）に設けられた識別子リーダ（不図示）により読み取ることにより行う。
【0231】
（１）第２保持機構６の保持用プレートＭ１の取り外し動作（図３２（ａ）参照）
まず、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す。具体的には、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて保持用プレートＭ１を取り外し、スライド棚部２４１に保持用プレートＭ１を載置して収容する。なお、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
まず、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す。具体的には、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて保持用プレートＭ１を取り外し、スライド棚部２４１に保持用プレートＭ１を載置して収容する。なお、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0232】
この保持用プレートＭ１が取り外された状態の第２保持機構６を用いて、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ又は乾燥用テーブル１１２の保持用プレートの交換動作が行われる。
【0233】
（２）切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１の交換動作（図３２（ｂ）参照）
切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させてスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させてスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0234】
次に、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、プレート収容部２４から切断用テーブル２Ａ、２Ｂの新しい保持用プレートＭ１を取り出し、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0235】
（３）乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１の交換動作（図３２（ｂ）参照）
乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて前方にスライドされたスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて前方にスライドされたスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0236】
次に、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、プレート収容部２４から乾燥用テーブル１１２の新しい保持用プレートＭ１を取り出し、乾燥用テーブル１１２の保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、乾燥用テーブル１１２の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0237】
（４）第２保持機構６の保持用プレートＭ１の取り付け動作（図３２（ｃ）参照）
上記の通り、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１の交換動作を行った後に、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて、スライド棚部２４１に載置された新しい保持用プレートＭ１が取り付けられる。ここでは、搬送用移動機構７により第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に設けられた固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に差し込まれる。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
上記の通り、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１の交換動作を行った後に、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて、スライド棚部２４１に載置された新しい保持用プレートＭ１が取り付けられる。ここでは、搬送用移動機構７により第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に設けられた固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に差し込まれる。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0238】
なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１の交換動作と、乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１の交換動作とはどちらを先に行っても構わない。また、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び乾燥用テーブル１１２の保持ベース部Ｍ２から保持用プレートＭ１を取り外し、その後、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び乾燥用テーブル１１２の保持ベース部Ｍ２に新しい保持用プレートＭ１を取り付けることもできる。
【0239】
また、上記では、第２保持機構６、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１の交換を一連の動作としているが、第２保持機構６、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ又は乾燥用テーブル１１２の少なくとも１つにおける保持用プレートＭ１の交換を個別に行うようにしても良い。このとき、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ又は乾燥用テーブル１１２の保持用プレートＭ１を交換する際には、プレート搬送機構２５を構成する第２保持機構６の保持用プレートＭ１を予め取り外すことが考えられる。
【0240】
＜第３実施形態の効果＞
第３実施形態の切断装置１００によれば、第１、第２実施形態と同様に、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。その他、第３実施形態において、前記第１、第２実施形態と同様の構成により生じる効果は同じである。
第３実施形態の切断装置１００によれば、第１、第２実施形態と同様に、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。その他、第３実施形態において、前記第１、第２実施形態と同様の構成により生じる効果は同じである。
【0241】
特に、第３実施形態では、プレート搬送機構２５が、複数の製品Ｐを収容ボックス１１１に搬送することができるので、プレート搬送機構２５とは別の製品搬送機構を設ける必要がなく、バルク収容する切断装置１００の装置構成を簡素化することができる。さらに、装置コストも削減することができる。その他、複数の製品Ｐを収容ボックス１１１に落下させて収容するので、従来のトレイ収容する構成に比べて、収容スペースを小型化することができる。これによっても、切断装置１００のフットプリントを低減することができる。
【0242】
＜第３実施形態の変形例＞
例えば、第３実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を自動的に交換する構成であったが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び保持機構（第２保持機構６）の少なくとも１つを自動的に交換する構成としても良い。
例えば、第３実施形態では、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を自動的に交換する構成であったが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び保持機構（第２保持機構６）の少なくとも１つを自動的に交換する構成としても良い。
【0243】
第３実施形態のプレート搬送機構２５は、第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いない構成としても良い。
【0244】
また、前記第３実施形態のプレート収容部２４は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、乾燥用テーブル１１２及び保持機構（第２保持機構６）それぞれの保持用プレートＭ１を収容するものであったが、保持用プレートＭ１の種類に応じて専用のプレート収容部２４を複数設ける構成としても良い。
【0245】
また、掻き落とし部材１１５を有さずに、第２保持機構６により吸着保持を解除した後に、第２保持機構６からガスを噴射することによって、複数の製品Ｐを落下させる構成にすることもできる。
【0246】
さらに、掻き落とし部材１１５を収容ボックス１１１に固定する構成の他、他の部材に固定しても良いし、又は、掻き落とし部材１１５を移動可能に構成して、第２保持機構６に対して掻き落とし部材１１５が移動することにより、複数の製品Ｐを掻き落とす構成としても良い。
【0247】
＜本発明の第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
第４実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態のトレイ収容、第２実施形態のリング収容及び第３実施形態のバルク収容とは異なり、複数の製品Ｐを筒状容器１１６に収容（「チューブ収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。なお、筒状容器１１６は、チューブ、マガジンスティック、スティックマガジン、スティックなどと呼ばれることがある。
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
第４実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態のトレイ収容、第２実施形態のリング収容及び第３実施形態のバルク収容とは異なり、複数の製品Ｐを筒状容器１１６に収容（「チューブ収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。なお、筒状容器１１６は、チューブ、マガジンスティック、スティックマガジン、スティックなどと呼ばれることがある。
【0248】
具体的に切断装置１００は、図３３に示すように、封止済基板Ｗを保持する２つの切断用テーブル（加工テーブル）２Ａ、２Ｂと、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持する第１保持機構３と、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する切断機構（加工機構）４と、複数の製品Ｐが移される移載テーブル５と、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから移載テーブル５に搬送するために複数の製品Ｐを保持する第２保持機構６と、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する搬送用移動機構７と、切断機構４を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗに対して移動させる切断用移動機構（加工用移動機構）８とを備えている。
【0249】
以下、第１～第３実施形態とは異なる構成について主に説明する。
【0250】
本実施形態の移載テーブル５は、複数の製品Ｐを後述する筒状容器１１６に収容する前に、複数の製品Ｐが一時的に載置される。また、移載テーブル５は、図３３に示すように、Ｙ方向に沿って移動可能に設けられており、第２保持機構６により複数の製品Ｐが載置される移載位置Ｘ１と、搬送収容機構１１８により複数の製品Ｐが搬送される取り出し位置Ｘ２との間で移動する。なお、移載位置Ｘ１は、トランスファ軸７１よりも手前側に設定されており、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される位置であり、取り出し位置Ｘ２は、トランスファ軸７１よりも奥側に設定されている。
【0251】
＜チューブ収容の具体的な構成＞
そして、本実施形態の切断装置１００は、図３３～図３５に示すように、複数の製品Ｐを一端開口部１１６ｘから収容する筒状容器１１６が設置される容器設置部１１７と、複数の製品Ｐを移載テーブル５から容器設置部１１７に設置された筒状容器１１６に搬送して収容する搬送収容機構１１８とを備えている。
そして、本実施形態の切断装置１００は、図３３～図３５に示すように、複数の製品Ｐを一端開口部１１６ｘから収容する筒状容器１１６が設置される容器設置部１１７と、複数の製品Ｐを移載テーブル５から容器設置部１１７に設置された筒状容器１１６に搬送して収容する搬送収容機構１１８とを備えている。
【0252】
容器設置部１１７は、製品Ｐが収容されていない空の筒状容器１１６が設置されて、搬送収容機構１１８により筒状容器１１６の一端開口部１１６ｘから製品Ｐが挿入されるものである。
【0253】
本実施形態の容器設置部１１７は、図３３に示すように、空の筒状容器１１６を収容する空容器収容部１１７ａと、当該空容器収容部１１７ａから空の筒状容器１１６が送り出されるとともに、空の筒状容器１１６を製品Ｐが一端開口部１１６ｘから挿入される挿入位置に設置する挿入位置設置部１１７ｂと、製品Ｐが満載となった又は所望の個数が収容された収容済の筒状容器１１６を収容する収容済容器収容部１１７ｃとを備えている。
【0254】
ここで、筒状容器１１６は、図３４に示すように、複数の製品Ｐを列状に整列した状態で収容するものである。具体的に筒状容器１１６は、直線状に延びる形状を有しており、内部に製品Ｐを収容する空間を有している。また、筒状容器１１６の長手方向に直交する断面形状は、製品Ｐの断面形状に対応した形状である。なお、図３４に示す筒状容器１１６は、長手方向に沿って延びる側周壁の一部が空いている構成であるが、前記側周壁が閉じた構成であっても良い。また、筒状容器１１６は、複数の製品Ｐを一列に整列した状態で収容する構成の他に、複数の製品Ｐを複数列に整列した状態で収容する構成のものであっても良い。さらに、筒状容器１１６は、樹脂製のものであっても良いし、金属製のものであっても良い。また、図３４には製品Ｐとしてリードがある形態を示しているが、ＱＦＮ等のノンリードタイプであっても良い。
【0255】
搬送収容機構１１８は、図３３及び図３５に示すように、複数の製品Ｐが一時的に載置される中間テーブル１１９と、複数の製品Ｐを取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５から中間テーブル１１９に搬送する第１製品搬送機構１２０と、複数の製品Ｐを中間テーブル１１９から容器設置部１１７の挿入位置設置部１１７ｂに設置された筒状容器１１６に搬送して収容する第２製品搬送機構１２１とを備えている。
【0256】
中間テーブル１１９は、取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５から第１製品搬送機構１２０により製品Ｐが搬送されて一時的に載置されるものである。また、中間テーブル１１９に一時的に載置された製品Ｐは、第２製品搬送機構１２１により容器設置部１１７に設置された筒状容器１１６に搬送される。本実施形態の中間テーブル１１９は、Ｘ方向及びＹ方向において固定されているが、移動可能に構成しても良い。
【0257】
第１製品搬送機構１２０は、取り出し位置Ｘ２に移動した移載テーブル５から、中間テーブル１１９に複数の製品Ｐを所定個数（例えば１個）ずつ搬送するものである。
【0258】
具体的に第１製品搬送機構１２０は、図３５に示すように、移載テーブル５に保持された複数の製品Ｐを所定個数（例えば１個）ずつ吸着する製品吸着機構１２０１と、当該製品吸着機構１２０１をＸ方向に沿って移動させる吸着用移動機構１２０２とを備えている。
【0259】
製品吸着機構１２０１は、図３５に示すように、複数の製品Ｐを吸着保持するための吸着部１２０１ａが設けられた吸着ヘッド１２０１Ａと、当該吸着ヘッド１２０１Ａの吸着部１２０１ａに接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。この製品吸着機構１２０１は、それぞれの吸着部１２０１ａが１つの製品Ｐを吸着する構成としてある。また、複数の吸着部１２０１ａは、互いに独立して昇降移動可能に構成されており、各吸着部１２０１ａが下降することにより、個別に製品Ｐを吸着することができる。なお、第１製品搬送機構１２０の下部に、吸着する製品Ｐの状態を確認するための撮像カメラ２０３が設けられている。
【0260】
吸着用移動機構１２０２は、図３５に示すように、製品吸着機構１２０１をＸ方向に移動させるＸ方向移動部１２０２ａと、製品吸着機構１２０１をＺ方向に移動させるＺ方向移動部１２０２ｂとを備えている。なお、吸着用移動機構１２０２は、製品吸着機構１２０１をＹ方向に移動させるＹ方向移動部を有していても良い。
【0261】
Ｘ方向移動部１２０２ａは、トランスファ軸７１の奥側においてＸ方向に沿って設けられたＸ方向ガイドレール１２０２ａ１と、当該Ｘ方向ガイドレール１２０２ａ１に沿って移動するとともに、Ｚ方向移動部１２０２ｂを介して製品吸着機構１２０１を支持する支持体１２０２ａ２とを有している。そして、支持体１２０２ａ２は、例えば、Ｘ方向に延びるボールねじ機構（不図示）により、Ｘ方向ガイドレール１２０２ａ１上をＸ方向に沿って直線的に往復移動する。このボールねじ機構はサーボモータ等の駆動源（不図示）により駆動される。その他、支持体１２０２ａ２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0262】
Ｚ方向移動部１２０２ｂは、支持体１２０２ａ２においてＺ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール１２０２ｂ１と、当該Ｚ方向ガイドレール１２０２ｂ１に沿って移動するとともに製品吸着機構１２０１を支持するＺ方向スライダ１２０２ｂ２とを有している。そして、Ｚ方向スライダ１２０２ｂ２は、例えば、Ｚ方向に延びるボールねじ機構（不図示）により、Ｚ方向ガイドレール１２０２ｂ１上をＺ方向に沿って直線的に往復移動する。その他、Ｚ方向スライダ１２０２ｂ２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。
【0263】
第２製品搬送機構１２１は、図３３及び図３５に示すように、中間テーブル１１９に載置された製品Ｐを容器設置部１１７の挿入位置設置部１１７ｂに設置された筒状容器１１６に搬送して、当該筒状容器１１６の一端開口部１１６ｘから製品Ｐを挿入して収容するものである。
【0264】
具体的に第２製品搬送機構１２１は、図３５に示すように、中間テーブル１１９に載置された製品Ｐを押す押圧部材１２１ａと、当該押圧部材１２１ａをＹ方向に沿って移動させる駆動部１２１ｂとを有している。なお、駆動部１２１ｂとしては、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。また、第２製品搬送機構１２１は、製品Ｐを筒状容器１１６の一端開口部１１６ｘにガイドする製品ガイド部を有していても良い。さらに、押圧部材１２１ａを昇降させる機構を有していてもよい。
【0265】
＜切断装置の動作の一例＞
次に、切断装置１００の動作の一例を図９、図３３及び図３５を参照して説明する。本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐのクリーニング、製品Ｐのチューブ収容など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図３３参照）により行われる。
次に、切断装置１００の動作の一例を図９、図３３及び図３５を参照して説明する。本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐのクリーニング、製品Ｐのチューブ収容など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図３３参照）により行われる。
【0266】
本実施形態の切断装置１００の動作において、封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐのクリーニング、及び、製品Ｐの検査までの動作は、前記第１実施形態と同様である。
【0267】
そして、両面検査された後、製品Ｐは反転機構１４から移載テーブル５に受け渡される。複数の製品Ｐが載置された移載テーブル５は、取り出し位置Ｘ２に移動する（図３３及び図３５参照）。一方で、容器設置部１１７の挿入位置設置部１１７ｂには、空の筒状容器１１６が設置されている（図３２及び図３４参照）。
【0268】
この状態で、図３５に示すように、第１製品搬送機構１２０は、取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５から製品Ｐを吸着保持する。その後、第１製品搬送機構１２０は、製品Ｐを中間テーブル１１９に移動して、製品Ｐの吸着保持を解除して、製品Ｐを中間テーブル１１９に載置する。中間テーブル１１９に載置された製品Ｐは、第２製品搬送機構１２１により、筒状容器１１６の内部に挿入されて収容される。
【0269】
筒状容器１１６が満載となった場合、又は、筒状容器１１６に所望の個数の製品Ｐが収容された場合には、挿入位置設置部１１７ｂにある収容済の筒状容器１１６は、収容済容器収容部１１７ｃに移動されるとともに、挿入位置設置部１１７ｂには、空容器収容部１１７ａから空の筒状容器１１６が送り出されて設置される。
【0270】
＜保持用プレートＭ１の自動交換機能＞
さらに第４実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態などと同様に、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１、移載テーブル５及び第２保持機構６が、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有している。なお、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２の具体的構成は、第１実施形態と同様である。
さらに第４実施形態の切断装置１００は、前記第１実施形態などと同様に、封止済基板Ｗ又は製品Ｐを保持するための保持用プレートＭ１を自動的に交換できる機能を有している。なお、本実施形態では、第１実施形態と同様に、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１、移載テーブル５及び第２保持機構６が、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２を有している。なお、保持用プレートＭ１及び保持ベース部Ｍ２の具体的構成は、第１実施形態と同様である。
【0271】
具体的に切断装置１００は、第３実施形態と同様に、図３３及び図３６に示すように、保持用プレートＭ１を収容するプレート収容部２４と、保持用プレートＭ１をプレート収容部２４及び保持ベース部Ｍ２の間で搬送するプレート搬送機構２５とを備えている。なお、第２実施形態の切断装置１００には、前記第１実施形態と同様に、固定機構２６及び検査機構２９が設けられている。
【0272】
第４実施形態のプレート搬送機構２５は、第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成されており、複数の製品Ｐを搬送することができる。言い換えれば、第２保持機構６及び搬送用移動機構７が、保持用プレートＭ１を搬送する機能を有している。このプレート搬送機構２５は、上述した共通のトランスファ軸７１によってＸ方向に移動する構成とされている。また、プレート搬送機構２５は、トランスファ軸７１に対して、平面視において同じ側（手前側）に設けられていることになる。ここで、プレート搬送機構２５を構成する第２保持機構６は、第１実施形態と同様に、保持用プレートＭ１に形成された搬送用保持孔２８１（図１０参照）に挿入される搬送用シリンダ部２８２を有している（図１３参照）。
【0273】
＜保持用プレートＭ１の交換動作＞
次に、本実施形態のプレート搬送機構２５による保持用プレートＭ１の交換動作について、図３６を参照して説明する。
次に、本実施形態のプレート搬送機構２５による保持用プレートＭ１の交換動作について、図３６を参照して説明する。
【0274】
なお、以下の交換動作において、プレート収容部２４から保持用プレートＭ１を取り出す際の保持用プレートＭ１の判別は、保持用プレートＭ１に設けられたＲＦＩＤなどの識別子を、プレート搬送機構２５（第２保持機構６）に設けられた識別子リーダ（不図示）により読み取ることにより行う。
【0275】
（１）第２保持機構６の保持用プレートＭ１の取り外し動作（図３６（ａ）参照）
まず、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す。具体的には、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて保持用プレートＭ１を取り外し、スライド棚部２４１に保持用プレートＭ１を載置して収容する。なお、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
まず、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す。具体的には、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて保持用プレートＭ１を取り外し、スライド棚部２４１に保持用プレートＭ１を載置して収容する。なお、第２保持機構６の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0276】
この保持用プレートＭ１が取り外された状態の第２保持機構６を用いて、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ又は保持テーブル１４１の保持用プレートの交換動作が行われる。
【0277】
（２）切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１の交換動作（図３６（ｂ）参照）
切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させてスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させてスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0278】
次に、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、プレート収容部２４から切断用テーブル２Ａ、２Ｂの新しい保持用プレートＭ１を取り出し、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0279】
（３）保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１の交換動作（図３６（ｂ）参照）
保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて前方にスライドされたスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて前方にスライドされたスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0280】
次に、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、プレート収容部２４から保持テーブル１４１の新しい保持用プレートＭ１を取り出し、保持テーブル１４１の保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、保持テーブル１４１の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0281】
（４）移載テーブル５の保持用プレートの交換動作（図３６（ｂ）参照）
移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて前方にスライドされたスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外し、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）により保持用プレートＭ１を上昇させて上昇位置とした状態でプレート収容部２４に搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて前方にスライドされたスライド棚部２４１に載置して収容する。なお、移載テーブル５の保持用プレートＭ１を取り外す際には、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にして固定機構２６の固定を解除する。
【0282】
次に、プレート搬送機構２５（搬送用移動機構７及び第２保持機構６）が、プレート収容部２４から移載テーブル５の新しい保持用プレートＭ１を取り出し、移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に上昇位置とした状態で搬送し、保持用プレートＭ１を下降させて載置する。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0283】
（５）第２保持機構６の保持用プレートＭ１の取り付け動作（図３６（ｃ）参照）
上記の通り、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持用プレートＭ１の交換動作を行った後に、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて、スライド棚部２４１に載置された新しい保持用プレートＭ１が取り付けられる。ここでは、搬送用移動機構７により第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に設けられた固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に差し込まれる。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
上記の通り、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持用プレートＭ１の交換動作を行った後に、搬送用移動機構７により第２保持機構６をプレート収容部２４に移動させるとともに、第２保持機構６を下降させて、スライド棚部２４１に載置された新しい保持用プレートＭ１が取り付けられる。ここでは、搬送用移動機構７により第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に設けられた固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１に形成された固定用挿入孔２６１に差し込まれる。この状態で、固定用シリンダ部２６２に圧縮空気を供給して可動子２６２ｂを没入した位置にすると、固定用シリンダ部２６２が保持用プレートＭ１の固定用挿入孔２６１に入り、その後、圧縮空気の供給を停止すると、可動子２６２ｂが突出した位置となり、第２保持機構６の保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１が固定される。
【0284】
なお、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの保持用プレートＭ１の交換動作と、保持テーブル１４１の保持用プレートＭ１の交換動作と、移載テーブル５の保持用プレートＭ１の交換動作の順番は適宜変更可能である。また、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２から保持用プレートＭ１を取り外し、その後、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持ベース部Ｍ２に新しい保持用プレートＭ１を取り付けることもできる。
【0285】
また、上記では、第２保持機構６、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１及び移載テーブル５の保持用プレートＭ１の交換を一連の動作としているが、第２保持機構６、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１又は移載テーブル５の少なくとも１つにおける保持用プレートＭ１の交換を個別に行うようにしても良い。このとき、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ、保持テーブル１４１又は移載テーブル５の保持用プレートＭ１を交換する際には、プレート搬送機構２５を構成する第２保持機構６の保持用プレートＭ１を予め取り外すことが考えられる。
【0286】
＜第４実施形態の効果＞
本実施形態の切断装置１００によれば、第１～第３実施形態と同様に、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。その他、第４実施形態において、前記第１～第３実施形態と同様の構成により生じる効果は同じである。
本実施形態の切断装置１００によれば、第１～第３実施形態と同様に、保持ベース部Ｍ２から取り外された保持用プレートＭ１をプレート収容部２４に搬送し、プレート収容部２４にある保持用プレートＭ１を保持ベース部Ｍ２に搬送するプレート搬送機構２５を有するので、保持ベース部Ｍ２に対して保持用プレートＭ１を自動的に交換することができる。その結果、保持用プレートＭ１を交換するための人件費を削減することができる。また、保持用プレートＭ１を自動的に交換するので、保持用プレートＭ１の交換時間を短縮することができ、切断装置１００の生産性を向上することができる。さらに、保持ベース部Ｍ２に対する保持用プレートＭ１の取り付け状態のばらつきを低減することができる。その他、第４実施形態において、前記第１～第３実施形態と同様の構成により生じる効果は同じである。
【0287】
特に、第４実施形態の切断装置１００であれば、搬送収容機構１１８により複数の製品Ｐを移載テーブル５から容器設置部１１７に設置された筒状容器１１６に搬送して、当該筒状容器１１６の一端開口部１１６ｘから複数の製品Ｐを収容することができる。
【0288】
また、チューブ収容する切断装置１００において、プレート搬送機構２５を第２保持機構６及び搬送用移動機構７を用いて構成しているので、装置構成を簡素化するとともに装置コストを削減することができる。
【0289】
＜第４実施形態の変形例＞
例えば、前記第４実施形態では、容器設置部１１７がトランスファ軸７１の奥側に設けられていたが、トランスファ軸７１の手前側に設けられていても良い。
例えば、前記第４実施形態では、容器設置部１１７がトランスファ軸７１の奥側に設けられていたが、トランスファ軸７１の手前側に設けられていても良い。
【0290】
また、容器設置部１１７に設置された筒状容器１１６は、Ｘ方向に沿って設けられる構成のほか、Ｙ方向に沿って設けられていても良いし、その他の方向に沿って設けられていても良い。
【0291】
＜その他の変形実施形態＞
前記各実施形態では、ツインカットテーブル方式であって、ツインスピンドル構成の切断装置を説明したが、これに限らず、シングルカットテーブル方式であって、シングルスピンドル構成の切断装置や、シングルカットテーブル方式であって、ツインスピンドル構成の切断装置などであってもよい。
前記各実施形態では、ツインカットテーブル方式であって、ツインスピンドル構成の切断装置を説明したが、これに限らず、シングルカットテーブル方式であって、シングルスピンドル構成の切断装置や、シングルカットテーブル方式であって、ツインスピンドル構成の切断装置などであってもよい。
【0292】
また、トランスファ軸７１を構成するカムラック要素は複数を連結して構成することができるので、例えば、切断装置（加工装置）１００を、第２クリーニング機構１９と検査部１３又は乾燥用テーブル１１２との間で分離及び連結可能（着脱可能）なモジュール構成とすることができる。この場合、例えば、第２クリーニング機構１９側のモジュールと、検査部１３側のモジュール又は乾燥用テーブル１１２側のモジュールとの間に、検査部１３での検査とは異なる種類の検査を行うモジュールを追加することができる。なお、ここに例示した構成以外にも、切断装置（加工装置）１００をどこで分離及び連結可能（着脱可能）なモジュール構成としてもよく、追加するモジュールを検査以外の様々な機能のモジュールとしてもよい。
【0293】
また、本発明の加工装置は、切断以外の加工を行うものであってもよく、例えば切削や研削などのその他の機械加工を行うものであってもよい。
【0294】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【0295】
本発明によれば、加工対象物を保持するための保持用プレートを自動的に交換する加工装置を提供することができる。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】