特許 7679828 光モジュール

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-05-12

(45)【発行日】2025-05-20

(54)【発明の名称】光モジュール

(51)【国際特許分類】

   H01S 5/0225 20210101AFI20250513BHJP

   H01S 5/0239 20210101ALI20250513BHJP

   G02B 26/10 20060101ALN20250513BHJP

【ＦＩ】

H01S5/0225

H01S5/0239

G02B26/10 104Z

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022504185

(86)(22)【出願日】2021-10-26

(86)【国際出願番号】 JP2021039394

(87)【国際公開番号】W WO2022153643

(87)【国際公開日】2022-07-21

【審査請求日】2024-05-08

(31)【優先権主張番号】P 2021005725

(32)【優先日】2021-01-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100136098

【弁理士】

【氏名又は名称】北野 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100137246

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 勝也

(72)【発明者】

【氏名】中西 裕美

【審査官】百瀬 正之

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１９－０４６８３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０４６４８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／２３０１４４（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１９－１８６５５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１３／１４６３１３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許第０８８９１５７９（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】米国特許出願公開第２００９／０２４５３１５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２５２８６３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開２０１７－２０１６５２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｓ ５／００－５／５０

Ｇ０２Ｂ ６／２６－６／２７

Ｇ０２Ｂ ６／３０－６／３４

Ｇ０２Ｂ ６／４２－６／４３

Ｇ０２Ｂ ２６／１０ー２６／１２

ＪＳＴＰｌｕｓ／ＪＭＥＤＰｌｕｓ／ＪＳＴ７５８０（ＪＤｒｅａｍＩＩＩ）

ＩＥＥＥ Ｘｐｌｏｒｅ

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の面を含むベース部材と、
前記第１の面上に搭載され、第１の波長を有する第１の光を出射するように構成された第１半導体発光素子と、
前記第１の面上に搭載され、前記第１の光を反射する第１の反射面を含む第１フィルタと、
前記第１の面上に搭載され、前記第１の波長と異なる第２の波長を有する第２の光を出射するように構成された第２半導体発光素子と、
前記第１の面上に搭載され、前記第２の光を反射する第２の反射面を含む第２フィルタと、を備え、
前記第１の反射面によって反射された前記第１の光が前記第２フィルタを透過し、前記第２の反射面が前記第２の光を反射することにより、前記第１の光と前記第２の光が合波され、
前記第１の面に垂直な方向において、前記第１フィルタの長さは、前記第２フィルタの長さと異なり、
前記第１の面に垂直な方向において、前記第１フィルタが前記第１の面に搭載される高さと前記第２フィルタが前記第１の面に搭載される高さとは、等しい、光モジュール。

【請求項2】

前記第１の反射面は、前記第２半導体発光素子から出射され前記第２フィルタを透過した光および前記第１半導体発光素子から出射され前記第２フィルタによって反射された光の少なくともいずれか１つの光の光路外に位置する、請求項１に記載の光モジュール。

【請求項3】

前記第１フィルタと前記第２フィルタとの間隔は、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である、請求項１または請求項２に記載の光モジュール。

【請求項4】

前記第１半導体発光素子から出射される前記第１の光または前記第２半導体発光素子から出射される前記第２の光のスポットサイズを変換するレンズをさらに備える、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の光モジュール。

【請求項5】

前記第２フィルタにより合波された光を反射するミラーを含み、前記第２フィルタにより合波された光を走査して出射するミラー駆動機構をさらに備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の光モジュール。

【請求項6】

前記第１フィルタおよび前記第２フィルタはそれぞれ、板状であり、
前記第１の面に垂直な方向に見て、前記第１フィルタの厚さ方向に垂直な方向の長さは、前記第２フィルタの厚さ方向に垂直な方向の長さよりも短い、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の光モジュール。

【請求項7】

第１の面を含むベース部材と、
前記第１の面上に搭載され、第１の波長を有する第１の光を出射する第１半導体発光素子と、
前記第１の面上に搭載され、前記第１の光を反射する第１の反射面を含む第１フィルタと、
前記第１の面上に搭載され、前記第１の波長と異なる第２の波長を有する第２の光を出射する第２半導体発光素子と、
前記第１の面上に搭載され、前記第２の光を反射する第２の反射面を含む第２フィルタと、
前記第１の面上に搭載され、前記第１の波長および前記第２の波長と異なる第３の波長を有する第３の光を出射するように構成された第３半導体発光素子と、
前記第１の面上に搭載され、前記第３の光を反射する第３の反射面を含む第３フィルタと、を備え、
前記第１の面に垂直な方向に見て、前記第１フィルタは、前記第２フィルタと前記第３フィルタの間に配置され、
前記第１の反射面によって反射された前記第１の光が前記第２フィルタを透過し、前記第２の反射面が前記第２の光を反射し、前記第３の反射面によって反射された前記第３の光が前記第１フィルタおよび前記第２フィルタを透過することにより、前記第１の光と前記第２の光と前記第３の光とが合波され、
前記第１の面に垂直な方向において、前記第１フィルタの長さは、前記第２フィルタの長さおよび前記第３フィルタの長さよりも長い、光モジュール。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、光モジュールに関するものである。
本出願は、２０２１年１月１８日出願の日本出願第２０２１―００５７２５号に基づく優先権を主張し、前記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。

【背景技術】

【0002】

発光素子を含む光モジュールが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に開示の光モジュールは、発光素子からの光を直接受けて波長を選択する波長選択フィルタを含む。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００９－９３１０１号公報

【発明の概要】

【0004】

本開示の一態様に係る光モジュールは、第１の面を含むベース部材と、第１の面上に搭載され、第１の波長を有する第１の光を出射するように構成された第１半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第１の光を反射する第１の反射面を含む第１フィルタと、第１の面上に搭載され、第１の波長と異なる第２の波長を有する第２の光を出射するように構成された第２半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第２の光を反射する第２の反射面を含む第２フィルタと、を備える。第１の反射面によって反射された第１の光が第２フィルタを透過し、第２の反射面が第２の光を反射することにより、第１の光と第２の光が合波される。第１の面に垂直な方向において、第１フィルタの長さは、第２フィルタの長さと異なる。

【0005】

本開示の別の態様に係る光モジュールは、第１の面を含むベース部材と、第１の面上に搭載され、第１の波長を有する第１の光を出射するように構成された第１半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第１の光を反射する第１の反射面を含む第１フィルタと、第１の面上に搭載され、第１の波長と異なる第２の波長を有する第２の光を出射するように構成された第２半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第２の光を反射する第２の反射面を含む第２フィルタと、第１の面上に搭載され、第１の波長および第２の波長と異なる第３の波長を有する第３の光を出射するように構成された第３半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、前記第３の光を反射する第３の反射面を含む第２フィルタと、を備える。第１の面に垂直な方向に見て、第１フィルタは、第２フィルタと第３フィルタの間に配置される。第１の反射面によって反射された第１の光が第２フィルタを透過し、第２の反射面が第２の光を反射し、第３の反射面によって反射された第３の光が第１フィルタおよび第２フィルタを透過することにより、第１の光と第２の光と第３の光とが合波される。第１の面に垂直な方向において、第１フィルタの長さは、第２フィルタの長さおよび第３フィルタの長さよりも長い。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、実施の形態１における光モジュールの外観を示す概略側面図である。

【図2】図２は、図１に示す光モジュールにおいてキャップを取り外した状態における概略側面図である。

【図3】図３は、図２に示す光モジュールの概略平面図である。

【図4】図４は、図３に示す光モジュールの一部を拡大して示す拡大図である。

【図5】図５は、実施の形態２における光モジュールの一部を拡大して示す概略平面図である。

【図6】図６は、実施の形態３における光モジュールの一部を拡大して示す概略斜視図である。

【図7】図７は、図６に示す光モジュールにおいて、キャップを含む平面で切断した場合の概略平面図である。

【図8】図８は、実施の形態４における光モジュールの概略斜視図である。

【図9】図９は、図８に示す光モジュールにおいてキャップを取り外した状態における概略斜視図である。

【図10】図１０は、図８に示す光モジュールにおいて、キャップを含む平面で切断した場合の概略平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

［本開示が解決しようとする課題］
複数の半導体発光素子と、複数の半導体発光素子から出射される光を合波するフィルタと、を備える光モジュールは、波長の異なる光が合波された光を出射することができる。光モジュールにおいては、昨今、小型化が求められている。光モジュールの小型化を実現するには、光モジュールを構成する各部品の小型化を図る必要がある。そして、光モジュールの製造時において、小型化した各部品を精度よく配置する必要がある。しかし、特許文献１に開示の光モジュールでは、小型化に対応することが困難な場合がある。

【0008】

そこで、小型化を図ることが容易な光モジュールを提供することを目的の１つとする。

【0009】

［本開示の効果］
上記光モジュールによれば、小型化を図ることが容易となる。

【0010】

［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
（１）本開示の一態様に係る光モジュールは、第１の面を含むベース部材と、第１の面上に搭載され、第１の波長を有する第１の光を出射するように構成された第１半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第１の光を反射する第１の反射面を含む第１フィルタと、第１の面上に搭載され、第１の波長と異なる第２の波長を有する第２の光を出射するように構成された第２半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第２の光を反射する第２の反射面を含む第２フィルタと、を備える。第１の反射面によって反射された第１の光が第２フィルタを透過し、第２の反射面が第２の光を反射することにより、第１の光と第２の光が合波される。第１の面に垂直な方向において、第１フィルタの長さは、第２フィルタの長さと異なる。

【0011】

光モジュールにおいては、ベース部材の第１の面上に、第１半導体発光素子、第２半導体発光素子、第１フィルタおよび第２フィルタが搭載される。光モジュールの製造方法の一例としては、たとえば第１半導体発光素子および第２半導体発光素子が搭載されたベース部材の第１の面上に、第１フィルタおよび第２フィルタがベース部材の第１の面上に搭載される。この時、第１フィルタおよび第２フィルタは、第１の面上に塗布された接着剤を利用して第１の面上に接着される。また、第１フィルタおよび第２フィルタは、第１半導体発光素子から出射される第１の光の出射方向や第２半導体発光素子から出射される第２の光の出射方向等を考慮して、第１の面上に搭載される。具体的には、フィルタを挟んで掴むピンセットのような治具を用いて、まず、第１フィルタおよび第２フィルタのうちのいずれかのフィルタを掴み、ベース部材の上方から載置するようにしてベース部材の第１の面上に搭載する。次に、治具をそのフィルタから取り外した後に、他のフィルタを治具によって掴み、ベース部材の上方から載置するようにして、他のフィルタを第１の面上に搭載する。ここで、光モジュールの小型化に際し、光モジュールを構成する各部品の小型化が進むと、第１フィルタと第２フィルタとの間隔も狭くなる。そうすると、後で搭載するフィルタを取り付けて治具を取り外す時に、先に搭載したフィルタと治具とが干渉する可能性がある。その結果、先に搭載したフィルタの位置がずれたり、先に搭載したフィルタが損傷する可能性がある。

【0012】

本開示の光モジュールによると、第１の面に垂直な方向において、第１フィルタの長さは、第２フィルタの長さと異なる。このような光モジュールにおいては、第１フィルタまたは第２フィルタのうち、上記の治具を用いてまず長さの短い方のフィルタを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面の所望の位置に搭載する。次に、長さの長い方のフィルタを治具によって挟んで掴み、その位置を調整して第１の面の所望の位置に搭載する。搭載後、治具をフィルタから取り外す際に、後に搭載した方のフィルタの長さの方が先に搭載した方のフィルタの長さよりも長いため、先に搭載した方のフィルタと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。よって、後にフィルタを搭載する際に、先に搭載したフィルタと治具とが接触して、先に搭載したフィルタの位置がずれたり、損傷する可能性を大きく低減することができる。したがって、後にフィルタを搭載する際に慎重な作業が要求されるといった、小型化した各部品の製造時における労力の軽減を図ることができる。その結果、このような光モジュールによると、小型化を図ることが容易となる。

【0013】

（２）上記光モジュールにおいて、第１の反射面は、第２半導体発光素子から出射され第２フィルタを透過した光および第１半導体発光素子から出射され第２フィルタによって反射された光の少なくともいずれか１つの光の光路外に位置してもよい。第２の光について、第２フィルタにおいては、微量ではあるが第２の反射面によって反射されず、第２フィルタを第２の光が一部透過する光がある。また、第１の光について、第２フィルタにおいては、微量ではあるが、第２の反射面ではない部分において、第１の光が一部反射する光がある。この一部透過した第２の光や一部反射した第１の光が第１フィルタの第１の反射面に到達して反射すると、合波された光と同じ出射方向の迷光となってしまう可能性がある。このような状況は、迷光が光モジュールの外部に出射される可能性があるため、好ましくない。

【0014】

上記光モジュールによると、第１の反射面は、第２半導体発光素子から出射され第２フィルタを透過した光および第１半導体発光素子から出射され第２フィルタによって反射された光の少なくともいずれか１つの光の光路外に位置する。よって、第２半導体発光素子から出射され第２の反射面で反射されず第２フィルタを透過した第２の光および第１半導体発光素子から出射され第２フィルタの第２の反射面ではない部分において反射した第１の光が第１の反射面に到達する可能性を低減することができる。そうすると、第２フィルタを透過した第２の光および第２フィルタによって反射された第１の光が第１の反射面によって反射され、迷光となる可能性を低減することができる。その結果、迷光が光モジュールの外部に出射される可能性を低減することができる。

【0015】

（３）上記光モジュールにおいて、第１フィルタと第２フィルタの間隔は、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であってもよい。このような光モジュールは、小型化を確実に実現することができる。

【0016】

（４）上記光モジュールにおいて、第１半導体発光素子から出射される第１の光または第２半導体発光素子から出射される第２の光のスポットサイズを変換するレンズをさらに備えてもよい。このようにすることにより、所望のスポットサイズを有する第１の光または第２の光を光モジュールから出射することができる。

【0017】

（５）上記光モジュールにおいて、第２フィルタにより合波された光を反射するミラーを含み、第２フィルタにより合波された光を走査して出射するミラー駆動機構をさらに備えてもよい。このような光モジュールは、第１の光および第２の光を合波した光を所望の経路に沿って走査することにより、文字や図形などを描画することができる。

【0018】

（６）上記光モジュールにおいて、第１フィルタおよび第２フィルタはそれぞれ、板状であってもよい。第１の面に垂直な方向に見て、第１フィルタの厚さ方向に垂直な方向の長さは、第２フィルタの厚さ方向に垂直な方向の長さよりも短くてもよい。このようにすることにより、第２半導体発光素子から出射され第２フィルタを透過した光および第１半導体発光素子から出射され第２フィルタによって反射された光の少なくともいずれか１つの光の光路外に第１の反射面を位置させることが容易となる。したがって、迷光が生ずる可能性を低減することが容易となる。

【0019】

（７）本開示の別の態様に係る光モジュールは、第１の面を含むベース部材と、第１の面上に搭載され、第１の波長を有する第１の光を出射するように構成された第１半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第１の光を反射する第１の反射面を含む第１フィルタと、第１の面上に搭載され、第１の波長と異なる第２の波長を有する第２の光を出射するように構成された第２半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、第２の光を反射する第２の反射面を含む第２フィルタと、第１の面上に搭載され、第１の波長および第２の波長と異なる第３の波長を有する第３の光を出射するように構成された第３半導体発光素子と、第１の面上に搭載され、前記第３の光を反射する第３の反射面を含む第２フィルタと、を備える。第１の面に垂直な方向に見て、第１フィルタは、第２フィルタと第３フィルタの間に配置される。第１の反射面によって反射された第１の光が第２フィルタを透過し、第２の反射面が第２の光を反射し、第３の反射面によって反射された第３の光が第１フィルタおよび第２フィルタを透過することにより、第１の光と第２の光と第３の光とが合波される。第１の面に垂直な方向において、第１フィルタの長さは、第２フィルタの長さおよび第３フィルタの長さよりも長い。

【0020】

本開示の別の態様に係る光モジュールの製造においては、上記の治具を用いて、まず、第１の面に垂直な方向において、第１フィルタよりも長さの短いフィルタ、つまり第２フィルタまたは第３フィルタのいずれかを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面の所望の位置に搭載する。次に、第１フィルタよりも長さの短いもう１つのフィルタを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面の所望の位置に搭載する。後で搭載したフィルタから治具を取り外す際には、第２フィルタと第３フィルタの間隔は比較的大きいため、先に搭載したフィルタと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。次に、第１の面に垂直な方向において、長さの最も長いフィルタ、つまり第１フィルタを治具によって挟んで掴み、その位置を調整して第１の面の所望の位置に搭載する。搭載後、治具を第１フィルタから取り外す際に、後に搭載した第１フィルタの長さが先に搭載した第２フィルタおよび第３フィルタの長さよりも長いため、第２フィルタおよび第３フィルタと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。よって、第１フィルタを搭載する際に、先に搭載した第２フィルタおよび第３フィルタと治具とが接触して、第２フィルタまたは第３フィルタの位置がずれたり、損傷する可能性を大きく低減することができる。したがって、後に第１フィルタを搭載する際に慎重な作業が要求されるといった、小型化した各部品の製造時における労力の軽減を図ることができる。したがって、本開示の別の態様では、３つのフィルタを備え、波長の異なる３つの光を合波して出射する光モジュールの小型化を図ることが容易となる。

【0021】

［本開示の実施形態の詳細］
次に、本開示の光モジュールの一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。

【0022】

（実施の形態１）
本開示の実施の形態１における光モジュールの構成について説明する。図１は、実施の形態１における光モジュールの外観を示す概略側面図である。図２は、図１に示す光モジュールにおいてキャップを取り外した状態における概略側面図である。図３は、図２に示す光モジュールの概略平面図である。図４は、図３に示す光モジュールの一部を拡大して示す拡大図である。

【0023】

図１、図２、図３および図４を参照して、実施の形態１における光モジュール１１ａは、基板１２と、ベース部材１３と、キャップ１４ａと、複数のリードピン１５ａと、光を形成する光形成部２０ａと、を含む。

【0024】

基板１２は、円板状である。基板１２は、基板１２の第１の主面１２ａと、基板１２の第１の主面１２ａとは異なる第２の主面１２ｂと、を含む。第１の主面１２ａおよび第２の主面１２ｂは、Ｘ－Ｚ平面に沿っている。複数のリードピン１５ａは、第１の主面１２ａから第２の主面１２ｂに貫通している。複数のリードピン１５ａはそれぞれ、Ｙ方向に延びるよう設けられている。複数のリードピン１５ａはそれぞれ、第１半導体発光素子４１等の後述する光形成部２０ａを構成する各部品と、図示しない配線等により電気的に接続されている。

【0025】

ベース部材１３は、平板状である。ベース部材１３は、ベース部材１３の第１の面１３ａと、ベース部材１３の第１の主面１３ａとは異なる第２の面１３ｂと、第１の面１３ａおよび第２の面１３ｂに接続される第３の面１３ｃと、を含む。第１の面１３ａおよび第２の面１３ｂはそれぞれ、Ｘ－Ｙ平面に沿っている。第３の面１３ｃは、Ｘ－Ｚ平面に沿っている。ベース部材１３の第１の面１３ａ上に、光形成部２０ａを構成する各部品が搭載される。ベース部材１３は、第３の面１３ｃが基板１２の第１の主面１２ａと接触するように配置されている。

【0026】

キャップ１４ａは、基板１２に対して溶接された蓋部である。キャップ１４ａは、光形成部２０ａおよびベース部材１３を覆うように第１の主面１２ａ上に接触して配置される。すなわち、光形成部２０ａおよびベース部材１３は、基板１２とキャップ１４ａによって取り囲まれる空間内に配置される。キャップ１４ａには、光形成部２０ａからの光が透過する出射窓１４ｂが形成されている。出射窓１４ｂには、ガラスから構成されており、光が透過する透過板が配置されている。

【0027】

光形成部２０ａは、第１ベースブロック２１ａと、第２ベースブロック２２ａと、第３ベースブロック２３ａと、第１の波長を有する第１の光を出射するように構成された第１半導体発光素子４１と、第２の波長を有する第２の光を出射するように構成された第２半導体発光素子４２と、第３の波長を有する第３の光を出射するように構成された第３半導体発光素子４３と、第１フィルタ６１ａと、第２フィルタ７１ａと、を含む。光形成部２０ａにより形成された光は、出射窓１４ｂを通過して光モジュール１１ａ外に出射される。
ここでは、第１半導体発光素子４１は緑色レーザダイオードであり、第２半導体発光素子４２は青色レーザダイオードであり、第３半導体発光素子４３は赤色レーザダイオードである。したがって、第１の波長を有する第１の光は緑色の光であり、第２の波長を有する第２の光は青色の光であり、第３の波長を有する第３の光は赤色の光である。

【0028】

第１ベースブロック２１ａ、第２ベースブロック２２ａおよび第３ベースブロック２３ａはそれぞれ、ベース部材１３の第１の面１３ａ上にそれぞれ間隔をあけて配置される。第１ベースブロック２１ａ上に第１半導体発光素子４１が配置される。第２ベースブロック２２ａ上に第２半導体発光素子４２が配置される。第３ベースブロック２３ａ上に第３半導体発光素子４３が配置される。第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３は、第１の面１３ａ上に搭載されている。第１半導体発光素子４１による緑色の光の出射方向と、第２半導体発光素子４２による青色の光の出射方向とは、いずれもＸ方向である。すなわち、緑色の光の光軸Ｌ_１１と、青色の光の光軸Ｌ_１２とは、平行である。第３半導体発光素子４３による赤色の光の出射方向は、第１半導体発光素子４１による緑色の光の出射方向および第２半導体発光素子４２による青色の光の出射方向と直交するＹ方向である。すなわち、赤色の光の光軸Ｌ_１３と、緑色の光の光軸Ｌ_１１および青色の光の光軸Ｌ_１２とはそれぞれ直交している。

【0029】

第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、たとえば波長選択性フィルタである。また、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、誘電体多層膜フィルタである。赤色の光は第１フィルタ６１ａを透過し、第１フィルタ６１ａは緑色の光を反射する。赤色の光および緑色の光は第２フィルタ７１ａを透過し、第２フィルタ７１ａは青色の光を反射する。

【0030】

第１フィルタ６１ａは、平板状である。第１フィルタ６１ａは、厚さ方向に見て矩形状である。フィルタの厚さ方向は、Ｘ－Ｙ平面に沿った方向である。第１フィルタ６１ａは、透明の板状部材６２ａと、誘電体多層膜６３ａと、を含む。板状部材６２ａの材質としては、たとえばガラス、具体的には、パイレックス（登録商標）や石英、ＢＫ７（登録商標）、テンパックス（登録商標）等が用いられる。誘電体多層膜６３ａは、板状部材６２ａの厚さ方向の２つの面のうちいずれかの面上に設けられている。第１フィルタ６１ａは、第１の面である第１の反射面６４ａと、第１の反射面とは異なる第２の面６５ａと、第３の面６６ａと、第４の面６７ａと、第５の面６８ａと、第６の面６９ａと、を含む。第３の面６６ａ、第４の面６７ａ、第５の面６８ａおよび第６の面６９ａはそれぞれ、第１の反射面６４ａおよび第２の面６５ａに接続される。第３の面６６ａおよび第４の面６７ａはそれぞれ、Ｘ－Ｙ平面に沿っている。第１の反射面６４ａと第２の面６５ａとは平行である。第３の面６６ａと第４の面６７ａとは平行である。第５の面６８ａと第６の面６９ａとは平行である。第５の面６８ａは、第１の反射面６４ａ、第２の面６５ａ、第３の面６６ａおよび第４の面６７ａにそれぞれ垂直な平面である。第６の面６９ａは、第１の反射面６４ａ、第２の面６５ａ、第３の面６６ａおよび第４の面６７ａにそれぞれ垂直な平面である。誘電体多層膜６３ａは、第１の反射面６４ａを含むように構成されている。第１の反射面６４ａは、第１の波長を有する第１の光である緑色の光を反射する面である。すなわち、第１フィルタ６１ａは、第１の光である緑色の光を反射する第１の反射面６４ａを含む。また、第３の波長を有する第３の光である赤色の光は、第１フィルタ６１ａを透過する。

【0031】

第２フィルタ７１ａは、平板状である。第２フィルタ７１ａは、厚さ方向に見て矩形状である。第２フィルタ７１ａは、透明の板状部材７２ａと、誘電体多層膜７３ａと、を含む。板状部材７２ａの材質としては、板状部材６２ａと同様のものが採用される。誘電体多層膜７３ａは、板状部材７２ａの厚さ方向の２つの面のうちいずれかの面上に設けられている。第２フィルタ７１ａは、第１の面である第２の反射面７４ａと、第１の面とは異なる第２の面７５ａと、第３の面７６ａと、第４の面７７ａと、第５の面７８ａと、第６の面７９ａと、を含む。第３の面７６ａ、第４の面７７ａ、第５の面７８ａおよび第６の面７９ａはそれぞれ、第２の反射面７４ａおよび第２の面７５ａに接続される。第３の面７６ａおよび第４の面７７ａはそれぞれ、Ｘ－Ｙ平面に沿っている。第２の反射面７４ａと第２の面７５ａとは平行である。第３の面７６ａと第４の面７７ａとは平行である。第５の面７８ａと第６の面７９ａとは平行である。第５の面７８ａは、第２の反射面７４ａ、第２の面７５ａ、第３の面７６ａおよび第４の面７７ａにそれぞれ垂直な平面である。第６の面７９ａは、第２の反射面７４ａ、第２の面７５ａ、第３の面７６ａおよび第４の面７７ａにそれぞれ垂直な平面である。誘電体多層膜７３ａは、第２の反射面７４ａを含むように構成されている。第２の反射面７４ａは、第２の波長を有する第２の光である青色の光を反射する面である。すなわち、第２フィルタ７１ａは、第２の光である青色の光を反射する第２の反射面７４ａを含む。また、第１の光である緑色の光および第３の光である赤色の光は、第２フィルタ７１ａを透過する。

【0032】

第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、第１の面１３ａ上に搭載される。具体的には、第１フィルタ６１ａの第４の面６７ａと第１の面１３ａとが対向するように配置される。また、第２フィルタ７１ａの第４の面７７ａと第１の面１３ａとが対向するように配置される。第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａはそれぞれ紫外線硬化樹脂等から構成される接着剤を利用して第１の面１３ａに取り付けられる。

【0033】

第１の面１３ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さは、第２フィルタ７１ａの長さと異なる。具体的には、図２中で示される第１フィルタ６１ａの第３の面６６ａと第４の面６７ａとの間隔である第１フィルタ６１ａの長さＨ_１は、第２フィルタ７１ａの第３の面７６ａと第４の面７７ａとの間隔である第２フィルタ７１ａの長さＨ_２よりも長い。本実施形態においては、第１フィルタ６１ａと第２フィルタ７１ａとは、厚さ方向に見て同じ矩形状であり、第１フィルタ６１ａは、長手方向が第１の面１３ａに取り付けられたいわゆる横向きの状態であり、第２フィルタ７１ａは、短手方向が第１の面１３ａに取り付けられたいわゆる縦向きの状態である。

【0034】

第１フィルタ６１ａは、第１の反射面６４ａにおいて、緑色の光を反射し、赤色の光が透過する位置に配置されている。第２フィルタ７１ａは、第２の反射面７４ａにおいて、青色の光を反射し、緑色の光および赤色の光が透過する位置に配置されている。第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａおよび第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａはそれぞれ、第１半導体発光素子４１および第２半導体発光素子４２から出射される光の出射方向に対して傾斜している。具体的には、第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａおよび第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａはそれぞれ、第１半導体発光素子４１および第２半導体発光素子４２から出射される緑色の光の光軸Ｌ_１１および青色の光の光軸Ｌ_１２に対して４５°傾斜している。本実施形態においては、第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａおよび第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａはそれぞれ、第３半導体発光素子４３から出射される赤色の光の光軸Ｌ_１３に対しても４５°傾斜している。その結果、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３から出射される光を合波する。合波された光の光軸Ｌ_１４は、出射窓１４ｂを通過するように構成されている。

【0035】

第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３から出射される光はそれぞれ拡散光である。第２半導体発光素子４２から出射される光の光路のうちの第１半導体発光素子４１側に拡散する光路については、光路Ｌ_１５で示される。ここで、第１の反射面６４ａは、光路Ｌ_１５に沿って第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した青色の光の光路Ｌ_１６外に位置する。本実施形態においては、第１の面１３ａに垂直な方向に見て、第１フィルタ６１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さＤ_１は、第２フィルタ７１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さＤ_２よりも短い。このようにすることにより、第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した青色の光の光路Ｌ_１６外に、第１の反射面６４ａが位置するよう構成している。

【0036】

また、第１フィルタ６１ａと第２フィルタ７１ａとの間隔Ｄ_３は、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。本実施形態においては、第１フィルタ６１ａと第２フィルタ７１ａとの間隔Ｄ_３は、第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａと第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａとの距離である。

【0037】

次に、光モジュール１１ａの製造方法の一例について、簡単に説明する。まず、第１ベースブロック２１ａ、第２ベースブロック２２ａ、第３ベースブロック２３ａ、第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３がベース部材１３に設けられた基板１２を準備する。そして、ベース部材１３の第１の面１３ａ上の所定の位置、具体的には、第１フィルタ６１ａを取り付ける所望の位置および第２フィルタ７１ａを取り付ける所望の位置に接着剤を塗布する。その後、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａを接着剤上に取り付けて、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａをベース部材１３の第１の面１３ａ上に搭載する。

【0038】

ここで、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａの取り付けについては、まず長さＨ_２の短い第２フィルタ７１ａから取り付ける。ここでは、第２フィルタ７１ａの上部分、すなわち第３の面７６ａに近い領域を治具により第２フィルタ７１ａの厚さ方向に挟み込むようにチャックして持ち上げる。そして、第２フィルタ７１ａを第２フィルタ７１ａの取り付け位置に取り付ける。具体的には、第２の反射面７４ａの位置が、第２半導体発光素子４２により出射される青色の光と第１半導体発光素子４１により出射され、第１の反射面６４ａによって反射される緑色の光および第３半導体発光素子４３により出射される赤色の光とが交わる部分に位置するように、第２フィルタ７１ａが取り付けられる。その後、治具を第２フィルタ７１ａの厚さ方向に開けて、第２フィルタ７１ａから治具を取り外す。

【0039】

次に、長さＨ_１の長い第１フィルタ６１ａを取り付ける。この場合も、第１フィルタ６１ａの上部分、すなわち、第３の面６６ａに近い領域を治具により第１フィルタ６１ａの厚さ方向に挟み込むようにチャックして持ち上げる。そして、第１フィルタ６１ａを第１フィルタ６１ａの取り付け位置に取り付ける。具体的には、第１の反射面６４ａの位置が、第１半導体発光素子４１により出射される緑色の光と第３半導体発光素子４３により出射される赤色の光とが交わる部分に位置するように、第１フィルタ６１ａが取り付けられる。その後、治具を第１フィルタ６１ａの厚さ方向に開けて、第１フィルタ６１ａから治具を取り外す。次に、接着剤を硬化させた後、複数のリードピン１５ａを基板１２に取り付け、リードピン１５ａへの配線等を施し、最後にキャップ１４ａを取り付ける。このようにして、光モジュール１１ａを組み立て、製造する。

【0040】

光モジュール１１ａでは、第１の面１３ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さＨ_１は、第２フィルタ７１ａの長さＨ_２と異なる。光モジュール１１ａにおいては、第１フィルタ６１ａまたは第２フィルタ７１ａのうち、上記の治具を用いて、まず長さの短い方のフィルタ、この場合は第２フィルタ７１ａを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。次に、長さの長い方のフィルタ、この場合は第１フィルタ６１ａを治具によって挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。搭載後、治具を第１フィルタ６１ａから取り外す際に、後に搭載した方である第１フィルタの長さＨ_１の方が先に搭載した方である第２フィルタ７１ａの長さＨ_２よりも長いため、先に搭載した方の第２フィルタ７１ａと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。よって、後に第１フィルタ６１ａを搭載する際に、先に搭載した第２フィルタ７１ａと治具とが接触して、先に搭載した第２フィルタ７１ａの位置がずれたり、損傷する可能性を大きく低減することができる。したがって、後に第１フィルタ６１ａを搭載する際に慎重な作業が要求されるといった、小型化した各部品の製造時における労力の軽減を図ることができる。その結果、光モジュール１１ａによると、小型化を図ることが容易となる。

【0041】

光モジュール１１ａにおいて、第２フィルタ７１ａは、第２半導体発光素子４２から出射される第２の光である青色の光を反射する第２の反射面７４ａを含む。ここで、第２フィルタ７１ａにおいては、微量ではあるが、第２の反射面７４ａによって反射されず、第２フィルタ７１ａを第２の光である青色の光が一部透過する光がある。この一部透過した青色の光が第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａに到達して反射すると、合波された光と同じ出射方向の迷光となってしまう可能性がある。このような状況は、迷光が光モジュール１１ａの外部に出射される可能性があるため、好ましくない。

【0042】

光モジュール１１ａによると、第１の反射面６４ａは、光路Ｌ_１５に沿って第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した青色の光の光路Ｌ_１６外に位置するため、第２の反射面７４ａで反射されず第２フィルタ７１ａを透過した青色の光が、第１の反射面６４ａに到達する可能性を低減することができる。そうすると、第２フィルタ７１ａを透過した青色の光が第１の反射面６４ａによって反射され、迷光となる可能性を低減することができる。その結果、迷光が光モジュール１１ａの外部に出射される可能性を低減することができる。

【0043】

光モジュール１１ａにおいて、第１フィルタ６１ａと第２フィルタ７１ａの間隔Ｄ_３は、０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。このような光モジュール１１ａは、小型化を確実に実現することができる。

【0044】

光モジュール１１ａにおいて、第１の面１３ａに垂直な方向に見て、第１フィルタ６１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さＤ_１は、第２フィルタ７１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さＤ_２よりも短い。よって、光路Ｌ_１５に沿って第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した青色の光の光路Ｌ_１６外に第１の反射面を位置させることが容易となる。したがって、迷光が生ずる可能性を低減することが容易となる。

【0045】

なお、上記の実施の形態においては、第１の反射面６４ａは、光路Ｌ_１５に沿って第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した光の光路Ｌ_１６外に位置することとしたが、これに限らず、第１の反射面６４ａは、光路Ｌ_１７に沿って第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａによって反射された光の光路Ｌ_１８外に位置してもよい。なお、第１半導体発光素子４１から出射される光の光路のうちの第３半導体発光素子４３側に拡散する光路については、光路Ｌ_１７で示される。すなわち、第１の反射面６４ａは、第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した光および第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａによって反射された光の少なくともいずれか１つの光の光路外に位置してもよい。このようにすることにより、第２半導体発光素子４２から出射され第２の反射面７４ａで反射されず第２フィルタ７１ａを透過した第２の光である青色の光および第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａではない部分において反射した第１の光である緑色の光の少なくともいずれか１つの光が、第１の反射面６４ａに到達する可能性を低減することができる。そうすると、第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した青色の光および第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａによって反射された緑色の光が第１の反射面６４ａによって反射され、迷光となる可能性を低減することができる。その結果、迷光が光モジュール１１ａの外部に出射される可能性を低減することができる。

【0046】

（実施の形態２）
次に、他の実施の形態である実施の形態２について説明する。図５は、実施の形態２における光モジュールの一部を拡大して示す概略平面図である。実施の形態２の光モジュールは、第１フィルタの構成が実施の形態１の場合と異なっている。

【0047】

図５を参照して、実施の形態２の光モジュール１１ｂに含まれる光形成部２０ｂにおいて、第１の面１３ａに垂直な方向に見て（つまりＸ－Ｙ平面において）、第１フィルタ６１ｂの厚さ方向に垂直な方向の長さＤ_４は、第２フィルタ７１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さＤ_２よりも長い。第１フィルタ６１ｂは、第１の面である第１の反射面６４ｂと、第１の面とは異なる第２の面６５ｂと、第３の面６６ｂと、第４の面６７ｂと、第５の面６８ｂと、第６の面６９ｂと、を含む。長さＤ_４は、第５の面６８ｂから第６の面６９ｂに至る長さである。そして、第１フィルタ６１ｂに含まれる誘電体多層膜６３ｂは、板状部材６２ｂの厚さ方向の２つの面のうちいずれかの面の全面に設けられているのではなく、一部に設けられている。具体的には、第１フィルタ６１ｂは、板状部材６２ｂと、誘電体多層膜６３ｂと、を含む。板状部材６２ｂは、第１の反射面６４ｂ側において、誘電体多層膜６３ｂが形成されていない領域７０ｂを含む。領域７０ｂは、板状部材６２ｂがそのまま配置されている部分であり、領域７０ｂでは、光は反射せずに透過する。

【0048】

このような構成によっても、第１の反射面６４ｂを第２半導体発光素子４２から出射される青色の光の光路Ｌ_１６外に位置させることができる。よって、領域７０ｂにおいては、光路Ｌ_１５に沿って第２半導体発光素子４２から出射され第２フィルタ７１ａを透過した青色の光が第１フィルタ６１ｂに到達し、到達した光が第１フィルタ６１ｂによって反射する可能性を低減することができる。したがって、迷光が生ずる可能性を低減することができる。

【0049】

（実施の形態３）
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態３について説明する。図６は、実施の形態３における光モジュールの一部を拡大して示す概略斜視図である。図７は、図６に示す光モジュールにおいて、キャップを含む平面で切断した場合の概略平面図である。実施の形態３の光モジュールは、レンズを含む点およびＴＥＣ（Ｔｈｅｒｍｏ－Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｃｏｏｌｅｒ）を含む点等において、実施の形態１の場合と異なっている。なお、図６においては、光モジュールに含まれるキャップの図示を省略している。

【0050】

図６および図７を参照して、実施の形態３の光モジュール１１ｃは、基板１６と、ベース部材１７と、キャップ１８ａと、複数のリードピン１５ｃと、光を形成する光形成部２０ｃと、を含む。

【0051】

基板１６は、平板状である。基板１６は、基板１６の第１の主面１６ａと、基板１６の第１の主面１６ａとは異なる第２の主面１６ｂと、を含む。第１の主面１６ａおよび第２の主面１６ｂは、Ｘ－Ｙ平面に沿っている。複数のリードピン１５ｃは、第１の主面１６ａから第２の主面１６ｂに貫通している。複数のリードピン１５ｃはそれぞれ、Ｚ方向に延びるよう設けられている。複数のリードピン１５ｃはそれぞれ、第１半導体発光素子４１等、後述する光形成部２０ｃを構成する各部品と電気的に接続されている。

【0052】

ベース部材１７は、平板状である。ベース部材１７は、ベース部材１７の第１の面１７ａと、ベース部材１７の第１の面１７ａとは異なる第２の面１７ｂと、を含む。第１の面１７ａおよび第２の面１７ｂはそれぞれ、Ｘ－Ｙ平面に沿っている。ベース部材１７の第１の面１７ａ上に、光形成部２０ｃを構成する各部品が搭載される。

【0053】

光モジュール１１ｃは、電子冷却モジュールであるＴＥＣ３１ｃを含む。ＴＥＣ３１ｃは、放熱板３２ｃと、吸熱板３３ｃと、複数の半導体柱３４ｃと、を含む。放熱板３２ｃおよび吸熱板３３ｃは、それぞれ一枚の平板状である。放熱板３２ｃと吸熱板３３ｃとは、ベース部材１７の厚さ方向に離れて配置される。複数の半導体柱３４ｃは、それぞれ間隔をあけて配置される。複数の半導体柱３４ｃは、１つの端部が放熱板３２ｃに接続され、もう１つの端部が吸熱板３３ｃに接続されるようにして取り付けられる。ＴＥＣ３１ｃは、基板１６と、ベース部材１７との間に配置される。ＴＥＣ３１ｃは、基板１６の第１の主面１６ａと放熱板３２ｃとが接触し、ベース部材１７の第２の面１７ｂと吸熱板３３ｃとが接触するように配置されている。ＴＥＣ３１ｃに電流を流すことにより、ベース部材１７の熱が基板１６側へと移動し、ベース部材１７、さらには光形成部２０ｃを構成する各部品が、冷却等、温度調節される。

【0054】

光形成部２０ｃは、第１ベースブロック２１ｃと、第２ベースブロック２２ｃと、第１半導体発光素子４１と、第２半導体発光素子４２と、第３半導体発光素子４３と、第１フィルタ６１ａと、第２フィルタ７１ａと、第１レンズ５１ｃと、第２レンズ５２ｃと、第３レンズ５３ｃと、を含む。第１レンズ５１ｃは、ベース部材１７の厚さ方向に見て、第１半導体発光素子４１と第１フィルタ６１ａとの間に配置される。第１レンズ５１ｃは、第１半導体発光素子から出射される第１の光である緑色の光のスポットサイズを変換する。この場合、第１レンズ５１ｃは、第１半導体発光素子４１から出射される拡散光を、コリメート光に変換する。第２レンズ５２ｃは、ベース部材１７の厚さ方向に見て、第２半導体発光素子４２と第２フィルタ７１ａとの間に配置される。第２レンズ５２ｃは、第２半導体発光素子４２から出射される第２の光である青色の光のスポットサイズを変換する。この場合、第２レンズ５２ｃは、第２半導体発光素子４２から出射される拡散光を、コリメート光に変換する。第３レンズ５３ｃは、ベース部材１７の厚さ方向に見て、第３半導体発光素子４３と第１フィルタ６１ａとの間に配置される。第３レンズ５３ｃは、第３半導体発光素子４３から出射される第３の光である赤色の光のスポットサイズを変換する。この場合、第３レンズ５３ｃは、第３半導体発光素子４３から出射される拡散光を、コリメート光に変換する。このようにすることにより、所望のスポットサイズを有する緑色の光、青色の光および赤色の光を光モジュール１１ｃから出射することができる。光形成部２０ｃにより形成された光は、出射窓１８ｂを通過して光モジュール１１ｃ外に出射される。

【0055】

第１ベースブロック２１ｃおよび第２ベースブロック２２ｃはそれぞれ、ベース部材１７の第１の面１７ａ上にそれぞれ間隔をあけて配置される。第１ベースブロック２１ｃ上に第１サブマウント２４ｃおよび第２サブマウント２５ｃが配置される。第１サブマウント２４ｃ上に第１半導体発光素子４１が配置される。第２サブマウント２５ｃ上に第２半導体発光素子４２が配置される。第２ベースブロック２２ｃ上に第３サブマウント２６ｃが配置される。第３サブマウント２６ｃ上に第３半導体発光素子４３が配置される。第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３は、第１の面１３ａ上に搭載されている。第１半導体発光素子４１による緑色の光の出射方向と、第２半導体発光素子４２による青色の光の出射方向とは、いずれもＸ方向である。すなわち、緑色の光の光軸Ｌ_３１と、青色の光の光軸Ｌ_３２とは、平行である。第３半導体発光素子４３による赤色の光の出射方向は、第１半導体発光素子４１による緑色の光の出射方向および第２半導体発光素子４２による青色の光の出射方向と直交するＹ方向である。すなわち、赤色の光の光軸Ｌ_３３と、緑色の光の光軸Ｌ_３１および青色の光の光軸Ｌ_３２とはそれぞれ直交している。

【0056】

第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、第１の面１７ａ上に搭載される。第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａはそれぞれ紫外線硬化樹脂等から構成される接着剤を利用して第１の面１７ａに取り付けられる。

【0057】

第１の面１７ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さは、第２フィルタ７１ａの長さと異なる。具体的には、第１の面１７ａに垂直な方向における第１フィルタ６１ａの長さは、第１の面１７ａに垂直な方向における第２フィルタ７１ａの長さよりも長い。

【0058】

第１フィルタ６１ａは、第１の反射面６４ａにおいて、緑色の光を反射し、赤色の光が透過する位置に配置されている。第２フィルタ７１ａは、第２の反射面７４ａにおいて、青色の光を反射し、緑色の光および赤色の光が透過する位置に配置されている。第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａおよび第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａはそれぞれ、第１半導体発光素子４１および第２半導体発光素子４２から出射される光の出射方向に対して傾斜している。具体的には、第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａおよび第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａはそれぞれ、第１半導体発光素子４１および第２半導体発光素子４２から出射される緑色の光の光軸Ｌ_３１および青色の光の光軸Ｌ_３２に対して４５°傾斜している。本実施形態においては、第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａおよび第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａはそれぞれ、第３半導体発光素子４３から出射される赤色の光の光軸Ｌ_３３に対しても４５°傾斜している。その結果、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３から出射される光を合波する。合波された光の光軸Ｌ_３４は、出射窓１８ｂを通過するように構成されている。

【0059】

第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３から出射される光はそれぞれ拡散光である。第１半導体発光素子４１から出射される光の光路のうちの第３半導体発光素子４３側に拡散する光路については、光路Ｌ_３５で示される。光路Ｌ_３５に沿って第１半導体発光素子４１から出射された緑色の光は、第１レンズ５１ｃを通って光路Ｌ_３６に沿って進行し、第１フィルタ６１ａの第１の反射面６４ａによって反射する。その後、光路Ｌ_３７に沿って進行する。そして、光路Ｌ_３７に沿って進行した微量の光が第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａにおいて反射する。ここで、第１の反射面６４ａは、第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａによって反射された緑色の光の光路Ｌ_３８外に位置する。本実施形態においては、第１の面１７ａに垂直な方向に見て、第１フィルタ６１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さは、第２フィルタ７１ａの厚さ方向に垂直な方向の長さよりも短い。このようにすることにより、第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａによって反射された緑色の光の光路Ｌ_３８外に第１の反射面６４ａが位置するよう構成されている。

【0060】

次に、光モジュール１１ｃの製造方法の一例について、簡単に説明する。まず、基板１６の第１の主面１６ａ上にＴＥＣ３１ａを接着する。その後、第１サブマウント２４ｃおよび第２サブマウント２５ｃを含む第１ベースブロック２１ｃ、第３サブマウント２６ｃを含む第２ベースブロック２２ｃ、第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３がベース部材１７に設けられた基板１６をＴＥＣ３１ａ上に接着する。そして、ベース部材１７の第１の面１７ａ上の所定の位置、具体的には、第１フィルタ６１ａを取り付ける所望の位置および第２フィルタ７１ａを取り付ける所望の位置に接着剤を塗布する。その後、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａを接着剤上に取り付けて、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａをベース部材１７の第１の面１７ａ上に搭載する。

【0061】

ここで、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａの取り付けについては、まず第２フィルタ７１ａから取り付ける。ここでは、第２フィルタ７１ａの上部分を治具により第２フィルタ７１ａの厚さ方向に挟み込むようにチャックして持ち上げる。そして、第２フィルタ７１ａを第２フィルタ７１ａの取り付け位置に取り付ける。具体的には、第２の反射面７４ａの位置が、第２半導体発光素子４２により出射される青色の光と、第１半導体発光素子４１により出射され、第１の反射面６４ａによって反射される緑色の光および第３半導体発光素子４３により出射される赤色の光とが交わる部分に位置するように、第２フィルタ７１ａが取り付けられる。その後、治具を第２フィルタ７１ａの厚さ方向に開けて、第２フィルタ７１ａから治具を取り外す。

【0062】

次に、第１フィルタ６１ａを取り付ける。この場合も、第１フィルタ６１ａの上部分を治具により第１フィルタ６１ａの厚さ方向に挟み込むようにチャックして持ち上げる。そして、第１フィルタ６１ａを第１フィルタ６１ａの取り付け位置に取り付ける。具体的には、第１の反射面６４ａの位置が、第１半導体発光素子４１により出射される緑色の光と第３半導体発光素子４３により出射される赤色の光とが交わる部分に位置するように、第１フィルタ６１ａが取り付けられる。その後、治具を第１フィルタ６１ａの厚さ方向に開けて、第１フィルタ６１ａから治具を取り外す。次に、接着剤を硬化させる。その後、複数のリードピン１５ｃを基板１６に取り付け、リードピン１５ｃへの配線等を施し、最後にキャップ１８ａを取り付ける。このようにして、光モジュール１１ｃを組み立て、製造する。

【0063】

光モジュール１１ｃにおいても、第１の面１７ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さは、第２フィルタ７１ａの長さと異なる。光モジュール１１ｃにおいては、第１フィルタ６１ａまたは第２フィルタ７１ａのうち、上記の治具を用いて、まず長さの短い方のフィルタ、この場合は第２フィルタ７１ａを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。次に、長さの長い方のフィルタ、この場合は第１フィルタ６１ａを治具によって挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。搭載後、治具を第１フィルタ６１ａから取り外す際に、後に搭載した方である第１フィルタ６１ａの長さの方が先に搭載した方である第２フィルタ７１ａの長さよりも長いため、先に搭載した方の第２フィルタ７１ａと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。よって、後に第１フィルタ６１ａを搭載する際に、先に搭載した第２フィルタ７１ａと治具とが接触して、先に搭載した第２フィルタ７１ａの位置がずれたり、損傷する可能性を大きく低減することができる。したがって、後に第１フィルタ６１ａを搭載する際に慎重な作業が要求されるといった、小型化した各部品の製造時における労力の軽減を図ることができる。その結果、光モジュール１１ｃによると、小型化を図ることが容易となる。

【0064】

光モジュール１１ｃでは、第１の反射面６４ａは、第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａによって反射された緑色の光の光路Ｌ_３８外に位置するため、第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａではない部分、この場合は、第２の面７５ａにおいて反射し光路Ｌ_３８に沿って進行する緑色の光が、第１の反射面６４ａに到達する可能性を低減することができる。そうすると、第２フィルタ７１ａによって反射された緑色の光が第１の反射面６４ａによって反射され、迷光となる可能性を低減することができる。その結果、迷光が光モジュール１１ｃの外部に出射される可能性を低減することができる。

【0065】

（実施の形態４）
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態４について説明する。図８は、実施の形態４における光モジュールの概略斜視図である。図９は、図８に示す光モジュールにおいてキャップを取り外した状態における概略斜視図である。図１０は、図８に示す光モジュールにおいて、キャップを含む平面で切断した場合の概略平面図である。実施の形態４の光モジュールは、ミラー駆動機構を含む点等において、実施の形態３の場合と異なっている。なお、図９においては、光モジュールに含まれるキャップの図示を省略している。

【0066】

図８、図９および図１０を参照して、実施の形態４の光モジュール１１ｄは、基板１６と、ベース部材１７と、出射窓１９ｂが設けられたキャップ１９ａと、複数のリードピン１５ｃと、ＴＥＣ３１ｃと、光を形成する光形成部２０ｄと、を含む。ベース部材１７の第１の面１７ａ上に、光形成部２０ｄを構成する各部品が搭載される。

【0067】

光形成部２０ｄは、第１ベースブロック２１ｃと、第１半導体発光素子４１と、第２半導体発光素子４２と、第３半導体発光素子４３と、第１フィルタ６１ａと、第２フィルタ７１ａと、第３フィルタ８１ｄと、第１レンズ５１ｃと、第２レンズ５２ｃと、第３レンズ５３ｃと、を含む。第１フィルタ６１ａは、第１の反射面６４ａが第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａによって反射された緑色の光の光路Ｌ_４５外に位置するよう配置されている。

【0068】

第３フィルタ８１ｄは、たとえば波長選択性フィルタである。また、第３フィルタ８１ｄは、誘電体多層膜フィルタである。第３フィルタ８１ｄは、第３半導体発光素子４３から出射される第３の波長を有する光である赤色の光を反射する。第３フィルタ８１ｄは、平板状である。第３フィルタ８１ｄは、厚さ方向に見て矩形状である。第３フィルタ８１ｄの構成は、反射する光の波長が異なる以外は、第２フィルタ７１ａの構成と同等であるため、その説明を省略する。

【0069】

第３レンズ５３ｃは、ベース部材１７の厚さ方向に見て、第３半導体発光素子４３と第３フィルタ８１ｄとの間に配置される。第３フィルタ８１ｄは、第１の面１７ａ上に搭載される。第３フィルタ８１ｄは、Ｘ方向において、第１フィルタ６１ａの横に取り付けられる。すなわち、第１フィルタ６１ａは、Ｘ方向において、第２フィルタ７１ａと第３フィルタ８１ｄとの間に配置されることとなる。言い換えると、ベース部材１７の第１の面１７ａに垂直な方向に見て、第１フィルタ６１ａは、第２フィルタ７１ａと第３フィルタ８１ｄとの間に配置されることとなる。第３フィルタ８１ｄは紫外線硬化樹脂等から構成される接着剤を利用して第１の面１７ａに取り付けられる。

【0070】

第１ベースブロック２１ｃは、ベース部材１７の第１の面１７ａ上に配置される。第１ベースブロック２１ｃ上に第１サブマウント２４ｃ、第２サブマウント２５ｃおよび第３サブマウント２６ｃが配置される。第１サブマウント２４ｃ上に第１半導体発光素子４１が配置される。第２サブマウント２５ｃ上に第２半導体発光素子４２が配置される。第３サブマウント２６ｃ上に第３半導体発光素子４３が配置される。第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３は、第１の面１３ａ上に搭載されている。第１半導体発光素子４１による緑色の光の出射方向と、第２半導体発光素子４２による青色の光の出射方向と、第３半導体発光素子４３による赤色の光の出射方向とは、いずれもＸ方向である。すなわち、緑色の光の光軸Ｌ_４１と、青色の光の光軸Ｌ_４２と、赤色の光の光軸Ｌ_４３とは、平行である。

【0071】

第１の面１７ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さは、第３フィルタ８１ｄの長さと異なる。具体的には、第１の面１７ａに垂直な方向における第１フィルタ６１ａの長さは、第１の面１７ａに垂直な方向における第３フィルタ８１ｄの長さよりも長い。また、本実施形態においては、第１の面１７ａに垂直な方向における第１フィルタ６１ａの長さは、第１の面１７ａに垂直な方向における第２フィルタ７１ａの長さよりも長い。つまり、第１の面１７ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さは、第２フィルタ７１ａの長さおよび第３フィルタ８１ｄの長さよりも長い。

【0072】

第３フィルタ８１ｄは、第３の反射面８４ｄにおいて、赤色の光を反射する位置に配置されている。第３フィルタ８１ｄの第３の反射面８４ｄは、第３半導体発光素子４３から出射される光の出射方向に対して傾斜している。具体的には、第３フィルタ８１ｄの第３の反射面８４ｄは、第３半導体発光素子４３から出射される赤色の光の光軸Ｌ_４３に対して４５°傾斜している。その結果、第１フィルタ６１ａおよび第２フィルタ７１ａは、第１半導体発光素子４１、第２半導体発光素子４２および第３半導体発光素子４３から出射される光を合波する。

【0073】

光モジュール１１ｄに含まれる光形成部２０ｄは、ミラー駆動機構９１ｄを含む。ミラー駆動機構９１ｄは、第２フィルタ７１ａにより合波された光を反射するミラー９２ｄを含む。ミラー駆動機構９１ｄは、ＴＥＣ３１ｃ上に配置されている。具体的には、第２フィルタ７１ａによって合波された光軸Ｌ_４４の光が、揺動するミラー９２ｄに当たって反射し、その反射した光が出射窓１９ｂから出射することができるように、ミラー駆動機構９１ｄは配置されている。ミラー駆動機構９１ｄは、第２フィルタ７１ａにより合波された光を走査して出射する。すなわち、光形成部２０ｄにより形成された光は、出射窓１９ｂを通過して光モジュール１１ｄ外に出射される。光モジュール１１ｄは、第１の光である緑色の光、第２の光である青色の光および第３の光である赤色の光を合波した光を所望の経路に沿って走査することにより、文字や図形などを描画することができる。

【0074】

光モジュール１１ｄにおいても、第１の面１７ａに垂直な方向において、第１フィルタ６１ａの長さは、第２フィルタ７１ａの長さと異なる。光モジュール１１ｄにおいては、第１フィルタ６１ａ、第２フィルタ７１ａまたは第３フィルタ８１ｄのうち、上記の治具を用いて、まず長さの短い方のフィルタ、この場合は第２フィルタ７１ａまたは第３フィルタ８１ｄのいずれか、たとえば第２フィルタ７１ａを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。次に、第３フィルタ８１ｄを挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。この場合、搭載後、治具を第３フィルタ８１ｄから取り外す際に、後に搭載した方である第３フィルタ８１ｄと第２フィルタ７１ａとの間隔が大きいため、先に搭載した方の第２フィルタ７１ａと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。次に、長さの長い方のフィルタ、この場合は第１フィルタ６１ａを治具によって挟んで掴み、その位置を調整して第１の面１３ａの所望の位置に搭載する。搭載後、治具を第１フィルタ６１ａから取り外す際に、後に搭載した方である第１フィルタ６１ａの長さの方が先に搭載した方である第２フィルタ７１ａおよび第３フィルタ８１ｄの長さよりも長いため、先に搭載した方の第２フィルタ７１ａおよび第３フィルタ８１ｄと治具とが干渉する可能性を大きく低減することができる。よって、後に第１フィルタ６１ａを搭載する際に、先に搭載した第２フィルタ７１ａおよび第３フィルタ８１ｄと治具とが接触して、先に搭載した第２フィルタ７１ａまたは第３フィルタ８１ｄの位置がずれたり、損傷する可能性を大きく低減することができる。したがって、後に第１フィルタ６１ａを搭載する際に慎重な作業が要求されるといった、小型化した各部品の製造時における労力の軽減を図ることができる。その結果、光モジュール１１ｄによると、小型化を図ることが容易となる。

【0075】

光モジュール１１ｄでは、第１の反射面６４ａは、第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の面７５ａによって反射された緑色の光の光路Ｌ_４５外に位置するため、第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａの第２の反射面７４ａではない部分、この場合は、第２の面７５ａにおいて反射した緑色の光が、第１の反射面６４ａに到達する可能性を低減することができる。そうすると、第１半導体発光素子４１から出射され第２フィルタ７１ａによって反射された緑色の光が第１の反射面６４ａによって反射され、迷光となる可能性を低減することができる。その結果、迷光が光モジュール１１ｄの外部に出射される可能性を低減することができる。

【0076】

（他の実施の形態）
なお、上記の実施の形態においては、光モジュールは、第１半導体発光素子と、第２半導体発光素子と、第３半導体発光素子とを含むこととしたが、これに限らず、光モジュールは、第３半導体発光素子を含まないよう構成してもよい。この場合、第１半導体発光素子と第２半導体発光素子との組み合わせについては、それぞれ波長の異なる光であればよい。

【0077】

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本開示の範囲は上記の説明ではなく、請求の範囲によって規定され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0078】

１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ 光モジュール、 １２，１６ 基板、 １２ａ，１６ａ 第１の主面、１２ｂ，１６ｂ 第２の主面、 １３，１７ ベース部材、 １３ａ，１７ａ 第１の面、 １３ｂ，１７ｂ，６５ａ，６５ｂ，７５ａ 第２の面、 １３ｃ，６６ａ，６６ｂ，７６ａ 第３の面、 １４ａ，１８ａ，１９ａ キャップ、 １４ｂ，１８ｂ，１９ｂ 出射窓、 １５ａ，１５ｃ リードピン、 ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ 光形成部、 ２１ａ，２１ｃ 第１ベースブロック、 ２２ａ，２２ｃ 第２ベースブロック、 ２３ａ 第３ベースブロック、 ２４ｃ 第１サブマウント、 ２５ｃ 第２サブマウント、 ２６ｃ 第３サブマウント、 ３１ｃ ＴＥＣ、 ３２ｃ 放熱板、 ３３ｃ 吸熱板、 ３４ｃ 半導体柱、 ４１ 第１半導体発光素子、 ４２ 第２半導体発光素子、 ４３ 第３半導体発光素子、 ５１ｃ 第１レンズ、 ５２ｃ 第２レンズ、 ５３ｃ 第３レンズ、 ６１ａ，６１ｂ 第１フィルタ、６２ａ，６２ｂ，７２ａ 板状部材、 ６３ａ，６３ｂ，７３ａ 誘電体多層膜、 ６４ａ，６４ｂ 第１の反射面、 ６７ａ，６７ｂ，７７ａ 第４の面、 ６８ａ，６８ｂ，７８ａ 第５の面、 ６９ａ，６９ｂ，７９ａ 第６の面、 ７０ｂ 領域、 ７１ａ 第２フィルタ、 ７４ａ 第２の反射面、 ８１ｄ 第３フィルタ、 ８４ｄ 第３の反射面、 ９１ｄ ミラー駆動機構、 ９２ｄ ミラー、 Ｄ_１，Ｄ_２，Ｄ_４，Ｈ_１，Ｈ_２ 長さ、 Ｄ_３ 間隔、 Ｌ_１１，Ｌ_１２，Ｌ_１３，Ｌ_１４，Ｌ_３１，Ｌ_３２，Ｌ_３３，Ｌ_３４，Ｌ_４１，Ｌ_４２，Ｌ_４３，Ｌ_４４ 光軸、 Ｌ_１５，Ｌ_１６，Ｌ_１７，Ｌ_１８，Ｌ_３５，Ｌ_３６，Ｌ_３７，Ｌ_３８，Ｌ_４５ 光路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】