発明の名称 半導体結晶ウェハの製造方法
出願人 有限会社ドライケミカルズ (識別番号 521081850)
特許公開件数ランキング 14468 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 12296 位(0件)(共同出願を含む)
出願人 国立大学法人埼玉大学 (識別番号 504190548)
特許公開件数ランキング 1635 位(7件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1805 位(7件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7679948
公報発行日 2025年5月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7679948
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