特許 7682347 放射線変換ユニット及び放射線変換ユニットの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-05-15

(45)【発行日】2025-05-23

(54)【発明の名称】放射線変換ユニット及び放射線変換ユニットの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01T 1/20 20060101AFI20250516BHJP

【ＦＩ】

G01T1/20 L

G01T1/20 E

G01T1/20 G

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2024088181

(22)【出願日】2024-05-30

【審査請求日】2025-04-04

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000236436

【氏名又は名称】浜松ホトニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(72)【発明者】

【氏名】外山 真太郎

(72)【発明者】

【氏名】櫻井 純

(72)【発明者】

【氏名】白川 和広

(72)【発明者】

【氏名】畑中 将志

(72)【発明者】

【氏名】吉田 聖崇

【審査官】中尾 太郎

(56)【参考文献】

【文献】特開２００５－１７２５１１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｔ １／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

受光部と、
前記受光部上に配置されたシンチレータパネルと、を備え、
前記シンチレータパネルは、
支持層と、
前記支持層に対して前記受光部側に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、
前記シンチレータ層に対して前記受光部側に配置されており、前記受光部に接触している粘着層と、
前記シンチレータ層の外縁部及び前記粘着層の外縁部を一体で覆っている第１防湿層と、を含み、
前記第１防湿層における前記受光部側の縁部は、前記粘着層の前記外縁部に対する内側において前記受光部と前記粘着層との間に配置された内側部分、及び、前記粘着層の前記外縁部に対する外側において前記受光部上に配置された外側部分の少なくとも一方を含み、
前記第１防湿層における前記受光部側の前記縁部は、前記内側部分を含む、放射線変換ユニット。

【請求項2】

受光部と、
前記受光部上に配置されたシンチレータパネルと、を備え、
前記シンチレータパネルは、
支持層と、
前記支持層に対して前記受光部側に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、
前記シンチレータ層に対して前記受光部側に配置されており、前記受光部に接触している粘着層と、
前記シンチレータ層の外縁部及び前記粘着層の外縁部を一体で覆っている第１防湿層と、を含み、
前記第１防湿層における前記受光部側の縁部は、前記粘着層の前記外縁部に対する内側において前記受光部と前記粘着層との間に配置された内側部分、及び、前記粘着層の前記外縁部に対する外側において前記受光部上に配置された外側部分の少なくとも一方を含み、
前記内側部分及び前記外側部分のそれぞれの幅は、０．５μｍ以上３００μｍ以下である、放射線変換ユニット。

【請求項3】

受光部と、
前記受光部上に配置されたシンチレータパネルと、を備え、
前記シンチレータパネルは、
支持層と、
前記支持層に対して前記受光部側に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、
前記シンチレータ層に対して前記受光部側に配置されており、前記受光部に接触している粘着層と、
前記シンチレータ層の外縁部及び前記粘着層の外縁部を一体で覆っている第１防湿層と、を含み、
前記第１防湿層における前記受光部側の縁部は、前記粘着層の前記外縁部に対する内側において前記受光部と前記粘着層との間に配置された内側部分、及び、前記粘着層の前記外縁部に対する外側において前記受光部上に配置された外側部分の少なくとも一方を含み、
前記第１防湿層は、前記支持層の外縁部、及び前記支持層における前記シンチレータ層とは反対側の表面を更に一体で覆っている、放射線変換ユニット。

【請求項4】

受光部と、
前記受光部上に配置されたシンチレータパネルと、を備え、
前記シンチレータパネルは、
支持層と、
前記支持層に対して前記受光部側に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、
前記シンチレータ層に対して前記受光部側に配置されており、前記受光部に接触している粘着層と、
前記シンチレータ層の外縁部及び前記粘着層の外縁部を一体で覆っている第１防湿層と、を含み、
前記第１防湿層における前記受光部側の縁部は、前記粘着層の前記外縁部に対する内側において前記受光部と前記粘着層との間に配置された内側部分、及び、前記粘着層の前記外縁部に対する外側において前記受光部上に配置された外側部分の少なくとも一方を含み、
前記支持層の厚さ方向から見た場合に、前記支持層の外縁、前記シンチレータ層の外縁、及び前記粘着層の外縁は、一致している、放射線変換ユニット。

【請求項5】

前記第１防湿層における前記受光部側の前記縁部は、前記外側部分を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載の放射線変換ユニット。

【請求項6】

前記シンチレータ層と前記粘着層との間に配置された第２防湿層を更に備える、請求項１～４のいずれか一項に記載の放射線変換ユニット。

【請求項7】

前記受光部は、センサパネルである、請求項１～４のいずれか一項に記載の放射線変換ユニット。

【請求項8】

前記第１防湿層における前記受光部側の前記縁部は、前記内側部分を含む、請求項２～４のいずれか一項に記載の放射線変換ユニット。

【請求項9】

前記内側部分及び前記外側部分のそれぞれの幅は、０．５μｍ以上３００μｍ以下である、請求項３又は４に記載の放射線変換ユニット。

【請求項10】

前記第１防湿層は、前記支持層の外縁部、及び前記支持層における前記シンチレータ層とは反対側の表面を更に一体で覆っている、請求項４に記載の放射線変換ユニット。

【請求項11】

支持層と、前記支持層上に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、前記シンチレータ層上に配置された粘着層と、前記粘着層上に配置された剥離層と、前記シンチレータ層の外縁部、前記粘着層の外縁部、前記剥離層の外縁部、及び、前記剥離層における前記粘着層とは反対側の表面を一体で覆っている防湿層と、を備えるシンチレータパネルを用意するステップと、
前記防湿層のうち前記剥離層の前記表面を覆っている部分を前記剥離層と共に除去するステップと、
前記粘着層を介して前記シンチレータパネルを受光部に貼り付けるステップと、を備える放射線変換ユニットの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、放射線変換ユニット及び放射線変換ユニットの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の放射線変換ユニット（放射線検出器）として、特許文献１には、放射線を光に変換するシンチレータパネルと変換された光を検出するセンサパネルとが接着剤層を介して貼り合わされた構成が記載されている。特許文献１に記載の構成では、柱状結晶層（シンチレータ層）が防湿保護層によって被覆されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００５－１７２５１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような放射線変換ユニットでは、シンチレータ層の防湿性を確保することが極めて重要である。

【0005】

本発明は、シンチレータ層の防湿性を十分に確保することができる放射線変換ユニット、及びそのような放射線変換ユニットを得ることができる放射線変換ユニットの製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の放射線変換ユニットは、［１］「受光部と、前記受光部上に配置されたシンチレータパネルと、を備え、前記シンチレータパネルは、支持層と、前記支持層に対して前記受光部側に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、前記シンチレータ層に対して前記受光部側に配置されており、前記受光部に接触している粘着層と、前記シンチレータ層の外縁部及び前記粘着層の外縁部を一体で覆っている第１防湿層と、を含み、前記第１防湿層における前記受光部側の縁部は、前記粘着層の前記外縁部に対する内側において前記受光部と前記粘着層との間に配置された内側部分、及び、前記粘着層の前記外縁部に対する外側において前記受光部上に配置された外側部分の少なくとも一方を含む、放射線変換ユニット」である。

【0007】

上記［１］に記載の放射線変換ユニットでは、第１防湿層が、シンチレータ層の外縁部及び粘着層の外縁部を一体で覆っている。これにより、シンチレータ層の外縁部、粘着層の外縁部、及び、シンチレータ層と粘着層との界面から水分が侵入することが抑制される。さらに、第１防湿層における受光部側の縁部は、粘着層の外縁部に対する内側において受光部と粘着層との間に配置された内側部分、及び、粘着層の外縁部に対する外側において受光部上に配置された外側部分を含む。これにより、第１防湿層の縁部と受光部との接触面積が増え、第１防湿層の縁部と受光部との界面から水分が侵入することが抑制される。以上により、上記放射線変換ユニットによれば、シンチレータ層の防湿性を十分に確保することができる。

【0008】

本発明の放射線変換ユニットは、［２］「前記第１防湿層における前記受光部側の前記縁部は、前記内側部分を含む、上記［１］に記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［２］に記載の放射線変換ユニットによれば、受光部上の領域のうち、シンチレータパネルの外縁よりも外側の領域を有効に活用し、この領域において、例えば、配線及びＩＣ回路等を配置することができる。

【0009】

本発明の放射線変換ユニットは、［３］「前記第１防湿層における前記受光部側の前記縁部は、前記外側部分を含む、上記［１］又は［２］に記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［３］に記載の放射線変換ユニットによれば、受光部上の領域のうち、受光部と粘着層とが接触している部分においては、第１防湿層が存在しないことから、受光部の受光領域を広く確保することができる。

【0010】

本発明の放射線変換ユニットは、［４］「前記内側部分及び前記外側部分のそれぞれの幅は、０．５μｍ以上３００μｍ以下である、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［４］に記載の放射線変換ユニットによれば、シンチレータ層の防湿性を確実に確保しつつ、受光領域が必要以上に狭まることを避けることができる。

【0011】

本発明の放射線変換ユニットは、［５］「前記第１防湿層は、前記支持層の外縁部、及び前記支持層における前記シンチレータ層とは反対側の表面を更に一体で覆っている、上記［１］～［４］のいずれか一つに記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［５］に記載の放射線変換ユニットによれば、第１防湿層が、支持層の外縁部、及び支持層におけるシンチレータ層とは反対側の表面を更に一体で覆っていることにより、支持層、及びシンチレータ層と支持層との界面が外部に露出しない。よって、支持層、及びシンチレータ層と支持層との界面から水分が侵入することを抑制することができ、シンチレータ層の防湿性を更に向上させることができる。

【0012】

本発明の放射線変換ユニットは、［６］「前記シンチレータ層と前記粘着層との間に配置された第２防湿層を更に備える、上記［１］～［５］のいずれか一つに記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［６］に記載の放射線変換ユニットによれば、シンチレータ層の防湿性をより十分に確保することができる。

【0013】

本発明の放射線変換ユニットは、［７］「支持層の厚さ方向から見た場合に、前記支持層の外縁、前記シンチレータ層の外縁、及び前記粘着層の外縁は、一致している、上記［１］～［６］のいずれか一つに記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［７］に記載の放射線変換ユニットによれば、シンチレータパネルを受光部に貼り付ける際に、シンチレータパネルと受光部との位置合わせが容易になる。

【0014】

本発明の放射線検出器放射線変換ユニットは、［８］「前記受光部は、センサパネルである、上記［１］～［７］のいずれか一つに記載の放射線変換ユニット」であってもよい。当該［８］に記載の放射線変換ユニットによれば、センサパネルを備えることで放射線検出器として動作可能な、シンチレータ層の防湿性の高い放射線変換ユニットを得ることができる。

【0015】

本発明の放射線変換ユニットの製造方法は、［９］「支持層と、前記支持層上に配置されており、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層と、前記シンチレータ層上に配置された粘着層と、前記粘着層上に配置された剥離層と、前記シンチレータ層の外縁部、前記粘着層の外縁部、前記剥離層の外縁部、及び、前記剥離層における前記粘着層とは反対側の表面を一体で覆っている防湿層と、を備えるシンチレータパネルを用意するステップと、前記防湿層のうち前記剥離層の前記表面を覆っている部分を前記剥離層と共に除去するステップと、前記粘着層を介して前記シンチレータパネルを受光部に貼り付けるステップと、を備える放射線変換ユニットの製造方法」である。

【0016】

当該［９］に記載の放射線変換ユニットの製造方法では、シンチレータ層の外縁部、粘着層の外縁部、剥離層の外縁部、及び、剥離層における粘着層とは反対側の表面を一体で覆っている防湿層を備えたシンチレータパネルが用意される。これにより、シンチレータパネルの未使用時において、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層の防湿性を確保することができる。更に、当該［８］に記載の放射線変換ユニットの製造方法では、防湿層のうち剥離層の表面を覆っている部分が剥離層と共に除去される。これにより、剥離層の外縁部を覆っていた防湿層の縁部が、粘着層の外縁部から受光部側に突出した状態となる。この状態で粘着層を介してシンチレータパネルが受光部に貼り付けられる。これにより、第１防湿層の縁部が、粘着層の外縁部に対する内側において受光部と粘着層との間に配置された内側部分、及び、粘着層の外縁部に対する外側において受光部上に配置された外側部分の少なくとも一方を含んだ状態となる。よって、当該［８］に記載の放射線変換ユニットの製造方法によれば、シンチレータ層の防湿性を十分に確保し得る放射線変換ユニットを得ることができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、シンチレータ層の防湿性を十分に確保することができる放射線変換ユニット、及びそのような放射線変換ユニットを得ることができる放射線検出器の製造方法を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】一実施形態のシンチレータパネルの断面図である。

【図2】図１に示されるシンチレータパネルを備える放射線検出器の断面図である。

【図3】図１に示されるシンチレータパネルの製造方法を示す図である。

【図4】図１に示されるシンチレータパネルの製造方法を示す図である。

【図5】図１に示されるシンチレータパネルの製造方法を示す図である。

【図6】図１に示されるシンチレータパネルの製造方法を示す図である。

【図7】図２に示される放射線検出器の製造方法を示す図である。

【図8】変形例の放射線検出器の断面図である。

【図9】変形例のシンチレータパネルの断面図である。

【図10】図９に示されるシンチレータパネルを備える放射線検出器の断面図である。

【図11】図９に示されるシンチレータパネルの製造方法を示す図である。

【図12】図９に示されるシンチレータパネルの製造方法を示す図である。

【図13】図１０に示される放射線検出器の製造方法を示す図である。

【図14】変形例のシンチレータパネルの断面図である。

【図15】変形例のシンチレータパネルの断面図である。

【図16】図１５に示されるシンチレータパネルの平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［シンチレータパネルの構成］

【0020】

図１に示されるように、シンチレータパネル１は、シンチレータユニット２と、第１防湿層３と、を備えている。第１防湿層３は、シンチレータユニット２を覆っている。シンチレータユニット２は、支持層４と、シンチレータ層５と、粘着層６と、剥離層７と、第２防湿層８と、を備えている。シンチレータ層５は、支持層４上に配置されている。粘着層６は、シンチレータ層５上に配置されている。剥離層７は、粘着層６上に配置されている。換言すれば、シンチレータ層５、第２防湿層８、粘着層６及び剥離層７は、支持層４の厚さ方向（以下、「方向Ａ」）において、この順序で支持層４上に積層されている。つまり、第２防湿層８は、シンチレータ層５と粘着層６との間に配置されている。方向Ａから見た場合に、支持層４の外縁４ａ、シンチレータ層５の外縁５ａ、第２防湿層８の外縁８ａ、粘着層６の外縁６ａ及び剥離層７の外縁７ａは、一致している。すなわち、外縁４ａ、外縁５ａ、外縁８ａ、外縁６ａ及び外縁７ａは、面一な状態にある。

【0021】

第１防湿層３は、支持層４の外縁部４１、シンチレータ層５の外縁部５１、第２防湿層８の外縁部８１、粘着層６の外縁部６１、剥離層７の外縁部７１、及び、剥離層７の表面７ｂ、及び支持層４の表面４ｂを一体で覆っている。剥離層７の表面７ｂは、剥離層７における粘着層６とは反対側の表面である。支持層４の表面４ｂは、支持層４におけるシンチレータ層５とは反対側の表面である。すなわち、第１防湿層３は、シンチレータユニット２を連続的に切れ目なく一体で覆っている。このため、シンチレータパネル１では、第１防湿層３と各層との界面が外部に露出していない。第１防湿層３は、外部からシンチレータユニット２内に水分が侵入することを抑制する機能を有している。シンチレータパネル１では、第１防湿層３の厚さは、シンチレータユニット２の全面に亘って均一であり、０．５μｍ以上４０μｍ以下である。第１防湿層３の材料は、例えば、パリレン（ポリパラキシレン）である。

【0022】

支持層４は、第１支持層４０１と、第２支持層４０２と、を含んでいる。第２支持層４０２は、第１支持層４０１に対してシンチレータ層５側に位置した状態で第１支持層４０１上に配置されている。第１支持層４０１の外縁部及び第２支持層４０２の外縁部は、支持層４の外縁部４１を構成している。方向Ａから見た場合に、第１支持層４０１の外縁及び第２支持層４０２の外縁は一致している。

【0023】

第１支持層４０１は、外部からシンチレータユニット２内に水分が侵入することを抑制する機能、及び外部からシンチレータユニット２内に光が入射することを抑制する機能を有している。第１支持層４０１の材料は、例えば、樹脂材料と金属材料とが組み合わされた複合材料である。一例として、第１支持層４０１の材料は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）とＡｌとの複合材料である。第１支持層４０１に含まれる樹脂材料は、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＵ（ポリウレタン）、ＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル）等であってもよい。第１支持層４０１に含まれる金属材料は、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｆｅ、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等であってもよい。

【0024】

第２支持層４０２は、放射線（例えば、Ｘ線）の入射に応じてシンチレータ層５において発せられた光を反射する機能を有している。第２支持層４０２の材料は、例えば、樹脂材料と白色の無機材料とが組み合わされた複合材料である。一例として、第２支持層４０２の材料は、ＰＥＴと白色の無機材料との複合材料である。樹脂材料は、ＰＥＴ以外には、例えば、ＰＥＮ、ＰＩ、ＰＰ、ＰＥ、ＰＵ、ＰＭＭＡ等である。白色の無機材料は、例えば、ＴｉＯ_２、ＺｎＯ、ＬＡＳ（リチウムアルミニウムシリケート）等である。

【0025】

第１支持層４０１の厚さは、例えば、３０μｍ以上２５０μｍ以下である。第２支持層４０２の厚さは、例えば、１０μｍ以上２５０μｍ以下である。支持層４は、可撓性を有している。支持層４は、例えば、３０ｍｍ以上１２０ｍｍ以下の曲率半径を有するように撓められ得る。

【0026】

シンチレータ層５は、第２支持層４０２における第１支持層４０１とは反対側の表面上に配置されている。シンチレータ層５は、複数の柱状結晶５０を含んでいる。複数の柱状結晶５０は、方向Ａに垂直な平面に沿って並んでいる。各柱状結晶５０は、方向Ａに延在しており、全領域にわたって略均一な高さ（厚さ）を有している。各柱状結晶５０は、支持層４とは反対側の第１端部５０ａと、支持層４側の第２端部５０ｂと、を含んでいる。各第１端部５０ａは、支持層４とは反対側に向かって細くなっている。シンチレータ層５の材料は、例えば、ＣｓＩ：Ｔｌ（タリウムを賦活剤として含むヨウ化セシウム）、ＣｓＩ：Ｎａ（ナトリウムを賦活剤として含むヨウ化セシウム）、ＣｓＩ：Ｃｅ（セリウムを賦活剤として含むヨウ化セシウム）、ＣｓＩ：Ｔｌ，Ｅｕ（タリウム及びユーロピウムを賦活剤として含むヨウ化セシウム）等である。シンチレータ層５の厚さは、例えば、５０μｍ以上１０００μｍ以下（好ましくは、解像度を求める場合は１００μｍ以上３００μｍ以下、感度を求める場合は４００μｍ以上７００μｍ以下）である。

【0027】

第２防湿層８は、複数の第１端部５０ａを覆っている。第２防湿層８は、仮に粘着層６が水分を含んだとしても、粘着層６からシンチレータ層５に水分が移動することを抑制する機能を有している。第２防湿層８の材料は、例えば、パリレン（ポリパラキシレン）である。第２防湿層８の厚さは、第１防湿層３の厚さよりも小さい。第２防湿層８の厚さは、例えば、第１防湿層３の厚さの半分以下である。ここで、第２防湿層８の厚さとは、例えば、複数の第１端部５０ａが有する複数の先端が平面に沿って並んでいる場合に、当該平面と第２防湿層８におけるシンチレータ層５とは反対側の表面８ｂとの距離である。第２防湿層８の厚さは、０．５μｍ以上４０μｍ以下である。

【0028】

粘着層６は、第２防湿層８上に配置されている。粘着層６は、第２防湿層８の表面８ｂに接触している。粘着層６は、シンチレータパネル１をセンサパネル１１に貼り合わせるための接着層として機能する。粘着層６の材料は、光透過性を有する有機材料であり、例えば、ＯＣＡ（Optical Clear Adhesive）等である。粘着層６の厚さは、例えば、０．５μｍ以上５０μｍ以下である。

【0029】

剥離層７は、粘着層６におけるシンチレータ層５とは反対側の表面６ｂに接触している。剥離層７は、粘着層６の表面６ｂに対する離型性を有している。剥離層７は、例えば、離型フィルムであり、表面６ｂから容易に剥離可能である。剥離層７は、シンチレータパネル１の使用時には、粘着層６の表面６ｂから剥離される。剥離層７は、シンチレータパネル１の未使用時には、粘着層６の粘着性を保護し、不要な物質が粘着層６に付着するのを防ぐ。剥離層７の材料は、例えば、ＰＥＴ、ＰＥ、ＰＰ等である。剥離層７における粘着層６側の表面は、シリコーン系の離型剤によってコーティングされてもよい。これにより、剥離層７が粘着層６の表面６ｂから容易に剥離され得る。第１防湿層３は、剥離層７における粘着層６とは反対側の表面７ｂ側の外縁領域３ａにおいて、ユーザが剥離し易いように剥離きっかけ３２（脆弱部）を備えている。剥離きっかけ３２は、外縁領域３ａにおいて、剥離層７の表面７ｂ側の中心領域３ｂよりも強度が小さい。例えば、方向Ａから見た場合に矩形状であるシンチレータパネル１において、剥離きっかけ３２は、第１防湿層３における表面７ｂ側の４つの角部の少なくとも１つに設けられてもよい。剥離きっかけ３２は、図１に示されるように、第１防湿層３の角部に設けられた切込であってもよい。或いは、剥離きっかけ３２は、第１防湿層３の角部を含む外縁領域３ａの全周に亘って設けられた切込であってもよいし、剥離層７の表面７ｂに平行な方向に設けられた切込であってもよいし、方向Ａにおいて剥離層７の外縁７ａに平行な方向（表面７ｂに垂直な方向）に設けられた切込であってもよい。剥離層７の厚さは、５μｍ以上３００μｍ以下である。
［放射線検出器の構成］

【0030】

図２に示されるように、放射線検出器（放射線変換ユニット）１０は、上述したシンチレータパネル１と、センサパネル（受光部）１１と、を備えている。センサパネル１１は、受光面１１ａを有している。シンチレータパネル１は、シンチレータ層５が支持層４に対してセンサパネル１１側に位置した状態で、受光面１１ａ上に配置されている。シンチレータパネル１は、粘着層６によってセンサパネル１１に接着されている。センサパネル１１のうち受光面１１ａに沿った部分には、複数の光電変換素子（図示省略）が設けられている。各光電変換素子は、画素を構成しており、入射した光に応じた電気信号を出力する。放射線検出器１０では、放射線の入射に応じてシンチレータパネル１のシンチレータ層５において発せられた光がセンサパネル１１によって検出される。放射線検出器１０は、放射線イメージング装置として、例えば、医療用放射線画像診断装置、非破壊検査装置等に用いられる。

【0031】

放射線検出器１０は、剥離層７が粘着層６から剥離されると共に、第１防湿層３のうち剥離層７の表面７ｂを覆っている部分が除去された後、粘着層６を介してシンチレータパネル１がセンサパネル１１に貼り付けられることによって製造される。シンチレータパネル１がセンサパネル１１に接着された状態において、第１防湿層３のセンサパネル１１側の縁部３１は、内側部分３１１を含む。内側部分３１１は、粘着層６の外縁部６１に対する内側においてセンサパネル１１と粘着層６との間に配置された部分である。内側部分３１１は、粘着層６の外縁部６１に対する内側に縁部３１が折り返された部分であってもよい。内側部分３１１は、粘着層６の外縁部６１に対する内側において、粘着層６の表面６ｂを覆うと共に、センサパネル１１の受光面１１ａを覆っている。換言すれば、内側部分３１１は、粘着層６の外縁部６１において、粘着層６の表面６ｂとセンサパネル１１の受光面１１ａとの間に配置されている。

【0032】

内側部分３１１の幅Ｄ１は、粘着層６の外縁６ａに沿って変化している。ここで、内側部分３１１の幅Ｄ１は、方向Ａに垂直な方向における外縁６ａから縁部３１の端面３１ａまでの長さである。幅Ｄ１は、０．５μｍ以上３００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上２００μｍ以下である。幅Ｄ１が変化している場合において幅Ｄ１が５μｍ以上２００μｍ以下であるとは、幅Ｄ１の最大値及び最小値が５μｍ以上２００μｍ以下の範囲に含まれることを意味する。

【0033】

放射線検出器１０は、封止部材１２を更に備えている。封止部材１２は、センサパネル１１の表面のうち受光面１１ａを包囲する領域において、枠状に延在しており、シンチレータパネル１の側面を覆っている。封止部材１２は、第１防湿層３とセンサパネル１１との界面から水分が侵入することを抑制する機能を有している。封止部材１２の材料は、例えば、エポキシ、シリコーン、フッ素、ウレタン、アクリル等である。封止部材１２の材料は、ガラス等の無機材料からなるフィラー材を含んでいてもよい。
［シンチレータパネルの製造方法］

【0034】

上述したシンチレータパネル１の製造方法について説明する。まず、図３の（ａ）に示されるように、キャリア基板１３に貼り合わされた第２支持層４０２が用意される。キャリア基板１３と第２支持層４０２とは、接着剤によって貼り合わされてもよいし、両面テープによって貼り合わされてもよい。キャリア基板１３の材料は、例えば、ガラス基板である。平滑性及び剥離性を向上させるために、キャリア基板１３の表面は、剥離剤によってコーティングされていてもよい。キャリア基板１３の厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。続いて、図３の（ｂ）に示されるように、気相堆積法によって第２支持層４０２上にシンチレータ層５が形成される。本実施形態では、蒸着法によって第２支持層４０２上にシンチレータ層５が形成される。これにより、複数の柱状結晶５０では、複数の第２端部５０ｂが第２支持層４０２側に位置することになり、複数の第１端部５０ａが第２支持層４２とは反対側に位置することになる。なお、蒸着法以外の気相堆積法の例としては、スパッタリング法がある。

【0035】

続いて、図４の（ａ）に示されるように、キャリア基板１３、第２支持層４０２、及びシンチレータ層５が第２防湿層８によって覆われる。図４の（ａ）の例では、キャリア基板１３における第２支持層４０２とは反対側の表面、キャリア基板１３の両端、第２支持層４０２の両端、シンチレータ層５の両端、及びシンチレータ層５の複数の第１端部５０ａが第２防湿層８によって一体で覆われる。続いて、図４の（ｂ）に示されるように、キャリア基板１３が第２支持層４０２から除去される。図４の（ｂ）の例では、キャリア基板１３と共に、第２防湿層８のうちキャリア基板１３の表面を覆っていた部分及びキャリア基板１３の両端を覆っていた部分が除去される。これにより、第２支持層４０２におけるシンチレータ層５とは反対側の表面が外部に露出する。

【0036】

続いて、図５の（ａ）に示されるように、第２支持層４０２におけるシンチレータ層５とは反対側の表面に第１支持層４０１が貼り合わされる。また、剥離層７が表面６ｂに貼り合わされた状態の粘着層６が用意され、シンチレータ層５上に第２防湿層８を介して粘着層６が配置される。図５の（ａ）の例では、粘着層６における剥離層７とは反対側の表面６ｃが、第２防湿層８の表面８ｂに貼り合わされる。続いて、図５の（ｂ）に示されるように、第１支持層４０１、第２支持層４０２、シンチレータ層５、第２防湿層８、粘着層６、及び剥離層７が方向Ａにおいて所定の大きさに切断される。例えば、支持層４、シンチレータ層５、第２防湿層８、粘着層６、及び剥離層７から構成される積層体が図５の（ａ）に示される状態から、互いに同じ寸法、形状（例えば矩形）の複数のシンチレータユニット２が得られるように切断される。或いは、例えば、支持層４、シンチレータ層５、第２防湿層８、粘着層６、及び剥離層７のそれぞれの端部が切断されることで、一つのシンチレータユニット２が得られてもよい。これにより、支持層４の外縁４ａ、シンチレータ層５の外縁５ａ、第２防湿層８の外縁８ａ、粘着層６の外縁６ａ、及び剥離層７の外縁７ａが、一致する。そして、これらの外縁がシンチレータユニット２の外縁を構成する。なお、切断に用いられるブレードとして、ブレードの先端の厚さが方向Ａにおいて徐々に小さくなるブレードが用いられる場合がある。このようなブレードによって切断された場合、シンチレータユニット２の外縁が方向Ａにおいて徐々に大きくなってもよい。以上図４の（ａ）～図５の（ｂ）において説明した製造ステップがシンチレータユニット２を用意するステップに該当し、図５の（ｂ）において説明した切断ステップは、シンチレータユニット２を用意するステップに含まれる。

【0037】

続いて、図６に示されるように、支持層４の外縁部４１、シンチレータ層５の外縁部５１、粘着層６の外縁部６１、剥離層７の外縁部７１、第２防湿層８の外縁部８１、及び、剥離層７における粘着層６とは反対側の表面７ｂが第１防湿層３によって一体で覆われる（第１防湿層３によって一体で覆うステップ）。これにより、シンチレータユニット２の全面が、第１防湿層３に完全に包囲される。この結果、シンチレータユニット２における各層間の界面、及び各層と第１防湿層３との界面は、第１防湿層３によって覆われ、外部に露出しない状態となる。以上により、シンチレータパネル１が製造される。
［放射線検出器の製造方法］

【0038】

上述した放射線検出器１０の製造方法について説明する。まず、図７の（ａ）に示されるように、第１防湿層３のうち剥離層７の表面７ｂを覆っている部分が剥離層７と共に除去される（第１防湿層３のうち剥離層７の表面７ｂを覆っている部分を剥離層７と共に除去するステップ）。剥離層７が粘着層６の表面６ｂに対する離型性を有していることから、剥離層７が表面６ｂから容易に剥離される。剥離層７の角部に剥離きっかけが設けられている場合は、ユーザは剥離きっかけを掴み、剥離層７を剥離してもよい。剥離層７が剥離されることで、表面６ｂが外部に露出する。

【0039】

第１防湿層３のうち剥離層７の表面７ｂを覆っている部分が剥離層７と共に除去されることにより、第１防湿層３のうち剥離層７の外縁部７１を覆っていた部分が、粘着層６の外縁部６１からセンサパネル１１側に突出した状態となる。この突出した部分が第１防湿層３の縁部３１となる。この際に、縁部３１にはバリが立っている状態となる。例えば、縁部３１における端面３１ａは、第１防湿層３の厚さ方向から見た場合に、不規則な凹凸形状（例えば、鋸刃形状）を呈している。

【0040】

続いて、図７の（ｂ）に示されるように、粘着層６を介してシンチレータパネル１がセンサパネル１１に貼り付けられる（粘着層６を介してシンチレータパネル１をセンサパネル１１に貼り付けるステップ）。この際に、第１防湿層３の縁部３１が粘着層６の外縁部６１からセンサパネル１１側に突出した状態で、粘着層６を介してシンチレータパネル１がセンサパネル１１に貼り付けられる。この結果、縁部３１は、粘着層６の外縁部６１に対する内側に折り返された部分を含む。これにより、縁部３１が、内側部分３１１を含んだ状態となる。

【0041】

最後に、図２に示されるように、シンチレータパネル１の側面が封止部材１２によって覆われる。以上により、放射線検出器１０が製造される。
［作用及び効果］

【0042】

放射線検出器１０では、第１防湿層３が、シンチレータ層５の外縁部５１及び粘着層６の外縁部６１を一体で覆っている。これにより、シンチレータ層５の外縁部５１、粘着層６の外縁部６１、及び、シンチレータ層５と粘着層６との界面から水分が侵入することが抑制される。さらに、第１防湿層３におけるセンサパネル１１側の縁部３１は、粘着層６の外縁部６１に対する内側においてセンサパネル１１と粘着層６との間に配置された内側部分３１１を含む。これにより、第１防湿層３の縁部３１とセンサパネル１１との接触面積が増え、第１防湿層３の縁部３１とセンサパネル１１との界面から水分が侵入することが抑制される。以上により、上記放射線検出器によれば、シンチレータ層の防湿性を十分に確保することができる。

【0043】

第１防湿層３におけるセンサパネル１１側の縁部３１は、内側部分３１１を含む。これによれば、センサパネル１１上の領域のうち、シンチレータパネル１の外縁１ａよりも外側の領域を有効に活用し、この領域において、例えば、配線及びＩＣ回路等を配置することができる。また、内側部分３１１においては、縁部３１における端面３１ａが内側に折り込まれて粘着層６の外縁部６１を包み込むように配置されるため、粘着層６の外縁部６１を介した外部からの水分の侵入をより抑制することができる。

【0044】

内側部分３１１の幅Ｄ１は、０．５μｍ以上３００μｍ以下である。これによれば、シンチレータ層５の防湿性を確実に確保しつつ、受光領域が必要以上に狭まることを避けることができる。

【0045】

第１防湿層３は、支持層４の外縁部４１、及び支持層４におけるシンチレータ層５とは反対側の表面４ｂを更に一体で覆っている。これによれば、第１防湿層３が、支持層４の外縁部４１、及び支持層４におけるシンチレータ層５とは反対側の表面４ｂを更に一体で覆っていることにより、支持層４、及びシンチレータ層５と支持層４との界面が外部に露出しない。よって、支持層４、及びシンチレータ層５と支持層４との界面から水分が侵入することを抑制することができ、シンチレータ層５の防湿性を更に向上させることができる。

【0046】

放射線検出器１０は、シンチレータ層５と粘着層６との間に配置された第２防湿層８を更に備える。これによれば、シンチレータ層５の防湿性をより十分に確保することができる。また、粘着層６がシンチレータ層５と直接接触しないため、粘着層６及び剥離層７を貼り合わせる際にも柱状結晶５０の第１端部５０ａの先端を破損すること等を抑制することができる。その際、第２防湿層８は粘着層６よりも硬い（硬度が大きい）ため、第２防湿層８で第１端部５０ａの先端を保護しつつ、粘着層６のクッション性により、貼り合わせる際の第１端部５０ａの先端にかかる力を低減することができる。

【0047】

支持層４の厚さ方向（方向Ａ）から見た場合において、支持層４の外縁４ａ、シンチレータ層５の外縁５ａ、粘着層６の外縁６ａ、及び剥離層７の外縁７ａは、一致している。これによれば、シンチレータパネル１を他の部材（例えば、センサパネル１１）に貼り付ける際に、シンチレータパネル１と他の部材との位置合わせが容易になる。また、シンチレータパネル１の側面が平坦になるため、第１防湿層３を形成する際にも厚さのムラが生じにくく、より防湿性の高い第１防湿層３を形成することができる。

【0048】

放射線検出器１０は、センサパネル１１を備える。これによれば、シンチレータ層５の防湿性の高い放射線検出器１０を得ることができる。

【0049】

放射線検出器１０の製造方法では、シンチレータ層５の外縁部５１、粘着層６の外縁部６１、剥離層７の外縁部７１、及び、剥離層７における粘着層６とは反対側の表面７ｂを一体で覆っている第１防湿層３を備えたシンチレータパネル１が用意される。これにより、シンチレータパネル１の未使用時において、複数の柱状結晶５０を含むシンチレータ層５の防湿性を確保することができる。更に、上記製造方法では、第１防湿層３のうち剥離層７の表面７ｂを覆っている部分が剥離層７と共に除去される。これにより、剥離層７の外縁部７１を覆っていた第１防湿層３の縁部３１が、粘着層６の外縁部６１からセンサパネル１１側に突出した状態となる。この状態で粘着層６を介してシンチレータパネル１がセンサパネル１１に貼り付けられる。これにより、第１防湿層３の縁部３１が、粘着層６の外縁部６１に対する内側においてセンサパネル１１と粘着層６との間に配置された内側部分３１１を含んだ状態となる。よって、上記製造方法によれば、シンチレータ層５の防湿性を十分に確保し得る放射線検出器１０を得ることができる。
［変形例］

【0050】

本発明は、上述した実施形態に限定されない。図８に示されるように、シンチレータパネル１がセンサパネル１１に接着された状態において、第１防湿層３のセンサパネル１１側の縁部３１は、内側部分３１１に代えて外側部分３１２を含んでもよい。外側部分３１２は、粘着層６の外縁部６１に対する外側においてセンサパネル１１上に配置された部分である。外側部分３１２は、粘着層６の外縁部６１に対する外側に縁部３１が折り返された部分であってもよい。外側部分３１２は、図８の例では、粘着層６の外縁部６１に対する外側において、センサパネル１１の受光面１１ａを覆っている。外側部分３１２は、センサパネル１１の受光面１１ａ上の領域のうち、シンチレータパネル１の外縁１ａとセンサパネル１１の外縁１１ｂとの間に配置されている。

【0051】

外側部分３１２の幅Ｄ２は、粘着層６の外縁６ａに沿って変化している。ここで、外側部分３１２の幅Ｄ２は、方向Ａに垂直な方向における外縁６ａから縁部３１の端面３１ａまでの長さである。幅Ｄ２は、０．５μｍ以上３００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上２００μｍ以下である。幅Ｄ２が変化している場合において幅Ｄ２が５μｍ以上２００μｍ以下であるとは、幅Ｄ２の最大値及び最小値が５μｍ以上２００μｍ以下の範囲に含まれることを意味する。

【0052】

外側部分３１２を含む放射線検出器１０の製造方法では、内側部分３１１を含む放射線検出器１０と同様に、第１防湿層３の縁部３１が粘着層６の外縁部６１からセンサパネル１１側に突出した状態で、粘着層６を介してシンチレータパネル１がセンサパネル１１に貼り付けられる。この結果、縁部３１は、粘着層６の外縁部６１に対する外側に折り返された部分を含む。これにより、縁部３１が、外側部分３１２を含んだ状態となる。

【0053】

縁部３１が、外側部分３１２を含むことにより、センサパネル１１上の領域のうち、センサパネル１１と粘着層６とが接触している部分においては、第１防湿層３が存在しないことから、センサパネル１１の受光領域を広く確保することができる。加えて、縁部３１が外側部分３１２を含む場合、図８に示されるように、第１防湿層３とセンサパネル１１との界面の入口（端面３１ａと受光面１１ａとの接触箇所）がシンチレータ層５から離れる。これにより、第１防湿層３の縁部３１とセンサパネル１１との界面から水分が侵入することが更に抑制される。外側部分３１２の幅が、０．５μｍ以上３００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上２００μｍ以下であることにより、シンチレータ層５の防湿性を確実に確保しつつ、受光領域が必要以上に狭まることを避けることができる。外側部分３１２を含む放射線検出器１０の製造方法では、内側部分３１１を含む放射線検出器１０と同様に、シンチレータ層５の防湿性を十分に確保し得る放射線検出器１０を得ることができる。

【0054】

縁部３１は、内側部分３１１又は外側部分３１２を含んでもよいし、内側部分３１１及び外側部分３１２の両方を含んでもよい。すなわち、縁部３１は、内側部分３１１及び外側部分３１２の少なくとも一方を含んでいればよい。

【0055】

図９に示されるように、シンチレータパネル１Ａは、第２防湿層８を備えていなくてもよい。シンチレータパネル１Ａは、シンチレータ層５と粘着層６との間に第２防湿層８が配置されていない点においてシンチレータパネル１と相違する。シンチレータパネル１Ａでは、粘着層６が複数の第１端部５０ａと接触しており、複数の第１端部５０ａを覆っている。シンチレータパネル１Ａでは、シンチレータ層５の外縁部５１、粘着層６の外縁部６１、剥離層７の外縁部７１、及び、剥離層７における粘着層６とは反対側の表面７ｂが第１防湿層３によって一体で覆われる。

【0056】

図１０に示されるように、シンチレータパネル１Ａを含む放射線検出器１０Ａでは、放射線検出器１０に比べて、複数の第１端部５０ａが有する複数の先端を含む平面とセンサパネル１１との距離が小さくなる。これにより、放射線検出器１０Ａでは、シンチレータ層５において変換された光の散乱や減衰の発生が抑制され、第２防湿層８の存在に起因する解像度の低下を抑制することができる。なお、この場合においても、縁部３１は、内側部分３１１及び外側部分３１２の少なくとも一方を含んでいればよい。

【0057】

続いて、シンチレータパネル１Ａの製造方法について説明する。まず、シンチレータパネル１と同様に、図３の（ａ）及び図３の（ｂ）に示されるように、キャリア基板１３に貼り合わされた第２支持層４０２上にシンチレータ層５が形成される。続いて、図１１の（ａ）に示されるように、キャリア基板１３が第２支持層４０２から除去される。そして、図１１の（ｂ）に示されるように、第２支持層４０２におけるシンチレータ層５とは反対側の表面に第１支持層４０１が貼り合わされる。これと共に、粘着層６における剥離層７とは反対側の表面が、シンチレータ層５の複数の第１端部５０ａに直接貼り合わされる。続いて、図１２の（ａ）に示されるように、第１支持層４０１、第２支持層４０２、シンチレータ層５、粘着層６、及び剥離層７が方向Ａにおいて所定の大きさに切断される。例えば、支持層４、シンチレータ層５、粘着層６、及び剥離層７から構成される積層体が、図１１の（ｂ）に示される状態から、同じ寸法、形状（例えば矩形）の複数のシンチレータユニット２Ａが得られるように切断される。或いは、例えば、支持層４、シンチレータ層５、粘着層６、及び剥離層７のそれぞれの端部が切断されることで、一つのシンチレータユニット２Ａが得られてもよい。これにより、支持層４の外縁４ａ、シンチレータ層５の外縁５ａ、粘着層６の外縁６ａ、及び剥離層７の外縁７ａが、一致する。続いて、図１２の（ｂ）に示されるように、支持層４の外縁部４１、シンチレータ層５の外縁部５１、粘着層６の外縁部６１、剥離層７の外縁部７１、及び、剥離層７における粘着層６とは反対側の表面７ｂが第１防湿層３によって一体で覆われる。

【0058】

続いて、放射線検出器１０Ａの製造方法について説明する。放射線検出器１０と同様に、図１３の（ａ）に示されるように、第１防湿層３のうち剥離層７の表面７ｂを覆っている部分が剥離層７と共に除去される。続いて、図１３の（ｂ）に示されるように、第１防湿層３の縁部３１が粘着層６の外縁部６１からセンサパネル１１側に突出した状態で、粘着層６を介してシンチレータパネル１がセンサパネル１１に貼り付けられる。これにより、縁部３１が、内側部分３１１及び外側部分３１２の少なくとも一方を含んだ状態となる。最後に、図１０に示されるように、シンチレータパネル１Ａの側面が封止部材１２によって覆われる。

【0059】

第１防湿層３に含まれる剥離きっかけは、切込でなくてもよい。図１４に示されるように、剥離きっかけ３２Ａは、第１防湿層３における表面７ｂ側の４つの角部の少なくとも１つの角がとれた部分であってもよい。剥離きっかけ３２Ａは、研磨部材によって第１防湿層３の角部が削れられた部分であってもよい。研磨部材は、例えば、ハンドラッパー、カッター等の刃物である。ハンドラッパーとは、先端に砥石が付いたブラシのような工具である。或いは、剥離きっかけ３２Ａは、レーザー加工によって第１防湿層３の角部が削れられた部分であってもよい。なお、剥離きっかけ３２Ａは、第１防湿層３の角部を含む外縁領域３ａの全周に亘って設けられてもよい。

【0060】

第１防湿層３は、剥離層７におけるシンチレータ層５とは反対側の表面７ｂを覆っていなくてもよい。図１５に示されるように、第１防湿層３は、支持層４におけるシンチレータ層５とは反対側の表面４ｂ、支持層４の外縁部４１、シンチレータ層５の外縁部５１、第２防湿層８の外縁部８１、粘着層６の外縁部６１、及び剥離層７の外縁部７１を一体で覆っていてもよい。第１防湿層３におけるセンサパネル１１側の縁部３１の端面３１ａは、表面７ｂと面一であってもよい。この場合、表面７ｂ及び端面３１ａは、外部に露出している。また、第１防湿層３に対してではなく、剥離層７に対する剥離きっかけ７２として、表面７ｂに張り合わされたテープを設けてもよい。剥離きっかけ７２は、図１６に示されるように、第１防湿層３における４つの角部の少なくとも１つにおいて、表面７ｂの中心を向くように、表面７ｂに張り合わされてもよい。剥離きっかけ７２の個数は、一枚に限られず、複数であってもよい。剥離きっかけ７２は、第１防湿層３における４つの辺の少なくとも１つに設けられてもよい。

【0061】

シンチレータパネル１では、第１防湿層３の厚さは、０．５μｍを下回ってもよいし、４０μｍを上回ってもよい。第１防湿層３の厚さは、シンチレータユニット２の全面に亘って均一でなく、変化してもよい。剥離層７の厚さは、５μｍを下回ってもよいし、２００μｍを上回ってもよい。内側部分３１１の幅Ｄ１及び外側部分３１２の幅Ｄ２のそれぞれは、５μｍを下回ってもよいし、２００μｍを上回ってもよい。幅Ｄ１及び幅Ｄ２のそれぞれは、粘着層６の外縁６ａに沿って一定であってもよい。幅Ｄ１及び幅Ｄ２のそれぞれが一定である場合においても、幅Ｄ１及び幅Ｄ２のそれぞれは、５μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましいが、５μｍを下回ってもよいし、２００μｍを上回ってもよい。第２支持層４０２は、放射線（例えば、Ｘ線）の入射に応じてシンチレータ層５において発せられた光を吸収する機能を有してもよい。この場合、一例として、第２支持層４０２の材料は、ＰＥＴと黒色の無機材料との複合材料である。黒色の無機材料は、例えば、カーボンブラック、酸化鉄等である。また、シンチレータパネル１が配置される受光部は、センサパネル１１に限られず、例えばＦＯＰ（ファイバオプティックスプレート）等の導光部材であってもよい。

【符号の説明】

【0062】

１，１Ａ…シンチレータパネル、２，２Ａ…シンチレータユニット、３…第１防湿層、４…支持層、１０，１０Ａ…放射線検出器（放射線変換ユニット）、１１…センサパネル（受光部）、３１…縁部、３１１…内側部分、３１２…外側部分、４１…支持層の外縁部、４ａ…支持層の外縁、４ｂ…支持層の表面、５…シンチレータ層、５０…柱状結晶、５１…シンチレータ層の外縁部、５ａ…シンチレータ層の外縁、６…粘着層、６１…粘着層の外縁部、６ａ…粘着層の外縁、６ｂ…粘着層の表面、７…剥離層、７１…剥離層の外縁部、７ａ…剥離層の外縁、７ｂ…粘着層の表面、８…第２防湿層、Ａ…方向、Ｄ１…内側部分の幅、Ｄ２…外側部分の幅。

【要約】

【課題】シンチレータ層の防湿性を十分に確保することができる放射線変換ユニット、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】放射線検出器１０は、センサパネル１１と、センサパネル１１上に配置されたシンチレータパネル１と、を備える。シンチレータパネル１は、支持層４と、支持層４に対してセンサパネル１１側に配置されているシンチレータ層５と、シンチレータ層５に対してセンサパネル１１側に配置されており、センサパネル１１に接触している粘着層６と、シンチレータ層５の外縁部５１及び粘着層６の外縁部６１を一体で覆っている第１防湿層３と、を含む。第１防湿層３におけるセンサパネル１１側の縁部３１は、粘着層６の縁部３１に対する内側においてセンサパネル１１と粘着層６との間に配置された内側部分３１１、及び、粘着層６の外縁部６１に対する外側においてセンサパネル１１上に配置された外側部分の少なくとも一方を含む。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】