特許 7682415 弾性波装置、分波器及び通信装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-05-15

(45)【発行日】2025-05-23

(54)【発明の名称】弾性波装置、分波器及び通信装置

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/145 20060101AFI20250516BHJP

【ＦＩ】

H03H9/145 C

【請求項の数】 16

(21)【出願番号】P 2025035512

(22)【出願日】2025-03-06

(62)【分割の表示】P 2024175170の分割

【原出願日】2024-10-04

【審査請求日】2025-03-06

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006633

【氏名又は名称】京セラ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】弁理士法人 ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】杉森 達哉

【審査官】石田 昌敏

(56)【参考文献】

【文献】特開平０８－１８１５６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－１０６５１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－２１３０４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２３－１４１８８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－０５２３５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０２４／０３０５２６５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平０５－２６７９８７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０３Ｈ ９／１４５－９／７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

端面を含み、圧電体を有する基板と、
前記基板の上方に位置し、それぞれが平行に延びた複数のストリップ電極と、
を有し、
前記複数のストリップ電極のうち、少なくとも一部の前記ストリップ電極は、弾性波を励振可能である励振部であり、
前記端面は、上方からの平面視で、
前記ストリップ電極の延びる方向と平行であり、
前記励振部に対して弾性波伝搬方向に位置し、
前記複数のストリップ電極は、
前記弾性波伝搬方向において、最も前記端面側に位置する第１ストリップ電極と、
前記弾性波伝搬方向において、前記第１ストリップ電極よりも前記端面から遠く、前記励振部である第２ストリップ電極と、
を含み、
前記弾性波伝搬方向に切断した断面において、前記第１ストリップ電極の平均の厚みが、前記第２ストリップ電極の平均の厚みよりも小さく、
前記基板は上面に溝部を有し、
前記端面は、前記溝部の側面の一部である
弾性波装置。

【請求項2】

前記第１ストリップ電極は、
第１部分と、
前記断面において、前記第１部分よりも厚みが小さい第２部分と、
を含み、
前記弾性波伝搬方向において、前記第２部分は、前記第１部分よりも前記端面側に位置する
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項3】

前記第１ストリップ電極は、
下面と、
第１の上面と、
前記弾性波伝搬方向において、前記第１の上面よりも前記端面側に位置する第２の上面と、
前記第１の上面と前記第２の上面を接続している蹴上げ面と、
を有し、
前記第１の上面が、前記第２の上面よりも上方に位置する
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項4】

前記第１ストリップ電極は、
下面と、
前記弾性波伝搬方向において、前記下面と接する側面のうち前記端面側に位置する第１面と、
前記第１面と接する上面と、
を有し、
前記上面は、前記下面に対して下方に向かって傾斜している
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項5】

前記第１ストリップ電極は、
下面と、
前記弾性波伝搬方向において、前記下面と接する側面のうち前記端面側に位置する第１面と、
前記第１面と接する上面と、
前記第１面と前記上面を接続する第２面と、
を有し、
前記第２面が曲面状である
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項6】

前記励振部であるストリップ電極の過半数の平均の厚みが、前記第２ストリップ電極と同じである
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項7】

前記断面において、前記圧電体の上面の延長線と前記端面の任意の点における接線が成す角度αが９０°よりも小さい
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項8】

前記角度αが８２°よりも小さい
請求項７に記載の弾性波装置。

【請求項9】

前記端面は、
前記圧電体の上面側に位置する第１端面と、
前記圧電体の下面側に位置する第２端面と、
を有し、
前記断面において、前記圧電体の上面の延長線と前記第１端面の任意の点における接線が成す角度が、前記圧電体の上面の延長線と前記第２端面の任意の点における接線が成す角度よりも大きい
請求項７に記載の弾性波装置。

【請求項10】

前記第１ストリップ電極が、前記励振部である
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項11】

前記第１ストリップ電極が、前記励振部と電気的に接続していない浮電極である
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項12】

前記第１ストリップ電極は、前記第２ストリップ電極よりも前記弾性波伝搬方向における幅が大きい
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項13】

前記第１ストリップ電極は、主成分としてＡｌを含む
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項14】

前記基板は
支持基板と、
前記支持基板と圧電体の間に位置する第１層と、
を有する
請求項１に記載の弾性波装置。

【請求項15】

アンテナ端子と、
送信信号をフィルタリングして前記アンテナ端子に出力するように構成された送信フィルタと、
前記アンテナ端子からの受信信号をフィルタリングするように構成された受信フィルタと、
を有し、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方が請求項１に記載の弾性波装置を含む分波器。

【請求項16】

アンテナと、
前記アンテナに前記アンテナ端子が接続された請求項１５に記載の分波器と、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに接続されたＩＣと、
を有する通信装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は弾性波を利用する弾性波装置、当該弾性波装置の製造方法、当該弾性波装置を含む分波器、当該分波器を含む通信装置に関する。

【背景技術】

【0002】

弾性波を利用する弾性波装置が知られている。弾性波装置は、例えば、ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）デバイスである。弾性波装置は、伝搬する弾性波を反射する構造を有する。特許文献１に開示の弾性表面波装置は、反射構造として端面を有する端面反射型の弾性表面波装置である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１８／０９６７８３Ａ１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

弾性波装置のスプリアス低減が求められている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示に係る弾性波装置は、端面を含み、圧電体を有する基板と、前記基板の上方に位置し、それぞれが平行に延びた複数のストリップ電極と、を有し、前記複数のストリップ電極のうち、少なくとも一部の前記ストリップ電極は、弾性波を励振可能である励振部であり、前記端面は、上方からの平面視で、前記ストリップ電極の延びる方向と平行であり、前記励振部に対して弾性波伝搬方向に位置し、前記複数のストリップ電極は、前記弾性波伝搬方向において、最も前記端面側に位置する第１ストリップ電極と、前記弾性波伝搬方向において、前記第１ストリップ電極よりも前記端面から遠く、前記励振部である第２ストリップ電極と、を含み、前記弾性波伝搬方向に切断した断面において、前記第１ストリップ電極の平均の厚みが、前記第２ストリップ電極の平均の厚みよりも小さく、前記基板は上面に溝部を有し、前記端面は、前記溝部の側面の一部である。

【発明の効果】

【0006】

本開示の一態様によれば弾性波装置のスプリアスを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。

【図2】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。

【図3A】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。

【図3B】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。

【図3C】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。

【図4A】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。

【図4B】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。

【図5】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な平面図である。

【図6】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図である。

【図7】本開示の実施形態に係る弾性波装置の模式的な断面図によって製造方法を示した図である。

【図8】本開示の実施形態に係る分波器の模式的な回路図である。

【図9】本開示の実施形態に係る通信装置の模式的な回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本開示に係る実施形態及び比較例について図面を参照して説明する。以下の説明で用いられる図は模式的なものであり図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。また、図面同士でも寸法比率は一致していない。

【0009】

本開示では、Ｄ１軸、Ｄ２軸及びＤ３軸によって示される直交座標系を図面に付す。Ｄ２軸は後述する励振部３１１が後述の第２バスバー３５１ｂから延びる方向と平行な軸である。Ｄ１軸は、基板２の平面において、Ｄ２軸と垂直な軸である。Ｄ３軸は圧電体２１の上面に直交する軸である。換言すれば、Ｄ３軸は基板２の積層方向である。本開示においては、Ｄ１軸の正方向とは、後述する励振部３１１から後述する一方の端面４１に向かう方向である。本開示では、Ｄ１軸の正方向について、弾性波伝搬方向とも記載する。本開示では、Ｄ１軸の負方向について、弾性波伝搬方向の反対方向とも記載する。端面４１は励振部３１１に対してＤ１軸の両方向に位置していてもよいが、本開示では説明のため、便宜的に、励振部３１１から一方の端面４１に向かう方向を弾性波伝搬方向としている。ここで、励振部３１１が励振する弾性波は、弾性表面波でもよいし、板波でもよい。Ｄ２軸の正方向とは、後述する第２励振部３１１ｂが後述する第２バスバー３５１ｂから延びる方向である。Ｄ３軸の正方向とは、後述する基板２から後述する電極層３に向かう方向である。また、平面または平面視という場合、特に断りがない限りは、Ｄ３軸の方向に見た場合のことをいう。例えば、上方からの平面視という場合、Ｄ３軸について上方から見た場合のことを言う。

【0010】

本開示に係る弾性波装置１はいずれかの方向が上方または下方とされてもよいものであるが、便宜的にＤ３軸の正方向側を上方として上面または下面等の用語を用いることがある。

【0011】

また、本開示において層の厚みについて言及することがあるが、特に断りが無い限り、任意の断面において最も厚い部分で考慮してもよいし、最も薄い部分で考慮してもよい。

【0012】

以下に本開示における実施形態を示す。また、以下に示す実施形態に記載の構成はそれぞれ他の複数の実施形態と自由に組み合わせてよい。

【0013】

［第１実施形態］
本開示に係る弾性波装置１の第１実施形態に関して説明する。図１は平面における弾性波装置１の模式図である。弾性波装置１は、基板２、基板２の上方に位置する電極層３及び基板２が含む端面４１を備える。図２は断面視における弾性波装置１の模式図である。

【0014】

（基板）
基板２は、圧電体２１を有する。基板２は、図２に示すように、圧電体２１の下方に位置する第１層２２及び／または支持基板２３を有していてもよい。

【0015】

圧電体２１はニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３：以下、ＬＮという）またはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３：以下、ＬＴという）を含む圧電性を有する単結晶によって構成されている。例えば、圧電体２１は、３６～５４°ＹカットＸ伝搬のＬＴ層によって構成されてもよい。

【0016】

第１層２２は、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）等が例示できる。第１層２２は圧電体２１の下方に漏洩する表面波を低減し、弾性波装置１の挿入損失を低減することができる。

【0017】

支持基板２３は電極層３及び圧電体２１を支持し、基板２の強度を向上させる。支持基板２３を有する場合、第１層２２は圧電体２１と支持基板２３の接合強度を向上させる。

【0018】

（端面）
図１に示すように、基板２は端面４１を含む。一方の端面４１は後述の励振部３１１に対して弾性波伝搬方向に位置する。端面４１は励振部３１１に対してＤ１軸の両方向に位置していてもよい。端面４１は弾性波をＤ１軸の負方向に向かって反射波として反射する。換言すれば、端面４１は反射構造である。

【0019】

端面４１は溝部４の一部であってもよい。具体的には、図１に示すように、溝部４の側面の一部が端面４１であってもよい。この場合、溝部４の両側の側面を端面４１として使うことができる。

【0020】

平面視で、端面４１はストリップ電極３１の延びる方向と平行に位置する。ここで、「平行」とは、弾性波装置１の特定の特性に大きな影響が出ない範囲での誤差を含んでもよい。

【0021】

本開示において「端面」とは、弾性波を反射する面と定義する。例えば、端面は基板の端の面であっても、基板の溝部の内壁面であってもよい。

【0022】

（電極層）
電極層３は圧電体２１の上面に直接又は間接的に接するように形成される。特に図示しないが、下地層が電極層３と圧電体２１の間に位置していてもよい。下地層は、電極層３と圧電体２１の接着強度を向上させることができる。下地層の材料はチタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）または種々の誘電体等を例示できる。

【0023】

電極層３は、導電性を有する材料で構成されている。電極層３の材料には、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）、モリブデン（Ｍｏ）、金（Ａｕ）、チタン（Ｔｉ）またはこれらの合金等種々の導電性材料を採用することができる。さらにこれら複数の層を積層させて構成してもよい。また、図示していないが、電極層３は、上記の材料を組み合わせた積層構造としてもよい。例えば、ＡｌとＣｕＡｌ_２による積層構造としてもよいし、ＡｌとＴｉによる積層構造としてもよい。ＬＴとＡｌのエッチング選択比は、ＬＴとＰｔ、Ｍｏ、ＡｕまたはＴｉのエッチング選択比よりも低い。そのため、主成分としてＡｌを含む電極層３を用いた場合、エッチングにより薄くなりやすいため、後述の第１ストリップ電極３１５を形成しやすい。本開示では、重量比またはモル比において最も大きな割合を占める物質を主成分としてもよいし、半分以上を占める物質を主成分としてもよい。また、弾性波伝搬方向に切断した断面において、Ｄ３軸における全体の厚みのうち、最も大きな割合を占める物質としてもよいし、半分以上を占める物質を主成分としてもよい。

【0024】

図１に示すように、電極層３は複数のストリップ電極３１を有する。本開示において、ストリップ電極３１とは、Ｄ２軸に平行に延びる細い電極群のうちの１本を指す。複数のストリップ電極３１はそれぞれが平行に延びている。複数のストリップ電極３１の本数は弾性波装置１に要求される電気特性に応じて適宜に設定されてよい。本開示に係る模式的な断面図及び平面図に示す本数と比較して、多くてもよいし、少なくてもよい。

【0025】

複数のストリップ電極３１のうち、少なくとも一部のストリップ電極３１は、弾性波を励振可能である励振部３１１である。例えば、図１に示すように、励振部３１１は、ＩＤＴ電極３５に含まれていてもよい。励振部３１１とバスバー３５１によって構成されたＩＤＴ電極３５によって弾性波を励振できる。

【0026】

弾性波装置１がＩＤＴ電極３５を有する場合、ＩＤＴ電極３５は、励振部３１１と、バスバー３５１とを含む。ここで、バスバー３５１とは励振部３１１であるストリップ電極３１を電気的に接続する部分を言う。ＩＤＴ電極３５は、バスバー３５１として、それぞれ電気的に接続されていない対向する第１バスバー３５１ａと第２バスバー３５１ｂを有する。励振部３１１は、第１バスバー３５１ａから第２バスバー３５１ｂに向かって延びている第１励振部３１１ａと、第２バスバー３５１ｂから第１バスバー３５１ａに向かって延びている第２励振部３１１ｂを有する。

【0027】

励振部３１１の長さは、例えば、互いに同等である。ＩＤＴ電極３５は、励振部３１１の長さが伝搬方向の位置に応じて変化する、いわゆるアポタイズが施されていてもよい。アポタイズにより、主共振として伝搬する弾性波をより支配的にすることができる。

【0028】

特に図示しないが、ＩＤＴ電極３５は、バスバー３５１から対向するバスバー３５１に向かって伸びるダミー電極指を有していてもよい。ダミー電極指は、励振部３１１と比較してＤ２軸において短くてもよい。ＩＤＴ電極３５は、励振部３１１の間の幅が変化したり、Ｄ１軸に対して傾斜したりしていてもよい。

【0029】

複数のストリップ電極３１は、弾性波伝搬方向において、最も端面４１側に位置する第１ストリップ電極３１５と、第１ストリップ電極３１５よりも前記端面から遠い第２ストリップ電極３１１７を有する。ここで、第２ストリップ電極３１１７は励振部３１１である。第２ストリップ電極３１１７は、弾性波装置１の主共振を励振する励振部３１１のいずれかであってもよい。

【0030】

弾性波装置１において、弾性波伝搬方向に切断した断面における励振部３１１の平均の厚みは、適宜調整されることで、弾性波をＤ１軸の正方向に伝搬することに寄与する。換言すれば、励振部３１１の平均の厚みは弾性波の伝搬のために平均の厚みを決定してもよい。本開示では、特に断りのない限り、「平均の厚み」という記載は、弾性波伝搬方向に切断した断面における厚みについて意味するものとする。また、本開示では、それぞれのストリップ電極３１の平均の厚みは、弾性波装置１をＤ１軸に切断した断面において、ストリップ電極３１の断面積をストリップ電極３１の下辺で除することで求めてもよいし、その他種々の方法で求めてもよい。

【0031】

第１実施形態に係る弾性波装置１においては、第１ストリップ電極３１５の平均の厚みが、第２ストリップ電極３１１７の平均の厚みよりも小さい。その結果、励振部３１１である第２ストリップ電極３１１７と、第１ストリップ電極３１５で、伝搬する弾性波の振る舞いが変化する。第１ストリップ電極３１５の近傍でスプリアスとなる弾性波エネルギーの一部を下方に漏洩させることができる。また、弾性波装置１は端面４１で反射された反射波を利用する。反射波の発生する端面４１付近で、反射波のうち、スプリアスとなる弾性波エネルギーの一部を下方に漏洩させることで、弾性波装置１のスプリアスを低減できる。

【0032】

第１ストリップ電極３１５の平均の厚みは、特定の特性を調整するために適切な大きさしてもよい。上述の通り、第１ストリップ電極３１５は、平均の厚みが小さいことにより、下方にスプリアスとなる弾性波の一部を漏洩させ、弾性波装置１のスプリアスを低減することができる。一方で、第１ストリップ電極３１５は、主共振となる弾性波の一部を漏洩させ、弾性波装置１のロスを増加させる。例えば、第１ストリップ電極３１５の平均の厚みは、弾性波装置１のロスとスプリアスのバランスをとるように調整してもよい。例えば、ロス及びスプリアスが小さくなるように調整してもよい。

【0033】

励振部３１１であるストリップ電極３１の過半数の平均の厚みが、第２ストリップ電極３１１７と同じである。弾性波装置１の主共振として励振される弾性波をより支配的にすることができる。本開示において、平均の厚みが「同じ」とは、弾性波装置１の特定の特性に大きな影響が出ない範囲での誤差を含んでもよい。本開示において、「励振部３１１であるストリップ電極３１の過半数」とは、第２ストリップ電極３１１７を含めた励振部３１１であるストリップ電極３１の過半数のことを言う。例えば、励振部３１１であるストリップ電極３１の平均の厚みを求め、そのうち、第２ストリップ電極３１１７と同じ平均の厚みのストリップ電極３１の本数を数えることによって求めてもよい。

【0034】

第１ストリップ電極３１５は一部の厚みを薄くしてもよい。例えば、第１ストリップ電極３１５が、図３Ａ～Ｃに示すような形状の場合、よりスプリアスを低減できる。この場合、例えば、ロスとスプリアスのバランスを調整することが容易になる。

【0035】

図３Ａ～Ｃに示すように、第１ストリップ電極３１５は端面４１側の一部を薄くしてもよい。換言すれば、第１ストリップ電極３１５は、第１部分３１５ａと、弾性波伝搬方向に切断した断面において、第１部分３１５ａよりも厚みが小さい第２部分３１５ｂと、を含み、弾性波伝搬方向において、第２部分３１５ｂは、第１部分３１５ａよりも端面４１側に位置する。

【0036】

図３Ａに示すように、第１ストリップ電極３１５はＤ２軸の負方向に向かって階段状になっていてもよい。換言すれば、第１ストリップ電極３１５は、下面Ｒと、第１の上面Ｔ１と、弾性波伝搬方向において、第１の上面Ｔ１よりも端面４１側に位置する第２の上面Ｔ２と、第１の上面Ｔ１と第２の上面Ｔ２を接続している蹴上げ面Ｋと、を有し、第１の上面Ｔ１が、第２の上面Ｔ２よりも上方に位置していてもよい。この場合、スプリアスとなる弾性波の一部が、下方側に位置する第２の上面Ｔ２を伝搬し、下方に漏洩しやすくなる。その結果、弾性波装置１のスプリアスをより低減できる。

【0037】

図３Ｂに示すように台形状になっており、上面が傾斜していてもよい。換言すれば、第１ストリップ電極３１５は、下面Ｒと、弾性波伝搬方向において、下面Ｒと接する側面のうち端面４１側に位置する第１面Ｓと、第１面Ｓと接する上面Ｔと、を有し、上面Ｔは、下面Ｒに対して傾斜していてもよい。この場合、傾斜している上面Ｔに沿ってスプリアスとなる弾性波の一部を下方に漏洩させる。その結果、弾性波装置１のスプリアスをより低減できる。

【0038】

図３Ｃに示すように、端面４１側の頂点部分が曲面状になっていてもよい。換言すれば、第１ストリップ電極３１５は、下面Ｒと、前記弾性波伝搬方向において、下面Ｒと接する側面のうち端面４１側に位置する第１面Ｓと、第１面Ｓと接する上面Ｔと、第１面Ｓと上面Ｔを接続する第２面Ｕと、を有し、第２面Ｕが曲面状であってもよい。この場合、曲面である第２面Ｕに沿ってスプリアスとなる弾性波の一部を下方に漏洩させる。その結果、弾性波装置１のスプリアスを低減できる。

【0039】

図４Ａに示すように、第１ストリップ電極３１５は、励振部３１１と電気的に接続していない浮電極３１３であってもよい。励振部３１１の弾性波の励振に、平均の厚みが小さい第１ストリップ電極３１５が与える影響を小さくできる。また、浮電極３１３によって、励振された弾性波及び／または反射波の音速の調整をすることができる。

【0040】

図４Ｂに示すように、電極層３は、反射器３７を有していてもよい。この場合、第１ストリップ電極３１５は、反射器３７の有するストリップ電極３１のうち、弾性波伝搬方向において、最も端面４１側に位置するストリップ電極３１を言う。

【0041】

第１ストリップ電極３１５の側面と端面４１は必ずしも連続している必要は無いが、図１のように第１ストリップ電極３１５の側面が端面４１と連続していてもよい。この場合、一工程のエッチングによって第１ストリップ電極３１５と端面４１を形成することが出来る。

【0042】

第１ストリップ電極３１５のＤ１軸の幅を他のストリップ電極３１と比較して変えてもよい。この場合、弾性波装置１のスプリアスを低減するように、反射波のモードを調整することができる。例えば、図５に示すように、第１ストリップ電極３１５の弾性波伝搬方向における幅を第２ストリップ電極３１１７と比較して大きくしてもよい。この場合、後述の製造方法において、第２ストリップ電極３１１７がエッチングされる可能性を低減する。

【0043】

［第２実施形態］
本開示に係る第２実施形態について説明する。以下では、第１実施形態と共通する部分の説明は省き、差異のある部分のみ、説明をする。

【0044】

（端面）
第２実施形態にかかる弾性波装置１は、図２のように、端面４１が傾斜している。換言すれば、圧電体２１の上面の延長線と端面４１の任意の点における接線が成す角度αが９０°よりも小さい。端面４１は、傾斜していることにより、下方にスプリアスとなる弾性波の一部を漏洩させ、弾性波装置１のスプリアスを低減することができる。

【0045】

本開示において、「接線」が成す角度を求める場合は、直線上の任意の点については、その直線を「接線」として求めるものとする。「端面の任意の点における接線」という記載は、当該端面が曲面または曲線であることを限定しない。

【0046】

角度αは特定の特性を調整するために適切な大きさとしてもよい。上述の通り、端面４１は、傾斜していることにより、下方にスプリアスとなる弾性波の一部を漏洩させ、弾性波装置１のスプリアスを低減することができる。一方で、端面４１は、主共振となる弾性波の一部を漏洩させ、弾性波装置１のロスを増加させる。例えば、角度αは、弾性波装置１のロスとスプリアスのバランスをとるように調整してもよい。例えば、ロス及びスプリアスが小さくなるように調整してもよい。第２実施形態に係る弾性波装置１は、スプリアスを低減する構造として第１ストリップ電極３１５及び端面４１を有しているため、ロスとスプリアスのバランスを調整することが容易になる。

【0047】

また、端面４１が傾斜している場合、ＩＤＴ電極３５から端面４１までのＤ１軸の距離がＤ２軸の座標によって異なる。その結果、端面４１による弾性波の反射によってスプリアスが発生しやすいため、端面４１付近の弾性波エネルギーを漏洩させる第１ストリップ電極３１５によって、よりスプリアスを低減できる。例えば、角度αが８２°よりも小さい場合、端面４１付近で特にスプリアスが発生しやすいため、第１ストリップ電極３１５によって、スプリアスをより低減できる。

【0048】

[第３実施形態]
本開示に係る第３実施形態について説明する。以下では、第１実施形態と共通する部分の説明は省き、差異のある部分のみ、説明をする。

【0049】

（端面）
図６のように、端面４１は第１端面４１ａと第２端面４１ｂを含む。第１端面４１ａは圧電体２１の上面側に位置し、第２端面４１ｂは圧電体２１の下面側に位置する。図６のように、第１端面４１ａは第２端面４１ｂよりも急峻に傾斜している。換言すれば、圧電体２１の上面の延長線と第１端面４１ａの任意の点における接線が成す角度αが、圧電体２１の上面の延長線と第２端面４１ｂの任意の点における接線が成す角度βよりも大きい。

【0050】

第２実施形態に係る弾性波装置１は、主共振となる弾性波が伝搬する圧電体２１の上面側が急峻となり、第１端面４１ａによって利用したい弾性波をより反射し、損失の低減に寄与する。

【0051】

また、端面４１が傾斜角の異なる第１端面４１ａと第２端面４１ｂを有するため、それぞれの傾斜角を調整することで端面４１による特定の特性の調整が容易になる。例えば、ロスとスプリアスのバランスをとることが容易になる。

【0052】

[製造方法]
本開示に係る弾性波装置１の製造方法について説明する。図７は製造工程を示しており、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの順に工程が進む。

【0053】

弾性波装置１は、基板２、電極層３の順に積層して製造する。その後、基板２の上方に複数のストリップ電極３１を形成する。

【0054】

弾性波装置１は、図７Ａのようにストリップ電極３１の上方にマスク５を形成し、エッチングする。エッチングによって、圧電体２１に端面４１を形成することができる。

【0055】

弾性波装置１は、図７Ａのようにストリップ電極３１の上方にマスク５を形成し、エッチングする。エッチングによって、ストリップ電極３１を薄くし、第１ストリップ電極３１５を形成することができる。

【0056】

端面４１と第１ストリップ電極３１５は、複数回のエッチングによって別々に形成してもよいし、ともに１回のエッチングによって同時または連続的に形成してもよい。

【0057】

端面４１と第１ストリップ電極３１５をともにエッチングによって形成した場合、マスク５の材料並びに厚み、ドライエッチングにおけるプラズマ生成の条件または種々の条件を適宜調整することで、端面４１の形成時に、図７Ｂのようにマスク５がエッチングによってＤ１軸の正方向から負方向に向かって徐々に後退し、第１ストリップ電極３１５の端面４１側が露出する。自然と、端面４１側から露出するため、第１ストリップ電極３１５のみ平均の厚みが小さくなるようにマスク５を形成できる。例えば、第２部分３１５ｂが第１部分３１５ａよりも弾性波伝搬方向に位置するように、マスク５が形成できる。

【0058】

端面４１と第１ストリップ電極３１５を別々にエッチングする場合と比較して、マスク５を正確に形成する困難性を回避し、弾性波装置１の製造が容易になる。後退したマスク５によって、図７Ｃのように、第１ストリップ電極３１５が形成される。最後に図７Ｄのようにマスク５を除去することで、弾性波装置１を製造できる。

【0059】

端面４１と第１ストリップ電極３１５をともにエッチングする場合には、第１ストリップ電極３１５の上方に位置するマスク５の一部を除去した後、エッチングしてもよい。第１ストリップ電極３１５の一部が露出しやすくなる。

【0060】

また、第１ストリップ電極３１５の一部が露出後は、図７Ｂのように、第１ストリップ電極３１５が金属のマスクとなる。金属のマスクは樹脂のマスクと比較して、エッチングされにくいため、端面４１を急峻に形成することができる。換言すれば、第１ストリップ電極３１５の一部が露出後に形成された第１端面４１ａは、露出前に形成された第２端面４１ｂよりも急峻になる。第３実施形態に係る弾性波装置１を製造することができる。例えば、主成分としてＴｉを含む電極層３を用いた場合、ＬＴとＴｉのエッチング選択比は、ＬＴとＡｌのエッチング選択比よりも高いため、金属のマスクとして機能しやすい。その結果、第１端面４１ａをより急峻にすることができる。

【0061】

エッチングはドライエッチングによって行われてもよい。

【0062】

マスク５としては、例えば、ｉ線用のレジストを用いてもよい。ポジレジスト型のレジストを用いてもよい。ノボラック樹脂を用いてもよい。

【0063】

〔第１利用例：分波器〕
図８は、弾性波装置１の利用例としての分波器８の構成を模式的に示す回路図である。

【0064】

分波器８は、例えば、送信端子８１からの送信信号をフィルタリングしてアンテナ端子８２へ出力する送信フィルタ８３と、アンテナ端子８２からの受信信号をフィルタリングして１対の受信端子８４に出力する受信フィルタ８５とを有している。

【0065】

送信フィルタ８３は、例えば、複数の弾性波装置１がラダー型フィルタによって構成されている。すなわち、送信フィルタ８３は、送信端子８１とアンテナ端子８２との間に直列に接続された複数（１つでも可）の弾性波装置１と、その直列ライン（直列腕）と基準電位とを接続する複数（１つでも可）の弾性波装置１（並列腕）とを有している。

【0066】

受信フィルタ８５は、例えば、弾性波装置１と、多重モード型フィルタ（ダブルモード型フィルタを含むものとする）８７と、を含んで構成されている。多重モード型フィルタ８７は、複数のストリップ電極３１の配列方向に配列された複数（図示の例では３つ）のＩＤＴ電極３５を有している。

【0067】

分波器８として、送信フィルタ８３と受信フィルタ８５とを備える場合について説明したが、これに限定されない。分波器８は、例えばダイプレクサでもよいし、３以上のフィルタを含んだマルチプレクサであってもよい。

【0068】

〔第２利用例：通信装置〕
図９は、分波器８の利用例としての通信装置９の要部を示すブロック図である。通信装置９は、電波を利用した無線通信を行うものであり、分波器８を含んでいる。

【0069】

通信装置９において、送信すべき情報を含む送信情報信号ＴＩＳは、ＲＦ－ＩＣ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）９１によって変調及び周波数の引き上げ（搬送波周波数の高周波信号への変換）がなされて送信信号ＴＳとされる。送信信号ＴＳは、バンドパスフィルタ９２ａによって送信用の通過帯域以外の不要成分が除去され、増幅器９３ａによって増幅されて分波器８（送信端子８１）に入力される。そして、分波器８（送信フィルタ８３）は、入力された送信信号ＴＳから送信用の通過帯域以外の不要成分を除去し、その除去後の送信信号ＴＳをアンテナ端子８２かアンテナ９５に出力する。アンテナ９５は、入力された電気信号（送信信号ＴＳ）を無線信号（電波）に変換して送信する。

【0070】

また、通信装置９において、アンテナ９５によって受信された無線信号（電波）は、アンテナ９５によって電気信号（受信信号ＲＳ）に変換されて分波器８（アンテナ端子８２）に入力される。分波器８（受信フィルタ８５）は、入力された受信信号ＲＳから受信用の通過帯以外の不要成分を除去して受信端子８４から増幅器９３ｂによって増幅され、バンドパスフィルタ９２ｂによって受信用の通過帯以外の不要成分が除去される。そして、受信信号ＲＳは、ＲＦ－ＩＣ９１によって周波数の引き下げ及び復調がなされて受信情報信号ＲＩＳとされる。

【0071】

送信情報信号ＴＩＳ及び受信情報信号ＲＩＳは、適宜な情報を含む低周波信号（ベースバンド信号）でよく、例えば、アナログの音声信号もしくはデジタル化された音声信号である。無線信号の通過帯（例えば５ＧＨｚ以上）も可能である。変調方式は、位相変調、振幅変調、周波数変調もしくはこれらのいずれか２つ以上の組み合わせのいずれであってもよい。回路方式は、図９ではダイレクトコンバージョン方式を例示したが、それ以外の適宜なものとされてよく、例えば、ダブルスーパーヘテロダイン方式であってもよい。また、図９は、要部のみを模式的に示すものであり、適宜な位置にローパスフィルタ又はアイソレータ等が追加されてよいし、また、増幅器等の位置が変更されてもよい。

【0072】

（まとめ）
（１）本開示の第１の態様に係る弾性波装置は、端面を含み、圧電体を有する基板と、基板の上方に位置し、それぞれが平行に延びた複数のストリップ電極と、を有する。複数のストリップ電極のうち、少なくとも一部の前記ストリップ電極は、弾性波を励振可能である励振部である。端面は、上方からの平面視で、ストリップ電極の延びる方向と平行であり、励振部に対して弾性波伝搬方向に位置する。複数のストリップ電極は、弾性波伝搬方向において、最も端面側に位置する第１ストリップ電極と、弾性波伝搬方向において、前記第１ストリップ電極よりも前記端面から遠い第２ストリップ電極と、を含む。第２ストリップ電極は励振部である。弾性波伝搬方向に切断した断面において、第１ストリップ電極の平均の厚みが、第２ストリップ電極の平均の厚みよりも小さい。

【0073】

（２）本開示の第２の態様に係る弾性波装置は、上記第１の態様において、第１ストリップ電極は、第１部分と、弾性波伝搬方向に切断した断面において、第１部分よりも厚みが小さい第２部分と、を含む。弾性波伝搬方向において、第２部分は、第１部分よりも端面側に位置する。

【0074】

（３）本開示の第３の態様に係る弾性波装置は、上記第１または２の態様において、第１ストリップ電極は、下面と、第１の上面と、弾性波伝搬方向において、第１の上面よりも端面側に位置する第２の上面と、第１の上面と前記第２の上面を接続している蹴上げ面と、を有し、第１の上面が、第２の上面よりも上方に位置する。

【0075】

（４）本開示の第４の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至３の態様において、第１ストリップ電極は、下面と、弾性波伝搬方向において、下面と接する側面のうち端面側に位置する第１面と、第１面と接する上面と、を有する。上面は、下面に対して下方に向かって傾斜している。

【0076】

（５）本開示の第５の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至４の態様において、第１ストリップ電極は、下面と、弾性波伝搬方向において、下面と接する側面のうち端面側に位置する第１面と、第１面と接する上面と、第１面と上面を接続する第２面と、を有する。第２面が曲面状である。

【0077】

（６）本開示の第６の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至５の態様において、励振部であるストリップ電極の過半数の平均の厚みが、第２ストリップ電極と同じである。

【0078】

（７）本開示の第７の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至６の態様において、弾性波伝搬方向に切断した断面において、圧電体の上面の延長線と端面の任意の点における接線が成す角度αが９０°よりも小さい。

【0079】

（８）本開示の第８の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至７の態様において、角度αが８２°よりも小さい。

【0080】

（９）本開示の第９の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至８の態様において、端面は、圧電体の上面側に位置する第１端面と、圧電体の下面側に位置する第２端面と、を有する。弾性波伝搬方向に切断した断面において、圧電体の上面の延長線と第１端面の任意の点における接線が成す角度が、圧電体の上面の延長線と第２端面の任意の点における接線が成す角度よりも大きい。

【0081】

（１０）本開示の第１０の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至９の態様において、第１ストリップ電極が、励振部である。

【0082】

（１１）本開示の第１１の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至１０の態様において、第１ストリップ電極が、励振部と電気的に接続していない浮電極である。

【0083】

（１２）本開示の第１２の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至１１の態様において、第１ストリップ電極は、第２ストリップ電極よりも弾性波伝搬方向における幅が大きい。

【0084】

（１３）本開示の第１３の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至１２の態様において、第１ストリップ電極は、主成分としてＡｌを含む。

【0085】

（１４）本開示の第１４の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至１３の態様において、基板は上面に溝部を有し、端面は、溝部の側面である。

【0086】

（１５）本開示の第１５の態様に係る弾性波装置は、上記第１乃至１４の態様において、基板は、支持基板と、支持基板と圧電体の間に位置する第１層と、を有する。

【0087】

（１６）本開示の第１６の態様に係る、上記第１乃至１５の態様の弾性波装置の製造方法は、基板の上方に複数のストリップ電極を形成する第１の工程を有する。第１の工程の後、ストリップ電極の上方にマスクを形成する第２の工程を有する。第２の工程の後、エッチングによって、基板に端面を形成するとともに、エッチングによって、複数のストリップ電極のうち、弾性波伝搬方向において、最も端面側に位置する第１ストリップ電極の一部を除去する第３の工程と、を有する。

【0088】

（１７）本開示の第１７の態様に係る弾性波装置の製造方法は、上記第１６の態様において、第１ストリップ電極の上方に位置するマスクの一部を除去した後、第２の工程を行う。

【0089】

（１８）本開示の第１８の態様に係る弾性波装置の製造方法は、上記第１７の態様において、第３の工程は、マスクが、弾性波伝搬方向の反対方向に向かって、徐々に後退する。

【0090】

（１９）本開示の第１９の態様に係る分波器は、アンテナ端子と、送信信号をフィルタリングしてアンテナ端子に出力するように構成された送信フィルタと、アンテナ端子からの受信信号をフィルタリングするように構成された受信フィルタと、を有する。送信フィルタおよび受信フィルタの少なくとも一方が上記第１乃至１５の態様の弾性波装置を含む。

【0091】

（２０）本開示の第２０の態様に係る通信装置は、アンテナと、アンテナにアンテナ端子が接続された上記第１９の態様の分波器と、送信フィルタおよび受信フィルタに接続されたＩＣと、を有する。

【符号の説明】

【0092】

１：弾性波装置
２：基板
２１：圧電体
２２：第１層
２３：支持基板
３：電極層
３１：ストリップ電極
３１１：励振部
３１１ａ：第１励振部
３１１ｂ：第２励振部
３１１７：第２ストリップ電極
３１３：浮電極
３１５：第１ストリップ電極
３５：ＩＤＴ電極
３５１：バスバー
３５１ａ：第１バスバー
３５１ｂ：第２バスバー
３７：反射器
４：溝部
４１：端面
４１ａ：第１端面
４１ｂ：第２端面
５：マスク
８：分波器
９：通信装置

【要約】

【課題】弾性波装置のスプリアス低減が求められている。
【解決手段】弾性波装置は、端面を含み、圧電体を有する基板と、前記基板の上方に位置し、それぞれが平行に延びた複数のストリップ電極と、を有し、前記複数のストリップ電極のうち、少なくとも一部の前記ストリップ電極は、弾性波を励振可能である励振部であり、前記端面は、上方からの平面視で、前記ストリップ電極の延びる方向と平行であり、前記励振部に対して弾性波伝搬方向に位置し、前記複数のストリップ電極は、前記弾性波伝搬方向において、最も前記端面側に位置する第１ストリップ電極と、前記弾性波伝搬方向において、前記第１ストリップ電極よりも前記端面から遠く、前記励振部である第２ストリップ電極と、を含み、前記弾性波伝搬方向に切断した断面において、前記第１ストリップ電極の平均の厚みが、前記第２ストリップ電極の平均の厚みよりも小さく、前記基板は上面に溝部を有し、前記端面は、前記溝部の側面の一部である。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】