特許7682994真空リーク検出システム、ガス制御ユニット及びガスリーク検出方法

発明の名称　真空リーク検出システム、ガス制御ユニット及びガスリーク検出方法

出願人　インフィコン・ゲーエムベーハー　（識別番号 523025551）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7682994

公報発行日　2025年5月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7682994

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