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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-05-21
(45)【発行日】2025-05-29
(54)【発明の名称】フィルタ取付け構造および減圧装置
(51)【国際特許分類】
F26B 5/04 20060101AFI20250522BHJP
B01D 46/00 20220101ALI20250522BHJP
【ＦＩ】
F26B5/04
B01D46/00 C
【請求項の数】
10
(21)【出願番号】P 2024095494
(22)【出願日】2024-06-12
【審査請求日】2025-03-04
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000192590
【氏名又は名称】株式会社神鋼環境ソリューション
(74)【代理人】
【識別番号】100183586
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 眞人
(72)【発明者】
【氏名】小川 智宏
(72)【発明者】
【氏名】岸 勇佑
(72)【発明者】
【氏名】川口 晋也
【審査官】杉山 健一
(56)【参考文献】
【文献】特開２０２０－１４８３４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－０３８９９７（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第６４６８３２２（ＵＳ，Ｂ１）
【文献】中国実用新案第２０７８８１３５９（ＣＮ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ２６Ｂ ５／０４
Ｂ０１Ｄ ４６／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被処理物を収容する収容空間と前記収容空間を外部に開放するための容器開口部とを有する容器と、前記収容空間の気体を前記容器開口部で構成された開口から吸引して前記収容空間を減圧させるための吸引管と、前記吸引管における前記気体の流れの上流側の端部を前記容器開口部に気密的に接続する接続部とを備える減圧装置に、前記気体を通過させるとともに前記被処理物に含まれる固形物を捕捉するフィルタ本体と、前記フィルタ本体の気体出口の外周部に設けられたフィルタフランジ部とを有するフィルタを取り付けるためのフィルタ取付け構造であって、前記収容空間において前記フィルタを支持するフィルタ支持部と、
前記気体の流れを確保しながら前記フィルタフランジ部を前記フィルタ支持部に押さえ付けて固定するフィルタ押さえ部とを備え、
前記フィルタ支持部は、前記フィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されたフィルタ取付け孔を有する板状のフィルタ取付け板部と、前記フィルタ取付け板部の外周部に設けられ、前記容器開口部の内周部における前記収容空間の外側を向いた引掛け面に引掛けられる引掛け部とを有し、
前記フィルタ本体が前記フィルタ取付け孔に前記収容空間の外側から挿し込まれた状態において、前記フィルタ取付け板部と前記吸引管との間に前記フィルタフランジ部および前記フィルタ押さえ部が配置されるとともに、前記容器開口部の内周部と前記接続部とで前記引掛け部が挟まれる、フィルタ取付け構造。
【請求項2】
前記フィルタ取付け板部は、複数の前記フィルタのそれぞれの前記フィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成された複数のフィルタ取付け孔を有し、前記吸引管における前記気体の流れの上流側の端部またはその上流側には、前記複数のフィルタを通過した前記気体を合流させて前記吸引管に導くための合流空間が構成される、請求項１に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項3】
前記接続部は、前記合流空間を構成する合流空間構成部を有する、請求項２に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項4】
前記フィルタ押さえ部は、前記合流空間を構成する合流空間構成部を有する、請求項２に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項5】
前記フィルタ押さえ部は、前記接続部と一体的に形成される、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項6】
前記フィルタ押さえ部における前記フィルタ取付け板部に対向する領域の全体には、複数の通気孔がムラなく分布して形成される、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項7】
前記引掛け部は、一方の開口が前記フィルタ取付け板部で閉塞され、他方の開口が開放された筒状の周壁部と、前記周壁部の開口端部の外周部に設けられ、前記容器開口部の内周部における前記収容空間の外側を向いた引掛け面に引掛けられる引掛けフランジ部とを有し、前記周壁部の内側に前記フィルタフランジ部および前記フィルタ押さえ部が配置されるとともに、前記フィルタ押さえ部が前記接続部で押さえられる、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項8】
前記気体の流れを確保しながら前記フィルタ押さえ部と前記接続部との間に配置されるスペーサを備え、前記スペーサが前記接続部で押さえられることによって、前記フィルタ押さえ部が前記接続部で間接的に押さえられる、請求項７に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項9】
前記容器開口部の円筒状の内面を第１面とし、前記第１面を除く前記容器の内面を第２面とし、前記第１面と前記第２面との境界線を含む仮想面を想定したとき、前記フィルタ取付け板部における前記収容空間の内側を向いた面は、前記仮想面と重なる位置に配置される、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のフィルタ取付け構造。
【請求項10】
被処理物を収容する収容空間と前記収容空間を外部に開放するための容器開口部とを有する容器と、前記収容空間の気体を前記容器開口部で構成された開口から吸引して前記収容空間を減圧させるための吸引管と、
前記吸引管における前記気体の流れの上流側の端部を前記容器開口部に気密的に接続する接続部と、
前記気体を通過させるとともに前記被処理物に含まれる固形物を捕捉する筒状のフィルタ本体と、前記フィルタ本体の気体出口の外周部に設けられたフィルタフランジ部とを有するフィルタと、
前記収容空間において前記フィルタを支持するフィルタ支持部と、
前記気体の流れを確保しながら前記フィルタフランジ部を前記フィルタ支持部に押さえ付けて固定するフィルタ押さえ部とを備え、
前記フィルタ支持部は、前記フィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されたフィルタ取付け孔を有する板状のフィルタ取付け板部と、前記フィルタ取付け板部の外周部に設けられ、前記容器開口部の内周部における前記収容空間の外側を向いた引掛け面に引掛けられる引掛け部とを有し、
前記フィルタ本体が前記フィルタ取付け孔に前記収容空間の外側から挿し込まれた状態において、前記フィルタ取付け板部と前記吸引管との間に前記フィルタフランジ部および前記フィルタ押さえ部が配置されるとともに、前記容器開口部の内周部と前記接続部とで前記引掛け部が挟まれる、減圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、被処理物を収容する収容空間を減圧させる減圧装置および減圧装置に用いられるフィルタ取付け構造に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１に記載された減圧乾燥装置は、従来の減圧装置の一種であり、容器と、容器の内部の気体を吸引するための真空配管と、容器の内部の被処理物が真空配管に吸引されないようにするためのフィルタとを備えている。
【0003】
フィルタは、フランジ部を有する有底筒状のフィルタ部と、フランジ部を有する有底筒状の支持枠とを有しており、支持枠の外側にフィルタ部が被せられるとともに、支持枠のフランジ部とフィルタ部のフランジ部とが互いに重ね合わされている。そして、容器の接続端部（容器開口部）に構成された開口にフィルタが挿し込まれるとともに、フィルタの各フランジ部が接続端部（容器開口部）と蓋（接続部）との間に挟み込まれている。
【0004】
特許文献１に記載された減圧乾燥装置では、フィルタの各フランジ部が接続端部（容器開口部）および蓋（接続部）の形状や大きさに合わせて設計されているため、専用のフィルタを準備する必要があった。このような事情から、汎用品のフィルタを適宜選択して使用できるフィルタ取付け構造の出現が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【文献】特開２０２０－１４８３４９号公報
【発明の概要】
【0006】
本発明は、汎用品のフィルタを適宜選択して使用できるフィルタ取付け構造および減圧装置を提供することを目的とする。
【0007】
上記目的を達成するため、本発明に係るフィルタ取付け構造の特徴は、被処理物を収容する収容空間と前記収容空間を外部に開放するための容器開口部とを有する容器と、前記収容空間の気体を前記容器開口部で構成された開口から吸引して前記収容空間を減圧させるための吸引管と、前記吸引管における前記気体の流れの上流側の端部を前記容器開口部に気密的に接続する接続部とを備える減圧装置に、前記気体を通過させるとともに前記被処理物に含まれる固形物を捕捉するフィルタ本体と、前記フィルタ本体の気体出口の外周部に設けられたフィルタフランジ部とを有するフィルタを取り付けるためのフィルタ取付け構造であって、前記収容空間において前記フィルタを支持するフィルタ支持部と、前記気体の流れを確保しながら前記フィルタフランジ部を前記フィルタ支持部に押さえ付けて固定するフィルタ押さえ部とを備え、前記フィルタ支持部は、前記フィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されたフィルタ取付け孔を有する板状のフィルタ取付け板部と、前記フィルタ取付け板部の外周部に設けられ、前記容器開口部の内周部における前記収容空間の外側を向いた引掛け面に引掛けられる引掛け部とを有し、前記フィルタ本体が前記フィルタ取付け孔に前記収容空間の外側から挿し込まれた状態において、前記フィルタ取付け板部と前記吸引管との間に前記フィルタフランジ部および前記フィルタ押さえ部が配置されるとともに、前記容器開口部の内周部と前記接続部とで前記引掛け部が挟まれることにある。
【0008】
このフィルタ取付け構造では、フィルタ支持部のフィルタ取付け孔がフィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されるので、形状および大きさが異なる様々なフィルタをフィルタ取付け板部に取り付けることができる。したがって、設計の自由度が高く、汎用性のある安価なフィルタを適宜選択して使用することが可能であり、製造コストを低減できる。
【0009】
また、フィルタ取付け板部と吸引管との間にフィルタフランジ部およびフィルタ押さえ部が配置されるとともに、容器開口部の内周部と接続部とで引掛け部が挟まれた簡単な構造でフィルタの支持状態を保持できるので、製造コストを低減できる。さらに、フィルタ取付け板部におけるフィルタ取付け孔の位置を変更するだけで、フィルタ取付け板部におけるフィルタの位置を簡単に変更できる。
【0010】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記フィルタ取付け板部は、複数の前記フィルタのそれぞれの前記フィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成された複数のフィルタ取付け孔を有し、前記吸引管における前記気体の流れの上流側の端部またはその上流側には、前記複数のフィルタを通過した前記気体を合流させて前記吸引管に導くための合流空間が構成されることにある。
【0011】
このフィルタ取付け構造では、フィルタ取付け板部に複数のフィルタを取り付けることができるので、フィルタ全体の面積を広くすることが可能であり、気体の吸引効率を高めることができる。したがって、凍結乾燥装置のように収容空間で気体（昇華蒸気など）が発生する減圧装置においても、高真空を容易に達成することができる。
【0012】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記接続部は、前記合流空間を構成する合流空間構成部を有することにある。
【0013】
このフィルタ取付け構造では、接続部が合流空間構成部を有するので、吸引管の端部が合流空間構成部を有する場合と比べて、合流空間を広く確保し易い。
【0014】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記フィルタ押さえ部は、前記合流空間を構成する合流空間構成部を有することにある。
【0015】
このフィルタ取付け構造では、フィルタ押さえ部が合流空間構成部を有するので、吸引管の端部が合流空間構成部を有する場合と比べて、合流空間を広く確保し易い。
【0016】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記フィルタ押さえ部は、前記接続部と一体的に形成されることにある。
【0017】
このフィルタ取付け構造では、フィルタ押さえ部が接続部と一体的に形成されるので、部品点数を減らすことができ、製造コストを低減できるとともに、組立作業性を向上できる。
【0018】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記フィルタ押さえ部における前記フィルタ取付け板部に対向する領域の全体には、複数の通気孔がムラなく分布して形成されることにある。
【0019】
このフィルタ取付け構造では、フィルタ取付け板部に取り付けられたフィルタの位置、大きさ、数にかかわらず、フィルタフランジ部をフィルタ押さえ部で確実に押さえ付けることができる。
【0020】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記引掛け部は、一方の開口が前記フィルタ取付け板部で閉塞され、他方の開口が開放された筒状の周壁部と、前記周壁部の開口端部の外周部に設けられ、前記容器開口部の内周部における前記収容空間の外側を向いた引掛け面に引掛けられる引掛けフランジ部とを有し、前記周壁部の内側に前記フィルタフランジ部および前記フィルタ押さえ部が配置されるとともに、前記フィルタ押さえ部が前記接続部で押さえられることにある。
【0021】
このフィルタ取付け構造では、周壁部の軸方向における周壁部の長さおよびフィルタ押さえ部の長さの少なくとも一方を変更することによって、フィルタフランジ部が配置される空間の長さをフィルタフランジ部の厚さに応じて適切に定めることができる。
【0022】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記気体の流れを確保しながら前記フィルタ押さえ部と前記接続部との間に配置されるスペーサを備え、前記スペーサが前記接続部で押さえられることによって、前記フィルタ押さえ部が前記接続部で間接的に押さえられることにある。
【0023】
このフィルタ取付け構造では、容器開口部の軸方向におけるスペーサの長さを変更することによって、フィルタフランジ部が配置される空間の長さをフィルタフランジ部の厚さに応じて適切に定めることができる。
【0024】
本発明に係るフィルタ取付け構造の他の特徴は、前記容器開口部の円筒状の内面を第１面とし、前記第１面を除く前記容器の内面を第２面とし、前記第１面と前記第２面との境界線を含む仮想面を想定したとき、前記フィルタ取付け板部における前記収容空間の内側を向いた面は、前記仮想面と重なる位置に配置されることにある。
【0025】
このフィルタ取付け構造では、フィルタ取付け板部における収容空間の内側を向いた面と容器の内面との間に凹部が生じないので、収容空間において異物が溜まり易い領域が生じることを防止でき、ひいては異物混入（コンタミネーション）を防止できる。
【0026】
上記目的を達成するため、本発明に係る減圧装置の特徴は、被処理物を収容する収容空間と前記収容空間を外部に開放するための容器開口部とを有する容器と、前記収容空間の気体を前記容器開口部で構成された開口から吸引して前記収容空間を減圧させるための吸引管と、前記吸引管における前記気体の流れの上流側の端部を前記容器開口部に気密的に接続する接続部と、前記気体を通過させるとともに前記被処理物に含まれる固形物を捕捉するフィルタ本体と、前記フィルタ本体の気体出口の外周部に設けられたフィルタフランジ部とを有するフィルタと、前記収容空間において前記フィルタを支持するフィルタ支持部と、前記気体の流れを確保しながら前記フィルタフランジ部を前記フィルタ支持部に押さえ付けて固定するフィルタ押さえ部とを備え、前記フィルタ支持部は、前記フィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されたフィルタ取付け孔を有する板状のフィルタ取付け板部と、前記フィルタ取付け板部の外周部に設けられ、前記容器開口部の内周部における前記収容空間の外側を向いた引掛け面に引掛けられる引掛け部とを有し、前記フィルタ本体が前記フィルタ取付け孔に前記収容空間の外側から挿し込まれた状態において、前記フィルタ取付け板部と前記吸引管との間に前記フィルタフランジ部および前記フィルタ押さえ部が配置されるとともに、前記容器開口部の内周部と前記接続部とで前記引掛け部が挟まれることにある。
【0027】
この減圧装置では、フィルタ支持部のフィルタ取付け孔がフィルタ本体の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されるので、形状および大きさが異なる様々なフィルタをフィルタ取付け板部に取り付けることができる。したがって、設計の自由度が高く、汎用性のある安価なフィルタを適宜選択して使用することが可能であり、製造コストを低減できる。
【0028】
また、フィルタ取付け板部と吸引管との間にフィルタフランジ部およびフィルタ押さえ部が配置されるとともに、容器開口部の内周部と接続部とで引掛け部が挟まれた簡単な構造でフィルタの支持状態を保持できるので、製造コストを低減できる。さらに、フィルタ取付け板部におけるフィルタ取付け孔の位置を変更するだけで、フィルタ取付け板部におけるフィルタの位置を簡単に変更できる。
【図面の簡単な説明】
【0029】
【図1】実施形態に係る減圧装置の構成を示す図であり、（Ａ）はフィルタが上に位置している状態を示す正面図、（Ｂ）は主要部の構成を示す部分拡大正面図である。
【図2】第１実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す図であり、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は（Ａ）におけるIIＢ部分拡大図である。
【図3】第１実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す分解斜視図である。
【図4】（Ａ）は第２実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す断面図、（Ｂ）は第３実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す断面図である。
【図5】第４実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す図であり、（Ａ）は断面図、（Ｂ）はフィルタ押さえ部の構成を示す平面図である。
【図6】（Ａ）は第５実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す断面図、（Ｂ）は（Ａ）に示したフィルタ押さえ部の第１変形例を示す分解断面図である。
【図8】第６実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す分解断面図である。
【図9】第７実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す図であり、（Ａ）は分解断面図、（Ｂ）は部分拡大断面図である。
【図10】第８実施形態に係るフィルタ取付け構造を示す図であり、（Ａ）は分解断面図、（Ｂ）は部分拡大断面図である。
【0030】
以下、本発明の実施形態に係るフィルタ取付け構造および減圧装置について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、説明の便宜上、紙面の上側を「上」とし、紙面の下側を「下」とする。
【0031】
（実施形態に係る減圧装置）
図１は、実施形態に係る減圧装置１０の構成を示す図であり、図１（Ａ）はフィルタ２２が上に位置している状態を示す正面図、図１（Ｂ）は主要部の構成を示す部分拡大正面図である。図２は、第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４を示す図であり、図２（Ａ）は断面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）におけるIIＢ部分拡大図である。図３は、第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４を示す分解斜視図である。
図１は、実施形態に係る減圧装置１０の構成を示す図であり、図１（Ａ）はフィルタ２２が上に位置している状態を示す正面図、図１（Ｂ）は主要部の構成を示す部分拡大正面図である。図２は、第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４を示す図であり、図２（Ａ）は断面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）におけるIIＢ部分拡大図である。図３は、第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４を示す分解斜視図である。
【0032】
図１（Ａ）に示す減圧装置１０は、凍結した被処理物を減圧状態で乾燥させる凍結乾燥装置として構成されたものであり、被処理物を収容する収容空間Ｓを有する容器１２と、吸引管１４と、吸引管１４を容器１２に接続するための接続部１６と、回転駆動部１８と、制御部２０とを備えている。また、図２（Ａ）に示すように、減圧装置１０は、２つのフィルタ２２，２２と、フィルタ取付け構造２４とを備えている。
【0033】
図１（Ｂ）に示すように、容器１２は、収容空間Ｓを構成する容器本体２６と、収容空間Ｓを外部に開放する第１容器開口部（容器開口部）２８と、収容空間Ｓの被処理物を外部に排出するための第２容器開口部３０と、ジャケット３２とを有している。
【0034】
容器本体２６は、上下方向に延びる筒状の第１周壁部３４ａと、第１周壁部３４ａの上端部から上方へ向けて先細りとなるように形成された第２周壁部３４ｂと、第１周壁部３４ａの下端部から下方へ向けて先細りとなるように形成された第３周壁部３４ｃとを有している。第２周壁部３４ｂの上端部には、第１容器開口部２８を取り付けるための取付け孔３６ａが形成されており、第３周壁部３４ｃの下端部には、第２容器開口部３０を取り付けるための取付け孔３６ｂが形成されている。
【0035】
図２（Ａ）に示すように、第１容器開口部２８は、収容空間Ｓの内側空間と外側空間とを連通させる開口３８を構成する部分である。本実施形態の第１容器開口部２８は、容器１２の中心軸Ｌを中心とする内周面４０および外周面４２を有する円筒状に形成されている。第１容器開口部２８の内周面４０は、円筒状の内面である第１面４０ａと、第１面４０ａを除く内面である第２面４０ｂとを有しており、第２面４０ｂは、下方へ向かうにつれて内径が徐々に大きくなって容器本体２６の内面の一部となっている。
【0036】
第１容器開口部２８の下端部２８ａは、第２周壁部３４ｂに形成された取付け孔３６ａの内周部に接合されており、第１容器開口部２８の上端部２８ｂは、容器本体２６の外表面から上方へ突出されている。
【0037】
図２（Ｂ）に示すように、第１容器開口部２８の内周部２８ｃには、上方へ向かって内径が大きくなるように段差部４４が形成されている。図３に示すように、段差部４４における収容空間Ｓの外側を向いた面、すなわち内周部２８ｃにおける収容空間Ｓの外側を向いた面（以下、「引掛け面」という。）４６は、容器１２の中心軸Ｌに対して直交する平坦面に形成されている。
【0038】
図１（Ｂ）に示す第２容器開口部３０は、収容空間Ｓの被処理物を外部へ排出するための開口４８を構成する円筒状の部分であり、第２容器開口部３０の上端部は、第３周壁部３４ｃに形成された取付け孔３６ｂの内周部に接合されている。第２容器開口部３０の下端部には、蓋体５０が着脱自在に取り付けられている。
【0039】
図２（Ａ）に示すジャケット３２は、収容空間Ｓの被処理物を冷却または加熱するための手段であり、容器本体２６の外面に沿うように形成されたジャケット本体５２を有している。容器本体２６とジャケット本体５２との間には、熱媒が流れる熱媒流路５４が構成されている。熱媒流路５４に熱媒が供給されると、容器本体２６の全体が熱媒の温度に応じて冷却または加熱され、収容空間Ｓの被処理物が冷却または加熱される。なお、熱媒の種類は、特に限定されるものではないが、本実施形態では、シリコンオイルが使用されている。
【0040】
図１（Ｂ）に示すように、ジャケット本体５２において、容器本体２６の第１周壁部３４ａ、第２周壁部３４ｂおよび第３周壁部３４ｃに対向する部分を第１周壁対向部５６ａ、第２周壁対向部５６ｂおよび第３周壁対向部５６ｃとしたとき、第２周壁対向部５６ｂの上端部は、第１容器開口部２８の外周部に接合されており、第３周壁対向部５６ｃの下端部は、第２容器開口部３０の外周部に接合されている。
【0041】
つまり、図２（Ａ）に示すように、容器１２の上部では、容器本体２６とジャケット本体５２との隙間が第１容器開口部２８によって密閉されている。図示していないが、容器１２の下部では、容器本体２６とジャケット本体５２との隙間が第２容器開口部３０によって密閉されている。言い換えると、容器１２の上部では、容器本体２６とジャケット本体５２とによって第１容器開口部２８が十分な強度で支持されており、容器１２の下部では、容器本体２６とジャケット本体５２とによって第２容器開口部３０が十分な強度で支持されている。
【0042】
図１（Ａ）に示す吸引管１４は、収容空間Ｓの気体を第１容器開口部２８から吸引して収容空間Ｓを減圧させるための部材であり、複数の管１４ａ～１４ｄをＵ字状に連結することによって構成されている。Ｕ字状の真中に位置する管１４ｂは、可撓性または屈曲性を有しており、これによって、使用者は、吸引管１４を容器１２に接続する作業を容易に行うことができる。
【0043】
図１（Ａ）に示す接続部１６は、吸引管１４における気体の流れの上流側の端部５８を第１容器開口部２８に気密的に接続する部材である。図３に示すように、本実施形態の接続部１６は、直管状の管体６０と、円板状の蓋部６２とを有している。管体６０の上端部には、受口６０ａが形成されており、蓋部６２の中央部には、円形の貫通孔６２ａが形成されている。そして、管体６０の下端部が貫通孔６２ａに嵌め込まれて蓋部６２に接合されている。
【0044】
図２（Ａ）に示すように、接続部１６の蓋部６２は、第１容器開口部２８の上面に載置されるとともに、クランプ６４（図１（Ｂ））を用いて第１容器開口部２８に固定されている。接続部１６を構成する管体６０の受口６０ａには、図１（Ａ）に示す吸引管１４の端部５８が挿し込まれて接合されている。なお、蓋部６２を第１容器開口部２８に固定する固定手段は、クランプ６４に限定されるものではなく、ボルトおよびナットなどの他の固定手段が採用されてもよい。
【0045】
図１（Ａ）に示す回転駆動部１８は、容器１２および吸引管１４などを回転させるための装置であり、容器１２の互いに反対側を向いた側面に固定された円筒状の第１回転軸６６ａおよび第２回転軸６６ｂと、第１回転軸６６ａおよび第２回転軸６６ｂを回転可能に支持する第１軸受け部６８ａおよび第２軸受け部６８ｂとを有している。第１回転軸６６ａおよび第２回転軸６６ｂの回転中心は、容器１２の中心軸Ｌ（図２（Ａ））に対して直交するように配置されている。
【0046】
また、回転駆動部１８は、第１回転軸６６ａに回転力を付与するための駆動モータ７０を有している。駆動モータ７０には、制御部２０が電気的に接続されており、制御部２０から与えられた制御信号に応じて駆動モータ７０が回転または停止される。
【0047】
第１回転軸６６ａの内部には、ジャケット３２の熱媒流路５４（図２（Ａ））に熱媒としてのシリコンオイルを供給するための熱媒供給管７２ａと、ジャケット３２の熱媒流路５４から熱媒としてのシリコンオイルを排出するための熱媒排出管７２ｂとが配置されている。熱媒供給管７２ａの上流側端部は、ポンプ７４の吐出口に接続されており、ポンプ７４の吸込口は、接続管７６を介して熱媒源７８の出口に接続されている。熱媒排出管７２ｂの下流側端部は、熱媒源７８の入口に接続されている。ポンプ７４および熱媒源７８には、制御部２０が電気的に接続されており、制御部２０から与えられた制御信号に応じてポンプ７４が駆動または停止される。また、制御部２０から与えられた制御信号に応じて熱媒源７８がシリコンオイルの温度を調節する。
【0048】
第２回転軸６６ｂの壁部には、吸引管１４の下流側の端部が接続されており、第２回転軸６６ｂの第２軸受け部６８ｂで支持された側の端部には、排気管８２を介して蒸気回収装置８５の入口が接続されており、蒸気回収装置８５の出口には、真空ポンプ８４の吸込口が接続されている。つまり、容器１２の収容空間Ｓと真空ポンプ８４の吸込口とが、密閉された気体流路８６で連通されている。本実施形態の蒸気回収装置８５はコールドトラップであり、気体流路８６を流れる蒸気（水分）は氷として回収される。真空ポンプ８４および蒸気回収装置８５には、制御部２０が電気的に接続されており、制御部２０から与えられた制御信号に応じて真空ポンプ８４および蒸気回収装置８５が駆動または停止される。
【0049】
図３に示すように、フィルタ２２は、気体を通過させるとともに被処理物に含まれる固形物を捕捉するフィルタ本体９０と、フィルタフランジ部９２とを有している。フィルタ本体９０は、枠体９０ａと、枠体９０ａに被せられた袋状の濾布９０ｂとを有しており、フィルタ本体９０の全体は、内部に空間を有する有底筒状に形成されている。フィルタ本体９０の開口端部は、濾布９０ｂを通ってフィルタ本体９０の内部に流入した気体の出口（以下、「気体出口」という。）９４となっており、気体出口９４の外周部に鍔状のフィルタフランジ部９２が形成されている。
【0050】
気体出口９４が向けられた方向（上方）からフィルタ２２を見たとき、フィルタフランジ部９２に外接する外接円の直径は、フィルタ本体９０に外接する外接円の直径よりも大きく定められている。本実施形態では、フィルタフランジ部９２が円環状に形成されており、フィルタ本体９０が有底円筒状に形成されているため、フィルタフランジ部９２の外径は、フィルタ本体９０の外径よりも大きく定められている。つまり、フィルタフランジ部９２は、フィルタ本体９０から外側へ出っ張って形成されている。
【0051】
図１（Ａ）に示す制御部２０は、減圧装置１０を作動させるための各電気機器を制御する装置であり、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびタイマ等からなるマイクロコンピュータ（図示省略）によって構成されている。ＲＯＭには、各電気機器の動作プログラムが記憶されている。
【0052】
（第１実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図２（Ａ），（Ｂ）に示すフィルタ取付け構造２４は、容器１２と吸引管１４と接続部１６とを備える減圧装置にフィルタ２２を取り付けるための構造であり、収容空間Ｓにおいてフィルタ２２を支持するフィルタ支持部９６と、フィルタ支持部９６で支持されたフィルタ２２を上方から押さえるフィルタ押さえ部９８とを有している。
図２（Ａ），（Ｂ）に示すフィルタ取付け構造２４は、容器１２と吸引管１４と接続部１６とを備える減圧装置にフィルタ２２を取り付けるための構造であり、収容空間Ｓにおいてフィルタ２２を支持するフィルタ支持部９６と、フィルタ支持部９６で支持されたフィルタ２２を上方から押さえるフィルタ押さえ部９８とを有している。
【0053】
図３に示すように、フィルタ支持部９６は、２つのフィルタ取付け孔１００を有する板状のフィルタ取付け板部１０２と、フィルタ取付け板部１０２の外周部に設けられ、第１容器開口部２８の引掛け面４６に引掛けられる引掛け部１０４とを有している。
【0054】
フィルタ取付け板部１０２は、第１容器開口部２８の開口３８に挿入可能な大きさで、開口３８の横断面形状に応じた形状、すなわち円形に形成されている。各フィルタ取付け孔１００は、フィルタ２２におけるフィルタ本体９０の大きさに応じた大きさで、フィルタ本体９０の横断面形状に応じた形状、すなわち円形に形成されている。
【0055】
図３に示すように、引掛け部１０４は、一方（下側）の開口がフィルタ取付け板部１０２で閉塞され、他方（上側）の開口が開放された筒状の周壁部１０６と、周壁部１０６の開口端部１０６ａの外周部に設けられ、上記引掛け面４６に引掛けられる引掛けフランジ部１０８とを有している。
【0056】
図２（Ｂ）に示すように、フィルタ２２のフィルタ本体９０は、ガスケット１１０を介してフィルタ取付け板部１０２のフィルタ取付け孔１００に収容空間Ｓの外側（上側）から挿し込まれており、フィルタフランジ部９２は、ガスケット１１０を介してフィルタ取付け孔１００の内周部に引掛けられている。したがって、フィルタ２２とフィルタ取付け板部１０２との隙間は、ガスケット１１０によって封止されている。この状態において、フィルタ取付け板部１０２と吸引管１４（図１（Ａ））との間には、フィルタフランジ部９２およびフィルタ押さえ部９８が配置されている。また、第１容器開口部２８の内周部２８ｃと接続部１６とで引掛け部１０４の引掛けフランジ部１０８が挟まれている。なお、ガスケット１１０に替えて、フィルタフランジ部９２の下面およびフィルタ取付け板部１０２の上面の少なくとも一方にＯリング用の溝を設けて当該溝にＯリングを取り付ける構成が採用されてもよい。
【0057】
図２（Ｂ）に示すように、フィルタ押さえ部９８は、フィルタ２２を通って吸引管１４（図１（Ａ））に向かう気体の流れを確保しながらフィルタフランジ部９２をフィルタ支持部９６のフィルタ取付け板部１０２に押さえ付けて固定する部材である。なお、図２（Ａ）では、気体の流れを破線矢印で示している。
【0058】
図３に示すように、フィルタ押さえ部９８は、フィルタ支持部９６の周壁部１０６の内側に配置可能な大きさで、フィルタ取付け板部１０２の形状に応じた形状、すなわち円形に形成された板状のフィルタ押さえ本体１１２と、フィルタ押さえ本体１１２の上端部の外周部に形成された鍔状のフィルタ押さえフランジ部１１４とを有している。フィルタ押さえ本体１１２は、全体が一定の厚さで形成されており、フィルタ押さえ本体１１２には、フィルタ２２の気体出口９４に対応する２つの貫通孔１１６が形成されている。図２（Ｂ）に示すように、フィルタ押さえ本体１１２の厚さは、接続部１６の蓋部６２でフィルタ押さえ部９８が押さえられたときに、その押圧力がフィルタフランジ部９２に伝わるように定められている。
【0059】
図２（Ａ）に示すように、本実施形態では、吸引管１４（図１（Ａ））における気体の流れの上流側の端部５８の上流側、すなわち接続部１６を構成する管体６０の内部に、２つのフィルタ２２を通過した気体を合流させて吸引管１４の気体流路８６に導くための合流空間Ｑが構成されている。つまり、接続部１６が合流空間Ｑを構成する合流空間構成部１１８を有している。
【0060】
言い換えると、接続部１６を構成する管体６０の内部空間は、管体６０の軸方向において、２つのフィルタ２２のそれぞれの気体出口９４と位置的に重なるように配置されており、その結果、管体６０の内部空間が合流空間Ｑとなっている。
【0061】
図３に示すように、減圧装置１０にフィルタ２２を取り付ける際には、まず、使用者は、第１容器開口部２８の引掛け面４６にガスケット１２０を介してフィルタ支持部９６の引掛けフランジ部１０８を引掛ける。すると、図２（Ｂ）に示すように、フィルタ支持部９６のフィルタ取付け板部１０２は、第１容器開口部２８の開口端から収容空間Ｓ側へ入り込んだ位置に配置される。なお、ガスケット１２０に替えて、引掛けフランジ部１０８の下面および引掛け面４６の少なくとも一方にＯリング用の溝を設けて当該溝にＯリングを取り付ける構成が採用されてもよい。
【0062】
続いて、使用者は、フィルタ支持部９６の各フィルタ取付け孔１００にガスケット１１０を介してフィルタ２２のフィルタ本体９０を挿し込み、かつ、フィルタフランジ部９２の上面にフィルタ押さえ部９８を載置する。すると、図２（Ｂ）に示すように、引掛け面４６においては、ガスケット１２０と、引掛けフランジ部１０８と、フィルタ押さえフランジ部１１４とがこの順に重ね合わされる。
【0063】
その後、使用者は、フィルタ押さえフランジ部１１４の上面にガスケット１２２を介して接続部１６の蓋部６２を載置し、クランプ６４（図１（Ａ））を用いて蓋部６２を第１容器開口部２８に固定する。すると、図２（Ｂ）に示すように、蓋部６２でフィルタ押さえ部９８が押さえられ、その押圧力でフィルタフランジ部９２が押さえられる。なお、ガスケット１２２に替えて、蓋部６２の下面およびフィルタ押さえフランジ部１１４の上面の少なくとも一方にＯリング用の溝を設けて当該溝にＯリングを取り付ける構成が採用されてもよい。
【0064】
（減圧装置の動作）
図１（Ａ）に示す減圧装置１０を用いて被処理物を凍結乾燥させる際には、使用者は、まず、凍結した被処理物を第２容器開口部３０から容器１２の収容空間Ｓに投入する。続いて、使用者は、減圧装置１０の駆動スイッチをオンにする。すると、制御部２０は、蒸気回収装置８５を作動させ、収容空間Ｓを減圧するように真空ポンプ８４を駆動させるとともに、容器１２を連続して回転させるように駆動モータを駆動させる。さらに、制御部２０は、ジャケット３２にシリコンオイルを供給するようにポンプ７４を駆動させるとともに、シリコンオイルの温度を適宜調節するように熱媒源７８を制御する。これらの動作によって、被処理物に含まれる固体（氷）が気体（水蒸気）へ状態変化（昇華）され、被処理物が乾燥される。なお、制御部２０は、被処理物の状態に応じて、駆動モータを間欠的に駆動させてもよいし、正回転と逆回転とを繰り返すように駆動させてもよい。
図１（Ａ）に示す減圧装置１０を用いて被処理物を凍結乾燥させる際には、使用者は、まず、凍結した被処理物を第２容器開口部３０から容器１２の収容空間Ｓに投入する。続いて、使用者は、減圧装置１０の駆動スイッチをオンにする。すると、制御部２０は、蒸気回収装置８５を作動させ、収容空間Ｓを減圧するように真空ポンプ８４を駆動させるとともに、容器１２を連続して回転させるように駆動モータを駆動させる。さらに、制御部２０は、ジャケット３２にシリコンオイルを供給するようにポンプ７４を駆動させるとともに、シリコンオイルの温度を適宜調節するように熱媒源７８を制御する。これらの動作によって、被処理物に含まれる固体（氷）が気体（水蒸気）へ状態変化（昇華）され、被処理物が乾燥される。なお、制御部２０は、被処理物の状態に応じて、駆動モータを間欠的に駆動させてもよいし、正回転と逆回転とを繰り返すように駆動させてもよい。
【0065】
（実施形態の効果）
本実施形態の減圧装置１０およびフィルタ取付け構造２４によれば、上記構成により以下の各効果を奏することができる。すなわち、図３に示すフィルタ支持部９６のフィルタ取付け孔１００がフィルタ本体９０の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されるので、形状および大きさが異なる様々なフィルタ２２をフィルタ取付け板部１０２に取り付けることができる。したがって、設計の自由度が高く、汎用性のある安価なフィルタ２２を適宜選択して使用することが可能であり、製造コストを低減できる。
本実施形態の減圧装置１０およびフィルタ取付け構造２４によれば、上記構成により以下の各効果を奏することができる。すなわち、図３に示すフィルタ支持部９６のフィルタ取付け孔１００がフィルタ本体９０の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されるので、形状および大きさが異なる様々なフィルタ２２をフィルタ取付け板部１０２に取り付けることができる。したがって、設計の自由度が高く、汎用性のある安価なフィルタ２２を適宜選択して使用することが可能であり、製造コストを低減できる。
【0066】
図２（Ｂ）に示すように、フィルタ取付け板部１０２と吸引管１４（図１（Ａ））との間にフィルタフランジ部９２およびフィルタ押さえ部９８が配置されるとともに、第１容器開口部２８の内周部２８ｃと接続部１６とで引掛け部１０４が挟まれた簡単な構造でフィルタ２２の支持状態を保持できるので、製造コストを低減できる。さらに、フィルタ取付け板部１０２におけるフィルタ取付け孔１００の位置を変更するだけで、フィルタ取付け板部１０２におけるフィルタ２２の位置を簡単に変更できる。
【0067】
図２（Ａ）に示すように、フィルタ支持部９６のフィルタ取付け板部１０２に２つ（複数）のフィルタ２２を取り付けることができるので、フィルタ２２全体の面積を広くすることが可能であり、気体の吸引効率を高めることができる。したがって、収容空間Ｓで気体（昇華蒸気など）が発生した場合でも、高真空を容易に達成することができる。
【0068】
図２（Ｂ）に示すように、フィルタ支持部９６を構成する周壁部１０６の内側にフィルタフランジ部９２およびフィルタ押さえ部９８が配置されるとともに、フィルタ押さえ部９８が接続部１６で押さえられるので、周壁部１０６の軸方向における周壁部１０６の長さおよびフィルタ押さえ部９８の長さの少なくとも一方を変更することによって、フィルタフランジ部９２が配置される空間の長さをフィルタフランジ部９２の厚さに応じて適切に定めることができる。
【0069】
接続部１６が合流空間構成部１１８を有するので、吸引管１４の端部５８が合流空間構成部を有する場合と比べて、合流空間Ｑを広く確保し易い。つまり、図８、図９、図１０に示すように、接続部１６に設けられた合流空間構成部については、合流空間Ｑを広く確保するための設計変更を容易に行うことができる。
【0070】
（変形例）
本発明の実施にあたっては、上記実施形態の減圧装置１０に限定されず、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。すなわち、上記実施形態では、フィルタ本体９０が有底円筒状に形成されており、フィルタフランジ部９２が円環状に形成されているが、フィルタフランジ部９２がフィルタ本体９０から外側へ出っ張って形成されている、という条件を満たす限り、これらの形状、構造、大きさおよび材質は、適宜変更されてもよい。例えば、フィルタ本体９０は、保形性に優れた濾布だけで形成されてもよい。
本発明の実施にあたっては、上記実施形態の減圧装置１０に限定されず、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。すなわち、上記実施形態では、フィルタ本体９０が有底円筒状に形成されており、フィルタフランジ部９２が円環状に形成されているが、フィルタフランジ部９２がフィルタ本体９０から外側へ出っ張って形成されている、という条件を満たす限り、これらの形状、構造、大きさおよび材質は、適宜変更されてもよい。例えば、フィルタ本体９０は、保形性に優れた濾布だけで形成されてもよい。
【0071】
上記実施形態では、接続部１６が管体６０を有しているが、管体６０は省略されてもよい。この場合には、吸引管１４における気体の流れの上流側の端部５８が接続部１６の蓋部６２に接続されてもよい。また、当該端部５８に合流空間Ｑが構成されてもよい。つまり、吸引管１４における気体の流れの上流側の端部５８が合流空間Ｑを構成する合流空間構成部（図示省略）を有していてもよい。
【0072】
上記実施形態では、本発明の減圧装置が、凍結した被処理物を減圧状態で乾燥させる凍結乾燥装置として構成されているが、本発明の減圧装置は、凍結していない被処理物を減圧状態で乾燥させる減圧乾燥装置として構成されてもよいし、減圧することだけを目的とした減圧装置として構成されてもよい。
【0073】
（第２実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図４（Ａ）は第２実施形態に係るフィルタ取付け構造１２４を示す断面図である。
図４（Ａ）は第２実施形態に係るフィルタ取付け構造１２４を示す断面図である。
【0074】
第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４では、２つのフィルタ２２を支持できるように構成されているが、支持できるフィルタ２２の数は、１つでもよいし、３つ以上でもよい。図４（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１２４は、１つのフィルタ２２を支持できるように構成されたものであり、フィルタ支持部９６のフィルタ取付け板部１０２には、１つのフィルタ取付け孔１００が形成されており、フィルタ押さえ部９８のフィルタ押さえ本体１１２には、１つの貫通孔１１６が形成されている。
【0075】
この構成においても、フィルタ取付け孔１００の形状および大きさを適宜選択することによって、形状および大きさが異なる様々なフィルタ２２をフィルタ取付け板部１０２に取り付けることができる。
【0076】
（第３実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図４（Ｂ）は第３実施形態に係るフィルタ取付け構造１２６を示す断面図である。
図４（Ｂ）は第３実施形態に係るフィルタ取付け構造１２６を示す断面図である。
【0077】
第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４では、フィルタ押さえフランジ部１１４を有するフィルタ押さえ部９８が使用されているが、図４（Ｂ）に示すフィルタ取付け構造１２６のように、フィルタ押さえフランジ部１１４を有していないフィルタ押さえ部９８が使用されてもよい。
【0078】
この構成では、フィルタ押さえフランジ部１１４の厚さ分だけ引掛け面４６を第１容器開口部２８の上面に近づけることができるので、第１容器開口部２８の上下方向長さが短い場合でも、引掛け面４６を確保し易い。
【0079】
【0080】
第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４では、フィルタ押さえ部９８の貫通孔１１６がフィルタ２２の気体出口に対して１対１で対応するように形成されているが、図５（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１２８のように、フィルタ押さえ部１３０におけるフィルタ取付け板部１０２に対向する領域の全体に、複数の通気孔１３２がムラなく分布して形成されてもよい。
【0081】
この構成では、フィルタ取付け板部１０２に取り付けられたフィルタ２２の位置、大きさ、数にかかわらず、全てのフィルタ２２のフィルタフランジ部９２を気体の流れを確保しながらフィルタ取付け板部１０２に押さえ付けて固定することができる。
【0082】
（第５実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図６（Ａ）は第５実施形態に係るフィルタ取付け構造１３４を示す断面図である。
図６（Ａ）は第５実施形態に係るフィルタ取付け構造１３４を示す断面図である。
【0083】
第１実施形態に係るフィルタ取付け構造２４では、接続部１６が合流空間Ｑを構成する合流空間構成部１１８を有しているが、図６（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１３４のように、接続部１６およびフィルタ押さえ部１３６の両方が合流空間構成部１１８，１３８を有していてもよいし、フィルタ押さえ部１３６だけが合流空間構成部１３８を有していてもよい（図示省略）。図６（Ａ）に示すフィルタ押さえ部１３６は、複数の貫通孔１４０が形成された板状のフィルタ押さえ本体１４２と、フィルタ押さえ本体１４２の外周部から上方に突出して筒状に形成された合流空間構成部１３８とを有している。
【0084】
この構成では、第１容器開口部２８の内側の広い領域で合流空間Ｑを確保できるので、吸引管１４の端部５８が合流空間構成部を有する場合と比べて、合流空間Ｑを広く確保し易い。
【0085】
【0086】
図６（Ａ）に示すフィルタ押さえ部１３６では、フィルタ押さえ本体１４２と合流空間構成部１３８とが一体的に形成されているが、図６（Ｂ）に示す第１変形例のように、フィルタ押さえ本体１４２と合流空間構成部１３８とは、互いに独立して形成されてもよい。この構成では、合流空間構成部１３８が接続部１６で押さえられることによって、フィルタ押さえ本体１４２が接続部１６で間接的に押さえられる。つまり、合流空間構成部１３８は、気体の流れを確保しながらフィルタ押さえ本体（フィルタ押さえ部）１４２と接続部１６との間に配置される「スペーサ」として機能する。
【0087】
この構成では、第１容器開口部２８の軸方向における合流空間構成部（スペーサ）１３８の長さを変更することによって、フィルタフランジ部９２が配置される空間の長さをフィルタフランジ部９２の厚さに応じて適切に定めることができる。
【0088】
【0089】
図６（Ｂ）に示す第１変形例では、合流空間構成部１３８にフィルタ押さえフランジ部１４４が形成されているが、図７（Ａ）に示す第２変形例のように、フィルタ押さえフランジ部１４４は省略されてもよい。この構成では、フィルタ押さえフランジ部１４４の厚さ分だけ引掛け面４６を第１容器開口部２８の上面に近づけることができるので、第１容器開口部２８の上下方向長さが短い場合でも、引掛け面４６を確保し易い。
【0090】
また、図７（Ｂ）に示す第３変形例のように、「スペーサ」として機能する複数（第３変形例では２つ）の合流空間構成部１３８が重ねて使用されてもよい。この構成では、合流空間構成部１３８の数を変更することによって、フィルタフランジ部９２の厚さが異なる複数のフィルタ２２に対応できる。
【0091】
（第６実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図８は、第６実施形態に係るフィルタ取付け構造１４６を示す分解断面図である。
図８は、第６実施形態に係るフィルタ取付け構造１４６を示す分解断面図である。
【0092】
図５（Ａ）に示す第４実施形態に係るフィルタ取付け構造１２８では、フィルタ押さえ部１３０におけるフィルタ取付け板部１０２に対向する領域の全体に、複数の通気孔１３２がムラなく分布して形成されているが、一部の通気孔１３２が接続部１６を構成する蓋部６２で塞がれているため、気体の吸引効率を改善する余地がある。
【0093】
図８に示すフィルタ取付け構造１４６では、蓋部６２の外周部を除いた部分が上方に膨らむように形成されることによって、合流空間構成部１４８が構成されている。つまり、接続部１６が、全ての通気孔１３２に連通する合流空間Ｑを構成する合流空間構成部１４８を有している。したがって、全ての通気孔１３２を無駄なく使用することが可能であり、気体の吸引効率を高めることができる。
【0094】
（第７実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図９は、第７実施形態に係るフィルタ取付け構造１５０を示す図であり、（Ａ）は分解断面図、（Ｂ）は部分拡大断面図である。
図９は、第７実施形態に係るフィルタ取付け構造１５０を示す図であり、（Ａ）は分解断面図、（Ｂ）は部分拡大断面図である。
【0095】
図８に示す第６実施形態に係るフィルタ取付け構造１４６では、フィルタ押さえ部１３０が第１容器開口部２８の内側に設けられているが、図９（Ａ），（Ｂ）に示すフィルタ取付け構造１５０のように、フィルタ押さえ部１５２は、接続部１６の内部空間に設けられてもよい。
【0096】
図９（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１５０では、接続部１６に設けられた合流空間構成部１４８の内面にフィルタ押さえ部１５２を収容して位置決めするための収容部１５４が形成されている。そして、図９（Ｂ）に示すように、収容部１５４の内側にフィルタ押さえ部１５２が収容されている。
【0097】
この構成では、第１容器開口部２８の内側に配置されるフィルタ支持部９６を小型化することが可能であり、フィルタ支持部９６を第１容器開口部２８の内周部２８ｃに設置する際の作業性を向上できる。
【0098】
図９（Ｂ）に示すように、フィルタ取付け構造１５０において、第１容器開口部２８の内周面４０は、円筒状の内面である第１面４０ａと、第１面４０ａを除く内面である第２面４０ｂとを有しており、第２面４０ｂは、容器本体２６の内面の一部となっている。第１面４０ａと第２面４０ｂとの境界線を含む仮想面Ｘを想定したとき、フィルタ取付け板部１０２における収容空間Ｓの内側を向いた面１０２ａは、仮想面Ｘと重なる位置に配置されている。
【0099】
この構成では、フィルタ取付け板部１０２における収容空間Ｓの内側を向いた面１０２ａと第２面４０ｂすなわち容器１２の内面との間に凹部が生じないので、収容空間Ｓにおいて異物が溜まり易い領域が生じることを防止でき、ひいては異物混入（コンタミネーション）を防止できる。
【0100】
なお、図９（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１５０では、フィルタ押さえ部１５２と接続部１６とが互いに独立して形成されているが、フィルタ押さえ部１５２は、接続部１６と一体的に形成されてもよい。この場合には、部品点数を減らすことができ、製造コストを低減できるとともに、組立作業性を向上できる。
【0101】
（第８実施形態に係るフィルタ取付け構造）
図１０は、第８実施形態に係るフィルタ取付け構造１５６を示す図であり、（Ａ）は分解断面図、（Ｂ）は部分拡大断面図である。
図１０は、第８実施形態に係るフィルタ取付け構造１５６を示す図であり、（Ａ）は分解断面図、（Ｂ）は部分拡大断面図である。
【0102】
上記の各実施形態では、フィルタ支持部９６の引掛け部１０４が引掛けられる引掛け面４６が第１容器開口部２８の上面よりも下方に設けられているが、図１０（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１５６のように、引掛け面４６は、第１容器開口部２８の上面に設けられてもよい。そして、フィルタ支持部９６の全体が平坦な板状に形成されてもよい。この場合には、板状のフィルタ支持部９６の外周部が引掛け面４６に引掛けられる引掛け部１０４となり、外周部を除いた部分がフィルタ取付け板部１０２となる。したがって、フィルタ支持部９６で支持されたフィルタ２２のフィルタフランジ部９２は、第１容器開口部２８の上面から上方へ突出する。
【0103】
図１０（Ａ）に示すフィルタ取付け構造１５６では、接続部１６に設けられた合流空間構成部１４８の内面に、フィルタ押さえ部１５２、フィルタフランジ部９２、ガスケット１１０，１２０，１２２、引掛け部１０４を収容して位置決めするための収容部１５８が形成されている。そして、図１０（Ｂ）に示すように、収容部１５８の内側に上記の各部分が収容されている。
【0104】
この構成では、第１容器開口部２８の内側に配置される部分が少ないため、フィルタ取付け構造を組み立てる際の作業性を向上できる。また、第１容器開口部２８の上下方向長さが短い場合でも、引掛け面４６を確保し易い。
【符号の説明】
【0105】
Ｌ…中心軸、Ｑ…合流空間、Ｓ…収容空間、Ｘ…仮想面、１０…減圧装置、１２…容器、１４…吸引管、１４ａ～１４ｄ…管、１６…接続部、１８…回転駆動部、２０…制御部、２２…フィルタ、２４…フィルタ取付け構造、２６…容器本体、２８…第１容器開口部（容器開口部）、２８ａ…下端部、２８ｂ…上端部、２８ｃ…内周部、３０…第２容器開口部、３２…ジャケット、３４ａ…第１周壁部、３４ｂ…第２周壁部、３４ｃ…第３周壁部、３６ａ，３６ｂ…取付け孔、３８…開口、４０…内周面、４０ａ…第１面、４０ｂ…第２面、４２…外周面、４４…段差部、４６…引掛け面、４８…開口、５０…蓋体、５２…ジャケット本体、５４…熱媒流路、５６ａ…第１周壁対向部、５６ｂ…第２周壁対向部、５６ｃ…第３周壁対向部、５８…端部、６０ａ…受口、６０…管体、６２…蓋部、６２ａ…貫通孔、６４…クランプ、６６ａ…第１回転軸、６６ｂ…第２回転軸、６８ａ…第１軸受け部、６８ｂ…第２軸受け部、７０…駆動モータ、７２ａ…熱媒供給管、７２ｂ…熱媒排出管、７４…ポンプ、７６…接続管、７８…熱媒源、８２…排気管、８４…真空ポンプ、８５…蒸気回収装置、８６…気体流路、９０…フィルタ本体、９０ａ…枠体、９０ｂ…濾布、９２…フィルタフランジ部、９４…気体出口、９６…フィルタ支持部、９８…フィルタ押さえ部、１００…フィルタ取付け孔、１０２…フィルタ取付け板部、１０２ａ…収容空間Ｓの内側を向いた面、１０４…引掛け部、１０６…周壁部、１０６ａ…開口端部、１０８…引掛けフランジ部、１１０…ガスケット、１１２…フィルタ押さえ本体、１１４…フィルタ押さえフランジ部、１１６…貫通孔、１１８…合流空間構成部、１２０，１２２…ガスケット、１２４，１２６，１２８，１３４，１４６，１５０，１５６…フィルタ取付け構造、１３０，１３６…フィルタ押さえ部、１３２…通気孔、１３８…合流空間構成部、１４０…貫通孔、１４２…フィルタ押さえ本体、１４４…フィルタ押さえフランジ部、１４８…合流空間構成部、１５２…フィルタ押さえ部、１５４，１５８…収容部。
【要約】
【課題】汎用品のフィルタを適宜選択して使用できるフィルタ取付け構造および減圧装置を提供する。
【解決手段】減圧装置１０の一部であるフィルタ取付け構造２４は、フィルタ支持部９６と、フィルタ押さえ部９８とを備えている。フィルタ支持部９６は、フィルタ本体９０の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されたフィルタ取付け孔１００を有するフィルタ取付け板部１０２と、容器開口部２８の内周部２８ｃにおける収容空間Ｓの外側を向いた引掛け面４６に引掛けられる引掛け部１０４とを有している。フィルタ本体９０がフィルタ取付け孔１００に挿し込まれた状態において、フィルタ取付け板部１０２と接続部１６の管体６０に接続された吸引管との間にフィルタフランジ部９２およびフィルタ押さえ部９８が配置されるとともに、容器開口部２８の内周部２８ｃと接続部１６とで引掛け部１０４が挟まれる。
【選択図】図２
【解決手段】減圧装置１０の一部であるフィルタ取付け構造２４は、フィルタ支持部９６と、フィルタ押さえ部９８とを備えている。フィルタ支持部９６は、フィルタ本体９０の形状および大きさに応じた形状および大きさに形成されたフィルタ取付け孔１００を有するフィルタ取付け板部１０２と、容器開口部２８の内周部２８ｃにおける収容空間Ｓの外側を向いた引掛け面４６に引掛けられる引掛け部１０４とを有している。フィルタ本体９０がフィルタ取付け孔１００に挿し込まれた状態において、フィルタ取付け板部１０２と接続部１６の管体６０に接続された吸引管との間にフィルタフランジ部９２およびフィルタ押さえ部９８が配置されるとともに、容器開口部２８の内周部２８ｃと接続部１６とで引掛け部１０４が挟まれる。
【選択図】図２
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
