特許7689634半導体製造装置用セラミックヒーター

発明の名称　半導体製造装置用セラミックヒーター

出願人　ケーエスエム・コンポーネント・カンパニー・リミテッド　（識別番号 520006654）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7689634

公報発行日　2025年6月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7689634

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