特許 7690654出願番号特願 2024-109537
測定又は検査装置及び表面を測定又は検査する方法

出願人カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー（識別番号 503263355）

2026年特許公開件数ランキング 405位 62件（※）

2026年特許取得件数ランキング 558位 33件（※）

公報発行日　2025年6月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7690654　ログイン済みの方はこのURLへ

［この特許公報を共有したい場合］あなたがログインしてこの特許公報を表示すれば、他の人はログインしなくてもこのURLで見ることができるようになります。

※ 共同出願を含む

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、この公報の全文を閲覧できます。ログインはこちら ログイン・ユーザー登録

［関連出願の参照］本願は、２０１９年３月２１日の独国特許出願第１０２０１９２０３８８０．８号の優先権を主張し、その全開示を参照により本願の内容に援用する。

本発明の目的は、測定又は検査中の物体の表面への不純物の堆積を可及的に回避する、測定又は検査装置、特にマスク検査装置、及び物体を測定又は検査する方法を提供することである。

この目的は、測定又は検査対象の物体の表面と同じ材料でできた表面を有する（少なくとも）１つのコンポーネントを有し、且つパージデバイスが中間空間へのパージガスの導入前にコンポーネントの表面に沿ってパージガスを導くよう設計される、前述のタイプの測定又は検査装置により達成される。

【図1】検査対象の表面がレンズの物体面に配置された、マスクの形態の物体を検査するレンズを有するマスク検査装置の概略図を示す。

【図2】検査対象の表面と同じ材料でできた表面を有する板状の流れガイド素子と、流れガイド素子の表面に沿ってパージガス流を導くパージデバイスとを備えたレンズの詳細図を示す。

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります