発明の名称 EUV薄膜を引っ張るための誘起応力
出願人 アイメック・ヴェーゼットウェー (識別番号 514156563)
特許公開件数ランキング 5080 位(2件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4182 位(3件)(共同出願を含む)
出願人 カトリーケ・ユニフェルシテイト・ルーヴァン (識別番号 599098493)
特許公開件数ランキング 14682 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4182 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7691557
公報発行日 2025年6月11
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7691557
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