特許7700335露光装置用部材、露光装置用部材の製造方法、及び、複合型露光装置用部材

発明の名称　露光装置用部材、露光装置用部材の製造方法、及び、複合型露光装置用部材

出願人　日清紡ケミカル株式会社　（識別番号 309012122）

　　　　特許公開件数ランキング 1577 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1169 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7700335

公報発行日　2025年6月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7700335

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