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特許 7701149出願番号 特願 2020-214620
静電チャックの製造方法
出願人 新光電気工業株式会社（識別番号 190688）
2026年 特許公開件数ランキング 399位 50件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 356位 50件（※）
公報発行日 2025年7月1
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7701149 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
静電チャックの製造方法
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかしながら、近年は、静電チャックに、さらなる均熱性向上が求められており、従来の構造では均熱性向上の要求を満足することは困難であった。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本静電チャックの製造方法は、基体の一方の面に、膜厚が均一な熱拡散層を直接成膜する工程と、前記熱拡散層の前記基体とは反対側の面に、第１の絶縁樹脂フィルムを直接配置する工程と、前記第１の絶縁樹脂フィルム上に、金属箔を配置する工程と、前記金属箔をパターニングして発熱体を形成する工程と、前記第１の絶縁樹脂フィルム上に、前記発熱体を被覆する第２の絶縁樹脂フィルムを配置する工程と、前記第１の絶縁樹脂フィ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
開示の技術によれば、均熱性をさらに向上した静電チャックの製造方法を提供できる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本基板固定装置を簡略化して例示する断面図である。
【図2】
本基板固定装置の製造工程を例示する図（その１）である。
【図3】
本基板固定装置の製造工程を例示する図（その２）である。
【図4】
本基板固定装置の製造工程を例示する図（その３）である。
代表図 図1本件の代表的な図
１ 基板固定装置
１０ ベースプレート
１５ 水路
１５ａ 冷却水導入部
１５ｂ 冷却水排出部
２０ 接着層
３０ 静電チャック
３１ 基体
３１ａ 載置面
３２ 静電電極
３３ 熱拡散層
３４ 絶縁層
３５ 発熱体
３４１、３４２ 絶縁樹脂フィルム
３５１ 金属箔
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