特許7702343ＲＦプラズマ処理装置からのＲＦ信号を高速感知するためのデバイス

発明の名称　ＲＦプラズマ処理装置からのＲＦ信号を高速感知するためのデバイス

出願人　インペダンズ リミテッド　（識別番号 521396983）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5723 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7702343

公報発行日　2025年7月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7702343

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