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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-07-02
(45)【発行日】2025-07-10
(54)【発明の名称】流体圧制御装置
(51)【国際特許分類】
F15B 11/00 20060101AFI20250703BHJP
F15B 11/08 20060101ALI20250703BHJP
【ＦＩ】
F15B11/00 V
F15B11/08 A
F15B11/08 B
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2021130616
(22)【出願日】2021-08-10
(65)【公開番号】P2023025399
(43)【公開日】2023-02-22
【審査請求日】2024-06-17
(73)【特許権者】
【識別番号】000000929
【氏名又は名称】カヤバ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002468
【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】久保 俊輔
【審査官】松浦 久夫
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１７／０５１８２４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００４－８４７２７（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１９／１８２１２８（ＷＯ，Ａ１）
【文献】実開平６－２５２８８（ＪＰ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｆ１５Ｂ １１／００
Ｆ１５Ｂ １１／０８
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
負荷を駆動するシリンダの伸縮作動を制御する流体圧制御装置であって、流体圧供給源から前記シリンダへの作動流体の供給を制御する制御弁と、
パイロット圧供給源から前記制御弁に導かれるパイロット圧を制御するパイロット制御弁と、
前記制御弁が中立位置の場合に負荷による負荷圧が作用する前記シリンダの負荷側圧力室と前記制御弁とを接続するメイン通路と、
前記メイン通路に設けられる負荷保持機構と、を備え、
前記負荷保持機構は、
前記制御弁から前記負荷側圧力室への作動流体の流れを許容する一方、背圧に応じて前記負荷側圧力室から前記制御弁への作動流体の流れを許容するオペレートチェック弁と、
前記パイロット制御弁を通じて導かれるパイロット圧によって前記制御弁と連動して動作し、前記オペレートチェック弁の作動を切り換えるための切換弁と、
前記負荷側圧力室の圧力が所定圧力に達した場合に開弁するリリーフ弁と、を有し、
前記切換弁は、
前記パイロット制御弁を通じてパイロット圧が導かれるパイロット室と、
前記パイロット室のパイロット圧に応じて移動するスプールと、
前記スプールを閉弁方向に付勢する付勢部材が収容されたスプリング室と、
前記スプールを挟んで前記スプリング室とは反対側に設けられるドレン室と、
前記リリーフ弁に接続されると共に、前記ドレン室及び前記スプリング室の少なくとも一方に接続されたドレン通路と、
前記ドレン通路と前記スプールの下流側とを接続する導圧通路と、
前記導圧通路に設けられ、前記ドレン通路から前記スプールの下流側への作動流体の流れのみを許容するチェック弁と、を有することを特徴とする流体圧制御装置。
【請求項2】
前記切換弁は、背面にパイロット圧を受けて、前記スプールに前記付勢部材の付勢力に抗する推力を付与するピストンをさらに有し、前記ドレン室は、前記スプールと前記ピストンで区画されることを特徴とする請求項１に記載の流体圧制御装置。
【請求項3】
前記パイロット室と前記ドレン室は、共通であり、前記ドレン通路のうち、前記ドレン室と前記スプリング室を接続する通路には、通過する作動流体に抵抗を付与する絞りが設けられることを特徴とする請求項１に記載の流体圧制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、流体圧制御装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
特許文献１に記載の流体圧制御装置は、シリンダの負荷側圧力室の圧力が所定圧力に達した場合に開弁するリリーフ弁と、リリーフ弁から排出されたリリーフ流体をタンクへ導くリリーフ排出通路と、切換弁のドレン室とスプリング室とをリリーフ排出通路へ連通させるドレン通路と、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１７－６２０１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に開示された流体圧制御装置では、オペレータがレバー操作によりシリンダを伸長作動させている最中にリリーフ弁が開弁した場合には、リリーフ流体は、リリーフ排出通路を通じてタンクへ排出される一方で、ドレン通路を通じてドレン室とスプリング室にも流れ込み、切換弁のスプールが閉じる方向へ移動してしまい、オペレータが意図するシリンダの伸長速度が得られないおそれがある。このような場合において、オペレータが、意図する伸長速度を得るために、スプールに作用するパイロット圧を上昇させるようにレバー操作すると、スプールは開く方向へ移動し、スプールが閉じる方向へ移動したことにより圧力が低下していたスプールの下流側に作動流体が勢いよく流れ、シリンダが一時的に急加速してしまう。
【0005】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シリンダの急加速を防止する流体圧制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、負荷を駆動するシリンダの伸縮作動を制御する流体圧制御装置であって、流体圧供給源からシリンダへの作動流体の供給を制御する制御弁と、パイロット圧供給源から制御弁に導かれるパイロット圧を制御するパイロット制御弁と、制御弁が中立位置の場合に負荷による負荷圧が作用するシリンダの負荷側圧力室と制御弁とを接続するメイン通路と、メイン通路に設けられる負荷保持機構と、を備え、負荷保持機構は、制御弁から負荷側圧力室への作動流体の流れを許容する一方、背圧に応じて負荷側圧力室から制御弁への作動流体の流れを許容するオペレートチェック弁と、パイロット制御弁を通じて導かれるパイロット圧によって制御弁と連動して動作し、オペレートチェック弁の作動を切り換えるための切換弁と、負荷側圧力室の圧力が所定圧力に達した場合に開弁するリリーフ弁と、を有し、切換弁は、パイロット制御弁を通じてパイロット圧が導かれるパイロット室と、パイロット室のパイロット圧に応じて移動するスプールと、スプールを閉弁方向に付勢する付勢部材が収容されたスプリング室と、スプールを挟んでスプリング室とは反対側に設けられるドレン室と、リリーフ弁に接続されると共に、ドレン室及びスプリング室の少なくとも一方に接続されたドレン通路と、ドレン通路とスプールの下流側とを接続する導圧通路と、導圧通路に設けられ、ドレン通路からスプールの下流側への作動流体の流れのみを許容するチェック弁と、を有することを特徴とする。
【0007】
また、本発明は、切換弁は、背面にパイロット圧を受けて、スプールに付勢部材の付勢力に抗する推力を付与するピストンをさらに有し、ドレン室は、スプールとピストンで区画されることを特徴とする。
【0008】
また、本発明は、パイロット室とドレン室は、共通であり、ドレン通路のうち、ドレン室とスプリング室を接続する通路には、通過する作動流体に抵抗を付与する絞りが設けられることを特徴とする。
【0009】
これらの発明では、ドレン通路とスプールの下流側とを接続する導圧通路に、ドレン通路からスプールの下流側への作動流体の流れのみを許容するチェック弁が設けられるため、オペレータがレバー操作により負荷側圧力室が収縮する方向にシリンダを作動させている最中にリリーフ弁が開弁した場合には、リリーフ流体は、導圧通路を通じてスプールの下流側へ導かれる。よって、シリンダの急加速を防止することができる。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、シリンダの急加速を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】油圧ショベルの一部分を示す図である。
【図2】本発明の実施形態に係る流体圧制御装置の流体圧回路図である。
【図3】本発明の実施形態に係る流体圧制御装置の負荷保持機構の断面図である。
【図4】ドレン通路の変形例を示す流体圧回路図である。
【図5】ドレン通路の変形例を示す流体圧回路図である。
【図6】ドレン通路の変形例を示す流体圧回路図である。
【図7】本発明の実施形態の変形例に係る流体圧制御装置の流体圧回路図である。
【図8】本発明の実施形態の変形例に係る流体圧制御装置の負荷保持機構の断面図である。
【図9】ドレン通路の変形例を示す流体圧回路図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る流体圧制御装置について説明する。
【0013】
流体圧制御装置は、油圧ショベル等の油圧作業機器の動作を制御するものである。本実施形態では、図１に示す油圧ショベルのアーム（負荷）１を駆動するシリンダ２の伸縮作動を制御する油圧制御装置１００について説明する。以下では、シリンダ２の作動流体として、作動油が用いられる場合について説明するが、作動油に代わり、例えば水溶性代替液等を用いてもよい。
【0014】
まず、図２を参照して、油圧制御装置１００の油圧回路について説明する。
【0015】
シリンダ２は、筒状のシリンダチューブ２ｃと、シリンダチューブ２ｃに摺動自在に挿入されシリンダチューブ２ｃ内をロッド側室２ａと反ロッド側室２ｂに区画するピストン２ｄと、一端がピストン２ｄに連結され、他端側がシリンダチューブ２ｃの外部へ延びてアーム１に連結されるロッド２ｅと、を備える。
【0016】
油圧ショベルには、エンジンや電動モータの動力源が搭載され、その動力によって流体圧供給源としてのポンプ４及びパイロット圧供給源としてのパイロットポンプ５が駆動する。
【0017】
油圧制御装置１００は、ポンプ４からシリンダ２への作動油の供給を制御する制御弁６と、パイロットポンプ５から制御弁６に導かれるパイロット圧を制御するパイロット制御弁９と、を備える。
【0018】
制御弁６とシリンダ２のロッド側室２ａとは第１メイン通路７によって接続され、制御弁６とシリンダ２の反ロッド側室２ｂとは第２メイン通路８によって接続される。
【0019】
制御弁６は、油圧ショベルのオペレータが操作レバー１０を手動操作することに伴ってパイロットポンプ５からパイロット制御弁９を通じてパイロット室６ａ，６ｂに導かれるパイロット圧によって動作する。
【0020】
具体的には、パイロット室６ａにパイロット圧が導かれた場合には、制御弁６は位置６Ａに切り換わり、ポンプ４から第１メイン通路７を通じてロッド側室２ａに作動油が供給されると共に、反ロッド側室２ｂの作動油が第２メイン通路８を通じてタンクＴへと排出される。これにより、シリンダ２は収縮作動し、アーム１は、図１に示す矢印８０の方向へと上昇する。
【0021】
一方、パイロット室６ｂにパイロット圧が導かれた場合には、制御弁６は位置６Ｂに切り換わり、ポンプ４から第２メイン通路８を通じて反ロッド側室２ｂに作動油が供給されると共に、ロッド側室２ａの作動油が第１メイン通路７を通じてタンクＴへと排出される。これにより、シリンダ２は伸長作動し、アーム１は、図１に示す矢印８１の方向へと下降する。
【0022】
パイロット室６ａ，６ｂにパイロット圧が導かれない場合には、制御弁６は位置６Ｃとなり、シリンダ２に対する作動油の給排が遮断され、アーム１は停止した状態を保つ。
【0023】
このように、制御弁６は、シリンダ２を収縮作動させる収縮位置６Ａ、シリンダ２を伸長作動させる伸長位置６Ｂ、及びシリンダ２の負荷を保持する中立位置６Ｃの３ポジションを有し、シリンダ２に対する作動油の給排を切り換え、シリンダ２の伸縮作動を制御する。
【0024】
ここで、図１に示すように、バケット１３を持ち上げた状態で、制御弁６を中立位置６Ｃに切り換えアーム１の動きを止めた場合には、バケット１３及びアーム１等の自重によって、シリンダ２には伸長する方向の力が作用する。このように、アーム１を駆動するシリンダ２においては、ロッド側室２ａが、制御弁６が中立位置６Ｃの場合に負荷圧が作用する負荷側圧力室となる。
【0025】
負荷側圧力室であるロッド側室２ａに接続された第１メイン通路７には、負荷保持機構２０が設けられる。負荷保持機構２０は、制御弁６が中立位置６Ｃの場合に、ロッド側室２ａの負荷圧を保持するものであり、図１に示すように、シリンダ２の表面に固定される。
【0026】
なお、ブーム１４（図１参照）を駆動するシリンダ１５においては、反ロッド側室１５ｂが負荷側圧力室となるため、ブーム１４に負荷保持機構２０を設ける場合には、反ロッド側室１５ｂに接続されたメイン通路に負荷保持機構２０が設けられる。
【0027】
負荷保持機構２０は、第１メイン通路７に設けられたオペレートチェック弁２１と、パイロット制御弁９を通じて導かれるパイロット圧によって制御弁６と連動して動作し、オペレートチェック弁２１の作動を切り換えるための切換弁２２と、を有する。
【0028】
オペレートチェック弁２１は、第１メイン通路７を開閉する弁体２４と、弁体２４が着座するシート部２８と、弁体２４の背面に臨む背圧室２５と、弁体２４に形成されロッド側室２ａの作動油を背圧室２５へと常時導く通路２６と、を有する。通路２６には、通過する作動油に抵抗を付与する絞り２６ａが設けられる。
【0029】
第１メイン通路７は、ロッド側室２ａとオペレートチェック弁２１を接続するシリンダ側第１メイン通路７ａと、オペレートチェック弁２１と制御弁６を接続する制御弁側第１メイン通路７ｂと、を有する。
【0030】
弁体２４には、制御弁側第１メイン通路７ｂの圧力が作用する第１受圧面２４ａと、シリンダ側第１メイン通路７ａを通じてロッド側室２ａの圧力が作用する第２受圧面２４ｂと、が形成される。
【0031】
背圧室２５には、弁体２４を閉弁方向に付勢する付勢部材としてのスプリング２７が収容される。背圧室２５の圧力とスプリング２７の付勢力とは、弁体２４をシート部２８に着座させる方向に作用する。
【0032】
弁体２４がシート部２８に着座した状態では、オペレートチェック弁２１は、ロッド側室２ａから制御弁６への作動油の流れを遮断する逆止弁としての機能を発揮する。つまり、オペレートチェック弁２１は、ロッド側室２ａ内の作動油の漏れを防止して負荷圧を保持し、アーム１の停止状態を保持する。
【0033】
切換弁２２は、パイロット制御弁９を通じてパイロット圧が導かれるパイロット室２３と、パイロット室２３のパイロット圧に応じて移動するスプール５６（図３参照）と、スプール５６を閉弁方向に付勢する付勢部材としてのスプリング３６が収容されたスプリング室５４と、スプール５６を挟んでスプリング室５４とは反対側に設けられるドレン室５１と、スプリング室５４及びドレン室５１をタンクＴへ接続するドレン通路７６と、を有する。
【0034】
切換弁２２の上流側には、バイパス通路３０及び背圧通路３１が接続され、切換弁２２の下流側には下流通路３８が接続される。バイパス通路３０は、ロッド側室２ａの作動油をオペレートチェック弁２１をバイパスして制御弁側第１メイン通路７ｂへと導くための通路である。背圧通路３１は、背圧室２５の作動油を制御弁側第１メイン通路７ｂへと導くための通路である。下流通路３８は、バイパス通路３０及び背圧通路３１からの作動油を制御弁側第１メイン通路７ｂへと導くための通路である。
【0035】
切換弁２２は、下流通路３８に対するバイパス通路３０及び背圧通路３１の連通を切り換え、シリンダ２を伸長作動させる際にメータアウト側となる第１メイン通路７の作動油の流れを制御する。
【0036】
切換弁２２は、バイパス通路３０に連通する第１供給ポート３２、背圧通路３１に連通する第２供給ポート３３、及び下流通路３８に連通する排出ポート３４の３つのポートを有する。また、切換弁２２は、遮断位置２２Ａ、第１連通位置２２Ｂ、第２連通位置２２Ｃの３ポジションを有する。
【0037】
制御弁６のパイロット室６ｂにパイロット圧が導かれると、同時に、パイロット室２３にもパイロット圧が導かれる。つまり、制御弁６を伸長位置６Ｂに切り換えた場合に、切換弁２２も第１連通位置２２Ｂ又は第２連通位置２２Ｃに切り換わる。
【0038】
具体的に説明すると、パイロット室２３にパイロット圧が導かれない場合には、スプリング３６の付勢力によって、切換弁２２は遮断位置２２Ａを保つ。遮断位置２２Ａでは、第１供給ポート３２及び第２供給ポート３３の双方が遮断される。
【0039】
パイロット室２３に第１所定圧力以上第２所定圧力未満のパイロット圧が導かれた場合には、切換弁２２は第１連通位置２２Ｂに切り換わる。第１連通位置２２Ｂでは、第１供給ポート３２が排出ポート３４と連通する。これにより、ロッド側室２ａの作動油はバイパス通路３０から切換弁２２を通じて下流通路３８へと導かれる。つまり、ロッド側室２ａの作動油はオペレートチェック弁２１をバイパスして制御弁側第１メイン通路７ｂへと導かれる。このとき、絞り３７によって作動油の流れに抵抗が付与される。第２供給ポート３３は遮断された状態を保つ。
【0040】
パイロット室２３に第２所定圧力以上のパイロット圧が導かれた場合には、切換弁２２は第２連通位置２２Ｃに切り換わる。第２連通位置２２Ｃでは、第１供給ポート３２が排出ポート３４と連通すると共に、第２供給ポート３３も排出ポート３４と連通する。これにより、背圧室２５の作動油は、背圧通路３１から切換弁２２を通じて下流通路３８へと導かれる。このとき、背圧室２５の作動油は、絞り３７をバイパスして制御弁側第１メイン通路７ｂへと導かれ、制御弁６からタンクＴへと排出される。これにより、絞り２６ａの前後にて差圧が発生し、背圧室２５内の圧力が小さくなるため、弁体２４に作用する閉弁方向の力が小さくなり、弁体２４がシート部２８から離れ、オペレートチェック弁２１の逆止弁としての機能が解除される。
【0041】
負荷保持機構２０は、ロッド側室２ａの圧力が所定圧力に達した場合に開弁して作動油の通過を許容し、ロッド側室２ａの作動油を逃がすリリーフ弁４１を有する。リリーフ弁４１は、バイパス通路３０における切換弁２２の上流から分岐するリリーフ通路４０に設けられる。リリーフ弁４１から排出されたリリーフ圧油は、ドレン通路７６を通じてタンクＴへ排出される。なお、リリーフ通路４０は、シリンダ側第１メイン通路７ａから分岐して設けられてもよいし、ロッド側室２ａに直接接続されてもよい。
【0042】
ドレン通路７６は、ドレン室５１に接続された第１ドレン通路７６ａと、スプリング室５４に接続された第２ドレン通路７６ｂと、リリーフ弁４１に接続された第３ドレン通路７６ｃと、第１ドレン通路７６ａ及び第２ドレン通路７６ｂと第３ドレン通路７６ｃを接続する第４ドレン通路７６ｄと、を有する。第１ドレン通路７６ａと第２ドレン通路７６ｂは、直接連通して設けられる。
【0043】
ドレン室５１は、第１ドレン通路７６ａ及び第４ドレン通路７６ｄを通じてリリーフ弁４１の下流の第３ドレン通路７６ｃに連通する。スプリング室５４は、第２ドレン通路７６ｂ及び第４ドレン通路７６ｄを通じてリリーフ弁４１の下流の第３ドレン通路７６ｃに連通する。第３ドレン通路７６ｃは、負荷保持機構２０のボディ６０（図３参照）の外面に開口するドレンポート８６に連通する。ドレンポート８６は配管５５（図２参照）を通じてタンクＴに接続される。このように、リリーフ弁４１から排出されたリリーフ圧油と、ドレン室５１及びスプリング室５４のドレンとは、ドレンポート８６及び配管５５を通じてタンクＴへ排出される。切換弁２２のスプール５６の両側にそれぞれ設けられるドレン室５１とスプリング室５４は双方ともタンクＴに連通するため、切換弁２２が遮断位置２２Ａの際には、スプール５６の両端には大気圧が作用し、スプール５６が意図せずに移動するような事態が防止される。
【0044】
制御弁側第１メイン通路７ｂには、制御弁側第１メイン通路７ｂの圧力が所定圧力に達した場合に開弁するリリーフ弁４３が接続される。
【0045】
次に、主に図３を参照して、切換弁２２について詳細に説明する。図３は負荷保持機構２０の断面図であり、パイロット室２３にパイロット圧が導かれておらず切換弁２２が遮断位置２２Ａである状態を示す。図３において、図２で示した符号と同一の符号を付したものは、図２で示した構成と同一の構成である。
【0046】
切換弁２２は、負荷保持機構２０のボディ６０に組み込まれる。ボディ６０にはスプール孔６０ａが形成され、スプール孔６０ａには略円筒形状のスリーブ６１が挿入される。スリーブ６１内には、スプール５６が摺動自在に組み込まれる。
【0047】
スプール５６の一端面５６ａの側方には、キャップ５７によってスプリング室５４が区画される。スプリング室５４は、スリーブ６１の端面に形成された切り欠き６１ａを通じて第２ドレン通路７６ｂに接続される。スプリング室５４に漏れ込んだ作動油は、第２ドレン通路７６ｂからタンクＴへ排出される。
【0048】
スプリング室５４には、スプール５６の一端面５６ａに端面が当接すると共に中空部にスプール５６の一端面５６ａに突出して形成されたピン部５６ｃが挿入される環状の第１バネ受部材４５と、キャップ５７の底部近傍に配置された第２バネ受部材４６と、が収容される。スプリング３６は、第１バネ受部材４５と第２バネ受部材４６との間に圧縮状態で介装され、第１バネ受部材４５を介してスプール５６を閉弁方向に付勢する。
【0049】
スプリング室５４内での第２バネ受部材４６の軸方向位置は、キャップ５７の底部に貫通して螺合する調節ボルト４７の先端部が第２バネ受部材４６の背面に当接することによって設定される。調節ボルト４７をねじ込むことによって、第２バネ受部材４６は第１バネ受部材４５に近づく方向に移動する。したがって、調節ボルト４７のねじ込み量を調節することによって、スプリング３６の初期のスプリング荷重を調整することができる。調節ボルト４７はナット４８にて固定される。
【0050】
スプール５６の他端面５６ｂの側方には、パイロット室２３が区画される。パイロット室２３は、スプール孔６０ａと連通して形成されたピストン孔６０ｂと、ピストン孔６０ｂを閉塞するキャップ５８と、によって区画される。パイロット室２３には、ボディ６０に形成されたパイロット通路５２を通じてパイロット圧が導かれる。パイロット室２３内には、背面にパイロット圧を受けてスプール５６にスプリング３６の付勢力に抗する推力を付与するピストン５０が摺動自在に収容される。
【0051】
ピストン孔６０ｂ内には、スプール５６とピストン５０によってドレン室５１が区画される。ドレン室５１は第１ドレン通路７６ａに接続される。ドレン室５１に漏れ込んだ作動油は、第１ドレン通路７６ａからタンクＴへ排出される。
【0052】
ピストン５０は、外周面がピストン孔６０ｂの内周面に沿って摺動する摺動部５０ａと、摺動部５０ａと比較して小径に形成され、スプール５６の他端面５６ｂに対向する先端部５０ｂと、摺動部５０ａと比較して小径に形成され、キャップ５８の先端面に対向する基端部５０ｃと、を有する。
【0053】
パイロット通路５２を通じてパイロット室２３内にパイロット圧油が供給されると、基端部５０ｃの背面と摺動部５０ａの環状背面とにパイロット圧が作用する。これにより、ピストン５０は、前進し、先端部５０ｂがスプール５６の他端面５６ｂに当接してスプール５６を移動させる。このように、スプール５６は、ピストン５０の背面に作用するパイロット圧に基づいて発生するピストン５０の推力を受け、スプリング３６の付勢力に抗して移動する。基端部５０ｃの背面がキャップ５８の先端面に当接している場合であっても、基端部５０ｃは摺動部５０ａと比較して小径であり、摺動部５０ａの環状背面にパイロット圧が作用するため、ピストン５０は前進可能である。
【0054】
ピストン５０の一端部はパイロット室２３に臨み、他端部はタンクＴに接続されたドレン室５１に臨んでいるため、パイロット室２３のパイロット圧に基づいて発生するピストン５０の推力は効率良くスプール５６に伝達される。
【0055】
スプール５６は、一端面５６ａに作用するスプリング３６の付勢力と他端面５６ｂに作用するピストン５０の推力とがバランスした位置で停止し、そのスプール５６の停止位置にて切換弁２２の切り換え位置が設定される。
【0056】
スリーブ６１には、バイパス通路３０（図２参照）に連通する第１供給ポート３２、背圧通路３１（図２参照）に連通する第２供給ポート３３、及び下流通路３８（図２参照）に連通する排出ポート３４の３つのポートが形成される。
【0057】
スプール５６の外周面は部分的に環状に切り欠かれ、その切り欠かれた部分とスリーブ６１の内周面とで、第１圧力室６４、第２圧力室６５、第３圧力室６６、及び第４圧力室６７が形成される。
【0058】
第１圧力室６４は、排出ポート３４に常時連通している。
【0059】
第３圧力室６６は、第１供給ポート３２に常時連通している。スプール５６のランド部７２の外周面には、スプール５６がスプリング３６の付勢力に抗して移動することによって、第３圧力室６６と第２圧力室６５を連通する複数の絞り３７が形成される。
【0060】
第４圧力室６７は、スプール５６に軸方向に形成された導圧通路６８を通じて第２圧力室６５に常時連通している。
【0061】
パイロット室２３にパイロット圧が導かれない場合には、スプリング３６の付勢力によってスプール５６に形成されたポペット弁７０が、スリーブ６１の内周に形成された弁座７１に押し付けられ、第２圧力室６５と第１圧力室６４の連通が遮断される。したがって、第１供給ポート３２と排出ポート３４との連通が遮断される。これにより、ロッド側室２ａの作動油が排出ポート３４へと漏れることはない。この状態が、切換弁２２の遮断位置２２Ａに相当する。スプリング３６の付勢力によってポペット弁７０が弁座７１に着座した状態では、第１バネ受部材４５の端面とスリーブ６１の端面との間には僅かな隙間が存在するため、ポペット弁７０は弁座７１に対してスプリング３６の付勢力によって確実にシートされる。
【0062】
パイロット室２３にパイロット圧が導かれ、スプール５６に作用するピストン５０の推力がスプリング３６の付勢力よりも大きくなった場合には、スプール５６はスプリング３６の付勢力に抗して移動する。これにより、ポペット弁７０が弁座７１から離れると共に、第３圧力室６６と第２圧力室６５が複数の絞り３７を通じて連通するため、第１供給ポート３２は第３圧力室６６、第２圧力室６５、及び第１圧力室６４を通じて排出ポート３４と連通する。第１供給ポート３２と排出ポート３４の連通によって、ロッド側室２ａの作動油は、絞り３７を通じて下流通路３８（図２参照）へ導かれる。この状態が、切換弁２２の第１連通位置２２Ｂに相当する。
【0063】
パイロット室２３に導かれるパイロット圧が大きくなると、スプール５６はスプリング３６の付勢力に抗してさらに移動し、第２供給ポート３３に第４圧力室６７が連通する。これにより、第２供給ポート３３は、第４圧力室６７、導圧通路６８、第２圧力室６５、及び第１圧力室６４を通じて排出ポート３４と連通する。第２供給ポート３３と排出ポート３４の連通によって、背圧室２５の作動油は、絞り３７をバイパスして下流通路３８（図２参照）へ導かれる。この状態が、切換弁２２の第２連通位置２２Ｃに相当する。
【0064】
【0065】
制御弁６が中立位置６Ｃの場合には、ポンプ４が吐出する作動油はシリンダ２に供給されない。このとき、切換弁２２のパイロット室２３にはパイロット圧が導かれないため、切換弁２２は遮断位置２２Ａの状態となる。
【0066】
このため、オペレートチェック弁２１の背圧室２５は、ロッド側室２ａの圧力に維持される。ここで、弁体２４における閉弁方向の受圧面積（弁体２４の背面の面積）は、開弁方向の受圧面積である第２受圧面２４ｂの面積よりも大きいため、背圧室２５の圧力による弁体２４の背面に作用する荷重とスプリング２７の付勢力とによって、弁体２４はシート部２８に着座した状態となる。このように、オペレートチェック弁２１によって、ロッド側室２ａ内の作動油の漏れが防止され、アーム１の停止状態が保持される。
【0067】
操作レバー１０が操作され、パイロット制御弁９から制御弁６のパイロット室６ａへとパイロット圧が導かれると、制御弁６は、パイロット圧に応じた量だけ収縮位置６Ａへと切り換わる。制御弁６が収縮位置６Ａへと切り換わると、ポンプ４の吐出圧がオペレートチェック弁２１の第１受圧面２４ａへと作用する。このとき、切換弁２２は、パイロット室２３にパイロット圧が導かれず遮断位置２２Ａの状態であるため、オペレートチェック弁２１の背圧室２５は、ロッド側室２ａの圧力に維持される。第１受圧面２４ａに作用する荷重が、背圧室２５の圧力による弁体２４の背面に作用する荷重とスプリング２７の付勢力との合計荷重よりも大きくなった場合には、弁体２４はシート部２８から離れる。このようにしてオペレートチェック弁２１が開弁すれば、ポンプ４から吐出された作動油はロッド側室２ａに供給され、シリンダ２は収縮する。これにより、アーム１は、図１に示す矢印８０の方向へと上昇する。
【0068】
操作レバー１０が操作され、パイロット制御弁９から制御弁６のパイロット室６ｂへとパイロット圧が導かれると、制御弁６はパイロット圧に応じた量だけ伸長位置６Ｂへと切り換わる。これと同時に、パイロット室２３へもパイロット圧が導かれるため、切換弁２２は、供給されるパイロット圧に応じて第１連通位置２２Ｂ又は第２連通位置２２Ｃに切り換わる。
【0069】
パイロット室２３に導かれるパイロット圧が第１所定圧力以上第２所定圧力未満の場合には、切換弁２２は第１連通位置２２Ｂに切り換わる。この場合、第２供給ポート３３と排出ポート３４との連通は遮断された状態であるため、オペレートチェック弁２１の背圧室２５はロッド側室２ａの圧力に維持され、オペレートチェック弁２１は閉弁状態を維持する。
【0070】
一方、第１供給ポート３２は排出ポート３４と連通するため、ロッド側室２ａの作動油は、バイパス通路３０から絞り３７を通じて下流通路３８へ導かれ、制御弁側第１メイン通路７ｂから制御弁６を通じてタンクＴへと排出される。また、反ロッド側室２ｂには、ポンプ４から吐出される作動油が供給されるため、シリンダ２は伸長する。これにより、アーム１は、図１に示す矢印８１の方向へと下降する。
【0071】
ここで、切換弁２２を第１連通位置２２Ｂに切り換えるのは、バケット１３に取り付けた搬送物を、目的の位置に下ろすクレーン作業を行う場合が主である。クレーン作業では、シリンダ２を低速で伸長作動させてアーム１を矢印８１の方向へとゆっくりと下降させる必要があるため、制御弁６のパイロット室６ｂに導かれるパイロット圧は小さく、制御弁６は伸長位置６Ｂにわずかに切り換えられるだけである。このため、切換弁２２のパイロット室２３に導かれるパイロット圧も小さく、第１所定圧力以上第２所定圧力未満となり、切換弁２２は第１連通位置２２Ｂまでしか切り換わらない。したがって、ロッド側室２ａの作動油は絞り３７を通過して排出されることになり、アーム１はクレーン作業に適した低速で下降する。
【0072】
また、切換弁２２が第１連通位置２２Ｂの場合において、制御弁側第１メイン通路７ｂが破裂などして作動油が外部へと漏れるような事態が発生したとしても、ロッド側室２ａから排出される作動油の流量は絞り３７によって制限されるため、バケット１３の落下速度は抑制される。この機能をメータリング制御という。このため、バケット１３が地面に落下する前に、切換弁２２を遮断位置２２Ａに切り換えることができ、バケット１３の急落下を防止することができる。
【0073】
このように、絞り３７は、オペレートチェック弁２１の閉弁時におけるシリンダ２の下降速度を抑えると共に、制御弁側第１メイン通路７ｂの破裂時におけるバケット１３の落下速度を抑えるためのものである。
【0074】
パイロット室２３に導かれるパイロット圧が第２所定圧力以上の場合には、切換弁２２は第２連通位置２２Ｃに切り換わる。この場合、第２供給ポート３３が排出ポート３４と連通するため、オペレートチェック弁２１の背圧室２５の作動油は、背圧通路３１から絞り３７をバイパスして下流通路３８へ導かれ、制御弁側第１メイン通路７ｂから制御弁６を通じてタンクＴへと排出される。これにより、絞り２６ａの前後で差圧が発生し、背圧室２５内の圧力が小さくなるため、弁体２４に作用する閉弁方向の力が小さくなり、弁体２４がシート部２８から離れ、オペレートチェック弁２１の逆止弁としての機能が解除される。
【0075】
このように、オペレートチェック弁２１は、制御弁６からロッド側室２ａへの作動油の流れを許容する一方、背圧室２５の圧力である背圧に応じてロッド側室２ａから制御弁６への作動油の流れを許容するように動作する。
【0076】
オペレートチェック弁２１が開弁すると、ロッド側室２ａの作動油は第１メイン通路７を通りタンクＴへと排出されるため、シリンダ２は素早く伸長する。つまり、切換弁２２を第２連通位置２２Ｃに切り換えると、ロッド側室２ａから排出される作動油の流量が多くなるため、反ロッド側室２ｂに供給される作動油の流量が多くなり、シリンダ２の伸長速度は速くなる。これにより、アーム１は矢印８１の方向へと素早く下降する。
【0077】
切換弁２２を第２連通位置２２Ｃに切り換えるのは、掘削作業等を行う場合であり、制御弁６のパイロット室６ｂに導かれるパイロット圧は大きく、制御弁６は伸長位置６Ｂに大きく切り換えられる。このため、切換弁２２のパイロット室２３に導かれるパイロット圧も大きく、第２所定圧力以上となるため、切換弁２２は第２連通位置２２Ｃまで切り換わる。
【0078】
ここで、オペレータが操作レバー１０を操作してパイロット室２３にパイロット圧を導いてスプール５６を開く方向へ移動させ、シリンダ２を伸長作動させている状態で、ロッド側室２ａの圧力が上昇してリリーフ弁４１が開弁した場合には、リリーフ弁４１から排出されたリリーフ圧油は、第３ドレン通路７６ｃを通じてタンクＴへ排出される一方で、第１ドレン通路７６ａ及び第２ドレン通路７６ｂを通じてドレン室５１及びスプリング室５４にも導かれる。ドレン室５１へリリーフ圧油が導かれることによって、ピストン５０はスプール５６から離れる方向へと移動してしまうことがある。この場合には、パイロット圧によって発生するピストン５０の推力がスプール５６へ伝達されないため、スプール５６はスプリング３６の付勢力によって閉じる方向へ移動してしまう。この結果、オペレータが操作レバー１０を操作してパイロット室６ｂ及びパイロット室２３にパイロット圧が導かれているにもかかわらず、オペレータが意図するシリンダ２の伸長速度が得られない。
【0079】
一方で、スプール５６が閉じる方向へ移動したとしても、制御弁６のパイロット室６ｂにはパイロット圧が導かれているため、スプール５６の下流側である下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂは、制御弁６を通じてタンクＴに連通した状態となっている。したがって、下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂは、内部の作動油がタンクＴへ排出され、圧力が低下する。下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂの作動油が、自重によりタンクＴへ流れ込むことにより、下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂの内部が負圧になることもある。
【0080】
このような状況において、オペレータが、意図する伸長速度を得るために、スプール５６に作用するパイロット圧を上昇させるように操作レバー１０を操作すると、スプール５６は再び開く方向へ移動する。この際、スプール５６が閉じる方向へ移動したことにより、圧力が低下していたスプール５６の下流側である下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂに作動油が勢いよく流れ、シリンダ２が一時的に伸長方向に急加速してしまう。
【0081】
この対策として、本実施形態では、図２及び３に示すように、切換弁２２は、ドレン通路７６とスプール５６の下流側とを接続する導圧通路９０と、導圧通路９０に設けられ、ドレン通路７６からスプール５６の下流側への作動油の流れのみを許容するチェック弁９１と、を有する。以下に、詳細に説明する。
【0082】
本実施形態では、導圧通路９０は、一端部がスプリング室５４を介して第２ドレン通路７６ｂに接続され、他端部が下流通路３８に接続される。導圧通路９０の一端部は、スリーブ６１の端面に形成された切り欠き６１ａを通じてスプリング室５４に接続される。導圧通路９０の一端部は、スプリング室５４を介して第２ドレン通路７６ｂに接続される構成には限定されず、スプリング室５４を介さずに第２ドレン通路７６ｂに直接接続されてもよいし、第１ドレン通路７６ａ、第３ドレン通路７６ｃ、又は第４ドレン通路７６ｄに接続されてもよい。また、導圧通路９０の他端部は、スプール５６の下流側に接続される構成であればよく、制御弁側第１メイン通路７ｂに接続されてもよい。
【0083】
図３に示すように、チェック弁９１は、導圧通路９０内に移動自在に収容されたポペット弁９２と、導圧通路９０内に形成された弁座９３と、ボディ６０の外面に開口する導圧通路９０の開口部を封止するプラグ９４と、ポペット弁９２とプラグ９４の間に圧縮して収容され、弁座９３に向けてポペット弁９２を付勢する付勢部材としてスプリング９５と、プラグ９４の外周面に設けられた環状のシール部材９６と、を有する。
【0084】
ドレン通路７６の圧力が下流通路３８の圧力よりも大きくなると、ポペット弁９２は、スプリング９５の付勢力に抗して移動して開弁する。これにより、ドレン通路７６から導圧通路９０を通じて下流通路３８への作動油の流れが許容される。一方、下流通路３８の圧力がドレン通路７６の圧力よりも大きい場合には、スプリング９５の付勢力により、ポペット弁９２は弁座９３に着座し閉弁するため、下流通路３８から導圧通路９０を通じたドレン通路７６への作動油の流れが遮断される。なお、チェック弁９１は、ポペットタイプに限定されず、ボールタイプでもよいし、また、上流側の圧力をパイロット圧として開弁するオペレートチェック弁であってもよい。
【0085】
切換弁２２が導圧通路９０とチェック弁９１を有することにより、以下の作用効果を奏する。
【0086】
オペレータが操作レバー１０を操作してパイロット室２３にパイロット圧を導いてスプール５６を開く方向へ移動させ、シリンダ２を伸長作動させている状態で、ロッド側室２ａの圧力が上昇してリリーフ弁４１が開弁した場合には、上述したように、スプール５６は閉じる方向へ移動してしまう。このとき、スプール５６の下流側である下流通路３８は、制御弁６を通じてタンクＴに連通しているため、圧力が低下する。そして、ドレン通路７６の圧力が下流通路３８の圧力よりも大きくなると、チェック弁９１が開弁し、ドレン通路７６から導圧通路９０を通じて下流通路３８へ作動油が導かれる。これにより、ドレン通路７６の圧力が低下し、ドレン室５１及びスプリング室５４の圧力も低下する。また、ドレン通路７６から導圧通路９０を通じてスプール５６の下流側に作動油が導かれるため、下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂの圧力低下が抑制される。
【0087】
したがって、スプール５６が閉じる方向へ移動した際に、オペレータが、意図する伸長速度を得るために、スプール５６に作用するパイロット圧を上昇させるように操作レバー１０を操作した場合には、ドレン室５１及びスプリング室５４の圧力低下により、スプール５６は開く方向へスムーズに移動するため、オペレータが意図する伸長速度が速やかに得られる。また、下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂの圧力低下が抑制されるため、スプール５６が開く方向へ移動した際に、スプール５６の下流側に作動油が勢いよく流れてシリンダ２が一時的に伸長方向に急加速してしまうことが防止される。さらに、下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂの圧力低下が抑制されることによって、下流通路３８及び制御弁側第１メイン通路７ｂが負圧になることが防止され、キャビテーションの発生が防止されるため、操作レバー１０を操作した際の応答性が改善される。
【0088】
以上の第１実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
【0089】
ドレン通路７６とスプール５６の下流側とを接続する導圧通路９０に、ドレン通路７６からスプール５６の下流側への作動油の流れのみを許容するチェック弁９１が設けられるため、オペレータがレバー操作によりシリンダ２を伸長作動させている最中にリリーフ弁４１が開弁した場合であっても、リリーフ圧油は、導圧通路９０を通じてスプール５６の下流側へ導かれる。これにより、ドレン通路７６の圧力が低下し、ドレン室５１及びスプリング室５４の圧力も低下する。また、スプール５６の下流側の圧力低下が抑制される。よって、リリーフ弁４１が開弁してスプール５６が閉じる方向へ移動した際に、オペレータが、意図する伸長速度を得るためにスプール５６に作用するパイロット圧を上昇させるように操作レバー１０を操作しても、シリンダ２の急加速を防止することができる。
【0090】
以下に、上記実施形態の変形例について説明する。以下のような変形例も本発明の範囲内であり、以下の変形例と上記実施形態の構成とを組み合わせたり、以下の変形例同士を組み合わせたりすることも可能である。
【0091】
（１）ドレン通路７６は、上記実施形態のような構成には限定されない。例えば、図４に示すように、第４ドレン通路７６ｄを設けず、第１ドレン通路７６ａ及び第２ドレン通路７６ｂと、第３ドレン通路７６ｃとが直接接続される構成であってもよい。また、図５に示すように、第１ドレン通路７６ａと第３ドレン通路７６ｃが接続される一方、第２ドレン通路７６ｂが独立に設けられる構成であってもよい。この構成では、導圧通路９０は、第１ドレン通路７６ａと第３ドレン通路７６ｃを有するドレン通路７６に接続される。また、図６に示すように、第２ドレン通路７６ｂと第３ドレン通路７６ｃが接続される一方、第１ドレン通路７６ａが独立に設けられる構成であってもよい。この構成では、導圧通路９０は、第２ドレン通路７６ｂと第３ドレン通路７６ｃを有するドレン通路７６に接続される。つまり、導圧通路９０は、リリーフ弁４１に接続されると共に、ドレン室５１及びスプリング室５４の少なくとも一方と接続されたドレン通路７６に接続される。
【0092】
（２）図７及び図８を参照して、上記実施形態の変形例について説明する。図７は、本変形例に係る油圧制御装置１０１の油圧回路図であり、図８は、本変形例に係る油圧制御装置１０１の負荷保持機構２０の断面図である。図７及び図８において、上記実施形態と同様の機能を有する構成には、上記実施形態と同じ符号を付し、その説明を省略する。本変形例では、上記実施形態のピストン５０が設けられず、パイロット室２３とドレン室５１が共通の空間として設けられる。
【0093】
ドレン通路７６のうち、ドレン室５１とスプリング室５４を接続する通路には、通過する作動油に抵抗を付与する絞りとしてのオリフィス９７が設けられる。具体的には、本変形例では、ドレン室５１に接続された第１ドレン通路７６ａと、スプリング室５４に接続された第２ドレン通路７６ｂとが接続され、その接続された通路にオリフィス９７が設けられる。これにより、パイロット通路５２を通じてパイロット室２３に作動油が導かれると、パイロット室２３にはオリフィス９７の上流側の圧力が作用し、ドレン室５１にはオリフィス９７の下流側の圧力が作用する。したがって、スプール５６は、オリフィス９７の前後差圧による荷重と、スプリング３６の付勢力とのバランスにより移動する。
【0094】
オペレータが操作レバー１０を操作してパイロット室２３にパイロット圧を導いてスプール５６を開く方向へ移動させ、シリンダ２を伸長作動させている状態で、ロッド側室２ａの圧力が上昇してリリーフ弁４１が開弁した場合には、リリーフ弁４１から排出されたリリーフ圧油は、ドレン室５１とスプリング室５４に導かれる。本変形例では、ピストン５０が設けられないため、ドレン室５１に導かれたリリーフ圧油によって、パイロット圧によって発生するスプール５６の推力が減少するような状態にはならない。しかし、スプリング室５４へ導かれるリリーフ圧油によって、スプール５６には閉じる方向への力が作用するため、上記実施形態と同様に、スプール５６には閉じる方向への力が作用する。よって、本変形例でも、導圧通路９０とチェック弁９１は上記実施形態と同様の作用効果を発揮する。
【0095】
（３）図７及び図８に示す形態の変形例を図９に示す。図９に示すように、ドレン通路７６は、ドレン室５１に接続された第１ドレン通路７６ａが設けられず、リリーフ弁４１に接続された第３ドレン通路７６ｃとスプリング室５４に接続された第２ドレン通路７６ｂとが接続される構成であってもよい。本変形例でも、導圧通路９０とチェック弁９１は上記実施形態と同様の作用効果を発揮する。
【0096】
以下、本発明の実施形態の構成、作用、及び効果をまとめて説明する。
【0097】
負荷１を駆動するシリンダ２の伸縮作動を制御する流体圧制御装置１００は、流体圧供給源４からシリンダ２への作動流体の供給を制御する制御弁６と、パイロット圧供給源５から制御弁６に導かれるパイロット圧を制御するパイロット制御弁９と、制御弁６が中立位置６Ｃの場合に負荷１による負荷圧が作用するシリンダ２の負荷側圧力室２ａと制御弁６とを接続するメイン通路７ｂと、メイン通路７ｂに設けられる負荷保持機構２０と、を備え、負荷保持機構２０は、制御弁６から負荷側圧力室２ａへの作動流体の流れを許容する一方、背圧に応じて負荷側圧力室２ａから制御弁６への作動流体の流れを許容するオペレートチェック弁２１と、パイロット制御弁９を通じて導かれるパイロット圧によって制御弁６と連動して動作し、オペレートチェック弁２１の作動を切り換えるための切換弁２２と、負荷側圧力室２ａの圧力が所定圧力に達した場合に開弁するリリーフ弁４１と、を有し、切換弁２２は、パイロット制御弁９を通じてパイロット圧が導かれるパイロット室２３と、パイロット室２３のパイロット圧に応じて移動するスプール５６と、スプール５６を閉弁方向に付勢する付勢部材３６が収容されたスプリング室５４と、スプール５６を挟んでスプリング室５４とは反対側に設けられるドレン室５１と、リリーフ弁４１に接続されると共に、ドレン室５１及びスプリング室５４の少なくとも一方に接続されたドレン通路７６と、ドレン通路７６とスプール５６の下流側とを接続する導圧通路９０と、導圧通路９０に設けられ、ドレン通路７６からスプール５６の下流側への作動流体の流れのみを許容するチェック弁９１と、を有する。
【0098】
また、切換弁２２は、背面にパイロット圧を受けて、スプール５６に付勢部材３６の付勢力に抗する推力を付与するピストン５０をさらに有し、ドレン室５１は、スプール５６とピストン５０で区画される。
【0099】
また、パイロット室２３とドレン室５１は、共通であり、ドレン通路７６のうち、ドレン室５１とスプリング室５４を接続する通路には、通過する作動流体に抵抗を付与する絞り９７が設けられる。
【0100】
これらの構成では、ドレン通路７６とスプール５６の下流側とを接続する導圧通路９０に、ドレン通路７６からスプール５６の下流側への作動流体の流れのみを許容するチェック弁９１が設けられるため、オペレータがレバー操作により負荷側圧力室２ａが収縮する方向にシリンダ２を作動させている最中にリリーフ弁４１が開弁した場合には、リリーフ流体は、導圧通路９０を通じてスプール５６の下流側へ導かれる。よって、シリンダ２の急加速を防止することができる。
【0101】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【符号の説明】
【0102】
１・・・アーム（負荷）、２・・・シリンダ、２ａ・・・ロッド側圧力室（負荷側圧力室）、４・・・ポンプ（流体圧供給源）、５・・・パイロットポンプ（パイロット圧供給源）、６・・・制御弁、７ｂ・・・制御弁側第１メイン通路（メイン通路）、９・・・パイロット制御弁、２０・・・負荷保持機構、２１・・・オペレートチェック弁、２２・・・切換弁、２３・・・パイロット室、３８・・・下流通路、４１・・・リリーフ弁、５０・・・ピストン、５１・・・ドレン室、５４・・・スプリング室、５６・・・スプール、７６・・・ドレン通路、７６ａ・・・第１ドレン通路、７６ｂ・・・第２ドレン通路、７６ｃ・・・第３ドレン通路、７６ｄ・・・第４ドレン通路、９０・・・導圧通路、９１・・・チェック弁、９７・・・オリフィス（絞り）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】