特許 7710964 ヘッド駆動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2025-07-11

(45)【発行日】2025-07-22

(54)【発明の名称】ヘッド駆動装置

(51)【国際特許分類】

   G11B 5/584 20060101AFI20250714BHJP

   G11B 5/592 20060101ALI20250714BHJP

   G11B 5/56 20060101ALI20250714BHJP

   G11B 21/10 20060101ALI20250714BHJP

【ＦＩ】

G11B5/584

G11B5/592

G11B5/56 Z

G11B21/10 N

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2021186537

(22)【出願日】2021-11-16

(65)【公開番号】P2023073832

(43)【公開日】2023-05-26

【審査請求日】2024-06-06

(73)【特許権者】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】弁理士法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】半谷 正夫

(72)【発明者】

【氏名】桑田 凌

【審査官】川中 龍太

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－０８０３７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６２－２７７６１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２６７６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２０１９－５１０４５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２１６４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－２５９１９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１２９４２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０２１／００７４３３０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ１１Ｂ ５／５８４

Ｇ１１Ｂ ５／５９２

Ｇ１１Ｂ ５／５６

Ｇ１１Ｂ ２１／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ヘッド部材を駆動するヘッド駆動装置であって、
互いに離間して向かい合う第１のベース部および第２のベース部と、
前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に設けられ、前記ヘッド部材を支持するヘッド支持部と、
前記第１のベース部から前記ヘッド支持部に向かって延びる第１ビームと、
前記第１ビームの基部と前記第１のベース部とを接続する第１のベース側ヒンジ部と、
前記第１ビームの先端と前記ヘッド支持部とを接続する第１のヘッド側ヒンジ部と、
前記ヘッド支持部を挟んで前記第１ビームとは反対側に存し、前記第２のベース部から前記ヘッド支持部に向かって延びる第２ビームと、
前記第２ビームの基部と前記第２のベース部とを接続する第２のベース側ヒンジ部と、
前記第２ビームの先端と前記ヘッド支持部とを接続する第２のヘッド側ヒンジ部と、
前記第１のベース部と前記第１ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第１ビームの先端を変位させる第１の圧電ユニットと、
前記第２のベース部と前記第２ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第２ビームの先端を変位させる第２の圧電ユニットと、
を具備したことを特徴とするヘッド駆動装置。

【請求項2】

請求項１に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１のベース側ヒンジ部の幅が前記第１ビームの基部の幅よりも小さく、
前記第１のヘッド側ヒンジ部の幅が前記第１ビームの先端の幅よりも小さく、
前記第２のベース側ヒンジ部の幅が前記第２ビームの基部の幅よりも小さく、
前記第２のヘッド側ヒンジ部の幅が前記第２ビームの先端の幅よりも小さいヘッド駆動装置。

【請求項3】

請求項２に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１ビームの平面形状が前記第１ビームの基部から前記第１ビームの先端に向かって幅が小さくなる形状であり、
前記第２ビームの平面形状が前記第２ビームの基部から前記第２ビームの先端に向かって幅が小さくなる形状であるヘッド駆動装置。

【請求項4】

請求項２に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１のベース側ヒンジ部の両側に第１の素子収容部を有し、これら第１の素子収容部に前記第１の圧電ユニットを構成する一対の第１の圧電素子が配置され、
前記第２のベース側ヒンジ部の両側に第２の素子収容部を有し、これら第２の素子収容部に前記第２の圧電ユニットを構成する一対の第２の圧電素子が配置されたヘッド駆動装置。

【請求項5】

請求項４に記載のヘッド駆動装置において、
前記一対の第１の圧電素子のうちの一方が所定の極性で配置され、
前記一対の第１の圧電素子のうちの他方は極性が逆となるよう向きを反転させて配置され、
前記一対の第２の圧電素子のうちの一方が所定の極性で配置され、
前記一対の第２の圧電素子のうちの他方は極性が逆となるよう向きを反転させて配置されたヘッド駆動装置。

【請求項6】

請求項１に記載のヘッド駆動装置において、
金属の基板からなり、前記第１ビームと、前記第１のベース側ヒンジ部と、前記第１のヘッド側ヒンジ部とを含む第１のサスペンションと、
前記基板からなり、前記第２ビームと、前記第２のベース側ヒンジ部と、前記第２のヘッド側ヒンジ部とを含み、前記ヘッド支持部の中心を通る軸線を対称軸として前記第１のサスペンションと線対称形の第２のサスペンションと、
を具備したヘッド駆動装置。

【請求項7】

請求項６に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１のサスペンションに形成され、前記ヘッド支持部に対し、前記基板の厚さ方向に９０°以下の角度で曲がる第１の曲げ部と、
前記第２のサスペンションに形成され、前記ヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる第２の曲げ部と、
を有したヘッド駆動装置。

【請求項8】

請求項１に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１ビームと前記第２ビームと前記ヘッド支持部との少なくとも一部に配置されたダンパー部材を具備したヘッド駆動装置。

【請求項9】

ヘッド部材を駆動するヘッド駆動装置であって、
互いに離間して向かい合う第１のベース部および第２のベース部と、
前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に設けられ、ヘッド部材を支持する第１のヘッド支持部と、
前記第１のベース部から前記第１のヘッド支持部に向かって延びる第１ビームと、
前記第１ビームの基部と前記第１のベース部とを接続する第１のベース側ヒンジ部と、
前記第１ビームの先端と前記第１のヘッド支持部とを接続する第１のヘッド側ヒンジ部と、
前記第１のヘッド支持部を挟んで前記第１ビームとは反対側に存し、前記第２のベース部から前記第１のヘッド支持部に向かって延びる第２ビームと、
前記第２ビームの基部と前記第２のベース部とを接続する第２のベース側ヒンジ部と、
前記第２ビームの先端と前記第１のヘッド支持部とを接続する第２のヘッド側ヒンジ部と、
前記第１のベース部と前記第１ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第１ビームの先端を変位させる第１の圧電ユニットと、
前記第２のベース部と前記第２ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第２ビームの先端を変位させる第２の圧電ユニットと、
前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に設けられ、前記ヘッド部材を支持する第２のヘッド支持部と、
前記第１のベース部から前記第２のヘッド支持部に向かって延びる第３ビームと、
前記第３ビームの基部と前記第１のベース部とを接続する第３のベース側ヒンジ部と、
前記第３ビームの先端と前記第２のヘッド支持部とを接続する第３のヘッド側ヒンジ部と、
前記第２のヘッド支持部を挟んで前記第３ビームとは反対側に設けられ、前記第２のベース部から前記第２のヘッド支持部に向かって延びる第４ビームと、
前記第４ビームの基部と前記第２のベース部とを接続する第４のベース側ヒンジ部と、
前記第４ビームの先端と前記第２のヘッド支持部とを接続する第４のヘッド側ヒンジ部と、
前記第１のベース部と前記第３ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第３ビームの先端を変位させる第３の圧電ユニットと、
前記第２のベース部と前記第４ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第４ビームの先端を変位させる第４の圧電ユニットと、
を具備したことを特徴とするヘッド駆動装置。

【請求項10】

請求項９に記載のヘッド駆動装置において、
金属の基板からなり、前記第１ビームと、前記第１のベース側ヒンジ部と、前記第１のヘッド側ヒンジ部とを含む第１のサスペンションと、
前記基板からなり、前記第２ビームと、前記第２のベース側ヒンジ部と、前記第２のヘッド側ヒンジ部とを含み、前記第１のヘッド支持部の中心を通る軸線を対称軸として前記第１のサスペンションと線対称形の第２のサスペンションと、
前記基板からなり、前記第３ビームと、前記第３のベース側ヒンジ部と、前記第３のヘッド側ヒンジ部とを含む第３のサスペンションと、
前記基板からなり、前記第４ビームと、前記第４のベース側ヒンジ部と、前記第４のヘッド側ヒンジ部とを含み、前記第２のヘッド支持部の中心を通る前記軸線を対称軸として前記第３のサスペンションと線対称形の第４のサスペンションとを具備したヘッド駆動装置。

【請求項11】

請求項１０に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１のサスペンションに形成され、前記第１のヘッド支持部に対し、前記基板の厚さ方向に９０°以下の角度で曲がる第１の曲げ部と、
前記第２のサスペンションに形成され、前記第１のヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ角度で前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる第２の曲げ部と、
前記第３のサスペンションに形成され、前記第２のヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ角度で前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる第３の曲げ部と、
前記第４のサスペンションに形成され、前記第２のヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ角度で前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる第４の曲げ部を有したヘッド駆動装置。

【請求項12】

請求項１１に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１のヘッド支持部と前記第２のヘッド支持部とをつなぐ接続部を有したヘッド駆動装置。

【請求項13】

請求項９に記載のヘッド駆動装置において、さらに、
前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に設けられ、前記ヘッド部材を支持する第３のヘッド支持部と、
前記第１のベース部から前記第３のヘッド支持部に向かって延びる第５ビームと、
前記第５ビームの基部と前記第１のベース部とを接続する第５のベース側ヒンジ部と、
前記第５ビームの先端と前記第３のヘッド支持部とを接続する第５のヘッド側ヒンジ部と、
前記第３のヘッド支持部を挟んで前記第５ビームとは反対側に設けられ、前記第２のベース部から前記第３のヘッド支持部に向かって延びる第６ビームと、
前記第６ビームの基部と前記第２のベース部とを接続する第６のベース側ヒンジ部と、
前記第６ビームの先端と前記第３のヘッド支持部とを接続する第６のヘッド側ヒンジ部と、
前記第１のベース部と前記第５ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第５ビームの先端を変位させる第５の圧電ユニットと、
前記第２のベース部と前記第６ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第６ビームの先端を変位させる第６の圧電ユニットと、
を具備したことを特徴とするヘッド駆動装置。

【請求項14】

請求項１３に記載のヘッド駆動装置において、
前記第１のヘッド支持部と前記第２のヘッド支持部と前記第３のヘッド支持部とをつなぐ接続部を有したヘッド駆動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、記録媒体としてテープを用いるデータストレージデバイスのヘッド駆動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

記録媒体としてテープ（磁気テープ）を用いるデータストレージデバイスが知られている。データストレージデバイスの一例は、特許文献１あるいは特許文献２に記載されたように、ケースと、ケースの内部に収容されたテープと、テープ巻取り機構と、ヘッドアセンブリなどを有している。前記テープにデータが磁気的に記録されている。前記ヘッドアセンブリは、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記テープに対して相対的に移動させるヘッド駆動装置などを含んでいる。前記磁気ヘッドは、前記テープに記録されたデータの読取り、あるいはデータの書込み等のアクセスを行なうための素子を有している。

【0003】

特許文献１のデータストレージデバイスのヘッド駆動装置は、ヘッドスタックアセンブリ（head stack assembly）と、ヘッドスタックアセンブリを移動させるためのボイスコイルモータとを含んでいる。ヘッドスタックアセンブリの先端にスプリング機能を有するヘッドアームが設けられている。このヘッドアームにそれぞれ磁気ヘッドが搭載されている。前記磁気ヘッドは前記ボイスコイルモータによって前記テープの幅方向に移動する。

【0004】

特許文献２のデータストレージデバイスのヘッド駆動装置は、テープの高記録密度化に対応するために、磁気ヘッドを比較的大きなストロークで移動させるための粗動用アクチュエータと、前記磁気ヘッドを比較的小さなストロークで移動させるための微動用アクチュエータとを含んでいる。前記粗動用アクチュエータに、ステッピングモータあるいはＶＣＭ（ボイスコイルモータ）が使用されている。また前記微動用アクチュエータとして、ＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）等の圧電体が使用されることがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】米国特許第１０９７１１８４号明細書

【文献】特開２０２０－１２９４２４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１のヘッド駆動装置のように、小さな磁気ヘッドがボイスコイルモータによってテープの幅方向に移動する従来装置は、テープが磁気ヘッドとの接触によって損傷する懸念がある。また前記従来装置は、高速で移動するテープに対して磁気ヘッドを所定位置に安定して保持することも簡単ではない。他の従来装置では、テープの幅に対応した長さの大形の磁気ヘッドを用いることも考えられたが、そのような大形の磁気ヘッドは重量が大きいため、サスペンション機能を有するヘッドアームによって安定した状態で支持させるのは難しい。

【0007】

特許文献２のヘッド駆動装置のように、ボイスコイルモータからなる粗動用アクチュエータと、圧電素子からなる微動用アクチュエータとを備えた従来装置は構造が複雑化し、部品数も多くなる等の問題がある。
記録媒体としてディスクを用いるハードディスク装置の場合には、ディスクの表面と磁気ヘッドとの間にエアベアリングが形成される。これに対し特許文献２のヘッド駆動装置は、記録媒体としてテープが使用される。特許文献２のヘッド駆動装置は、テープの早送りおよび巻き戻し時にテープが損傷することを防ぐために、テープが磁気ヘッドに接しないようにしている。しかしこのような従来装置は、ヘッド駆動装置の構造がさらに複雑化している。

【0008】

この発明の目的は、ヘッド部材を安定して保持することができ、微動用アクチュエータとして機能することができるヘッド駆動装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

１つの実施形態に係るヘッド駆動装置は、ヘッド部材を支持するヘッド支持部と、第１ビームと、第１のベース側ヒンジ部と、第１のヘッド側ヒンジ部と、第２ビームと、第２のベース側ヒンジ部と、第２のヘッド側ヒンジ部と、第１の圧電ユニットと、第２の圧電ユニットとを具備している。

【0010】

ヘッド駆動装置は、互いに離間して向かい合う第１のベース部および第２のベース部を有している。前記ヘッド支持部は、前記第１のベース部と前記第２のベース部との間に設けられている。前記第１ビームは、前記第１のベース部から前記ヘッド支持部に向かって延びている。前記第１のベース側ヒンジ部は、前記第１ビームの基部と前記第１のベース部とを接続している。前記第１のヘッド側ヒンジ部は、前記第１ビームの先端と前記ヘッド支持部とを接続している。

【0011】

前記第２ビームは、前記ヘッド支持部を挟んで前記第１ビームとは反対側に存し、前記第２のベース部から前記ヘッド支持部に向かって延びている。前記第２のベース側ヒンジ部は、前記第２ビームの基部と前記第２のベース部とを接続している。前記第２のヘッド側ヒンジ部は、前記第２ビームの先端と前記ヘッド支持部とを接続している。前記第１の圧電ユニットは、前記第１のベース部と前記第１ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第１ビームの先端を変位させる。前記第２の圧電ユニットは、前記第２のベース部と前記第２ビームの基部との間に配置され、電圧が印加された状態において変形することにより前記第２ビームの先端を変位させる。

【0012】

前記実施形態において、前記第１のベース側ヒンジ部の幅が前記第１ビームの基部の幅よりも小さく、前記第１のヘッド側ヒンジ部の幅が前記第１ビームの先端の幅よりも小さくてもよい。また前記第２のベース側ヒンジ部の幅が前記第２ビームの基部の幅よりも小さく、前記第２のヘッド側ヒンジ部の幅が前記第２ビームの先端の幅よりも小さくてもよい。

【0013】

１つの実施形態のヘッド駆動装置は、前記第１ビームの平面形状が前記第１ビームの基部から前記第１ビームの先端に向かって幅が小さくなるテーパ形状である。前記第２ビームの平面形状が前記第２ビームの基部から前記第２ビームの先端に向かって幅が小さくなるテーパ形状である。

【0014】

前記ヘッド駆動装置において、前記第１のベース側ヒンジ部の両側に第１の素子収容部を有し、これら第１の素子収容部に前記第１の圧電ユニットを構成する一対の第１の圧電素子が配置されてもよい。また前記第２のベース側ヒンジ部の両側に第２の素子収容部を有し、これら第２の素子収容部に前記第２の圧電ユニットを構成する一対の第２の圧電素子が配置されてもよい。

【0015】

１つの実施形態では、前記一対の第１の圧電素子のうちの一方が所定の極性で前記第１の素子収容部に配置され、前記一対の第１の圧電素子のうちの他方は極性が逆となるよう向きを反転させて前記第１の素子収容部に配置されてもよい。また前記一対の第２の圧電素子のうちの一方が所定の極性で前記第２の素子収容部に配置され、前記一対の第２の圧電素子のうちの他方は極性が逆となるよう向きを反転させて前記第２の素子収容部に配置されてもよい。

【0016】

１つの実施形態のヘッド駆動装置は、図３に一例を示したように、金属の基板からなる第１のサスペンションと第２のサスペンションとを有してもよい。前記第１のサスペンションは、前記第１ビームと、前記第１のベース側ヒンジ部と、前記第１のヘッド側ヒンジ部とを含んでいる。前記第２のサスペンションは、前記第２ビームと、前記第２のベース側ヒンジ部と、前記第２のヘッド側ヒンジ部とを含んでいる。前記第２のサスペンションは、前記ヘッド支持部の中心を通る軸線を対称軸として前記第１のサスペンションと線対称形である。

【0017】

いくつかの実施形態のヘッド駆動装置は、図５から図９に示されたように、前記第１ビームと前記第２ビームと前記ヘッド支持部との少なくとも一部にダンパー部材が配置されてもよい。

【0018】

例えば図１０に示されたように、前記第１のサスペンションと前記第２のサスペンションとを有したヘッド駆動装置は、第１のサスペンションに形成された第１の曲げ部と、第２のサスペンションに形成された第２の曲げ部とを有してもよい。前記第１の曲げ部は、前記ヘッド支持部に対し、前記基板の厚さ方向に９０°以下の角度で曲がっている。前記第２の曲げ部は、前記ヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ側に前記第１の曲げ部と同じ角度で曲がっている。

【0019】

図１４から図１７に示されたように、第１のミリアクチュエータアセンブリ（milli-actuator assembly）と第２のミリアクチュエータアセンブリとを具備してもよい。第１のミリアクチュエータアセンブリは、第１のヘッド支持部と、第１のサスペンションと、第２のサスペンションとを含んでいる。第２のミリアクチュエータアセンブリは、第２のヘッド支持部と、第３のサスペンションと、第４のサスペンションとを含んでいる。これら第１－第４のサスペンションは、互いに共通の金属の基板からなり、互いに実質的に共通の構成であってもよい。前記第１のサスペンションと前記第２のサスペンションとは、第１のヘッド支持部の中心を通る軸線を対称軸として互いに線対称形である。前記第３のサスペンションと前記第４のサスペンションとは、第２のヘッド支持部の中心を通る軸線を対称軸として互いに線対称形である。前記第１のヘッド支持部と前記第２のヘッド支持部とが、互いに接続部によってつながれていてもよい。

【0020】

例えば図１８から図２２に示された立体形状のヘッド駆動装置のように、第１の曲げ部と、第２の曲げ部と、第３の曲げ部と、第４の曲げ部とを有してもよい。前記第１の曲げ部は、前記第１のサスペンションに形成され、前記第１のヘッド支持部に対し、前記基板の厚さ方向に９０°以下の角度で曲がる。前記第２の曲げ部は、前記第２のサスペンションに形成され、前記第１のヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ角度で前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる。前記第３の曲げ部は、前記第３のサスペンションに形成され、前記第２のヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ角度で前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる。前記第４の曲げ部は、前記第４のサスペンションに形成され、前記第２のヘッド支持部に対し、前記第１の曲げ部と同じ角度で前記第１の曲げ部と同じ側に曲がる。

【発明の効果】

【0021】

本発明のヘッド駆動装置によれば、ヘッド部材を安定して保持することができ、微動用アクチュエータとして機能することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】第１の実施形態に係るヘッド駆動装置の平面図。

【図2】図１中のＦ２－Ｆ２線に沿うヘッド駆動装置の断面図。

【図3】図１に示されたヘッド駆動装置の基板の平面図。

【図4】図１中のＦ４－Ｆ４線に沿うヘッド駆動装置の一部の断面図。

【図5】第２の実施形態に係るヘッド駆動装置であって、ダンパー部材をハッチングで表わした平面図。

【図6】図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うヘッド駆動装置の断面図。

【図7】第３の実施形態に係るヘッド駆動装置であって、ダンパー部材をハッチングで表わした平面図。

【図8】第４の実施形態に係るヘッド駆動装置であって、ダンパー部材をハッチングで表わした平面図。

【図9】第５の実施形態に係るヘッド駆動装置であって、ダンパー部材をハッチングで表わした平面図。

【図10】第１の曲げ部と第２の曲げ部とを有したヘッド駆動装置の側面図。

【図11】第２の実施形態から第５の実施形態に係るヘッド駆動装置の０－１．５ＫＨｚの振動特性を示した図。

【図12】第２の実施形態から第５の実施形態に係るヘッド駆動装置の８－９．５ＫＨｚの振動特性を示した図。

【図13】（Ａ）（Ｂ）はそれぞれ比較例１と比較例２のダンパー部材を備えたヘッド駆動装置を示す平面図。

【図14】第６の実施形態に係るヘッド駆動装置の斜視図。

【図15】図１４に示されたヘッド駆動装置の平面図。

【図16】第７の実施形態に係るヘッド駆動装置の平面図。

【図17】第８の実施形態に係るヘッド駆動装置の平面図。

【図18】第９の実施形態に係るヘッド駆動装置を備えたデータストレージデバイスを模式的に示す正面図。

【図19】図１８に示されたデータストレージデバイスのアクチュエータアセンブリの斜視図。

【図20】図１９に示されたアクチュエータアセンブリを分解して示した斜視図。

【図21】図１９に示されたアクチュエータアセンブリのヘッド駆動装置を図１９中の矢印Ｆ２１で示した方向から見た図。

【図22】図１９に示されたヘッド駆動装置と端子部とを示す斜視図。

【図23】図１９に示されたヘッド駆動装置の振動特性と、図１４に示されたヘッド駆動装置の振動特性とを示した図。

【図24】２つのヘッド支持部をつなぐ接続部を有した基板の平面図。

【図25】第１０の実施形態に係るヘッド駆動装置の平面図。

【図26】３つのヘッド支持部をつなぐ接続部を有した基板の平面図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

［第１の実施形態］（図１－図４）
以下に、第１の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ａについて、図１から図４を参照して説明する。
図１はヘッド駆動装置１０Ａの平面図である。図２は図１中のＦ２－Ｆ２線に沿うヘッド駆動装置１０Ａの断面図である。ヘッド駆動装置１０Ａは、金属（例えばステンレス鋼）からなる平らな基板１１を有している。図３は基板１１の平面図である。基板１１の厚さは、例えば０．１－０．３ｍｍ（一例は０．１５ｍｍ）である。基板１１の長さＬ１の一例は２０ｍｍであるが、これ以外の寸法であってもよい。

【0024】

基板１１の一部に枠部１２が形成されている。枠部１２は、互いに離間して向かい合う第１のベース部１３と第２のベース部１４とを含んでいる。第１のベース部１３と第２のベース部１４とは、互いにブリッジ部１５によって接続されている。このため第１のベース部１３と第２のベース部１４との相対位置は実質的に変わらない。第１のベース部１３と第２のベース部１４との間の距離Ｌ２（図３に示す）の一例は１５ｍｍであるが、これ以外の寸法であってもよい。

【0025】

第１のベース部１３と第２のベース部１４との間の中央に、ヘッド支持部１６が設けられている。ヘッド支持部１６は、磁気ヘッドとして機能するヘッド部材１７を支持する。ヘッド部材１７は、ヘッドバーあるいはスライダと称されることもある。ヘッド部材１７は、接着剤等の固定手段によってヘッド支持部１６に固定される。

【0026】

ヘッド部材１７は記録媒体としての磁気テープ１８（図１に一部を２点鎖線で示す）の幅方向Ｔ１に延びている。ヘッド部材１７には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子が設けられている。これらの素子によって、磁気テープ１８に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。

【0027】

ヘッド駆動装置１０Ａは、第１ビーム２１と第２ビーム２２とを含んでいる。第１ビーム２１は第１のベース部１３からヘッド支持部１６に向かって延びている。第２ビーム２２は、ヘッド支持部１６を挟んで第１ビーム２１とは１８０°反対側に設けられている。第２ビーム２２は第２のベース部１４からヘッド支持部１６に向かって延びている。

【0028】

図１に示されたように、ヘッド駆動装置１０Ａの平面視において、第１ビーム２１の平面形状は、第１ビーム２１の基部２１ａから先端２１ｂに向かって幅が小さくなるテーパ形である。この明細書で言う「平面形状」とは、基板１１の表面を臨む方向から基板１１を見たときの形である。第２ビーム２２の平面形状も、第２ビーム２２の基部２２ａから先端２２ｂに向かって幅が小さくなるテーパ形である。

【0029】

第１ビーム２１の基部２１ａと第１のベース部１３との間に、第１のベース側ヒンジ部３１が形成されている。第１のベース側ヒンジ部３１の幅Ｗ１（図３に示す）は、第１ビーム２１の基部２１ａの幅Ｗ２よりも小さい。第１のベース側ヒンジ部３１によって、第１ビーム２１の基部２１ａと第１のベース部１３とが互いに接続されている。第１のベース側ヒンジ部３１の両側に、凹部からなる素子収容部３２，３３が形成されている。

【0030】

第１ビーム２１の先端２１ｂとヘッド支持部１６との間に、第１のヘッド側ヒンジ部３５が設けられている。第１のヘッド側ヒンジ部３５の両側に、スリット３６，３７が形成されている。第１のヘッド側ヒンジ部３５の幅は、第１ビーム２１の先端２１ｂの幅と同じか先端２１ｂの幅よりも小さい。第１のヘッド側ヒンジ部３５によって、第１ビーム２１の先端２１ｂとヘッド支持部１６とが互いに接続されている。

【0031】

第２ビーム２２の基部２２ａと第２のベース部１４との間に、第２のベース側ヒンジ部４１が設けられている。第２のベース側ヒンジ部４１の幅Ｗ３（図３に示す）は、第２ビーム２２の基部２２ａの幅Ｗ４よりも小さい。第２のベース側ヒンジ部４１によって、第２ビーム２２の基部２２ａと第２のベース部１４とが互いに接続されている。第２のベース側ヒンジ部４１の両側に、凹部からなる素子収容部４２，４３が形成されている。

【0032】

第２ビーム２２の先端２２ｂとヘッド支持部１６との間に、第２のヘッド側ヒンジ部４５が設けられている。第２のヘッド側ヒンジ部４５の両側に、スリット４６，４７が形成されている。第２のヘッド側ヒンジ部４５の幅は、第２ビーム２２の先端２２ｂの幅と同じか先端２２ｂの幅よりも小さい。第２のヘッド側ヒンジ部４５によって、第２ビーム２２の先端２２ｂとヘッド支持部１６とが互いに接続されている。

【0033】

第１のベース部１３と第１ビーム２１の基部２１ａとの間に、第１の圧電ユニット５１が配置されている。第１の圧電ユニット５１は一対の第１の圧電素子５１ａ，５１ｂを含んでいる。これら圧電素子５１ａ，５１ｂは、電圧が印加された状態において変形する圧電体、例えばＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）からなる。第１の圧電素子５１ａ，５１ｂは、それぞれ第１の素子収容部３２，３３に挿入され、電気絶縁性の接着剤によって基板１１に固定されている。

【0034】

図４は図１中のＦ４－Ｆ４線に沿う断面図であり、一方の素子収容部３２と圧電素子５１ａとが示されている。圧電素子５１ａの厚さｔ１は基板１１の厚さｔ２よりも小さい。圧電素子５１ａの厚さｔ１の一例は０．１ｍｍであるが、それ以外の厚さでもよい。圧電素子５１ａの一方の面に金属の薄膜からなる第１の電極５５が形成されている。圧電素子５１ａの他方の面に金属の薄膜からなる第２の電極５６が形成されている。これら電極５５，５６に電圧が印加されると、電流が流れる方向に応じて圧電素子５１ａが変形（伸縮）する。圧電素子５１ａ，５１ｂが伸縮する方向は、第１ビーム２１の長さ方向である。圧電素子５１ａ，５１ｂの構造は互いに共通である。

【0035】

一方の圧電素子５１ａは、印加された電圧の極性（プラスかマイナス）に応じて伸びまたは縮むように所定の極性で素子収容部３２に収容されている。本実施形態（図１）の場合、ハッチングで示された他方の圧電素子５１ｂは、一方の圧電素子５１ａとは極性が逆となるように、向きを反転させて素子収容部３３に収容されている。

【0036】

電圧の印加によって一方の圧電素子５１ａが縮み、他方の圧電素子５１ｂが伸びると、第１ビーム２１の先端２１ｂが第１の方向（図１に矢印Ｙ１で示す）に変位する。一方の圧電素子５１ａが伸び、他方の圧電素子５１ｂが縮むと、第１ビーム２１の先端２１ｂが第２の方向（図１に矢印Ｙ２で示す）に変位する。

【0037】

第２のベース部１４と第２ビーム２２の基部２２ａとの間に第２の圧電ユニット６１が配置されている。第２の圧電ユニット６１は一対の第２の圧電素子６１ａ，６１ｂを含んでいる。これら圧電素子６１ａ，６１ｂは、それぞれ第２の素子収容部４２，４３に挿入され、電気絶縁性の接着剤によって基板１１に固定されている。第２の圧電素子６１ａ，６１ｂは、第１の圧電素子５１ａ，５１ｂと同じ構造の圧電体からなる。

【0038】

図１に示された第２の圧電ユニット６１の一方の圧電素子６１ａは、印加された電圧の極性（プラスかマイナス）に応じて伸びまたは縮むように、所定の極性で素子収容部４２に収容されている。これに対しハッチングで示された他方の圧電素子６１ｂは、一方の圧電素子６１ａとは極性が逆となるように、向きを反転させて素子収容部４３に収容されている。

【0039】

電圧の印加によって一方の圧電素子６１ａが縮み、他方の圧電素子６１ｂが伸びると、第２ビーム２２の先端２２ｂが第１の方向（図１に矢印Ｙ１で示す）に変位する。一方の圧電素子６１ａが伸び、他方の圧電素子６１ｂが縮むと、第２ビーム２２の先端２２ｂが第２の方向（矢印Ｙ２で示す）に変位する。このように第２ビーム２２の先端２２ｂが第１ビーム２１の先端２１ｂと同じ方向に変位することにより、ヘッド部材１７が第１の方向Ｙ１または第２の方向Ｙ２に移動する。

【0040】

第１ビーム２１と、第１のベース側ヒンジ部３１と、第１のヘッド側ヒンジ部３５とによって、第１のサスペンションＳＰ１が構成されている。第２ビーム２２と、第２のベース側ヒンジ部４１と、第２のヘッド側ヒンジ部４５とによって、第２のサスペンションＳＰ２が構成されている。これらサスペンションＳＰ１，ＳＰ２と、ヘッド支持部１６と、第１の圧電ユニット５１および第２の圧電ユニット６１とによって、ミリアクチュエータアセンブリＭＡ１が構成されている。

【0041】

第１のサスペンションＳＰ１と第２のサスペンションＳＰ２とは、ヘッド支持部１６の中心Ｃ１を通る軸線Ｃ２（図３に示す）を対称軸とする線対称形である。第１ビーム２１と第２ビーム２２とは、それぞれ軸線Ｃ２と直角な方向に延びている。第１のサスペンションＳＰ１と第２のサスペンションＳＰ２とは、互いに共通のステンレス鋼の基板１１からなる。第１のサスペンションＳＰ１の厚さと第２のサスペンションＳＰ２の厚さは同じである。

【0042】

［第２－第５の実施形態］（図５－図９）
図５は、第２の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｂを示している。図６は、図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うヘッド駆動装置１０Ｂの断面図である。ヘッド駆動装置１０Ｂはダンパー部材ＤＭ１を有している。それ以外の構成について、このヘッド駆動装置１０Ｂは第１の実施形態のヘッド駆動装置１０Ａと共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明は省略する。

【0043】

図６に示されたようにダンパー部材ＤＭ１は、粘弾性層（viscoelastic material layer）７０と拘束板（constrained plate）７１とを有している。粘弾性層７０は、変形したときに粘性抵抗を発揮することができる高分子材料（例えばアクリル系樹脂）からなり、粘着性を有している。拘束板７１はポリエステル等の合成樹脂からなり、粘弾性層７０と重なっている。

【0044】

図５に示されたダンパー部材ＤＭ１は、ヘッド支持部１６と、第１ビーム２１の全体と、第２ビーム２２の全体を覆うよう配置されている。説明の便宜上、図５ではダンパー部材ＤＭ１をハッチングで表わしている。図６に示されたように、ダンパー部材ＤＭ１はスリット３６，３７，４６，４７も覆っている。

【0045】

図７は第３の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｃを示している。このヘッド駆動装置１０Ｃもダンパー部材ＤＭ２を有している。説明の便宜上、ダンパー部材ＤＭ２はハッチングで表わされている。第３の実施形態のダンパー部材ＤＭ２は、ヘッド支持部１６から第１ビーム２１の長さ方向の途中までと、ヘッド支持部１６から第２ビーム２２の長さ方向の途中まで配置されている。それ以外の構成について、第３の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｃは第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明を省略する。ダンパー部材ＤＭ２は、ヘッド支持部１６と第１ビーム２１と第２ビーム２２との少なくとも一部に配置されている。

【0046】

図８は第４の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｄを示している。このヘッド駆動装置１０Ｄは、第１ビーム２１と第２ビーム２２とに分かれて配置された一対のダンパー部材ＤＭ３を有している。ヘッド支持部１６にダンパー部材は設けられていない。この実施形態のようにヘッド支持部１６にダンパー部材を設けない場合には、ダンパー部材を第１ビーム２１と第２ビーム２２の表裏のいずれの面に貼り付けてもよい。それ以外の構成について、第４の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｄは第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明は省略する。

【0047】

図９は第５の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｅを示している。このヘッド駆動装置１０Ｅのダンパー部材ＤＭ４は、ヘッド支持部１６と、第１ビーム２１の全体と、第２ビーム２２の全体を覆うよう配置されている。ダンパー部材ＤＭ４はスリット３６，３７，４６，４７を覆っていない。それ以外の構成について、第５の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｅは第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと共通であるため、両者に共通の構成要素に共通の符号を付して説明は省略する。

【0048】

図１０に示されたように、第１のサスペンションＳＰ１に形成された第１の曲げ部７５と、第２のサスペンションＳＰ２に形成された第２の曲げ部７６とを有してもよい。第１の曲げ部７５は、ヘッド支持部１６に対し、基板１１の厚さ方向に９０°以下の角度θ１で曲がっている。第２の曲げ部７６は、ヘッド支持部１６に対し、第１の曲げ部７５と同じ側に第１の曲げ部７５と同じ角度θ２で曲がっている。このヘッド駆動装置は、曲げ部７５，７６を有したことにより、山形の立体的な形状となっている。

【0049】

図１１は、第１の実施形態から第５の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ａ－１０Ｅについて、０－１．５ＫＨｚの第１モード（first mode）の振動特性を示している。図１１中の横軸は周波数、縦軸はゲインである。

【0050】

図１１中の破線Ｎ１は、ダンパー部材を有しない第１の実施形態のヘッド駆動装置１０Ａの振動特性を示している。図１１中の１点鎖線ＤＭ１は、第２の実施形態のダンパー部材ＤＭ１を備えたヘッド駆動装置１０Ｂ（図５）の振動特性を示している。２点鎖線ＤＭ２は、第３の実施形態のダンパー部材ＤＭ２を備えたヘッド駆動装置１０Ｃ（図７）の振動特性を示している。細線ＤＭ３は、第４の実施形態のダンパー部材ＤＭ３を備えたヘッド駆動装置１０Ｄ（図８）の振動特性を示している。実線ＤＭ４は、第５の実施形態のダンパー部材ＤＭ４を備えたヘッド駆動装置１０Ｅ（図９）の振動特性を示している。

【0051】

図１１に破線Ｎ１で示されたように、ダンパー部材を有しない第１の実施形態のヘッド駆動装置の共振のピークは急峻である。これに対し、ダンパー部材を有する第２－第５の実施形態のヘッド駆動装置は、いずれも共振のピークがなだらかである。特に実線ＤＭ４で示された第５の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｅ（図９）の共振のピークが最小となっている。このため０－１．５ＫＨｚの振動特性については、第５の実施形態のダンパー部材ＤＭ４（図９）が望ましいことがある。

【0052】

図１２は、第１の実施形態から第５の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ａ－１０Ｅについて、８－９．５ＫＨｚの第１モード（first mode）の振動特性を示している。図１２の横軸は周波数、縦軸はゲインである。

【0053】

図１２中の破線Ｎ１は、ダンパー部材を有しない第１の実施形態のヘッド駆動装置１０Ａの振動特性を示している。図１２中の１点鎖線ＤＭ１は、第２の実施形態のダンパー部材ＤＭ１を備えたヘッド駆動装置１０Ｂ（図５）の振動特性を示している。２点鎖線ＤＭ２は、第３の実施形態のダンパー部材ＤＭ２を備えたヘッド駆動装置１０Ｃ（図７）の振動特性を示している。細線ＤＭ３は、第４の実施形態のダンパー部材ＤＭ３を備えたヘッド駆動装置１０Ｄ（図８）の振動特性を示している。実線ＤＭ４は、第５の実施形態のダンパー部材ＤＭ４を備えたヘッド駆動装置１０Ｅ（図９）の振動特性を示している。

【0054】

図１２に破線Ｎ１で示されたように、ダンパー部材を有しない第１の実施形態のヘッド駆動装置の共振のピークは大きい。これに対しダンパー部材を有する第２－第５の実施形態のヘッド駆動装置は、いずれも共振のピークが小さくなっている。特に第２の実施形態（図５）のダンパー部材ＤＭ１を有するヘッド駆動装置１０Ｂと、第３の実施形態（図７）のダンパー部材ＤＭ２を有するヘッド駆動装置１０Ｃの共振モードがほぼフラットとなっている。このため８－９．５ＫＨｚの振動特性については、第２の実施形態のダンパー部材ＤＭ１と第３の実施形態のダンパー部材ＤＭ２が望ましいことがある。

【0055】

［比較例１］（図１３（Ａ））
図１３（Ａ）は比較例１のヘッド駆動装置１０Ｆを示している。このヘッド駆動装置１０Ｆのダンパー部材ＤＭ５は、第１の延出部８１と第２の延出部８２とを有している。第１の延出部８１は第１のベース側ヒンジ部３１から第１のベース部１３まで延びている。第２の延出部８２は第２のベース側ヒンジ部４１から第２のベース部１４まで延びている。それ以外の構成について、比較例１のヘッド駆動装置１０Ｆは、第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと共通である。
比較例１のヘッド駆動装置１０Ｆの振動特性は、第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと同等であった。しかし比較例１のダンパー部材ＤＭ５は第２の実施形態のダンパー部材ＤＭ１と比較して形状が複雑となり、かつ、重量が大きいという欠点がある。

【0056】

［比較例２］（図１３（Ｂ））
図１３（Ｂ）は比較例２のヘッド駆動装置１０Ｇを示している。このヘッド駆動装置１０Ｇのダンパー部材ＤＭ６は、第１の圧電ユニット５１を覆う延出部８３と、第２の圧電ユニット６１を覆う延出部８４とを有している。それ以外の構成について、比較例２のヘッド駆動装置１０Ｇは第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと共通である。
比較例２のヘッド駆動装置１０Ｇの振動特性は、第２の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｂと比較して、第１モード（first mode）が大きかった。しかも比較例２のダンパー部材ＤＭ６は、第２の実施形態のダンパー部材ＤＭ１と比較して重量が大きいという欠点がある。以上のことから、ダンパー部材はベース側ヒンジ部３１，４１と圧電ユニット５１，６１を覆わないようにした設けた方が良いという知見が得られた。

【0057】

［第６の実施形態］（図１４－図１５）
以下に、第６の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｈについて、図１４と図１５を参照して説明する。図１４はヘッド駆動装置１０Ｈの斜視図、図１５はヘッド駆動装置１０Ｈの平面図である。

【0058】

ヘッド駆動装置１０Ｈは、第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１と、第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２とを備えている。第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１は、第１の実施形態（図１－図４）のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１と同様に構成されている。このため第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２について以下に説明する。

【0059】

図１４と図１５に示された第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２は、第３のサスペンションＳＰ３と第４のサスペンションＳＰ４とを含んでいる。第３のサスペンションＳＰ３の構成は第１のサスペンションＳＰ１と共通である。第４のサスペンションＳＰ４の構成は第２のサスペンションＳＰ２と共通である。

【0060】

第１のベース部１３と第２のベース部１４との間の中央に、第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６とが配置されている。第２のヘッド支持部１１６は、第１のヘッド支持部１６に対してヘッド部材１７の長さ方向の別の位置に設けられている。これら第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６とによって、ヘッド部材１７が支持されている。ヘッド部材１７は、接着剤等の固定手段によって第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６とに固定される。

【0061】

第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２は、第２のヘッド支持部１１６と、第３ビーム１２１と、第４ビーム１２２とを含んでいる。第３ビーム１２１は第１のベース部１３から第２のヘッド支持部１１６に向かって延びている。第４ビーム１２２は、第２のヘッド支持部１１６を挟んで第３ビーム１２１とは１８０°反対側に設けられている。第４ビーム１２２は第２のベース部１４から第２のヘッド支持部１１６に向かって延びている。

【0062】

図１５に示されたようにヘッド駆動装置１０Ｈの平面視において、第３ビーム１２１の平面形状は、第３ビーム１２１の基部１２１ａから先端１２１ｂに向かって幅が小さくなるテーパ形である。第４ビーム１２２の平面形状も、第４ビーム１２２の基部１２２ａから先端１２２ｂに向かって幅が小さくなるテーパ形である。

【0063】

第３ビーム１２１の基部１２１ａと第１のベース部１３との間に、第３のベース側ヒンジ部１３１が形成されている。第３のベース側ヒンジ部１３１の幅は、第３ビーム１２１の基部１２１ａの幅よりも小さい。第３のベース側ヒンジ部１３１によって、第３ビーム１２１の基部１２１ａと第１のベース部１３とが互いに接続されている。第３のベース側ヒンジ部１３１の両側に、凹部からなる素子収容部１３２，１３３が形成されている。

【0064】

第３ビーム１２１の先端１２１ｂと第２のヘッド支持部１１６との間に、第３のヘッド側ヒンジ部１３５が設けられている。第３のヘッド側ヒンジ部１３５の両側に、スリット１３６，１３７が形成されている。第３のヘッド側ヒンジ部１３５の幅は、第３ビーム１２１の先端１２１ｂの幅と同じか先端１２１ｂの幅よりも小さい。第３のヘッド側ヒンジ部１３５によって、第３ビーム１２１の先端１２１ｂと第２のヘッド支持部１１６とが互いに接続されている。

【0065】

第４ビーム１２２の基部１２２ａと第２のベース部１４との間に、第４のベース側ヒンジ部１４１が設けられている。第４のベース側ヒンジ部１４１の幅は、第４ビーム１２２の基部１２２ａの幅よりも小さい。第４のベース側ヒンジ部１４１によって、第４ビーム１２２の基部１２２ａと第２のベース部１４とが互いに接続されている。第４のベース側ヒンジ部１４１の両側に、凹部からなる素子収容部１４２，１４３が形成されている。

【0066】

第４ビーム１２２の先端１２２ｂと第２のヘッド支持部１１６との間に、第４のヘッド側ヒンジ部１４５が設けられている。第４のヘッド側ヒンジ部１４５の両側に、スリット１４６，１４７が形成されている。第４のヘッド側ヒンジ部１４５の幅は、第４ビーム１２２の先端１２２ｂの幅と同じか先端１２２ｂの幅よりも小さい。第４のヘッド側ヒンジ部１４５によって、第４ビーム１２２の先端１２２ｂと第２のヘッド支持部１１６とが互いに接続されている。

【0067】

第１のベース部１３と第３ビーム１２１の基部１２１ａとの間に、第３の圧電ユニット１５１が配置されている。第３の圧電ユニット１５１は一対の圧電素子１５１ａ，１５１ｂを含んでいる。圧電素子１５１ａ，１５１ｂは、電圧が印加された状態において変形する圧電体、例えばＰＺＴ（ジルコンチタン酸鉛）からなる。圧電素子１５１ａ，１５１ｂは、それぞれ素子収容部１３２，１３３に挿入され、電気絶縁性の接着剤によって基板１１に固定されている。

【0068】

圧電素子１５１ａ，１５１ｂは、印加された電圧の極性（プラスかマイナス）に応じて伸びまたは縮む。例えば一方の圧電素子１５１ａが伸び、他方の圧電素子１５１ｂが縮むと、第３ビーム１２１の先端１２１ｂが第１の方向に変位する。一方の圧電素子１５１ａが縮み、他方の圧電素子１５１ｂが伸びると、第３ビーム１２１の先端１２１ｂが第２の方向に変位する。

【0069】

第２のベース部１４と第４ビーム１２２の基部１２２ａとの間に、第４の圧電ユニット１６１が配置されている。第４の圧電ユニット１６１は一対の圧電素子１６１ａ，１６１ｂを含んでいる。これら圧電素子１６１ａ，１６１ｂは、それぞれ素子収容部１４２，１４３に挿入され、電気絶縁性の接着剤によって基板１１に固定されている。

【0070】

第３ビーム１２１と、第３のベース側ヒンジ部１３１と、第３のヘッド側ヒンジ部１３５とによって、第３のサスペンションＳＰ３が構成されている。第４ビーム１２２と、第４のベース側ヒンジ部１４１と、第４のヘッド側ヒンジ部１４５とによって、第４のサスペンションＳＰ４が構成されている。これらサスペンションＳＰ３，ＳＰ４と、第２のヘッド支持部１１６と、第３の圧電ユニット１５１および第４の圧電ユニット１６１とによって、第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２が構成されている。

【0071】

第３のサスペンションＳＰ３と第４のサスペンションＳＰ４とは、第２のヘッド支持部１１６の中心Ｃ３を通る軸線Ｃ４（図１５に示す）を対称軸とする線対称形である。軸線Ｃ４は、第１のヘッド支持部１６の中心Ｃ１も通っている。第３ビーム１２１と第４ビーム１２２とは、それぞれ軸線Ｃ４と直角な方向に延びている。第３のサスペンションＳＰ３と第４のサスペンションＳＰ４とは、互いに共通のステンレス鋼の基板１１からなる。第３のサスペンションＳＰ３の厚さと第４のサスペンションＳＰ４の厚さは同じである。

【0072】

このように第６の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｈのヘッド部材１７は、ヘッド部材１７の長さ方向の２箇所において、第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１と第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２とによって支持されている。このため図１４に示した３次元の方向（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の方向）に関して、ヘッド駆動装置１０Ｈの剛性を大きくすることができ、ヘッド部材１７を安定化させることができた。

【0073】

図１４と図１５とに示された圧電素子５１ｂ，６１ｂ，１５１ｂ，１６１ｂは、極性に関して所定の向きで素子収容部３３，４３，１３３，１４３に収容されている。これに対しハッチングで示された圧電素子５１ａ，６１ａ，１５１ａ，１６１ａは、極性が逆となるように向きを反転させて素子収容部３２，４２，１３２，１４２に収容されている。

【0074】

図１５に示されたように全ての圧電素子に入力電圧［＋ｙ］が印加されると、正位の圧電素子５１ｂ，６１ｂ，１５１ｂ，１６１ｂが伸びるとともに、反転状態の圧電素子５１ａ，６１ａ，１５１ａ，１６１ａが縮む。これによりヘッド部材１７が第１の方向（矢印Ｙ１で示す）に移動する。

【0075】

図１５とは逆に、全ての圧電素子に入力電圧［－ｙ］が印加されると、正位の圧電素子５１ｂ，６１ｂ，１５１ｂ，１６１ｂが縮むとともに、反転状態の圧電素子５１ａ，６１ａ，１５１ａ，１６１ａが伸びる。これによりヘッド部材１７が第２の方向（矢印Ｙ１とは反対の方向）に移動する。このように本実施形態の場合、１系統の入力信号［±ｙ］によってヘッド部材１７をＹ軸方向に移動させることができる。

【0076】

［第７の実施形態］（図１６）
図１６は第７の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｊを示している。圧電素子５１ａ，５１ｂ，６１ａ，６１ｂ，１５１ａ，１５１ｂ，１６１ａ，１６１ｂの構造は互いに共通である。圧電素子５１ａ，５１ｂ，１６１ａ，１６１ｂは、極性に関して所定の向きで素子収容部３２，３３，１４２，１４３に収容されている。これに対しハッチングで示された圧電素子６１ａ，６１ｂ，１５１ａ，１５１ｂは、極性が逆となるように向きを反転させて素子収容部４２，４３，１３２，１３３に収容されている。それ以外の構成は第６の実施形態（図１４、図１５）と共通である。

【0077】

図１６に示されたように全ての圧電素子に入力電圧［＋ｘ］が印加されると、正位の圧電素子５１ａ，５１ｂ，１６１ａ，１６１ｂが伸び、反転状態の圧電素子６１ａ，６１ｂ，１５１ａ，１５１ｂが縮む。これによりヘッド部材１７が図１６に矢印Ｘで示すスキュー（skew）方向に変位する。

【0078】

図１６とは逆に、全ての圧電素子に入力電圧［－ｘ］が印加されると、正位の圧電素子５１ａ，５１ｂ，１６１ａ，１６１ｂが縮み、反転状態の圧電素子６１ａ，６１ｂ，１５１ａ，１５１ｂが伸びる。これによりヘッド部材１７が矢印Ｘとは反対のスキュー方向に移動する。このようにして１系統の入力信号［±ｘ］によってヘッド部材１７をスキュー方向に駆動することができる。

【0079】

［第８の実施形態］（図１７）
図１７は第８の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｋを示している。このヘッド駆動装置１０Ｋの構成は第７の実施形態（図１６）のヘッド駆動装置１０Ｊと共通である。圧電素子５１ａ，５１ｂ，１６１ａ，１６１ｂは、極性に関して所定の向きで素子収容部３２，３３，１４２，１４３に収容されている。ハッチングで示された圧電素子６１ａ，６１ｂ，１５１ａ，１５１ｂは、極性に関して向きを反転させた状態で素子収容部４２，４３，１３２，１３３に収容されている。

【0080】

図１７に示されたように、圧電素子５１ｂ，６１ａ，１５１ａ，１６１ｂに入力電圧［ｘ＋ｙ］が印加され、圧電素子５１ａ，６１ｂ，１５１ｂ，１６１ａに入力電圧［ｘ－ｙ］が印加されると、ヘッド部材１７が矢印Ｘで示すスキュー方向に移動するとともに、ヘッド部材１７が第１の方向（矢印Ｙ１で示す）に移動する。

【0081】

図１７とは逆に、圧電素子５１ｂ，６１ａ，１５１ａ，１６１ｂに入力電圧［－ｘ－ｙ］が印加され、圧電素子５１ａ，６１ｂ，１５１ｂ，１６１ａに入力電圧［－ｘ＋ｙ］が印加されると、ヘッド部材１７が矢印Ｘとは逆の方向に移動するとともに、矢印Ｙとは逆の方向に移動する。このように２系統の入力信号によってヘッド部材１７をスキュー方向とＹ軸方向とに駆動することができる。

【0082】

［第９の実施形態］（図１８－図２３）
図１８は、第９の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｌを備えたデータストレージデバイス２００を模式的に示している。データストレージデバイス２００の一例は、ケース２０１と、アクチュエータアセンブリ２０２と、第１の巻取り装置２０３と、第２の巻取り装置２０４と、複数のガイドローラ２０５とを含んでいる。なおデータストレージデバイス２００は、図１８に示された例に限ることはなく、必要に応じて様々な形態で構成することができる。

【0083】

記録媒体としてのテープ１８は、テープリール２１０，２１１に巻かれている。アクチュエータアセンブリ２０２にヘッド部材１７が設けられている。アクチュエータアセンブリ２０２は、ヘッド部材１７をテープ１８の幅方向（Ｙ軸方向）とスキュー方向とに移動させる機能を有している。ヘッド部材１７によって、テープ１８に対するアクセス（データの書込みあるいは読取り）が行なわれる。

【0084】

図１９にヘッド駆動装置１０Ｌを備えたアクチュエータアセンブリ２０２の一例が示されている。図１９中の両方向矢印ＰＴ１は、ヘッド部材１７のピッチング方向を示している。図２０は、アクチュエータアセンブリ２０２を分解して示した斜視図である。図２１は、ヘッド駆動装置１０Ｌを図１９中の矢印Ｆ２１で示した方向から見た図である。

【0085】

アクチュエータアセンブリ２０２は、一対のガイド部材２２０，２２１に沿って移動可能なスライド部材２２２と、スライド部材２２２を移動させる粗動用のボイスコイルモータ２２３，２２４と、スライド部材２２２に取付けられたスキュー駆動ブロック２２５と、ヘッド駆動装置１０Ｌとを含んでいる。スキュー駆動ブロック２２５は、スキュー軸２２６を中心にスキュー方向に回動することができる。

【0086】

一対のボイスコイルモータ２２３，２２４は、それぞれ、ヨーク２３０，２３１と、磁石２３２，２３３と、コイル２３４，２３５とを有している。ボイスコイルモータ２２３，２２４は、スライド部材２２２と、ヘッド駆動装置１０Ｌと、スキュー駆動ブロック２２５とを、ガイド部材２２０，２２１に沿って移動させる。またボイスコイルモータ２２３，２２４は、ヘッド駆動装置１０Ｌとスキュー駆動ブロック２２５とを、スキュー軸２２６を中心に回動させる。

【0087】

ヘッド駆動装置１０Ｌは、図２１に示されたように、第１の曲げ部２４１および第２の曲げ部２４２を有した立体形状の第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１´と、第３の曲げ部２４３および第４の曲げ部２４４を有した立体形状の第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２´とを有している。第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１´と第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２´とは、互いに共通の構成である。

【0088】

第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１´は、曲げ部２４１，２４２を有していること以外は、第６の実施形態（図１４，図１５）のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１と同様に構成されている。第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２´は、曲げ部２４３，２４４を有していること以外は、第６の実施形態（図１４，図１５）のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２と同様に構成されている。ミリアクチュエータアセンブリＭＡ１´，ＭＡ２´については、第６の実施形態のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１，ＭＡ２と共通の箇所に共通の符号を付して説明を省略する。

【0089】

図２１に示されたように、第１のヘッド側ヒンジ部３５に第１の曲げ部２４１が形成されている。また第２のヘッド側ヒンジ部４５に第２の曲げ部２４２が形成されている。第１の曲げ部２４１は、第１のヘッド支持部１６に対し、基板１１の厚さ方向に９０°よりも小さい角度θ１（例えば４５°）で曲げられている。第２の曲げ部２４２は、第１のヘッド支持部１６に対し、基板１１の厚さ方向に、第１の曲げ部２４１と同じ側に第１の曲げ部２４１と同じ角度θ２（例えば４５°）で曲げられている。

【0090】

第３の曲げ部２４３（図１９と図２０に示す）は、第２のヘッド支持部１１６に対し、基板１１の厚さ方向に第１の曲げ部２４１と同じ方向に、第１の曲げ部２４１と同じ角度θ１（例えば４５°）で曲げられている。第３の曲げ部２４３は、第３のヘッド側ヒンジ部１３５に形成されている。第４の曲げ部２４４は、第２のヘッド支持部１１６に対し、基板１１の厚さ方向に第３の曲げ部２４３と同じ側に、第３の曲げ部２４３と同じ角度θ２（例えば４５°）で曲げられている。第４の曲げ部２４４は、第４のヘッド側ヒンジ部１４５に形成されている。

【0091】

本実施形態のヘッド駆動装置１０Ｌは、曲げ部２４１，２４２，２４３，２４４を設けたことにより、山形をなす立体的な形状となっている。このため本実施形態のヘッド駆動装置１０Ｌは、平面的な形状の第６の実施形態（図１４，図１５）のヘッド駆動装置１０Ｈと比較して、剛性を大きくすることができる。

【0092】

図２２に示されたように、ヘッド駆動装置１０Ｌの枠部１２に端子部３００が設けられている。ヘッド部材１７にも端子部３０１が設けられている。圧電素子６１ａ，６１ｂ，１６１ａ，１６１ｂに、それぞれ端子３１０，３１１，３１２，３１３が設けられている。枠部１２の端子部３００は、ヘッド部材１７の端子部３０１と、圧電素子６１ａ，６１ｂ，１６１ａ，１６１ｂの端子３１０，３１１，３１２，３１３に電気的に接続される。

【0093】

図２３は、第９の実施形態（図１９－図２２）のヘッド駆動装置１０Ｌの振動特性と第６の実施形態（図１４）のヘッド駆動装置１０Ｈの振動特性とを示している。図２３中の実線は、４５°の曲げ部２４１，２４２，２４３，２４４を有したヘッド駆動装置１０Ｌの振動特性である。図２３中の破線は、曲げ部を有しないヘッド駆動装置１０Ｈの振動特性である。

【0094】

図２３中のＲ１は、曲げ部を有しないヘッド駆動装置１０Ｈのピッチングモード（pitching mode）であり、１ｋＨｚ付近に生じている。図２３中のＲ２は、曲げ部を有したヘッド駆動装置１０Ｌのピッチングモードであり、１１ｋＨｚ付近に生じている。曲げ部を有した立体形状のヘッド駆動装置１０Ｌによれば、平面的な形状のヘッド駆動装置１０Ｈの周波数と比較して、ピッチングモードの周波数を大幅に上げることができた。

【0095】

図２４に示されたように、第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６とをつなぐ接続部２７０を有してもよい。接続部２７０を設けたことにより、第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６との位置関係が安定する。このため前記曲げ部２４１，２４２，２４３，２４４を曲げ加工する際に、第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６との位置が変化することを抑制することができる。また接続部２７０を設けたことにより、前記ヘッド部材１７の接着面性を大きくすることができる。接続部２７０を利用してヘッド部材１７を安定した状態で支持することも可能である。

【0096】

図２５は第１０の実施形態に係るヘッド駆動装置１０Ｍを示している。このヘッド駆動装置１０Ｍは、第１のミリアクチュエータアセンブリＭＡ１と、第２のミリアクチュエータアセンブリＭＡ２と、第３のミリアクチュエータアセンブリＭＡ３とを備えている。第３のミリアクチュエータアセンブリＭＡ３は、第３のヘッド支持部４１６と、第５ビーム４２１と、第６ビーム４２２と、第５の圧電ユニット４５１と、第６の圧電ユニット４６１とを含んでいる。

【0097】

第３のヘッド支持部４１６は、第１のベース部１３と第２のベース部１４との間に設けられ、ヘッド部材１７を支持する。第５ビーム４２１は、第１のベース部１３から第３のヘッド支持部４１６に向かって延びている。第１のベース部１３と第５ビーム４２１の基部とが、第５のベース側ヒンジ部４３１によって接続されている。第５ビーム４２１の先端と第３のヘッド支持部４１６とが、第５のヘッド側ヒンジ部４３５によって接続されている。

【0098】

第６ビーム４２２は、第３のヘッド支持部４１６を挟んで第５ビーム４２１とは反対側に設けられている。第６ビーム４２２は、第２のベース部１４から第３のヘッド支持部４１６に向かって延びている。第２のベース部１４と第６ビーム４２２の基部とが、第６のベース側ヒンジ部４４１によって接続されている。第６ビーム４２２の先端と第３のヘッド支持部４１６とが、第６のヘッド側ヒンジ部４４５によって接続されている。

【0099】

第５の圧電ユニット４５１は、第１のベース部１３と第５ビーム４２１の基部との間に配置されている。第５の圧電ユニット４５１は、電圧が印加された状態において変形することにより、第５ビーム４２１の先端を変位させる。第６の圧電ユニット４６１は、第２のベース部１４と第６ビーム４２２の基部との間に配置されている。第６の圧電ユニット４６１は、電圧が印加された状態において変形することにより、第６ビーム４２２の先端を変位させる。

【0100】

ミリアクチュエータアセンブリＭＡ１，ＭＡ２，ＭＡ３の構成は互いに共通であり、それぞれ図１４と図１５に示されたミリアクチュエータアセンブリＭＡ１と同様に構成されている。本実施形態のヘッド駆動装置１０Ｍは、３つのミリアクチュエータアセンブリＭＡ１，ＭＡ２，ＭＡ３を備えたことにより、剛性をさらに大きくすることができる。これらミリアクチュエータアセンブリＭＡ１，ＭＡ２，ＭＡ３に、第６の実施形態のヘッド駆動装置１０Ｌと同様の曲げ部２４１，２４２，２４３，２４４を設けることにより、立体的な形状としてもよい。ミリアクチュエータアセンブリの数が４以上であってもよい。

【0101】

図２６に示されたように、第１のヘッド支持部１６と第２のヘッド支持部１１６と第３のヘッド支持部４１６とをつなぐ接続部４７０を有してもよい。接続部４７０を設けたことにより、ヘッド支持部１６，１１６，４１６の位置関係を互いに一定に保つことができる。

【0102】

なお本発明を実施するに当たって、ヘッド駆動装置を構成する各要素の具体的な態様を種々に変更して実施できることは言うまでもない。またデータストレージデバイスについても、必要に応じて様々な形態をとることができる。

【符号の説明】

【0103】

１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆ，１０Ｇ，１０Ｈ，１０Ｊ，１０Ｋ，１０Ｌ，１０Ｍ…ヘッド駆動装置、１１…基板、１２…枠部、１３…第１のベース部、１４…第２のベース部、１６…ヘッド支持部（第１のヘッド支持部）、１７…ヘッド部材（スライダ）、１８…磁気テープ、２１…第１ビーム、２１ａ…基部、２１ｂ…先端、２２…第２ビーム、２２ａ…基部、２２ｂ…先端、３１…第１のベース側ヒンジ部、３２，３３…素子収容部、３５…第１のヘッド側ヒンジ部、３６，３７…スリット、４１…第２のベース側ヒンジ部、４２，４３…素子収容部、４５…第２のヘッド側ヒンジ部、４６，４７…スリット、５１…第１の圧電ユニット、５１ａ，５１ｂ…圧電素子、６１…第２の圧電ユニット、６１ａ，６１ｂ…圧電素子、ＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３，ＳＰ４…サスペンション、ＭＡ１，ＭＡ２，ＭＡ３…ミリアクチュエータアセンブリ、ＤＭ１，ＤＭ２，ＤＭ３，ＤＭ４，ＤＭ５，ＤＭ６…ダンパー部材、１１６…第２のヘッド支持部、１２１…第３ビーム、１２１ａ…基部、１２１ｂ…先端、１２２…第４ビーム、１２２ａ…基部、１２２ｂ…先端、１３１…第３のベース側ヒンジ部、１３２，１３３…素子収容部、１３５…第３のヘッド側ヒンジ部、１３６，１３７…スリット、１４１…第４のベース側ヒンジ部、１４２，１４３…素子収容部、１４５…第４のヘッド側ヒンジ部、１４６，１４７…スリット、１５１…第３の圧電ユニット、１５１ａ，１５１ｂ…圧電素子、１６１…第４の圧電ユニット、１６１ａ，１６１ｂ…圧電素子、２００…データストレージデバイス、２０２…アクチュエータアセンブリ、２４１，２４２，２４３，２４４…曲げ部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】