特許7715647高硬度の高多孔性ケミカルメカニカル研磨パッド用配合物及びそれにより製造されたＣＭＰパッド

発明の名称　高硬度の高多孔性ケミカルメカニカル研磨パッド用配合物及びそれにより製造されたＣＭＰパッド

出願人　ローム　アンド　ハース　エレクトロニック　マテリアルズ　シーエムピー　ホウルディングス　インコーポレイテッド　（識別番号 504089426）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7715647

公報発行日　2025年7月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7715647

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