発明の名称 基板移送装置
出願人 ヴイエム インコーポレイテッド (識別番号 524173224)
特許公開件数ランキング 4697 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 3788 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7729643
公報発行日 2025年8月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7729643
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