特許 7731920出願番号特願 2022-580211
炉内で半導体ウエハを支持するためのウエハボート

出願人グローバルウェーハズ　カンパニー　リミテッド（識別番号 518112516）

2026年特許公開件数ランキング 739位 25件（※）

2026年特許取得件数ランキング 723位 22件（※）

公報発行日　2025年9月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7731920　ログイン済みの方はこのURLへ

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※ 共同出願を含む

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本開示の分野は、半導体ウエハを支持するための半導体ウエハボートに関し、より具体的には、炉内での半導体ウエハの熱処理に使用するための半導体ウエハボート

【図1】ウエハボートの斜視図である。

【図2】コンタクト突起部を示すウエハボートの平面図である。

【図3】図２に示すコンタクト突起部の詳細図である。

【図4】コンタクト突起部の他の実施形態の詳細図である。

【図5】コンタクト突起部の第１および第２の長さに対するスリップ長さの確率プロットである。

対応する参照符号は、図面全体にわたって対応する部分を示す。

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