発明の名称 エッチング方法、電子部品の製造方法、及びプラズマ装置の使用方法。
出願人 株式会社オプトラン (識別番号 300075751)
特許公開件数ランキング 2033 位(3件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2289 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7744677
公報発行日 2025年9月26
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7744677
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