特許 7745817出願番号 特願 2025-538651
メンテナンス治具、めっき装置、および、給電コンタクトのメンテナンス方法
出願人 株式会社荏原製作所（識別番号 239）
2026年 特許公開件数ランキング 159位 149件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 228位 89件（※）
公報発行日 2025年9月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7745817 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
給電コンタクトからめっき金属を除去するメンテナンスに要する時間を短縮する。
めっき装置の基板ホルダに設けられた給電コンタクト４４２－４に析出した金属膜を除去するためのメンテナンス治具４９０は、電解液を収容するように構成されたカソード室４９２と、カソード室４９２内に配置されたカソード４９３であって、給電コンタクト４４２－４との間で電圧を印加されるように構成された、カソード４９３と、カソード室４９２内の電解液と接触する第１の面４９４ａ、および、メンテナンス治具４９０を基板ホルダに設置したときに給電コンタクト４４２－４と接触する第２の面４９４ｂ、を有する隔膜４９４であって、カソード室４９２内の電解液を保持することができ、第１の面４９４ａ側から第２の面４９４ｂ側へ陰イオンを透過することができるように構成される、隔膜４９４と、を含む。
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
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