発明の名称 カスケード比例積分微分(PID)コントローラを使用して真空発生システムに制御安定性を提供する方法及びシステム
出願人 アルコン インコーポレイティド (識別番号 319008904)
特許公開件数ランキング 329 位(91件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 328 位(76件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7752170
公報発行日 2025年10月9
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7752170
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