特許7758772ウエハ酸化物除去及びリフロー処理のための装置及び方法

発明の名称　ウエハ酸化物除去及びリフロー処理のための装置及び方法

出願人　エア　プロダクツ　アンド　ケミカルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 591035368）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7758772

公報発行日　2025年10月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7758772

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7758772「ウエハ酸化物除去及びリフロー処理のための装置及び方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録