特許7760053上部電極ユニット、そして、これを含む基板処理装置

発明の名称　上部電極ユニット、そして、これを含む基板処理装置

出願人　ピーエスケー　インコーポレイテッド　（識別番号 519362963）

　　　　特許公開件数ランキング 7047 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4116 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7760053

公報発行日　2025年10月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7760053

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