特許7763009半導体処理装置及び半導体処理システム

発明の名称　半導体処理装置及び半導体処理システム

出願人　无錫華瑛微電子技術有限公司　（識別番号 516206071）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7763009

公報発行日　2025年10月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7763009

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