特許7764462ターゲットアセンブリ、Ｘ線装置、構造測定装置、構造測定方法、及びターゲットアセンブリの変更方法

発明の名称　ターゲットアセンブリ、Ｘ線装置、構造測定装置、構造測定方法、及びターゲットアセンブリの変更方法

出願人　ニコン・メトロロジー・エヌヴェ　（識別番号 511054444）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7764462

公報発行日　2025年11月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7764462

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