特許7767652基板搬送ロボットシステム

発明の名称　基板搬送ロボットシステム

出願人　川崎重工業株式会社　（識別番号 974）

　　　　特許公開件数ランキング 101 位（305件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 124 位（226件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7767652

公報発行日　2025年11月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7767652

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