特許7769098試料保持具、電子線装置、試料保持具の製造方法

発明の名称　試料保持具、電子線装置、試料保持具の製造方法

出願人　株式会社日立製作所　（識別番号 5108）

　　　　特許公開件数ランキング 13 位（377件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12 位（412件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7769098

公報発行日　2025年11月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7769098

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