特許7769405検査装置及び検査方法

発明の名称　検査装置及び検査方法

出願人　株式会社　Ｉｎｔｅｇｒａｌ　Ｇｅｏｍｅｔｒｙ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　（識別番号 513034154）

　　　　特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4213 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7769405

公報発行日　2025年11月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7769405

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