特許7770008IP Force 特許公報全文掲載

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加工方法及び加工装置に関する。詳しくは、合成石英ガラス等を加工する化学機械研磨にて、簡易な構成でありながら、加工面の表面粗さを短時間で改善することができ、かつ、高能率な加工を実現可能な加工方法及び加工装置に係るものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、従前の化学機械研磨では、精密ガラス部品となるガラス材料の研磨において、効率が不十分であり、生産性を向上するために、研磨処理の加工能率を高めることが求められていた。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

［加工方法について］ の目的を達成するために、本発明の加工方法は、砥粒を含む研磨スラリーに、紫外光を照射し、かつ、オゾンガスを供給して、研磨定盤に設けた所定の研磨パッドに前記研磨スラリーを滴下すると共に、前記所定の研磨パッドを被加工物と接触させた状態で変位させる工程を備える。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明を適用した加工方法及び加工装置では、合成石英ガラス等を加工する化学機械研磨にて、簡易な構成でありながら、加工面の表面粗さを短時間で改善することができ、かつ、高能率な加工を実現することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の第１の実施の形態における加工装置を説明するための模式図である。
【図2】 本発明の第２の実施の形態における加工装置を説明するための模式図である。
【図3】 研磨スラリーに対するＦＴ－ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）による解析結果のスペクトルである
【図4】 実施例１及び比較例１における加工時間と、加工時間ごとの加工後の合成石英ガラスの表面粗さの関係を示すグラフである。
【図5】 （ａ）は、実施例１の加工開始前の合成石英ガラスにおける加工領域の一部の表面粗さを非接触形状測定機で測定したデータであり、（ｂ）は、実施例１の加工開始３０分後の合成石英ガラスにおける加工領域の一部の表面粗さを非接触形状測定機で測定したデータである。
【図6】 実施例１及び比較例１の加工能率を示すグラフである。
【図7】 （ａ）は、実施例２の加工開始前の合成石英ガラスにおける加工領域の一部の表面粗さを非接触形状測定機で測定したデータであり、（ｂ）は、実施例２の加工後の合成石英ガラスにおける加工領域の一部の表面粗さを非接触形状測定機で測定したデータである。
【図8】 実施例１、実施例２、比較例１、及び、比較例３の加工能率を示すグラフである。
【図9】 研磨パッドの表面の親水性について、比較例１（ａ）、比較例２（ｂ）、及び、比較例３（ｃ）の接触角を示したデータである。
【図10】 比較例１～３における加工時間と、加工時間ごとの加工後の合成石英ガラスの表面粗さの関係を示すグラフである。
【図11】 （ａ）は、比較例３の加工開始前の合成石英ガラスにおける加工領域の一部の表面粗さを非接触形状測定機で測定したデータであり、（ｂ）は、比較例３の加工後の合成石英ガラスにおける加工領域の一部の表面粗さを非接触形状測定機で測定したデータである。
【図12】 比較例１～３の加工能率を示すグラフである。

代表図 図1本件の代表的な図

１ 加工装置 ２ 研磨定盤 ３ 合成石英ガラス ４ 試料ホルダー ５ 研磨パッド ６ スラリー供給部 ６０ 研磨スラリー ７ スラリー供給ボトル ７０ 撹拌子 ８ オゾンガス供給部 ９ 紫外光照射部 １０ 真空紫外光照射部

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