発明の名称 検査装置、パラメータ設定方法及びパラメータ設定プログラム
出願人 NECプラットフォームズ株式会社 (識別番号 227205)
特許公開件数ランキング 145 位(234件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 154 位(212件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7772454
公報発行日 2025年11月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7772454
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