特許7773111２つのシリコン基板を含む積層体の製造方法および該積層体

発明の名称　２つのシリコン基板を含む積層体の製造方法および該積層体

出願人　ダイキン工業株式会社　（識別番号 2853）

　　　　特許公開件数ランキング 37 位（578件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 39 位（496件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7773111

公報発行日　2025年11月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7773111

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