発明の名称 基板搬送ロボットシステム
出願人 川崎重工業株式会社 (識別番号 974)
特許公開件数ランキング 101 位(306件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 124 位(227件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7775404
公報発行日 2025年11月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7775404
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7775404「基板搬送ロボットシステム」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録