特許7777036ＹＡＧ焼結体、その製造方法、半導体製造装置用部材、およびガスノズル

発明の名称　ＹＡＧ焼結体、その製造方法、半導体製造装置用部材、およびガスノズル

出願人　日本特殊陶業株式会社　（識別番号 4547）

　　　　特許公開件数ランキング 79 位（353件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 142 位（199件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7777036

公報発行日　2025年11月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7777036

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