特許 7777291出願番号 特願 2023-503764
感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法、重合体、及び化合物
出願人 ＪＳＲ株式会社（識別番号 524412640）
2026年 特許公開件数ランキング 437位 53件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 279位 77件（※）
公報発行日 2025年11月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7777291 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法、並びに、それらに用いることが可能な重合体及び化合物等
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
こうした次世代技術への取り組みの中でも、感度やレジストパターンの線幅のバラつきを示すラインウィドゥスラフネス（ＬＷＲ）性能、パターンの断面形状の矩形性（以下、パターン矩形性等ともいう）等の点で従来と同等以上のレジスト諸性能が要求される。しかしながら、既存の感放射線性樹脂組成物ではそれらの特性は十分なレベルで得られていない。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明者らは、本課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、下記構成を採用することにより、目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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