特許7780062ウエハ載置台

発明の名称　ウエハ載置台

出願人　日本碍子株式会社　（識別番号 4064）

　　　　特許公開件数ランキング 217 位（153件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 75 位（318件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7780062

公報発行日　2025年12月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7780062

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