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特許 7789639出願番号 特願 2022-129739
基板処理装置
出願人 東京エレクトロン株式会社（識別番号 219967）
2026年 特許公開件数ランキング 32位 441件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 29位 436件（※）
公報発行日 2025年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7789639 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
本開示の例示的基板処理装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
基板面内の温度分布に特異点が発生することを抑制する技術を提供する。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の一つの例示的実施形態における基板処理装置は、チャンバと、チャンバ内に配置された基板支持部であって、基板支持部は、同心円状に配置された複数の環状冷媒流路と、複数の温度センサとを有し、複数の環状冷媒流路の各々は、当該環状冷媒流路に冷媒が流入する入口部分及び当該環状冷媒流路から冷媒が流出する出口部分を有する出入口構造体を有し、入口部分及び出口部分は平面視で互いに重複するように構成され、出入・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本開示の一つの例示的実施形態によれば、基板面内の温度分布に特異点が発生することを抑制する技術を提供することができる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
プラズマ処理装置の一例を概略的に示す説明図である。
【図2】
温調モジュールの構成の一例を示す図である。
【図3】
平面視の基板支持部の内部構成の一例を示す横断面の説明図である。
【図4】
出入口構造体における冷媒入口管と冷媒出口管の構成例を示す模式図である。
【図5】
出入口構造体の内部の構成例を示す横断面の図である。
【図6】
温調モジュールの構成の一例を示す図である。
【図7】
出入口構造体における冷媒入口管と冷媒出口管の構成例を示す模式図である。
【図8】
出入口構造体の内部の構成例を示す横断面の図である。
【図9】
出入口構造体における冷媒入口管と冷媒出口管の構成例を示す模式図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１……プラズマ処理装置、１０……チャンバ、１１……基板支持部、１００……基板温調部材、１０１……温度センサ、１０２……冷媒供給ユニット、１１０……環状冷媒流路、１２０……出入口構造体、１３０……入口部分、１４０……出口部分、３００……冷媒入口管、３０１……冷媒出口管、Ｗ…基板
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