特許7792149成膜装置および成膜方法

発明の名称　成膜装置および成膜方法

出願人　株式会社　セルバック　（識別番号 301071413）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7792149

公報発行日　2025年12月25

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7792149

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7792149「成膜装置および成膜方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録