知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2025-12-17
(45)【発行日】2025-12-25
(54)【発明の名称】傾き調整装置
(51)【国際特許分類】
G12B 5/00 20060101AFI20251218BHJP
B23Q 1/44 20060101ALI20251218BHJP
H01L 21/60 20060101ALI20251218BHJP
【ＦＩ】
G12B5/00 A
B23Q1/44 Z
H01L21/60 311T
【請求項の数】
14
(21)【出願番号】P 2023140354
(22)【出願日】2023-08-30
(65)【公開番号】P2025034151
(43)【公開日】2025-03-13
【審査請求日】2025-05-28
(73)【特許権者】
【識別番号】000106760
【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(72)【発明者】
【氏名】下山 竜郎
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 秀和
【審査官】榮永 雅夫
(56)【参考文献】
【文献】特開２００１－１３５６４９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２０－１２１３４４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１６－５１８５７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００９－２６０１３８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１６／０２４３６４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２００２／００９４７０１（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ１２Ｂ ５／００
Ｂ２３Ｑ １／４４
Ｈ０１Ｌ ２１／５０ － ２１／６０７
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１揺動体端面を有するとともに、凸状球面である第２揺動体端面を有する揺動体と、前記第２揺動体端面に突設されている駆動軸と、
前記第１揺動体端面に取り付けられる第２圧着ツール端面を有するとともに、前記第２圧着ツール端面と異なる端面を第１圧着ツール端面として有する圧着ツールと、
前記第２揺動体端面と係合する凹状球面の第１基台端面を有するとともに、前記第１基台端面と異なる端面を第２基台端面として有し、且つ、前記駆動軸が挿通される挿通孔を画定するとともに前記第２基台端面と前記第１基台端面を繋ぐ基台内周面を有する装置基台と、を有し、
前記第１基台端面に沿って前記第２揺動体端面を揺動させつつ基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるように前記揺動体の傾きを調整する傾き調整装置であって、
前記駆動軸の軸方向の端部のうち、前記揺動体側の第１駆動軸端部と異なる端部である第２駆動軸端部に設けられ、且つ前記第２基台端面から突出している先端球体部と、
前記第２基台端面側に設けられ、前記先端球体部の位置決めを行う位置決め機構と、
前記基準面に対する前記第１圧着ツール端面の傾斜を測定する傾斜検出センサと、
前記位置決め機構の制御を行う制御装置と、を備え、
前記位置決め機構は、前記第２基台端面に平行な面内における前記先端球体部の位置を変化させるとともに、前記先端球体部を前記第２基台端面に沿って囲むように配置されている複数のアクチュエータを備え、
前記制御装置は、前記複数のアクチュエータを駆動するアクチュエータ制御部を備え、前記傾斜検出センサで測定される結果に基づいて、前記基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるように前記アクチュエータ制御部が前記複数のアクチュエータを駆動することを特徴とする傾き調整装置。
【請求項2】
前記先端球体部が挿入される挿入孔を画定しつつ前記先端球体部が摺接する内面を有する駆動体を備えるとともに、前記複数のアクチュエータは、前記駆動体を前記第２基台端面に沿って囲むように配置されるとともに、前記駆動体を介して前記第２基台端面に平行な面内における前記先端球体部の位置を変化させる請求項１に記載の傾き調整装置。
【請求項3】
前記駆動体は、前記挿入孔を画定する円筒軸受と、前記円筒軸受を保持する軸受保持部と、を備え、前記円筒軸受の中心軸は、前記装置基台の軸方向に延びる請求項２に記載の傾き調整装置。
【請求項4】
前記円筒軸受は、前記先端球体部の直径よりも小さい内径を有するとともに、前記円筒軸受の内径が拡径可能となるように、前記円筒軸受の軸方向に延びる間隙を有する請求項３に記載の傾き調整装置。
【請求項5】
空気軸受用ポートと、前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、
前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記空気軸受用ポートを介して真空吸引することにより、前記揺動体の傾斜姿勢を固定する請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の傾き調整装置。
【請求項6】
前記駆動体は、前記複数のアクチュエータと、複数のリニアスライド機構を介して連結され、前記位置決め機構は、前記複数のアクチュエータの各々により、前記複数のリニアスライド機構の各々を介して前記駆動体を押し引きすることによって、前記駆動体を移動させる請求項２又は請求項３に記載の傾き調整装置。
【請求項7】
前記複数のアクチュエータとして、４つのベローズアクチュエータを備えるとともに、前記４つのベローズアクチュエータは、対向する２つのベローズアクチュエータにより構成されるベローズアクチュエータ対を２つ形成するとともに、前記２つのベローズアクチュエータ対の各々が、前記駆動体を挟持している請求項２又は請求項３に記載の傾き調整装置。
【請求項8】
前記第２基台端面に取り付けられるとともに、前記４つのベローズアクチュエータを収容する、前記装置基台の軸方向から見て多角形のハウジング部を備え、前記２つのベローズアクチュエータ対の各々の両端部が、前記ハウジング部の各隅に固定されている請求項７に記載の傾き調整装置。
【請求項9】
前記２つのベローズアクチュエータ対のそれぞれが構成する２つの直線が直交するように、前記４つのベローズアクチュエータを配置する請求項８に記載の傾き調整装置。
【請求項10】
前記制御装置は、前記傾斜検出センサにより測定される前記基準面に対する前記第１圧着ツール端面の傾斜に基づいて、前記基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるために要求される前記４つのベローズアクチュエータの各々に供給する圧力の値を計算する駆動量計算部を備えるとともに、前記アクチュエータ制御部は、前記駆動量計算部の結果に基づいて、前記４つのベローズアクチュエータを駆動する請求項９に記載の傾き調整装置。
【請求項11】
前記駆動軸上であって、前記揺動体と前記先端球体部との間に設けられる中間球部と、前記基台内周面に沿って前記装置基台の軸方向へ往復動可能に設けられるとともに、前記駆動軸の外面から離間して設けられ、前記駆動軸を囲むロック部材内周面を有するロック部材と、
前記駆動軸が挿通するとともに前記中間球部と係合する内面を有する保持部と、を含むロック機構を備える請求項１～請求項４のうちいずれか一項に記載の傾き調整装置。
【請求項12】
前記ロック機構は、前記ロック部材内周面と前記駆動軸の外面との間に位置するとともに、前記駆動軸から離間して前記駆動軸を囲む支持部材内周面を有する支持部材と、前記支持部材と前記ロック部材との間をシールする第１シールと、
前記ロック部材と前記装置基台との間をシールする第２シールと、
前記ロック部材と前記装置基台と前記支持部材とにより画定されるロック用エア給排室と、を備え、
前記ロック用エア給排室にエアを給排するロック用ポートと、を含む請求項１１に記載の傾き調整装置。
【請求項13】
前記複数のアクチュエータを収容する収容空間と、前記ロック部材内周面と前記支持部材内周面とが形成するとともに、前記ロック部材と前記保持部の隙間を介して前記収容空間と連通するロック室と、
前記装置基台に設けられ、前記収容空間と連通する換気ポート、空気軸受用ポート、及び前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、
前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、
前記換気ポートは、前記ロック室を介して前記揺動体及び前記空気軸受により形成される隙間と連通するとともに、前記収容空間を介して前記傾き調整装置の外部と連通する請求項１２に記載の傾き調整装置。
【請求項14】
前記複数のアクチュエータを収容する収容空間と、前記ロック部材内周面と前記支持部材内周面とが形成するとともに、前記ロック部材と前記保持部の隙間を介して前記収容空間と連通するロック室と、
前記装置基台に設けられ、前記収容空間と連通する換気ポート、空気軸受用ポート、及び前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、
前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、
前記収容空間は、前記換気ポートを介して、前記装置基台の外部と連通するとともに、前記ロック室を介して前記空気軸受用ポートと連通する請求項１２に記載の傾き調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、傾き調整装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、半導体製造装置における、基準ステージにワークを接合する接合装置は、圧着ツール端面を備えるツールと基準ステージとを平行に調整する倣い装置を備える。
例えば、特許文献１は、凹状半球面を有する装置基台と、装置基台の凹状半球面と同じ曲率半径である凸状半球面を有する揺動体及びツールからなる倣い部材と、を備える倣い装置を開示している。また、特許文献１で開示されている倣い装置は、倣い部材と係合する保持部材と、保持部材を介して倣い部材を装置基台へ押し付けるアクチュエータと、を備えている。倣い部材は、凸状半球面と凹状半球面とが重なり合うとともに、凹状半球面に沿って回動可能となるように、装置基台に組み付けられている。倣い装置は、基準ステージの上面に対して、圧着ツール端面であるツールの先端面を押し当てるとともに、装置基台の凹状半球面に沿って倣い部材を回動させることにより、倣い部材を、基準ステージに対して平行となるように倣わせる。また、倣い装置は、基準ステージと平行となった倣い部材を、保持部材を介して、アクチュエータにより装置基台に押し付けることで、倣い部材の倣い状態を保持する。
例えば、特許文献１は、凹状半球面を有する装置基台と、装置基台の凹状半球面と同じ曲率半径である凸状半球面を有する揺動体及びツールからなる倣い部材と、を備える倣い装置を開示している。また、特許文献１で開示されている倣い装置は、倣い部材と係合する保持部材と、保持部材を介して倣い部材を装置基台へ押し付けるアクチュエータと、を備えている。倣い部材は、凸状半球面と凹状半球面とが重なり合うとともに、凹状半球面に沿って回動可能となるように、装置基台に組み付けられている。倣い装置は、基準ステージの上面に対して、圧着ツール端面であるツールの先端面を押し当てるとともに、装置基台の凹状半球面に沿って倣い部材を回動させることにより、倣い部材を、基準ステージに対して平行となるように倣わせる。また、倣い装置は、基準ステージと平行となった倣い部材を、保持部材を介して、アクチュエータにより装置基台に押し付けることで、倣い部材の倣い状態を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特許第４０８１２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来の倣い装置では、ツールの先端面と基準ステージとを平行に調整する倣い動作の際に、基準ステージに荷重を発生させる虞がある。本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基準面と第１圧着ツール端面とを平行に調整する動作の際に、基準面に荷重を発生させることなく基準面と第１圧着ツール端面とを平行に調整できる傾き調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
［態様１］
第１揺動体端面を有するとともに、凸状球面である第２揺動体端面を有する揺動体と、前記第２揺動体端面に突設されている駆動軸と、前記第１揺動体端面に取り付けられる第２圧着ツール端面を有するとともに、前記第２圧着ツール端面と異なる端面を第１圧着ツール端面として有する圧着ツールと、前記第２揺動体端面と係合する凹状球面の第１基台端面を有するとともに、前記第１基台端面と異なる端面を第２基台端面として有し、且つ、前記駆動軸が挿通される挿通孔を画定するとともに前記第２基台端面と前記第１基台端面を繋ぐ基台内周面を有する装置基台と、を有し、前記第１基台端面に沿って前記第２揺動体端面を揺動させつつ基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるように前記揺動体の傾きを調整する傾き調整装置であって、前記駆動軸の軸方向の端部のうち、前記揺動体側の第１駆動軸端部と異なる端部である第２駆動軸端部に設けられ、且つ前記第２基台端面から突出している先端球体部と、前記第２基台端面側に設けられ、前記先端球体部の位置決めを行う位置決め機構と、前記基準面に対する前記第１圧着ツール端面の傾斜を測定する傾斜検出センサと、前記位置決め機構の制御を行う制御装置と、を備え、前記位置決め機構は、前記第２基台端面に平行な面内における前記先端球体部の位置を変化させるとともに、前記先端球体部を前記第２基台端面に沿って囲むように配置されている複数のアクチュエータを備え、前記制御装置は、前記複数のアクチュエータを駆動するアクチュエータ制御部を備え、前記傾斜検出センサで測定される結果に基づいて、前記基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるように前記アクチュエータ制御部が前記複数のアクチュエータを駆動することを特徴とする傾き調整装置。
第１揺動体端面を有するとともに、凸状球面である第２揺動体端面を有する揺動体と、前記第２揺動体端面に突設されている駆動軸と、前記第１揺動体端面に取り付けられる第２圧着ツール端面を有するとともに、前記第２圧着ツール端面と異なる端面を第１圧着ツール端面として有する圧着ツールと、前記第２揺動体端面と係合する凹状球面の第１基台端面を有するとともに、前記第１基台端面と異なる端面を第２基台端面として有し、且つ、前記駆動軸が挿通される挿通孔を画定するとともに前記第２基台端面と前記第１基台端面を繋ぐ基台内周面を有する装置基台と、を有し、前記第１基台端面に沿って前記第２揺動体端面を揺動させつつ基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるように前記揺動体の傾きを調整する傾き調整装置であって、前記駆動軸の軸方向の端部のうち、前記揺動体側の第１駆動軸端部と異なる端部である第２駆動軸端部に設けられ、且つ前記第２基台端面から突出している先端球体部と、前記第２基台端面側に設けられ、前記先端球体部の位置決めを行う位置決め機構と、前記基準面に対する前記第１圧着ツール端面の傾斜を測定する傾斜検出センサと、前記位置決め機構の制御を行う制御装置と、を備え、前記位置決め機構は、前記第２基台端面に平行な面内における前記先端球体部の位置を変化させるとともに、前記先端球体部を前記第２基台端面に沿って囲むように配置されている複数のアクチュエータを備え、前記制御装置は、前記複数のアクチュエータを駆動するアクチュエータ制御部を備え、前記傾斜検出センサで測定される結果に基づいて、前記基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるように前記アクチュエータ制御部が前記複数のアクチュエータを駆動することを特徴とする傾き調整装置。
【0006】
［態様２］
前記先端球体部が挿入される挿入孔を画定しつつ前記先端球体部が摺接する内面を有する駆動体を備えるとともに、前記複数のアクチュエータは、前記駆動体を前記第２基台端面に沿って囲むように配置されるとともに、前記駆動体を介して前記第２基台端面に平行な面内における前記先端球体部の位置を変化させる［態様１］に記載の傾き調整装置。
前記先端球体部が挿入される挿入孔を画定しつつ前記先端球体部が摺接する内面を有する駆動体を備えるとともに、前記複数のアクチュエータは、前記駆動体を前記第２基台端面に沿って囲むように配置されるとともに、前記駆動体を介して前記第２基台端面に平行な面内における前記先端球体部の位置を変化させる［態様１］に記載の傾き調整装置。
【0007】
［態様３］
前記駆動体は、前記挿入孔を画定する円筒軸受と、前記円筒軸受を保持する軸受保持部と、を備え、前記円筒軸受の中心軸は、前記装置基台の軸方向に延びる［態様２］に記載の傾き調整装置。
前記駆動体は、前記挿入孔を画定する円筒軸受と、前記円筒軸受を保持する軸受保持部と、を備え、前記円筒軸受の中心軸は、前記装置基台の軸方向に延びる［態様２］に記載の傾き調整装置。
【0008】
［態様４］
前記円筒軸受は、前記先端球体部の直径よりも小さい内径を有するとともに、前記円筒軸受の内径が拡径可能となるように、前記円筒軸受の軸方向に延びる間隙を有する［態様３］に記載の傾き調整装置。
前記円筒軸受は、前記先端球体部の直径よりも小さい内径を有するとともに、前記円筒軸受の内径が拡径可能となるように、前記円筒軸受の軸方向に延びる間隙を有する［態様３］に記載の傾き調整装置。
【0009】
［態様５］
空気軸受用ポートと、前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記空気軸受用ポートを介して真空吸引することにより、前記揺動体の傾斜姿勢を固定する［態様１］～［態様４］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
空気軸受用ポートと、前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記空気軸受用ポートを介して真空吸引することにより、前記揺動体の傾斜姿勢を固定する［態様１］～［態様４］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
【0010】
［態様６］
前記駆動体は、前記複数のアクチュエータと、複数のリニアスライド機構を介して連結され、前記位置決め機構は、前記複数のアクチュエータの各々により、前記複数のリニアスライド機構の各々を介して前記駆動体を押し引きすることによって、前記駆動体を移動させる［態様２］～［態様５］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
前記駆動体は、前記複数のアクチュエータと、複数のリニアスライド機構を介して連結され、前記位置決め機構は、前記複数のアクチュエータの各々により、前記複数のリニアスライド機構の各々を介して前記駆動体を押し引きすることによって、前記駆動体を移動させる［態様２］～［態様５］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
【0011】
［態様７］
前記複数のアクチュエータとして、４つのベローズアクチュエータを備えるとともに、前記４つのベローズアクチュエータは、対向する２つのベローズアクチュエータにより構成されるベローズアクチュエータ対を２つ形成するとともに、前記２つのベローズアクチュエータ対の各々が、前記駆動体を挟持している［態様２］～［態様６］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
前記複数のアクチュエータとして、４つのベローズアクチュエータを備えるとともに、前記４つのベローズアクチュエータは、対向する２つのベローズアクチュエータにより構成されるベローズアクチュエータ対を２つ形成するとともに、前記２つのベローズアクチュエータ対の各々が、前記駆動体を挟持している［態様２］～［態様６］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
【0012】
［態様８］
前記第２基台端面に取り付けられるとともに、前記４つのベローズアクチュエータを収容する、前記装置基台の軸方向から見て多角形のハウジング部を備え、前記２つのベローズアクチュエータ対の各々の両端部が、前記ハウジング部の各隅に固定されている［態様７］に記載の傾き調整装置。
前記第２基台端面に取り付けられるとともに、前記４つのベローズアクチュエータを収容する、前記装置基台の軸方向から見て多角形のハウジング部を備え、前記２つのベローズアクチュエータ対の各々の両端部が、前記ハウジング部の各隅に固定されている［態様７］に記載の傾き調整装置。
【0013】
［態様９］
前記２つのベローズアクチュエータ対のそれぞれが構成する２つの直線が直交するように、前記４つのベローズアクチュエータを配置する［態様７］又は［態様８］に記載の傾き調整装置。
前記２つのベローズアクチュエータ対のそれぞれが構成する２つの直線が直交するように、前記４つのベローズアクチュエータを配置する［態様７］又は［態様８］に記載の傾き調整装置。
【0014】
［態様１０］
前記制御装置は、前記傾斜検出センサにより測定される前記基準面に対する前記第１圧着ツール端面の傾斜に基づいて、前記基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるために要求される前記４つのベローズアクチュエータの各々に供給する圧力の値を計算する駆動量計算部を備えるとともに、前記アクチュエータ制御部は、前記駆動量計算部の結果に基づいて、前記４つのベローズアクチュエータを駆動する［態様７］～［態様９］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
前記制御装置は、前記傾斜検出センサにより測定される前記基準面に対する前記第１圧着ツール端面の傾斜に基づいて、前記基準面と前記第１圧着ツール端面とが平行となるために要求される前記４つのベローズアクチュエータの各々に供給する圧力の値を計算する駆動量計算部を備えるとともに、前記アクチュエータ制御部は、前記駆動量計算部の結果に基づいて、前記４つのベローズアクチュエータを駆動する［態様７］～［態様９］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
【0015】
［態様１１］
前記駆動軸上であって、前記揺動体と前記先端球体部との間に設けられる中間球部と、前記基台内周面に沿って前記装置基台の軸方向へ往復動可能に設けられるとともに、前記駆動軸の外面から離間して設けられ、前記駆動軸を囲むロック部材内周面を有するロック部材と、前記駆動軸が挿通するとともに前記中間球部と係合する内面を有する保持部と、を含むロック機構を備える［態様１］～［態様１０］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
前記駆動軸上であって、前記揺動体と前記先端球体部との間に設けられる中間球部と、前記基台内周面に沿って前記装置基台の軸方向へ往復動可能に設けられるとともに、前記駆動軸の外面から離間して設けられ、前記駆動軸を囲むロック部材内周面を有するロック部材と、前記駆動軸が挿通するとともに前記中間球部と係合する内面を有する保持部と、を含むロック機構を備える［態様１］～［態様１０］のうちいずれか一つに記載の傾き調整装置。
【0016】
［態様１２］
前記ロック機構は、前記ロック部材内周面と前記駆動軸の外面との間に位置するとともに、前記駆動軸から離間して前記駆動軸を囲む支持部材内周面を有する支持部材と、前記支持部材と前記ロック部材との間をシールする第１シールと、前記ロック部材と前記装置基台との間をシールする第２シールと、前記ロック部材と前記装置基台と前記支持部材とにより画定されるロック用エア給排室と、を備え、前記ロック用エア給排室にエアを給排するロック用ポートと、を含む［態様１１］に記載の傾き調整装置。
前記ロック機構は、前記ロック部材内周面と前記駆動軸の外面との間に位置するとともに、前記駆動軸から離間して前記駆動軸を囲む支持部材内周面を有する支持部材と、前記支持部材と前記ロック部材との間をシールする第１シールと、前記ロック部材と前記装置基台との間をシールする第２シールと、前記ロック部材と前記装置基台と前記支持部材とにより画定されるロック用エア給排室と、を備え、前記ロック用エア給排室にエアを給排するロック用ポートと、を含む［態様１１］に記載の傾き調整装置。
【0017】
［態様１３］
前記複数のアクチュエータを収容する収容空間と、前記ロック部材内周面と前記支持部材内周面とが形成するとともに、前記ロック部材と前記保持部の隙間を介して前記収容空間と連通するロック室と、前記装置基台に設けられ、前記収容空間と連通する換気ポート、空気軸受用ポート、及び前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記換気ポートは、前記ロック室を介して前記揺動体及び前記空気軸受により形成される隙間と連通するとともに、前記収容空間を介して前記傾き調整装置の外部と連通する［態様１１］又は［態様１２］に記載の傾き調整装置。
前記複数のアクチュエータを収容する収容空間と、前記ロック部材内周面と前記支持部材内周面とが形成するとともに、前記ロック部材と前記保持部の隙間を介して前記収容空間と連通するロック室と、前記装置基台に設けられ、前記収容空間と連通する換気ポート、空気軸受用ポート、及び前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記換気ポートは、前記ロック室を介して前記揺動体及び前記空気軸受により形成される隙間と連通するとともに、前記収容空間を介して前記傾き調整装置の外部と連通する［態様１１］又は［態様１２］に記載の傾き調整装置。
【0018】
［態様１４］
前記複数のアクチュエータを収容する収容空間と、前記ロック部材内周面と前記支持部材内周面とが形成するとともに、前記ロック部材と前記保持部の隙間を介して前記収容空間と連通するロック室と、前記装置基台に設けられ、前記収容空間と連通する換気ポート、空気軸受用ポート、及び前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記収容空間は、前記換気ポートを介して、前記装置基台の外部と連通するとともに、前記ロック室を介して前記空気軸受用ポートと連通する［態様１１］又は［態様１２］に記載の傾き調整装置。
前記複数のアクチュエータを収容する収容空間と、前記ロック部材内周面と前記支持部材内周面とが形成するとともに、前記ロック部材と前記保持部の隙間を介して前記収容空間と連通するロック室と、前記装置基台に設けられ、前記収容空間と連通する換気ポート、空気軸受用ポート、及び前記空気軸受用ポートからエアの給排を受ける空気軸受と、を備え、前記第１基台端面は、前記空気軸受の空気軸受面であり、前記装置基台は、前記揺動体を前記空気軸受面から離間して揺動可能に支持するとともに、前記収容空間は、前記換気ポートを介して、前記装置基台の外部と連通するとともに、前記ロック室を介して前記空気軸受用ポートと連通する［態様１１］又は［態様１２］に記載の傾き調整装置。
【発明の効果】
【0019】
本発明によれば、基準面と第１圧着ツール端面とを平行に調整する動作の際に、基準面に荷重を発生させることなく基準面と第１圧着ツール端面とを平行に調整できる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【発明を実施するための形態】
【0021】
以下、傾き調整装置を具体化した一実施形態を図１～図１０にしたがって説明する。
＜傾き調整装置の全体像＞
図１～図５に示すように、傾き調整装置１００は、圧着部揺動体２０と、装置基台３０と、ロック機構４０と、位置決め機構５０と、制御装置７０と、傾斜検出センサ８０と、を備える。
＜傾き調整装置の全体像＞
図１～図５に示すように、傾き調整装置１００は、圧着部揺動体２０と、装置基台３０と、ロック機構４０と、位置決め機構５０と、制御装置７０と、傾斜検出センサ８０と、を備える。
【0022】
＜圧着部揺動体＞
図２、図４及び図９に示すように、圧着部揺動体２０は、ワークを圧着する圧着ツール１０と、揺動体２１と、駆動軸２２と、先端球体部２３と、が一体となって形成されている。圧着部揺動体２０の圧着部軸ＬＰの延びる方向は、圧着ツール１０と、揺動体２１と、駆動軸２２と、先端球体部２３と、が並ぶ方向と一致する。
図２、図４及び図９に示すように、圧着部揺動体２０は、ワークを圧着する圧着ツール１０と、揺動体２１と、駆動軸２２と、先端球体部２３と、が一体となって形成されている。圧着部揺動体２０の圧着部軸ＬＰの延びる方向は、圧着ツール１０と、揺動体２１と、駆動軸２２と、先端球体部２３と、が並ぶ方向と一致する。
【0023】
圧着ツール１０は、第１圧着ツール端面１０ａ及び第２圧着ツール端面１０ｂの各々を端面として有する柱状である。第１圧着ツール端面１０ａは、圧着ツール１０の軸方向において、第２圧着ツール端面１０ｂの反対面である。したがって、圧着ツール１０は、第２圧着ツール端面１０ｂを有するとともに、第２圧着ツール端面１０ｂと異なる端面を第１圧着ツール端面１０ａとして有する。圧着ツール１０は、第１圧着ツール端面１０ａと後述する基準面Ｓとが対面するとともに、第２圧着ツール端面１０ｂと後述する第１揺動体端面２１ａとが対面するように、揺動体２１に取り付けられている。つまり、圧着ツール１０は、第１揺動体端面２１ａに取り付けられる第２圧着ツール端面１０ｂを有するとともに、第２圧着ツール端面１０ｂと異なる端面を第１圧着ツール端面１０ａとして有する。
【0024】
揺動体２１は、圧着ツール１０が取り付けられる第１揺動体端面２１ａを有するとともに、凸状球面である第２揺動体端面２１ｂを有する円柱状である。また、揺動体２１は、第２揺動体端面２１ｂに、揺動体内周面２１ｃにより画定される揺動体挿入孔２１ｄを有する。揺動体内周面２１ｃには雌ねじが形成されるとともに、後述する駆動軸２２の第１駆動軸端部２２ａに形成される雄ねじが螺合されている。これにより、駆動軸２２は、揺動体２１の第２揺動体端面２１ｂに突設されている。揺動体２１の軸方向は、圧着部軸ＬＰの延びる方向と一致する。揺動体挿入孔２１ｄの軸方向は、揺動体２１の軸方向と一致する。第１揺動体端面２１ａと第２揺動体端面２１ｂは、揺動体２１に軸方向において互いに反対側に位置する端面である。
【0025】
駆動軸２２は、第１駆動軸端部２２ａから第２駆動軸端部２２ｂに延びる円柱状である。駆動軸２２の軸方向は、圧着部軸ＬＰの延びる方向と一致する。駆動軸２２は、第１駆動軸端部２２ａと第２駆動軸端部２２ｂとの間に中間球部２２ｄを有する。中間球部２２ｄは、駆動軸外周面２２ｃの一部を駆動軸２２の径方向に膨出させることで形成されている。中間球部２２ｄは、第２駆動軸端部２２ｂから第１駆動軸端部２２ａに向かう方向に縮径する凸状半球面を有する。
【0026】
駆動軸２２の第２駆動軸端部２２ｂには、先端球体部２３が設けられている。つまり、先端球体部２３は、駆動軸２２の軸方向の端部のうち、揺動体２１側の第１駆動軸端部２２ａと異なる端部である第２駆動軸端部２２ｂに設けられている。また、上記中間球部２２ｄは、駆動軸２２上であって、揺動体２１と先端球体部２３との間に設けられている。先端球体部２３は、球状である。先端球体部２３の軸方向は、圧着部軸ＬＰの延びる方向と一致する。先端球体部２３は、先端球体部内周面２３ａが画定する挿通孔を有する。当該挿通孔は、圧着部軸ＬＰの方向に延びる。当該挿通孔には、駆動軸２２の第２駆動軸端部２２ｂが挿通されている。
【0027】
＜装置基台＞
図２、図３及び図９に示すように、装置基台３０は、第１基台端面３０ａを軸方向の第１端面とするとともに、第２基台端面３０ｂを軸方向の第２端面とする柱体状である。したがって、装置基台３０は、第１基台端面３０ａと異なる端面としての第２基台端面３０ｂを有する。装置基台３０は、第２基台端面３０ｂの面積を第１基台端面３０ａの面積よりも拡大するための延出部３０ｅを備える。延出部３０ｅは、装置基台３０において、第１基台端面３０ａ側よりも外方へ平板状に延出した部位である。装置基台３０の基台軸ＬＢは、第１基台端面３０ａ及び第２基台端面３０ｂと直交する。以下の説明において、基台軸ＬＢの延びる方向を装置基台３０の軸方向と記載する。装置基台３０は、装置基台３０の軸方向に延びる基台挿通孔３０ｄを画定する基台内周面３０ｃを有する。基台内周面３０ｃは、第２基台端面３０ｂと第１基台端面３０ａを繋ぐ。後述するように、駆動軸２２は基台挿通孔３０ｄに挿通される。つまり、装置基台３０は、駆動軸２２が挿通される基台挿通孔３０ｄを画定するとともに第２基台端面３０ｂと第１基台端面３０ａを繋ぐ基台内周面３０ｃを有する。
図２、図３及び図９に示すように、装置基台３０は、第１基台端面３０ａを軸方向の第１端面とするとともに、第２基台端面３０ｂを軸方向の第２端面とする柱体状である。したがって、装置基台３０は、第１基台端面３０ａと異なる端面としての第２基台端面３０ｂを有する。装置基台３０は、第２基台端面３０ｂの面積を第１基台端面３０ａの面積よりも拡大するための延出部３０ｅを備える。延出部３０ｅは、装置基台３０において、第１基台端面３０ａ側よりも外方へ平板状に延出した部位である。装置基台３０の基台軸ＬＢは、第１基台端面３０ａ及び第２基台端面３０ｂと直交する。以下の説明において、基台軸ＬＢの延びる方向を装置基台３０の軸方向と記載する。装置基台３０は、装置基台３０の軸方向に延びる基台挿通孔３０ｄを画定する基台内周面３０ｃを有する。基台内周面３０ｃは、第２基台端面３０ｂと第１基台端面３０ａを繋ぐ。後述するように、駆動軸２２は基台挿通孔３０ｄに挿通される。つまり、装置基台３０は、駆動軸２２が挿通される基台挿通孔３０ｄを画定するとともに第２基台端面３０ｂと第１基台端面３０ａを繋ぐ基台内周面３０ｃを有する。
【0028】
第１基台端面３０ａは凹状球面である。第１基台端面３０ａの曲率半径は、凸状球面である第２揺動体端面２１ｂの曲率半径と一致する。そして、第１基台端面３０ａは、第２揺動体端面２１ｂと係合する。つまり、装置基台３０は、第２揺動体端面２１ｂと係合する凹状球面の第１基台端面３０ａを有する。第１基台端面３０ａのほぼ全体は、空気軸受としての環状多孔質材３７により形成されている。したがって、第１基台端面３０ａは、空気軸受の空気軸受面である。
【0029】
第２基台端面３０ｂは、平坦面である。第２基台端面３０ｂは、延出部３０ｅを用いて形成されている。
装置基台３０は、空気軸受用エア給排室３２を有する。空気軸受用エア給排室３２は、環状多孔質材３７が有する複数の孔を介して、装置基台３０の外部と連通している。
装置基台３０は、空気軸受用エア給排室３２を有する。空気軸受用エア給排室３２は、環状多孔質材３７が有する複数の孔を介して、装置基台３０の外部と連通している。
【0030】
図９に示すように、基台内周面３０ｃは、第１基台内周面３０１ｃ及び第２基台内周面３０２ｃによって形成されている。第１基台内周面３０１ｃは、基台内周面３０ｃのうち、第１基台端面３０ａ側に位置する。第２基台内周面３０２ｃは、基台内周面３０ｃのうち、第２基台端面３０ｂ側に位置する。第２基台内周面３０２ｃの内径は、第１基台内周面３０１ｃの内径と比較して大きい。第１基台内周面３０１ｃと第２基台内周面３０２ｃとは、基台段面３０３ｃによって接続している。基台段面３０３ｃは、第１基台内周面３０１ｃ及び第２基台内周面３０２ｃと垂直であるとともに、第２基台端面３０ｂと平行である。つまり、基台段面３０３ｃは、第１基台端面３０ａと背向するとともに、第２基台端面３０ｂと同じ方向を向く。
【0031】
装置基台３０は、ロック用ポート３３及び空気軸受用ポート３４を備える。ロック用ポート３３は、基台挿通孔３０ｄのうち第２基台内周面３０２ｃの画定した部分に連通する。空気軸受用ポート３４は、空気軸受用エア給排室３２と連通する。
【0032】
図６に示すように、装置基台３０は、後述する第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々にエアを供給する第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４を備える。第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４は、延出部３０ｅに設けられている。
【0033】
また、図２に示すように、装置基台３０は、装置基台３０の延出部３０ｅに換気ポート３６を備える。換気ポート３６は、後述するアクチュエータ収容空間５４と連通する。
＜ロック機構＞
図２及び図９に示すように、ロック機構４０は、支持部材４２と、ロック部材４３と、保持部４４と、を備える。また、ロック機構４０は、マグネット４１、第１シール４２ｅ及び第２シール４３ｄを備えていてもよい。
＜ロック機構＞
図２及び図９に示すように、ロック機構４０は、支持部材４２と、ロック部材４３と、保持部４４と、を備える。また、ロック機構４０は、マグネット４１、第１シール４２ｅ及び第２シール４３ｄを備えていてもよい。
【0034】
支持部材４２の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。支持部材４２は、基台挿通孔３０ｄに収容されるとともに、装置基台３０に固定されている。支持部材４２が有する支持部材内周面４２ａは、支持部材４２の軸方向に延びる支持部材挿通孔４２ｄを画定する。支持部材内周面４２ａは凹状部４２１ａを有する。
【0035】
支持部材４２は、支持部材外周面４２ｂ上に、支持部材挿通孔４２ｄの径方向に突出した突出部４２ｃを有する。支持部材外周面４２ｂは、第１基台内周面３０１ｃと対面する第１支持部材外周面４２１ｂ、及び、第２基台内周面３０２ｃと対面するとともに、突出部４２ｃを含む、第２支持部材外周面４２２ｂにより形成されている。第２支持部材外周面４２２ｂは、支持部材凹状部４２３ｂを有する。支持部材４２の端部のうち、第１支持部材外周面４２１ｂ側に位置する支持部材４２の端部は、マグネット４１を保持している。マグネット４１は、支持部材４２に固定されている。
【0036】
支持部材４２は、第１基台内周面３０１ｃと第１支持部材外周面４２１ｂとの当接により、基台挿通孔３０ｄにおいて、装置基台３０に対して固定されている。
ロック部材４３の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。ロック部材４３は、基台挿通孔３０ｄに収容されている。また、ロック部材４３は、基台内周面３０ｃに沿って装置基台３０の軸方向へ往復動可能に設けられている。
ロック部材４３の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。ロック部材４３は、基台挿通孔３０ｄに収容されている。また、ロック部材４３は、基台内周面３０ｃに沿って装置基台３０の軸方向へ往復動可能に設けられている。
【0037】
ロック部材４３が有するロック部材内周面４３ａは、ロック部材挿通孔４３ｃを画定する。ロック部材内周面４３ａは、第１ロック部材内周面４３１ａ及び第２ロック部材内周面４３２ａにより形成されている。第１ロック部材内周面４３１ａは、ロック部材内周面４３ａのうち、第１基台端面３０ａ側に位置する。第２ロック部材内周面４３２ａは、ロック部材内周面４３ａのうち、第２基台端面３０ｂ側に位置する。第１ロック部材内周面４３１ａの内径は、第２ロック部材内周面４３２ａの内径と比較して、小さい。第１ロック部材内周面４３１ａと第２ロック部材内周面４３２ａとは、ロック部材段面４３３ａにより接続している。ロック部材段面４３３ａは、第１基台端面３０ａと背向するとともに、基台段面３０３ｃ及び第２基台端面３０ｂと同じ方向を向く。
【0038】
ロック部材４３はロック部材外周面４３ｂを有する。ロック部材外周面４３ｂは、第２基台内周面３０２ｃと対面する。ロック部材４３は、ロック部材外周面４３ｂ上にロック部材凹状部４３１ｂを有する。
【0039】
第１ロック部材内周面４３１ａの一部は、第２支持部材外周面４２２ｂ及び支持部材凹状部４２３ｂと対面する。第１シール４２ｅは、支持部材凹状部４２３ｂに設けられるとともに、第１ロック部材内周面４３１ａと第２支持部材外周面４２２ｂとの間をシールする。第１シール４２ｅは、支持部材４２とロック部材４３との間をシールする。したがって、ロック機構４０は、支持部材４２とロック部材４３との間をシールする第１シール４２ｅを有する。
【0040】
ロック部材外周面４３ｂは、第２基台内周面３０２ｃと対面する。第２シール４３ｄは、ロック部材凹状部４３１ｂに設けられるとともに、ロック部材外周面４３ｂと第２基台内周面３０２ｃとの間をシールする。したがって、ロック機構４０は、ロック部材４３と装置基台３０との間をシールする第２シール４３ｄを有する。
【0041】
支持部材外周面４２ｂが有する突出部４２ｃは、装置基台３０の軸方向において基台段面３０３ｃとロック部材４３との間に位置する。つまり、突出部４２ｃは、基台挿通孔３０ｄにおいて、ロック部材４３の移動を制限するとともに、ロック部材４３と基台段面３０３ｃとの接触を妨げる。
【0042】
ロック部材４３は、第２基台内周面３０２ｃと、基台段面３０３ｃと、第２支持部材外周面４２２ｂと、によってロック用エア給排室４６を形成する。ロック用エア給排室４６は、ロック用ポート３３を介して、装置基台３０の外部と連通する。つまり、後述する図示しない圧力供給源と接続することにより、ロック用ポート３３は、ロック用エア給排室４６にエアを給排する。よって、ロック用エア給排室４６は、ロック部材４３と装置基台３０と支持部材４２とにより画定される。上述したロック機構４０は、ロック用エア給排室４６と、ロック用ポート３３と、を含む。
【0043】
保持部４４の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。保持部４４は、ロック部材４３の内側に収容されている。保持部４４は、駆動軸２２が有する中間球部２２ｄが形成する球面と係合する保持部内周面４４ａを有する。保持部内周面４４ａは、保持部４４の軸方向に延びる保持部挿通孔４４ｃを画定している。駆動軸２２は保持部挿通孔４４ｃに挿通する。つまり、保持部４４は、駆動軸２２が挿通するとともに、中間球部２２ｄと係合する保持部内周面４４ａを有する。
【0044】
保持部外周面４４ｂは、第１保持部外周面４４１ｂと第２保持部外周面４４２ｂにより形成されている。第１保持部外周面４４１ｂは、保持部外周面４４ｂのうち第１基台端面３０ａ側に位置する。第２保持部外周面４４２ｂは、保持部外周面４４ｂのうち、第２基台端面３０ｂ側に位置する。第１保持部外周面４４１ｂは、第２保持部外周面４４２ｂと比較して小さな外径を有する。第１保持部外周面４４１ｂと第２保持部外周面４４２ｂは、保持部段面４４３ｂにより接続している。
【0045】
保持部４４は、第１保持部外周面４４１ｂと第１ロック部材内周面４３１ａとが対面する位置、且つ、第２保持部外周面４４２ｂと第２ロック部材内周面４３２ａとが対面する位置に設けられている。また、保持部４４の保持部段面４４３ｂは、ロック部材段面４３３ａと対面する。さらに、保持部４４の保持部段面４４３ｂには、ロック部材段面４３３ａが接触可能である。保持部４４の保持部段面４４３ｂにロック部材段面４３３ａが接触したとき、保持部４４は、ロック部材４３に支持される。
【0046】
第１ロック部材内周面４３１ａ及び第２ロック部材内周面４３２ａと、支持部材内周面４２ａと、は、ロック室４７を形成する。つまり、ロック室４７は、第１ロック部材内周面４３１ａ及び第２ロック部材内周面４３２ａと、支持部材内周面４２ａと、が形成するとともに、ロック部材４３と保持部４４との隙間を介して、アクチュエータ収容空間５４と連通する。
【0047】
＜位置決め機構とリニアスライド機構＞
図１～図３及び図６に示すように、位置決め機構５０は、ハウジング部としての位置決め機構ハウジング５１及びアクチュエータ収容天板５１ａを備える。また、位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとしての第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４と、複数のリニアスライド機構としての第１～第４リニアスライド機構６１～６４と、駆動体５５と、を備える。駆動体５５は、円筒軸受５２と、軸受保持部５３と、により構成されている。
図１～図３及び図６に示すように、位置決め機構５０は、ハウジング部としての位置決め機構ハウジング５１及びアクチュエータ収容天板５１ａを備える。また、位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとしての第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４と、複数のリニアスライド機構としての第１～第４リニアスライド機構６１～６４と、駆動体５５と、を備える。駆動体５５は、円筒軸受５２と、軸受保持部５３と、により構成されている。
【0048】
図２～図４及び図６に示すように、位置決め機構ハウジング５１の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。位置決め機構ハウジング５１は、装置基台３０の軸方向から見て多角形状である。本実施形態では、位置決め機構ハウジング５１は、装置基台３０の軸方向から見て、４つの長辺と４つの短辺とが、周方向において交互に並ぶことにより形成される略四角形状である。そして、位置決め機構ハウジング５１は、装置基台３０の第２基台端面３０ｂに取り付けられている。
【0049】
位置決め機構ハウジング５１は、第２基台端面３０ｂに対面する端面を有する角柱体である。位置決め機構ハウジング５１の軸方向に直交する断面は、対向する辺の組を４つ備える略四角形である。また、位置決め機構ハウジング５１は、第２基台端面３０ｂに対面する端面とは異なる端面として、位置決め機構ハウジング端面を有する。位置決め機構ハウジング５１は、８つの側面として第１～第８側壁Ｗ１～Ｗ８を有する。
【0050】
また、位置決め機構ハウジング５１は、第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４を有する。第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４は、位置決め機構ハウジング５１の軸方向に直交する断面が等脚台形状の台形柱である。
【0051】
第１等脚台形部Ｔ１は、第１側壁Ｗ１に沿う辺を下底とするとともに、当該下底から延びる２つの脚のそれぞれが第８側壁Ｗ８及び第２側壁Ｗ２と直交する等脚台形である。
第２等脚台形部Ｔ２は、第３側壁Ｗ３に沿う辺を下底とするとともに、当該下底から延びる２つの脚のそれぞれが第２側壁Ｗ２及び第４側壁Ｗ４と直交する等脚台形である。
第２等脚台形部Ｔ２は、第３側壁Ｗ３に沿う辺を下底とするとともに、当該下底から延びる２つの脚のそれぞれが第２側壁Ｗ２及び第４側壁Ｗ４と直交する等脚台形である。
【0052】
第３等脚台形部Ｔ３は、第５側壁Ｗ５に沿う辺を下底とするとともに、当該下底から延びる２つの脚のそれぞれが第４側壁Ｗ４及び第６側壁Ｗ６と直交する等脚台形である。
第４等脚台形部Ｔ４は、第７側壁Ｗ７に沿う辺を下底とするとともに、当該下底から延びる２つの脚のそれぞれが第６側壁Ｗ６及び第８側壁Ｗ８と直交する等脚台形である。
第４等脚台形部Ｔ４は、第７側壁Ｗ７に沿う辺を下底とするとともに、当該下底から延びる２つの脚のそれぞれが第６側壁Ｗ６及び第８側壁Ｗ８と直交する等脚台形である。
【0053】
第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４の各々の断面である等脚台形の高さは、後述する軸受保持部５３が収容可能であるように設定される。
位置決め機構ハウジング５１の内面である第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４の側面は、第２基台端面３０ｂとともに収容空間としてのアクチュエータ収容空間５４を画定する。したがって、傾き調整装置１００は、第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４の側面と第２基台端面３０ｂとが画定するアクチュエータ収容空間５４を有する。アクチュエータ収容天板５１ａは、アクチュエータ収容空間５４を、装置基台３０の軸方向から閉鎖する。アクチュエータ収容空間５４は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４と、第１～第４リニアスライド機構６１～６４と、円筒軸受５２と、軸受保持部５３と、第２駆動軸端部２２ｂ及び先端球体部２３と、を収容する。
位置決め機構ハウジング５１の内面である第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４の側面は、第２基台端面３０ｂとともに収容空間としてのアクチュエータ収容空間５４を画定する。したがって、傾き調整装置１００は、第１～第４等脚台形部Ｔ１～Ｔ４の側面と第２基台端面３０ｂとが画定するアクチュエータ収容空間５４を有する。アクチュエータ収容天板５１ａは、アクチュエータ収容空間５４を、装置基台３０の軸方向から閉鎖する。アクチュエータ収容空間５４は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４と、第１～第４リニアスライド機構６１～６４と、円筒軸受５２と、軸受保持部５３と、第２駆動軸端部２２ｂ及び先端球体部２３と、を収容する。
【0054】
第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々の軸方向は、基台軸ＬＢと直交する。また、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、一方の端部に第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４を有するとともに、他方の端部に第１～第４接続部Ａ２１，Ａ２２，Ａ２３，Ａ２４を有する。第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々は、装置基台３０の延出部３０ｅが備える第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４と連通する。第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、対応する第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４及び第１～第４接続部Ａ２１～Ａ２４の間に複数の溝により形成されている蛇腹部を有する。
【0055】
第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４から供給するエアの圧力を増減させると、内部の圧力が増減する。第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、内部が増圧されると、蛇腹部が軸方向に伸びる。また、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、内部が減圧されると、蛇腹部に形成されている溝が深まるとともに、軸方向に縮む。
【0056】
第１ベローズアクチュエータＡ１と第３ベローズアクチュエータＡ３とは、対向するベローズアクチュエータにより構成される第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１を形成する。また、第２ベローズアクチュエータＡ２と第４ベローズアクチュエータＡ４とは、対向するベローズアクチュエータにより構成される第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２を形成する。つまり、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４は、対向する２つのベローズアクチュエータにより構成される第１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ１，ＡＡ２を形成する。
【0057】
第１ベローズアクチュエータＡ１の端部のうち、第１駆動用ポートＡ１１を有する端部は、第２側壁Ｗ２に固定されている。第１ベローズアクチュエータＡ１は、第１駆動用ポートＡ１１から供給されるエアの圧力の増減に応じて、アクチュエータ収容空間５４のうち、第１等脚台形部Ｔ１の側面及び第２等脚台形部Ｔ２の側面によって形成される通路に沿うとともに、第６側壁Ｗ６に向かう方向又は離れる方向に伸縮する。
【0058】
第２ベローズアクチュエータＡ２の端部のうち、第２駆動用ポートＡ１２を有する端部は、第４側壁Ｗ４に固定されている。つまり、第２ベローズアクチュエータＡ２は、第２駆動用ポートＡ１２から供給されるエアの圧力の増減に応じて、アクチュエータ収容空間５４のうち、第２等脚台形部Ｔ２の側面及び第３等脚台形部Ｔ３の側面によって形成される通路に沿うとともに、第８側壁Ｗ８に向かう方向又は離れる方向に伸縮する。
【0059】
第３ベローズアクチュエータＡ３の端部のうち、第３駆動用ポートＡ１３を有する端部は、第６側壁Ｗ６に固定されている。つまり、第３ベローズアクチュエータＡ３は、第３駆動用ポートＡ１３から供給されるエアの圧力の増減に応じて、アクチュエータ収容空間５４のうち、第３等脚台形部Ｔ３及び第４等脚台形部Ｔ４によって形成される通路に沿うとともに、第２側壁Ｗ２に向かう方向又は離れる方向に伸縮する。
【0060】
第４ベローズアクチュエータＡ４の端部のうち、第４駆動用ポートＡ１４を有する端部は、第８側壁Ｗ８に固定されている。つまり、第４ベローズアクチュエータＡ４は、第４駆動用ポートＡ１４から供給されるエアの圧力の増減に応じて、アクチュエータ収容空間５４のうち、第４等脚台形部Ｔ４及び第１等脚台形部Ｔ１によって形成される通路に沿うとともに、第４側壁Ｗ４に向かう方向又は離れる方向に伸縮する。
【0061】
第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１は、両端部の各々が第２側壁Ｗ２及び第６側壁Ｗ６に固定されている。また、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１の軸方向は、第１及び第３ベローズアクチュエータＡ１，Ａ３の各々の伸縮方向と一致する。第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２は、両端部の各々が第４側壁Ｗ４及び第８側壁Ｗ８に固定されている。また、第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向は、第２及び第４ベローズアクチュエータＡ２，Ａ４の各々の伸縮方向と一致する。つまり、位置決め機構５０は、第２基台端面３０ｂに取り付けられるとともに、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を収容する。さらに、位置決め機構５０は、装置基台３０の軸方向から見て多角形の位置決め機構ハウジング５１を備える。また、第１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ１，ＡＡ２の各々の両端部は、位置決め機構ハウジング５１の各隅に固定されている。
【0062】
第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１の軸方向に延びる直線と第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向に延びる直線とは、後述する軸受保持部５３の位置において、直交する。つまり、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４は、第１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ１，ＡＡ２のそれぞれが構成する２つの直線が直交するように配置されている。
【0063】
軸受保持部５３は、円筒軸受５２を保持する軸受保持部内周面５３ａを有する四角柱状である。軸受保持部５３の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。軸受保持部５３は、平坦な側壁Ｋを４つ備える。
【0064】
第１～第４リニアスライド機構６１～６４は、それぞれ、リニアガイド部Ｓ１と、直方体状であるスライド接続部Ｓ１１を備える。
各リニアガイド部Ｓ１は、スライド板６６１及びスライド部６６２を備える。スライド板６６１は、スライド部６６２に対して相対的に移動できる。スライド板６６１の移動は直線状である。スライド部６６２は、スライド板６６１と背向する面として、スライド面６５１を備える。
各リニアガイド部Ｓ１は、スライド板６６１及びスライド部６６２を備える。スライド板６６１は、スライド部６６２に対して相対的に移動できる。スライド板６６１の移動は直線状である。スライド部６６２は、スライド板６６１と背向する面として、スライド面６５１を備える。
【0065】
各スライド部６６２が有する面のうち、スライド面６５１は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の端部のうち、位置決め機構ハウジング５１と接続している端部とは異なる端部に接続されている。各スライド部６６２は、各スライド板６６１が、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の伸縮方向に直交する、且つ、軸受保持部５３の軸方向に直交する方向に移動可能となるように、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に取り付けられている。
【0066】
また、各スライド部６６２は、スライド板６６１に取り付けられているスライド接続部Ｓ１１を介して、軸受保持部５３の各側壁Ｋに取り付けられている。
つまり、駆動体５５は、基台軸ＬＢに直交する面内において、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に囲まれている。言い換えると、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４は、駆動体５５を第２基台端面３０ｂに沿って囲むように配置されている。また、駆動体５５は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４と、第１～第４リニアスライド機構６１～６４を介して連結されている。また、第１、第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ１，ＡＡ２の各々が、駆動体５５を挟持している。
つまり、駆動体５５は、基台軸ＬＢに直交する面内において、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に囲まれている。言い換えると、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４は、駆動体５５を第２基台端面３０ｂに沿って囲むように配置されている。また、駆動体５５は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４と、第１～第４リニアスライド機構６１～６４を介して連結されている。また、第１、第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ１，ＡＡ２の各々が、駆動体５５を挟持している。
【0067】
駆動体５５において、軸受保持部５３は、円筒軸受５２を保持している。具体的には、軸受保持部５３の内側には、円筒軸受５２が挿入されている。軸受保持部内周面５３ａは、後述する円筒軸受外周面５２ｂと対面する。
【0068】
円筒軸受５２の軸方向は、装置基台３０の軸方向と一致する。円筒軸受５２は、円筒軸受５２の軸方向に延びる円筒軸受挿入孔５２ｄを画定する円筒軸受内周面５２ａを有する。したがって、駆動体５５は、挿入孔としての円筒軸受挿入孔５２ｄを画定する円筒軸受５２と、円筒軸受５２を保持する軸受保持部５３と、を備える。また、円筒軸受５２の中心軸ＬＣは、装置基台３０の軸方向に延びる。
【0069】
軸受保持部５３に挿入される前の円筒軸受５２における、円筒軸受内周面５２ａの内径は、先端球体部２３の直径よりも小さい。円筒軸受５２は、円筒軸受外周面５２ｂを有する。
【0070】
軸受保持部５３に挿入される前の円筒軸受５２は、円筒軸受５２の内径が拡径可能となるように、円筒軸受内周面５２ａ及び円筒軸受外周面５２ｂにおいて、円筒軸受５２の軸方向に延びる間隙５２ｃを備える。つまり、軸受保持部５３に挿入される前の円筒軸受５２は、先端球体部２３の直径よりも小さい内径を有するとともに、円筒軸受５２の内径が拡径可能となるように、円筒軸受５２の軸方向に延びる間隙５２ｃを有する。
【0071】
軸受保持部５３に挿入された円筒軸受５２は、間隙５２ｃにより拡径することによって、先端球体部２３を円筒軸受挿入孔５２ｄ内に収容している。先端球体部２３の外面は、円筒軸受内周面５２ａと摺接する。したがって、傾き調整装置１００は、先端球体部２３が挿入される円筒軸受挿入孔５２ｄを画定しつつ先端球体部２３が摺接する円筒軸受内周面５２ａを有する駆動体５５を備える。そして、軸受保持部５３は、円筒軸受５２及び先端球体部２３を介して、駆動軸２２に連動する。したがって、位置決め機構５０は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々を駆動することにより、対応する第１～第４リニアスライド機構６１～６４と、駆動体５５と、駆動軸２２と、を介して揺動体２１を駆動する。つまり、位置決め機構５０は、第２基台端面３０ｂに設けられるとともに、先端球体部２３の位置決めを行う。
【0072】
【0073】
圧着部揺動体２０が備える駆動軸２２は、先端球体部２３が第２基台端面３０ｂから突出するように、基台挿通孔３０ｄに挿通されている。つまり、先端球体部２３は、駆動軸２２の軸方向のうち、揺動体２１側の第１駆動軸端部２２ａと異なる端部である第２駆動軸端部２２ｂに設けられ、且つ第２基台端面３０ｂから突出している。したがって、装置基台３０は、駆動軸２２が挿通される挿通孔としての基台挿通孔３０ｄを画定する。また、圧着部揺動体２０が備える揺動体２１は、凸状球面である第２揺動体端面２１ｂが、凹状球面である第１基台端面３０ａと対面する。第２揺動体端面２１ｂは、第１基台端面３０ａと同じ曲率半径を有するため、第１基台端面３０ａに沿って揺動可能である。基台内周面３０ｃが画定する基台挿通孔３０ｄにおいて、駆動軸２２は、支持部材４２と、ロック部材４３と、保持部４４と、に挿通している。
【0074】
ロック部材内周面４３ａは、駆動軸外周面２２ｃに対面するとともに、駆動軸外周面２２ｃから径方向に離間している。よって、ロック部材４３は、駆動軸２２を囲むロック部材内周面４３ａを有する。また、支持部材４２は、ロック部材内周面４３ａと駆動軸外周面２２ｃとの間に位置する。さらに、支持部材４２は、駆動軸２２から離間して駆動軸２２を囲む支持部材内周面４２ａを有する。
【0075】
支持部材４２の凹状部４２１ａには、駆動軸外周面２２ｃと支持部材４２との間をシールするパッキン４５が設けられている。パッキン４５は、基台内周面３０ｃの径方向に伸縮可能である。また、パッキン４５は、駆動軸２２が揺動可能であって、第１基台端面３０ａから第２基台端面３０ｂに向かうエアの流れを許容するとともに駆動軸外周面２２ｃと支持部材４２との間をシールする。
【0076】
先端球体部２３は、第２基台端面３０ｂから突出するとともに、位置決め機構５０が備える円筒軸受５２が画定する円筒軸受挿入孔５２ｄに収容されている。先端球体部２３は、間隙５２ｃを円筒軸受５２の周方向に拡大することにより、円筒軸受挿入孔５２ｄを拡径している。円筒軸受５２は、軸受保持部５３に挿入されるとともに、軸受保持部５３とともに駆動体５５を形成している。つまり、先端球体部２３は駆動体５５に挿入されている。
【0077】
駆動体５５は、アクチュエータ収容空間５４に収容されている。アクチュエータ収容空間５４には、装置基台３０の延出部３０ｅに設けられている換気ポート３６によりエアが給排される。換気ポート３６は、アクチュエータ収容空間５４と、ロック部材内周面４３ａ及び保持部外周面４４ｂにより形成される空間と、駆動軸外周面２２ｃ及び支持部材内周面４２ａにより形成される空間と、連通する。つまり、換気ポート３６は、装置基台３０に設けられるとともに、アクチュエータ収容空間５４と連通する。
【0078】
また、換気ポート３６は、アクチュエータ収容空間５４と、位置決め機構ハウジング５１及びアクチュエータ収容天板５１ａとの隙間を介して、傾き調整装置１００の外部と連通する。
【0079】
第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４の各々は、図示しない圧力供給源に接続される。第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４の各々は、圧力供給源により供給されるエアを、第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々を介して、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々に供給する。第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、供給されるエアの圧力の増減に応じて伸縮することで、第１～第４リニアスライド機構６１～６４の各々、及び、駆動体５５を介して、先端球体部２３の位置決めを行う。つまり、位置決め機構５０は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を用いることで、先端球体部２３の、第２基台端面３０ｂに平行な面内における位置決めを行う。言い換えると、位置決め機構５０は、駆動体５５を介して、第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置を変化させるとともに、駆動体５５及び先端球体部２３を第２基台端面３０ｂに沿って囲むように配置されている第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を備える。
【0080】
位置決め機構５０による第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置の変化は、円筒軸受挿入孔５２ｄの内部において、中心軸ＬＣに沿う方向の先端球体部２３の移動を導く。当該移動は、位置決め機構５０による先端球体部２３の位置の変化が、第１基台端面３０ａにガイドされる揺動体２１の揺動を導くとともに、先端球体部２３が駆動軸２２を介して当該揺動と連動するために生じる。
【0081】
＜制御装置及び傾斜検出センサ＞
制御装置７０は、位置決め機構５０の制御を行う。
図５に示すように、制御装置７０は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を駆動するアクチュエータ制御部７１と、駆動量計算部７２と、第１～第４電空レギュレータＥ１～Ｅ４と、を備える。
制御装置７０は、位置決め機構５０の制御を行う。
図５に示すように、制御装置７０は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を駆動するアクチュエータ制御部７１と、駆動量計算部７２と、第１～第４電空レギュレータＥ１～Ｅ４と、を備える。
【0082】
制御装置７０は、図示しないプロセッサと記憶部を備える。制御装置７０が備えるプロセッサは、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）である。制御装置７０が備える記憶部は、例えば、ＲＯＭ（Read-Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）である。制御装置７０が備えるプロセッサは、記憶部に格納されたプログラムに含まれる命令を実行することにより、アクチュエータ制御部７１及び駆動量計算部７２として機能する。したがって、制御装置７０は、アクチュエータ制御部７１及び駆動量計算部７２を備える。
【0083】
駆動量計算部７２は、後述する傾斜検出センサ８０が送信する平行度情報に基づいて、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとが平行となるために、圧着部揺動体２０が装置基台３０に対して傾く角度を、目標値として決定する。平行度情報には、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓの測定時点での傾斜角度が含まれている。つまり、傾斜検出センサ８０は、基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの傾斜を測定する。駆動量計算部７２は、平行度情報及び目標値に基づいて、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に供給するエアの圧力を計算する。供給するエアの圧力は、以下の（１）式～（４）式を用いて、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々に供給する圧力値として求められる。
【0084】
【数1】
【0085】
【数2】
【0086】
【数3】
【0087】
【数4】
【0088】
図６～図８に示すように、α１は、傾斜検出センサ８０により測定される、圧着部軸ＬＰと基台軸ＬＢとのなす角である。また、θ１は、傾斜検出センサ８０により測定される、基台軸ＬＢに直交する面内における圧着部軸ＬＰの傾斜方向である。傾斜方向とは、基台軸ＬＢ上を原点とするとともに、第１ベローズアクチュエータＡ１と第４ベローズアクチュエータＡ４とのなす角を二等分する線である第１方位角軸ＬＡ１を基準軸とした際の方位角である。なお、第２ベローズアクチュエータＡ２と第３ベローズアクチュエータＡ３とのなす角を二等分する線を第２方位角軸ＬＡ２とする。α２は、圧着部軸ＬＰと基台軸ＬＢとのなす角の目標値である。θ２は、基台軸ＬＢに直交する面内における圧着部軸ＬＰの傾斜方向の目標値である。Ｋは、比例ゲイン値であって、予め与えられる比例定数である。Ｃは、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々の剛性及び断面積によって決まる比例定数である。なお、Ｃは、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４ごとに異なってもよい。Ｌは、揺動体２１の揺動中心から、先端球体部２３の中心までの距離である。φは、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１の軸方向に延びる直線と、第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向に延びる直線とがなす角である。図６と図７の各々に、第１方位角軸ＬＡ１と第２方位角軸ＬＡ２の方向を示すとともに、傾斜方向θを示す。第１方位角軸ＬＡ１と第２方位角軸ＬＡ２の各々は、基台軸ＬＢと直交する。また、第１方位角軸ＬＡ１は第２方位角軸ＬＡ２と直交するとともに、第３側壁Ｗ３及び第７側壁Ｗ７と平行である。
【0089】
したがって、上記駆動量計算部７２は、傾斜検出センサ８０により測定される基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの傾斜に基づいて、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となるために要求される第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々に供給する圧力の値を計算する。
【0090】
制御装置７０が備えるアクチュエータ制御部７１は、駆動量計算部７２の計算結果に基づいて、第１～第４電空レギュレータＥ１～Ｅ４を駆動することにより、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に適切な圧力のエアを供給する。つまり、アクチュエータ制御部７１は、駆動量計算部７２の結果に基づいて、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を駆動する。
【0091】
傾斜検出センサ８０は、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとの平行度を検出するセンサである。傾斜検出センサ８０は、例えば、圧着部揺動体２０の複数の箇所に取付けられる複数のレーザセンサである。傾斜検出センサ８０は、当該レーザセンサによって、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとの距離を複数箇所で測定することにより、基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの傾きを測定する。
【0092】
傾斜検出センサ８０は、制御装置７０と電気的に接続するとともに、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとの平行度の検出、及び、当該平行度に関する平行度情報の制御装置７０への送信を行う。つまり、制御装置７０は、アクチュエータ制御部７１を備えるとともに、傾斜検出センサ８０で測定される結果に基づいて、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となるようにアクチュエータ制御部７１により第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を駆動する。
【0093】
＜傾き調整装置の動作及び作用＞
図２、及び図６～図８を用いて、傾き調整装置１００の動作について説明する。
傾き調整装置１００は、図２に示すように、初期位置をとる。傾き調整装置１００は、例えば、図示しない搬送装置に取り付けられている。傾き調整装置１００は、第１圧着ツール端面１０ａが基準面Ｓと対面する位置であって、圧着ツール１０が基準面Ｓから離間する位置にある。初期位置において、圧着部揺動体２０の圧着部軸ＬＰ及び装置基台３０の基台軸ＬＢとは一致している。また、基準面Ｓに直交する方向に延びる基準面軸ＬＳは、圧着部軸ＬＰ及び基台軸ＬＢと平行ではない。初期位置において、装置基台３０の軸方向に見た位置決め機構５０を図６に示す。初期位置において、位置決め機構５０及び駆動体５５の中心は、装置基台３０の軸方向に見て一致している。
図２、及び図６～図８を用いて、傾き調整装置１００の動作について説明する。
傾き調整装置１００は、図２に示すように、初期位置をとる。傾き調整装置１００は、例えば、図示しない搬送装置に取り付けられている。傾き調整装置１００は、第１圧着ツール端面１０ａが基準面Ｓと対面する位置であって、圧着ツール１０が基準面Ｓから離間する位置にある。初期位置において、圧着部揺動体２０の圧着部軸ＬＰ及び装置基台３０の基台軸ＬＢとは一致している。また、基準面Ｓに直交する方向に延びる基準面軸ＬＳは、圧着部軸ＬＰ及び基台軸ＬＢと平行ではない。初期位置において、装置基台３０の軸方向に見た位置決め機構５０を図６に示す。初期位置において、位置決め機構５０及び駆動体５５の中心は、装置基台３０の軸方向に見て一致している。
【0094】
初期位置において、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、図示しない圧力供給源よりエアを供給されている。当該エアの供給は、第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４の各々と、第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々とを介して行われている。傾き調整装置１００が初期位置にあるとき、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、圧力供給源により、同一圧力のエアを供給されている。つまり、初期位置において、第１ベローズアクチュエータＡ１と第３ベローズアクチュエータＡ３の各々が駆動体５５を押圧する圧力は一致する。また、第２ベローズアクチュエータＡ２と第４ベローズアクチュエータＡ４の各々が駆動体５５を押圧する圧力は一致する。
【0095】
傾斜検出センサ８０は、基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの傾斜を測定する。傾斜検出センサ８０は、基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの傾斜を、現在角度情報として、制御装置７０に送信する。制御装置７０は、傾斜検出センサ８０より送信された当該現在角度情報を受信する。制御装置７０は、駆動量計算部７２により、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となる姿勢における装置基台３０に対する圧着部揺動体２０の傾斜を、目標値として決定する。また、制御装置７０の駆動量計算部７２は、（１）式～（４）式を用いて、目標値を実現するために、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々において要求されるエアの圧力の増減を決定する。
【0096】
当該エアの圧力の増減が決定されると、図示しない圧力供給源は、空気軸受用ポート３４に対して、エアを供給する。供給されるエアは、空気軸受用エア給排室３２、及び、環状多孔質材３７が有する複数の孔を介して、第１基台端面３０ａと第２揺動体端面２１ｂとの間に供給される。よって、環状多孔質材３７は、空気軸受用ポート３４からエアの供給を受ける。当該エアの供給により、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとの隙間は加圧される。この結果として、第２揺動体端面２１ｂは、第１基台端面３０ａより離間する。同時に、揺動体２１は、マグネット４１の吸引磁力により、第１基台端面３０ａに向かって引き寄せられる。この結果、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとは、わずかな隙間を形成するとともに、当該隙間を維持する。したがって、装置基台３０は、揺動体２１を第１基台端面３０ａから離間して揺動可能に支持する。
【0097】
制御装置７０のアクチュエータ制御部７１は、当該決定に基づいて、当該エアの圧力の増減を実現するために要求される適切な圧力のエアの供給を、位置決め機構５０が備える第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に対して行う。アクチュエータ制御部７１は、図示しない圧力供給源及び第１～第４電空レギュレータＥ１～Ｅ４を駆動することにより、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４に適切な圧力のエアを供給する。
【0098】
第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４の各々と、第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々を介して、圧力供給源よりエアを供給される。第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、供給されるエアの圧力の増減に応じて、第２基台端面３０ｂに沿って伸縮する。第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々は、伸縮することにより、駆動体５５を押し引きする。つまり、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々が伸縮することにより、駆動体５５は、第２基台端面３０ｂに沿う方向に移動する。
【0099】
例えば、位置決め機構５０が、駆動体５５を、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１が有する軸方向で、且つ、第１ベローズアクチュエータＡ１から第３ベローズアクチュエータＡ３の方向に移動させる場合を想定する。この場合において、圧力供給源は、第１ベローズアクチュエータＡ１に供給するエアの圧力を増圧するとともに、第３ベローズアクチュエータＡ３に供給するエアの圧力を減圧する。当該減圧による圧力の減少量は、第１ベローズアクチュエータＡ１に増圧される圧力の増加量と一致する。つまり、圧力供給源によるエアの圧力の増減により、第１ベローズアクチュエータＡ１は伸長するとともに、当該伸長と同じ距離だけ、第３ベローズアクチュエータＡ３は収縮する。この結果、第１ベローズアクチュエータＡ１の伸長、及び第３ベローズアクチュエータＡ３の収縮の距離だけ、駆動体５５は、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１により移動する。第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２も、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１と同様にして、駆動体５５を移動させることができる。つまり、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２を組み合わせることにより、位置決め機構５０は、駆動体５５を、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向とは異なる方向であっても、第２基台端面３０ｂに沿って移動させることができる。
【0100】
図３、図６及び図７に示すように、駆動体５５が第２基台端面３０ｂに沿って移動するに伴い、第１～第４リニアガイド部Ｓ１～Ｓ４の各々が有するスライド板６６１は、対応するスライド部６６２に対して相対的に移動する。位置決め機構５０は、第１～第４アクチュエータＡ１～Ａ４の各々により、第１～第４リニアスライド機構６１～６４の各々を介して駆動体５５を押し引きすることによって、駆動体５５を移動させる。
【0101】
図２、図８及び図９に示すように、駆動体５５は、第２基台端面３０ｂに沿う方向に移動するとともに、第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置を変化させる。第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置が変化するに伴い、駆動軸２２を介して、揺動体２１は第１基台端面３０ａに沿って揺動する。当該揺動は、駆動軸２２を介して、円筒軸受挿入孔５２ｄ内で、中心軸ＬＣに沿う方向における先端球体部２３の移動を導く。つまり、位置決め機構５０による駆動体５５の移動は、第２基台端面３０ｂに沿う方向、及び、円筒軸受５２内での中心軸ＬＣに沿う方向への、先端球体部２３の移動を導く。このため、円筒軸受５２は、中心軸ＬＣ方向において、先端球体部２３と第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々とが干渉しないように、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々に対する先端球体部２３の中心軸ＬＣ方向への変位を吸収する。当該揺動の際、空気軸受用ポート３４からエアが供給されている。空気軸受用ポート３４からエアが供給されることにより、揺動体２１は、第１基台端面３０ａに第２揺動体端面２１ｂを摺接させることなく、所望の傾きとなるように、揺動可能に装置基台３０に支持されている。さらに、このとき、図示しない圧力供給源は、ロック用ポート３３を介して、ロック用エア給排室４６からエアを吸引することにより、ロック用エア給排室４６への供給圧力を負圧にしている。供給圧力を負圧にした結果、ロック部材４３は、突出部４２ｃと当接するとともに、保持部４４と離間している。また、保持部４４の保持部内周面４４ａは、中間球部２２ｄが形成する球面に強く押し付けられていない。このため、保持部４４は、中間球部２２ｄにおいて、駆動軸２２に対して揺動可能に係合するとともに、揺動を可能にする保持部内周面４４ａを有する。
【0102】
そして、第１基台端面３０ａは、凸状球面である第２揺動体端面２１ｂと係合する凹状球面であるため、第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置の変化は、第１基台端面３０ａに対する揺動体２１の揺動を導く。当該揺動の結果、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとの平行姿勢が実現する。したがって、傾き調整装置１００は、位置決め機構５０を、制御装置７０により決定される目標値に基づいて駆動するとともに、揺動体２１を装置基台３０に対し傾斜させることで、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとの平行姿勢を実現する。したがって、傾き調整装置１００は、第１基台端面３０ａに沿って第２揺動体端面２１ｂを揺動させつつ基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となるように揺動体２１の傾きを調整する。
【0103】
次に、傾き調整装置１００が、第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとが平行となっている姿勢を維持するための動作について、図８～図１０を用いて説明する。
第１圧着ツール端面１０ａが基準面Ｓと平行となった後、図示しない圧力供給源は、空気軸受用ポート３４に対するエアの供給を停止するとともに、空気軸受用ポート３４からのエアの吸引を行う。よって、環状多孔質材３７は、空気軸受用ポート３４からエアの排出を受ける。つまり、圧力供給源は、空気軸受用ポート３４を介して真空吸引することにより、空気軸受用エア給排室３２を負圧にする。当該減圧により、揺動体２１の第２揺動体端面２１ｂは、第１圧着ツール端面１０ａの基準面Ｓに対する平行姿勢を維持しつつ、装置基台３０の第１基台端面３０ａに当接するとともに吸着される。当該減圧の結果として、傾き調整装置１００は、第１圧着ツール端面１０ａの基準面Ｓに対する平行姿勢を維持する仮ロックを行う。つまり、傾き調整装置１００は、空気軸受用ポート３４を介して真空吸引することにより、揺動体２１の傾斜姿勢を固定する。
第１圧着ツール端面１０ａが基準面Ｓと平行となった後、図示しない圧力供給源は、空気軸受用ポート３４に対するエアの供給を停止するとともに、空気軸受用ポート３４からのエアの吸引を行う。よって、環状多孔質材３７は、空気軸受用ポート３４からエアの排出を受ける。つまり、圧力供給源は、空気軸受用ポート３４を介して真空吸引することにより、空気軸受用エア給排室３２を負圧にする。当該減圧により、揺動体２１の第２揺動体端面２１ｂは、第１圧着ツール端面１０ａの基準面Ｓに対する平行姿勢を維持しつつ、装置基台３０の第１基台端面３０ａに当接するとともに吸着される。当該減圧の結果として、傾き調整装置１００は、第１圧着ツール端面１０ａの基準面Ｓに対する平行姿勢を維持する仮ロックを行う。つまり、傾き調整装置１００は、空気軸受用ポート３４を介して真空吸引することにより、揺動体２１の傾斜姿勢を固定する。
【0104】
図１０に示すように、仮ロックの過程において、圧着部揺動体２０は、装置基台３０の基台軸ＬＢに沿いつつ、第１基台端面３０ａから第２基台端面３０ｂに向かう方向に、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとの隙間分だけ移動する。圧着部揺動体２０が、装置基台３０の軸方向に移動する過程において、第２駆動軸端部２２ｂ及び先端球体部２３は、円筒軸受内周面５２ａにガイドされる。この結果、先端球体部２３は、第２基台端面３０ｂに平行な面内における位置を変化させない。つまり、仮ロックの過程において、圧着部揺動体２０は、圧着部軸ＬＰと基台軸ＬＢとのなす角αを維持したまま装置基台３０の軸方向に動くため、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとの平行は保たれている。
【0105】
空気軸受用エア給排室３２の減圧によって仮ロックがなされた後、圧力供給源は、ロック用ポート３３に対して供給するエアの圧力を負圧から正圧に切り替える。当該供給は、ロック用ポート３３が連通するロック用エア給排室４６の加圧を導く。ロック用エア給排室４６が加圧されることにより、ロック部材４３は、図９の２点鎖線に示すように、第１基台端面３０ａから第２基台端面３０ｂに向かう方向に移動する。当該移動により、ロック部材４３は、ロック部材４３と離間した保持部４４に接触する。そして、ロック部材４３のロック部材段面４３３ａが、保持部４４の保持部段面４４３ｂに押し付けられると、保持部４４の保持部内周面４４ａは、中間球部２２ｄが形成する球面と強く係合する。この結果、圧着部揺動体２０は、第１基台端面３０ａから第２基台端面３０ｂに向かう方向に押圧される。圧着部揺動体２０の揺動体２１は、仮ロックにより、第２揺動体端面２１ｂにおいて第１基台端面３０ａと当接している。つまり、当該加圧は、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとの接触面において、当該押圧に対する垂直抗力を発生させる。当該垂直抗力は、当該接触面において、揺動体２１が装置基台３０に対して揺動することを妨げる静止摩擦力を導く。これにより、圧着部揺動体２０における、装置基台３０に対する揺動は制限される。当該加圧の結果として、傾き調整装置１００は、第１圧着ツール端面１０ａの基準面Ｓに対する平行姿勢を維持する本ロックを仮ロックに加えて行う。
【0106】
したがって、傾き調整装置１００は、制御装置７０及び傾斜検出センサ８０に基づく位置決め機構５０の駆動により第１圧着ツール端面１０ａと基準面Ｓとの平行調整、及び、仮ロックと本ロックによる平行姿勢の維持を行う。つまり、制御装置７０は、基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの傾斜を測定する傾斜検出センサ８０で測定される結果に基づいて、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となるように第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を駆動する。
【0107】
傾き調整装置１００が備える換気ポート３６は、図示しない圧力供給源に接続されているとともに、アクチュエータ収容空間５４及びロック室４７と連通している。つまり、換気ポート３６は、ロック室４７を介して揺動体２１及び環状多孔質材３７により形成される隙間、及び、環状多孔質材３７を介して空気軸受用ポート３４と連通する。また、換気ポート３６は、アクチュエータ収容空間５４と、位置決め機構ハウジング５１及びアクチュエータ収容天板５１ａにより形成される隙間を介して、傾き調整装置１００の外部と連通している。つまり、圧力供給源による換気ポート３６からのエアの排出により、アクチュエータ収容空間５４とロック室４７とにおけるパーティクルは、傾き調整装置１００の外部に排出される。また、圧力供給源による換気ポート３６からのエアの排出により、揺動体２１及び環状多孔質材３７により形成される隙間におけるパーティクルは、傾き調整装置１００の外部に排出される。
【0108】
［本実施形態の効果］
本実施形態の効果を説明する。
（１）傾き調整装置１００は、位置決め機構５０が備える第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４により、第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置を変化させる。この先端球体部２３の位置の変化は、基台軸ＬＢに対する圧着部揺動体２０の傾斜を導く。
本実施形態の効果を説明する。
（１）傾き調整装置１００は、位置決め機構５０が備える第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４により、第２基台端面３０ｂに平行な面内における先端球体部２３の位置を変化させる。この先端球体部２３の位置の変化は、基台軸ＬＢに対する圧着部揺動体２０の傾斜を導く。
【0109】
また、制御装置７０は、傾斜検出センサ８０による測定の結果に基づいてアクチュエータ制御部７１を制御して第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を駆動する。当該駆動により、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となる圧着部揺動体２０の姿勢が実現される。
【0110】
したがって、傾き調整装置１００は、位置決め機構５０と、制御装置７０と、傾斜検出センサ８０と、を用いることにより、基準面Ｓに対する圧着部揺動体２０の平行姿勢を実現する。その結果、傾き調整装置１００は、基準面Ｓと、第１圧着ツール端面１０ａとを接触させることなく、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとの平行を実現できる。よって、傾き調整装置１００は、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとを平行に調整する動作の際に、基準面Ｓに荷重を発生させることなく基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとを平行に調整できる。以上のことから、傾き調整装置１００は、圧着する対象物の性質、物性、形状、寸法の制限なく傾き調整が可能になる。
【0111】
（２）駆動体５５は、円筒軸受５２及び軸受保持部５３により構成されている。また、駆動体５５は、先端球体部２３を、円筒軸受挿入孔５２ｄ内で往復動可能かつ摺接するように、円筒軸受５２により保持している。つまり、位置決め機構５０により先端球体部２３を介して所望の姿勢となった圧着部揺動体２０は、基台軸ＬＢに対する圧着部軸ＬＰの傾斜を維持しつつ、仮ロックにより、装置基台３０に吸着される。したがって、傾き調整装置１００は、所望の傾きに調整した圧着部揺動体２０を、当該傾きを維持しつつ、円筒軸受５２の軸方向に移動させるとともに、装置基台３０に対して固定できる。この結果、傾き調整装置１００は、駆動体５５が円筒軸受５２を備えない場合と比べて、揺動体２１の傾きを高精度に維持しつつ、当該傾きを仮ロックにより固定できる。
【0112】
（３）円筒軸受５２には、間隙５２ｃが形成されている。円筒軸受挿入孔５２ｄには、円筒軸受内周面５２ａの内径よりも大きな直径を有する先端球体部２３が挿入されるとともに、円筒軸受５２は、間隙５２ｃにより拡径する。拡径しつつ先端球体部２３が挿入されている円筒軸受５２は、先端球体部２３に対して予圧を付与する。つまり、間隙５２ｃが形成されている円筒軸受５２は、先端球体部２３を、予圧を伴いつつ、円筒軸受挿入孔５２ｄに収容できる。この結果、傾き調整装置１００は、円筒軸受５２に対する先端球体部２３のがたつきを低減できる。したがって、傾き調整装置１００は、円筒軸受５２が間隙５２ｃを形成しない場合と比較して、高精度の位置決め及び圧着部揺動体２０の平行調整を行うことができる。
【0113】
（４）第１基台端面３０ａは、ほぼ全体が環状多孔質材３７により形成されているとともに、空気軸受用ポート３４より供給されるエアにより、空気軸受を形成する。つまり、傾き調整装置１００は、当該空気軸受により、第１基台端面３０ａに対して第２揺動体端面２１ｂを離間させつつ、圧着部揺動体２０を揺動できる。傾き調整装置１００は、揺動体２１と装置基台３０とを摺接させつつ圧着部揺動体２０を揺動させる場合と比較して、高精度での圧着部揺動体２０の平行調整を行うことができる。また、傾き調整装置１００は、圧着部揺動体２０を揺動させる際に、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとの間で発生するパーティクルを低減できる。
【0114】
（５）第２基台端面３０ｂに沿って駆動体５５が移動する際、駆動体５５の移動に伴い、駆動体５５と第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々との相対的な位置が変化する。第１～第４リニアガイド部Ｓ１～Ｓ４の各々は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々に対する駆動体５５の相対的な位置の変化に対応する距離だけ、スライド部６６２に対してスライド板６６１を移動させる。つまり、第１～第４リニアスライド機構６１～６４の各々は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々において、駆動体５５の移動に伴って生じる歪を解消する。また、第１～第４リニアスライド機構６１～６４は、当該歪を解消することにより、駆動体５５を介して、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々が相互に影響し合うこと妨げる。その結果、傾き調整装置１００は、位置決め機構５０が第１～第４リニアスライド機構６１～６４を備えない場合と比較して、高精度での圧着部揺動体２０の傾き調整を行うことが可能である。また、第１～第４リニアスライド機構６１～６４は、駆動体５５の移動に伴って第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４において生じる負荷を低減できる。
【0115】
（６）傾き調整装置１００は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々により、圧着部揺動体２０の傾きの調整を行う。第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４は、電動式アクチュエータと比べて、同一の容積で比較した際に高い推力を有する。したがって、傾き調整装置１００は、位置決め機構５０において、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を用いることにより、高効率での、駆動体５５の位置決めを行うことができる。
【0116】
さらに、位置決め機構５０は、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２を備える。位置決め機構５０は、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々が互いに対向する組を形成することなく先端球体部２３を囲む場合と比較して、高精度での駆動体５５の位置決め、及び、圧着部揺動体２０の傾き調整を行うことができる。
【0117】
（７）位置決め機構５０は、第２基台端面３０ｂに取り付けられるとともに、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４を収容する位置決め機構ハウジング５１を備える。また、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の各々の両端部は、位置決め機構ハウジング５１の各隅に固定されている。これによれば、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１と第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２がなす角を変化させることにより、位置決め機構ハウジング５１が有する基台軸ＬＢから見た断面の形状を変化させることができる。つまり、傾き調整装置１００の、基台軸ＬＢから見た断面の形状を、傾き調整装置１００を適用する状況に応じて選択できる。
【0118】
特に、位置決め機構５０において、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１と第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２がなす角は９０度である。つまり、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の各々による駆動体５５の移動方向は、互いに独立となる。したがって、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２による駆動体５５の制動性が向上するとともに、位置決め機構５０による位置決めの精度が向上する。
【0119】
（８）制御装置７０は、傾斜検出センサ８０による測定の結果に基づいて、基準面Ｓと第１圧着ツール端面１０ａとが平行となるように、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々を駆動する。したがって、傾き調整装置１００は、基準面Ｓに対する第１圧着ツール端面１０ａの平行調整を、自動で行うことができる。
【0120】
（９）第１基台端面３０ａは、ほぼ全体が環状多孔質材３７により形成されているとともに、空気軸受用ポート３４よりエアを吸引することにより、第２揺動体端面２１ｂを吸着できる。当該吸着は、装置基台３０に対する揺動体２１の揺動を制限する仮ロックを実現する。したがって、第１基台端面３０ａは、当該吸着により仮ロックを行うとともに、圧着部揺動体２０の基台軸ＬＢに対する傾斜姿勢を保持できる。
【0121】
（１０）ロック機構４０は、ロック用ポート３３を介したロック用エア給排室４６の加圧によってロック部材４３を移動させることにより、圧着部揺動体２０の、基台軸ＬＢに対する傾斜を保持できる。
【0122】
（１１）アクチュエータ収容空間５４と、ロック室４７と、は、換気ポート３６を介して、傾き調整装置１００の外部と連通する。また、換気ポート３６は、位置決め機構ハウジング５１とアクチュエータ収容天板５１ａとにより形成される隙間、及び、アクチュエータ収容空間５４を介して、傾き調整装置１００の外部と連通する。これにより、傾き調整装置１００は、換気ポート３６よりエアの排出を行うことで、アクチュエータ収容空間５４及びロック室４７で発生するパーティクルを、傾き調整装置１００の外部に排出できる。
【0123】
（１２）換気ポート３６は、ロック室４７を介して、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとにより形成される隙間と連通する。また、換気ポート３６は、当該隙間及び環状多孔質材３７を介して、空気軸受用エア給排室３２と連通する。つまり、空気軸受用ポート３４からエアが供給されている場合、換気ポート３６は、当該隙間と、ロック室４７と、において発生するパーティクルを傾き調整装置１００の外部に排出できる。また、空気軸受用ポート３４からエアが供給されている場合、換気ポート３６は、アクチュエータ収容空間５４において生じるパーティクルを傾き調整装置１００の外部に排出できる。
【0124】
［変更例］
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施できる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施できる。
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施できる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施できる。
【0125】
○傾き調整装置１００は、パッキン４５を備えなくてもよい。この場合において、換気ポート３６は、ロック室４７を介して、第２揺動体端面２１ｂと第１基台端面３０ａとにより形成される隙間と連通する。また、換気ポート３６は、当該隙間及び環状多孔質材３７を介して、空気軸受用エア給排室３２と連通する。つまり、空気軸受用ポート３４からエアが供給されるとともに、供給されるエアは、当該隙間及びロック室４７を介して、換気ポート３６から、傾き調整装置１００の外部に排出される。したがって、この場合においても、換気ポート３６は、アクチュエータ収容空間５４において生じるパーティクルを傾き調整装置１００の外部に排出できる。
【0126】
○傾き調整装置１００は、換気ポート３６を備えなくてもよい。また、アクチュエータ収容空間５４は密閉されていてもよい。
○傾き調整装置１００は、ロック機構４０を備えなくてもよい。この場合、圧着部揺動体２０は、駆動体５５が、先端球体部２３を保持することにより、装置基台３０に対して保持される。
○傾き調整装置１００は、ロック機構４０を備えなくてもよい。この場合、圧着部揺動体２０は、駆動体５５が、先端球体部２３を保持することにより、装置基台３０に対して保持される。
【0127】
○制御装置７０は、駆動量計算部７２を備えなくてもよい。この場合、制御装置７０は、傾斜検出センサ８０による測定の結果に基づいて、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々において要求されるエアの圧力の増減を決定するマップを記憶して備えていてもよい。制御装置７０は、傾斜検出センサ８０による測定の結果とマップとを照合して、第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４の各々において要求されるエアの圧力の増減を導出してもよい。
【0128】
○第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１の軸方向に延びる直線と第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向に延びる直線とは直交しなくてもよい。
この場合、（１）式～（４）式におけるφは、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１の軸方向に延びる直線と第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向に延びる直線との間の角度に応じて変更される。
○基台軸ＬＢから見た位置決め機構ハウジング５１の断面は、略四角形でなくてもよい。
この場合、（１）式～（４）式におけるφは、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１の軸方向に延びる直線と第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の軸方向に延びる直線との間の角度に応じて変更される。
○基台軸ＬＢから見た位置決め機構ハウジング５１の断面は、略四角形でなくてもよい。
【0129】
○第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の各々の両端部は、位置決め機構ハウジング５１の隅に設けられなくてもよい。
○第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の各々の両端部は、位置決め機構ハウジング５１が備える側壁から離間した位置に設けられてもよい。つまり、第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々は、位置決め機構ハウジング５１が備える側壁から離間した位置に設けられてもよい。この場合、第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４の各々と第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々とは、装置基台３０の内部を通って連通する。
○第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１及び第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２の各々の両端部は、位置決め機構ハウジング５１が備える側壁から離間した位置に設けられてもよい。つまり、第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々は、位置決め機構ハウジング５１が備える側壁から離間した位置に設けられてもよい。この場合、第１～第４駆動用基台ポート３５１～３５４の各々と第１～第４駆動用ポートＡ１１～Ａ１４の各々とは、装置基台３０の内部を通って連通する。
【0130】
○第１及び第３ベローズアクチュエータＡ１，Ａ３は、第１ベローズアクチュエータ対ＡＡ１を形成しなくてもよい。また、第２及び第４ベローズアクチュエータＡ２，Ａ４は、第２ベローズアクチュエータ対ＡＡ２を形成しなくてもよい。つまり、第１ベローズアクチュエータＡ１は、第３ベローズアクチュエータＡ３と対向する位置になくてもよい。また、第２ベローズアクチュエータＡ２は、第４ベローズアクチュエータＡ４と対向する位置になくてもよい。
【0131】
○位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとして、２つのベローズアクチュエータを用いてもよい。例えば、位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとして、第１ベローズアクチュエータＡ１及び第２ベローズアクチュエータＡ２だけを備えるとともに、これらと対向する位置にアクチュエータ備えなくてもよい。この場合、位置決め機構５０は、複数のリニアスライド機構として第１リニアスライド機構６１及び第２リニアスライド機構６２を備える。また、この場合、位置決め機構５０は、２つのベローズアクチュエータの各々が伸縮する方向において、駆動体５５の位置決めを行う。２つのベローズアクチュエータは、２つのベローズアクチュエータの各々の軸が直交するように配置されるのが好ましい。
【0132】
○位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとして、複数のベローズアクチュエータを用いなくてもよい。アクチュエータとして、例えば、電動式アクチュエータを用いてもよい。
【0133】
○位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとして、３つのベローズアクチュエータを用いてもよい。この場合、例えば、３つのベローズアクチュエータは、駆動体５５を、囲むように等間隔おきに設けられるのが好ましい。
【0134】
○位置決め機構５０は、複数のアクチュエータとして、２つのボールねじアクチュエータＢを備えていてもよい。複数のアクチュエータとして、例えば、２つのリニアモータや、２つの超音波直線モータや、２つのボイスコイルモータなどを用いてもよい。
【0135】
図１１に示すように、ボールねじ位置決め機構Ｂ５０は、第２基台端面３０ｂに取り付けられている。２つのボールねじアクチュエータＢの各々は、ボールねじ軸Ｂ１１ａ，Ｂ１１ｂの各々と、ボールねじモータＢ１２ａ，Ｂ１２ｂの各々と、ボールねじナットＢ１３ａ，Ｂ１３ｂの各々と、により構成されている。２つのボールねじアクチュエータＢの各々は、ボールねじ位置決め機構Ｂ５０が備える側壁のうち、互いに直交する２つのボールねじ側壁Ｂ５１の各々に挿入されている。つまり、ボールねじ軸Ｂ１１ａ，Ｂ１１ｂは互いに直交する。２つのボールねじ軸Ｂ１１ａ，Ｂ１１ｂの各々は、ボールねじモータＢ１２ａ，Ｂ１２ｂの各々の駆動によって回転する。ボールねじ軸Ｂ１１ａ，Ｂ１１ｂの各々には、ボールねじナットＢ１３ａ，Ｂ１３ｂの各々が螺着されている。２つのボールねじナットＢ１３ａ，Ｂ１３ｂの各々は、回転するボールねじ軸Ｂ１１ａ，Ｂ１１ｂの各々に沿って移動する。ボールねじナットＢ１３ａ，Ｂ１３ｂの各々は、接続プレートＢ１４ａ，Ｂ１４ｂの各々を備える。２つの接続プレートＢ１４ａ，Ｂ１４ｂの各々には、ボールねじ軸Ｂ１１ａ，Ｂ１１ｂの各々が挿通されるとともに、その挿通箇所から延出するリニアガイドＢ１５ａ，Ｂ１５ｂの各々を備える。リニアガイドＢ１５ａは、ボールねじ軸Ｂ１１ｂが延びる方向に移動可能となるように設けられている。また、リニアガイドＢ１５ｂは、ボールねじ軸Ｂ１１ａが延びる方向に移動可能となるように設けられている。接続プレートＢ１４ａ，Ｂ１４ｂの各々は、リニアガイドＢ１５ａ，Ｂ１５ｂの各々を介して、駆動体Ｂ６０と接続する。つまり、接続プレートＢ１４ａ，Ｂ１４ｂの各々は、ボールねじ側壁Ｂ５１の各々と背向する面において、ボールねじナットＢ１３ａ，Ｂ１３ｂの各々と、駆動体Ｂ６０の対応する側面と接続する。
【0136】
ボールねじナットＢ１３ａが移動する方向は、リニアガイドＢ１５ｂが駆動体Ｂ６０に対して移動する方向と一致する。また、ボールねじナットＢ１３ｂが移動する方向は、リニアガイドＢ１５ａが駆動体Ｂ６０に対して移動する方向と一致する。したがって、リニアガイドＢ１５ａ，Ｂ１５ｂの各々は、ボールねじナットＢ１３ａ，Ｂ１３ｂの一方が、駆動体Ｂ６０を介して他方に与える影響を低減する。
【0137】
以上の構成により、２つのボールねじアクチュエータＢの各々は、接続プレートＢ１４ａ，Ｂ１４ｂの各々を介して、駆動体Ｂ６０を移動させる。これにより、ボールねじ位置決め機構Ｂ５０は、２つのボールねじ側壁Ｂ５１に直交する面内において、駆動体Ｂ６０の位置決めを行う。
【0138】
○円筒軸受５２は、円筒軸受内周面５２ａ及び円筒軸受外周面５２ｂにおいて、円筒軸受５２の軸方向に延びる間隙５２ｃを形成しなくてもよい。この場合、先端球体部２３は、円筒軸受５２の内径と一致する外径を有するものが用いられる。
【0139】
○駆動体５５は、円筒軸受５２及び軸受保持部５３を別体として備えなくてもよい。この場合において、駆動体５５は、円筒軸受５２及び軸受保持部５３が一体となって形成される。
【0140】
○駆動体５５は、先端球体部２３が挿入される挿入孔を画定する筒状体のみで形成されていてもよい。ここで、当該筒状体は、先端球体部２３が挿入されるとともに保持される挿入孔を画定する柱体である。当該筒状体が画定する挿入孔は、円形に限らない。この場合、駆動体５５は、先端球体部２３を保持可能である軸受保持部５３のみにより構成されるとともに、円筒軸受５２を備えない。つまり、先端球体部２３は、軸受保持部５３に挿入されるとともに、軸受保持部５３に保持される。
【0141】
○傾き調整装置１００は、駆動体５５を備えなくてもよい。この場合、位置決め機構５０が備える第１～第４ベローズアクチュエータＡ１～Ａ４は、先端球体部２３に直接接続される。
【符号の説明】
【0142】
１０…圧着ツール、１０ａ…第１圧着ツール端面、１０ｂ…第２圧着ツール端面、２１…揺動体、２１ａ…第１揺動体端面、２１ｂ…第２揺動体端面、２２…駆動軸、２２ａ…第１駆動軸端部、２２ｂ…第２駆動軸端部、２２ｄ…中間球部、２３…先端球体部、３０…装置基台、３０ａ…第１基台端面、３０ｂ…第２基台端面、３０ｃ…基台内周面、３０ｄ…挿通孔としての基台挿通孔、３３…ロック用ポート、３４…空気軸受用ポート、３６…換気ポート、３７…空気軸受としての環状多孔質材、４０…ロック機構、４２…支持部材、４２ｅ…第１シール、４３…ロック部材、４３ａ…ロック部材内周面、４３ｄ…第２シール、４４…保持部、４６…ロック用エア給排室、４７…ロック室、５０…位置決め機構、５１…ハウジング部としての位置決め機構ハウジング、５２…円筒軸受、５２ｃ…間隙、５２ｄ…挿入孔としての円筒軸受挿入孔、５３…軸受保持部、５４…収容空間としてのアクチュエータ収容空間、５５…駆動体、６１～６４…複数のリニアスライド機構としての第１～第４リニアスライド機構、７０…制御装置、７１…アクチュエータ制御部、７２…駆動量計算部、８０…傾斜検出センサ、Ａ１～Ａ４…複数のアクチュエータとしての第１～第４ベローズアクチュエータ、ＡＡ１～ＡＡ２…２つのベローズアクチュエータ対としての第１ベローズアクチュエータ対と第２ベローズアクチュエータ対、ＬＣ…中心軸、Ｓ…基準面。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】