発明の名称 デュアル高圧ウエハ処理設備を利用したウエハ高圧処理方法
出願人 エイチピエスピ カンパニー リミテッド (識別番号 522494798)
特許公開件数ランキング 13584 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1130 位(5件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7797665
公報発行日 2026年1月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7797665
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7797665「デュアル高圧ウエハ処理設備を利用したウエハ高圧処理方法」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録