特許7799015アミノアルコキシジシラザン化合物、それを含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物、およびそれを用いたシリコン含有薄膜の製造方法

発明の名称　アミノアルコキシジシラザン化合物、それを含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物、およびそれを用いたシリコン含有薄膜の製造方法

出願人　ディーエヌエフ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 514145604）

　　　　特許公開件数ランキング 6758 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1667 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7799015

公報発行日　2026年1月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7799015

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