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技術分野

積層体及びその製造方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、特許文献１及び２の製造方法では、マグネリ相酸化物を形成するために複雑な処理が必要であり、また、マグネリ相酸化物で構成される層状体及びその製法についての開示は無い。また、表層部にマグネリ相酸化物で構成された層状体を有する積層体は知られていない。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者らは、鋭意研究の結果、金属基板の表面を大気中で酸化し、その後、酸素分圧が低くなるように制御した環境下で熱処理すると、金属イオンが外方拡散し、表面に形成された金属酸化物層の組成が変化すると共に当該金属酸化物層の厚みが変化することから、マグネリ相酸化物で構成される金属酸化物の薄層化、及び薄層状のマグネリ相酸化物の組成制御を簡便な処理で実現でき、その結果表層部にマグネリ相金属酸化物層を有す・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、マグネリ相酸化物で構成される金属酸化物層を有する積層体を提供することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本積層体の断面を模式的に示す断面模式図である。
【図2】 本積層体であり、実施例１の試料の薄膜ＧＩ－ＸＲＤ測定結果である。
【図3】 本積層体であり、実施例１の試料の断面を示すＴＥＭ像である。
【図4】 Ｔｉ５Ｏ９の結晶粒の電子線回折像の一例である。
【図5】 図１の積層体の変形例を模式的に示す断面図である。
【図6】 図１の積層体の他の変形例を模式的に示す断面図である。
【図7】 図１の積層体の他の変形例を模式的に示す断面図である。
【図8】 本積層体の製造方法の第２工程の様子の一例を模式的に示す図である。
【図9】 実施例２の積層体の薄膜ＧＩ－ＸＲＤ測定結果である。
【図10】 実施例３～５の積層体の薄膜ＧＩ－ＸＲＤ測定結果である。
【図11】 比較例１～３の積層体のＸＲＤ測定結果である。
【図12】 比較例４～６の積層体のＸＲＤ測定結果である。
【図13】 比較例７の積層体のＸＲＤ測定結果である。
【図14】 比較例８及び９の積層体の薄膜ＧＩ－ＸＲＤ測定結果である。
【図15】 比較例１０の積層体の薄膜ＧＩ－ＸＲＤ測定結果である。
【図16】 比較例１１の積層体のＸＲＤ測定結果である。
【図17】 実施例１の試料の断面を示すＴＥＭ像である。
【図18】 実施例２の試料の断面を示すＴＥＭ像である。
【図19】 比較例１の試料の断面を示すＴＥＭ像である。
【図20】 比較例２の試料の断面を示すＴＥＭ像である。
【図21】 実施例１の試料の領域Ｒｄ近傍の拡大図及び領域Ｒｄの電子線回折像である。
【図22】 比較例１の試料の領域Ｒ１近傍の拡大図及び領域Ｒ１の電子線回折像である。
【図23】 実施例１の試料の領域ＲｂのＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭ像及びその像をフーリエ変換した像である。
【図24】 実施例１の試料のＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭ像中のＸ－Ｙ線のコントラスト強度を示す図及び領域Ｒａの原子配列を示す図である。
【図25】 実施例１，比較例１，２及びルチル型白色ＴｉＯ２粉末の反射率を示す図である。
【図26】 比較例１２の熱重量曲線を示す図である。
【図27】 比較例１２における状態ｃの試料の外観写真及びＸＲＤ測定結果を示す図である。

代表図 図1本件の代表的な図

１０：金属層、２０：金属酸化物層、１００，１０１，１０２，１０３：積層体、Ｖ：ボイド

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